DE10049288A1 - Elektronische Bauteile und eine Folienband zum Verpacken von Bonddrahtverbindungen elektronischer Bauteile sowie deren Herstellungsverfahren - Google Patents
Elektronische Bauteile und eine Folienband zum Verpacken von Bonddrahtverbindungen elektronischer Bauteile sowie deren HerstellungsverfahrenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft elektronische Bauteile und ein Folienband zum Verpacken von Bonddrahtverbindungen elektronischer Bauteile sowie deren Herstellungsverfahren. Dazu weist das Folienband (11) mindestens zwei vorgeformte gegenüberliegende Randbereiche (15, 16) auf, welche die Randbereiche des Bondkanals (12, 13) überlappend abdecken. Ferner weist das Folienband einen zwischen den Randbereichen liegenden vorgeformten Mittenbereich auf, der eine Auswölbung (18) und Verdickung (19) aufweist, und der im Querschnitt zwei konvex gekrümmte Konturlinien (20, 21) besitzt.
Description
Die Erfindung betrifft elektronische Bauteile und ein Folien
band zum Verpacken von Bonddrahtverbindungen elektronischer
Bauteile sowie deren Herstellungsverfahren gemäß der Gattung
der unabhängigen Ansprüche.
Elektronische Bauteile mit einem Chip und einem unmittelbar
auf der aktiven Oberfläche des Chips angeordneten Gehäuse
weisen einen Bondkanal oder Bondflecken auf, in dem Bond
drahtverbindungen von Kontaktflächen auf der aktiven Oberflä
che des Chips zu Kontaktanschlussflächen auf einem Systemträ
ger angeordnet sind. Der Systemträger selbst weist darüber
hinaus Leiterbahnen auf, die von den Kontaktanschlussflächen
über Leiterbahnen zu Lötkontaktflächen führen. Auf den Löt
kontaktflächen können Löthöcker oder Lötbälle als Außenkon
takte des elektronischen Bauteils angeordnet werden.
Zum Schutz der Bonddrähte müssen der Bondkanal bzw. die Bond
flecken mit einer Kunststoffmasse vergossen werden, wobei die
Vergußmasse die Bonddrähte vollständig umhüllt. Bei der Her
stellung derartiger elektronischer Bauteile besteht beim Ver
gießen der Bonddrähte mit einer Kunststoffmasse die Gefahr,
dass ihre Vergußhöhe die Höhe der Lötbälle oder Löthöcker
überschreitet und somit eine Außenkontaktierung des elektro
nischen Bauteils gefährdet. Außerdem besteht die Gefahr, dass
die Lötmasse die Lötkontaktflächen des Systemträgers teilwei
se benetzt und ein zuverlässiges Auflöten der Lötbälle bzw.
der Löthöcker behindert wird. Somit ergeben sich bei der Her
stellung derartiger elektronischer Bauteile zusätzliche Pro
bleme, welche die Produktivität vermindern.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile der bisherigen
Vergußtechnik zu überwinden und ein elektronisches Bauteil
sowie ein Folienband anzugeben, bei dem die Vergußhöhe ein
stellbar ist und zum Bondkanal benachbarte Lötkontaktflächen
nicht benetzt werden.
Diese Aufgabe wird mit den unabhängigen Ansprüchen gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus
den Unteransprüchen.
Erfindungsgemäß wird ein elektronisches Bauteil mit einem
Chip mit Kontaktflächen entlang eines Bondkanals oder inner
halb von Bondflecken und einem Laminat, das Kontaktanschluss
flächen, Leiterbahnen und Lötkontaktflächen auf einem System
träger trägt, geschaffen, wobei das Laminat den Bondkanal
bzw. die Bondfläche umgibt und auf der aktiven Oberfläche des
Chips angeordnet ist. Bei diesem elektronischen Bauteil sind
die Kontaktflächen mit den Kontaktanschlussflächen über Bond
drähte verbunden und die Bonddrähte sind mittels eines fließ
fähigen Folienbandes, das die Randbereiche des Bondkanals
überlappt und als Vergußmasse für den Bondkanal dient, von
der Kunststoffmasse des fließfähigen Folienbandes umgeben.
Das Folienband selbst besteht dazu aus mindestens zwei vorge
formten einander gegenüberliegenden Randbereichen, welche die
Randbereiche des Bondkanals bzw. der Bondflecken überlappend
abdecken, und einem dazwischen liegenden vorgeformten Mitten
bereich, der eine Auswölbung und Verdickung aufweist, und der
in seinem Querschnitt zwei konvex gekrümmte Konturlinien
zeigt. Dieser Mittenbereich des Folienbandes hat den Vorteil,
dass er in einen fließfähigen Zustand versetzt werden kann
und dann den Bondkanal vollständig ausfüllt, wobei durch das
Vorformen des Mittenbereichs eine unzulässige Vergußüberhö
hung ausgeschlossen ist und die Vergußhöhe durch Auswahl ei
ner Verdickung des Mittenbereichs einstellbar ist.
Ferner wird durch die den Bondkanal überlappenden Randberei
che des Folienbandes sichergestellt, dass keine zum Bondkanal
benachbarten Lötkontaktflächen mehr benetzt werden können, da
das Folienband in seinen Randabmessungen nun genau definiert
ist und damit von vornherein ausgeschlossen wird, dass Foli
enmaterial die zum Bondkanal benachbarten Lötkontaktflächen
erreicht. Somit ergibt sich für elektronische Bauteile, die
mit einem derart fließfähigen Folienband ausgestattet wurden,
dass die Hauptursachen für den Ausschuß bei der Herstellung
derartiger elektronischer Bauteile überwunden sind.
In einer Ausführungsform der Erfindung ist das Folienband ein
Verbundband aus einem Folienband mit unterschiedlicher Dicke
über dem Querschnitt, d. h. dass der Mittenbereich eine Aus
wölbung und Verdickung aufweist, und einem Deckband von
gleichförmiger Dicke. Dieses Deckband von gleichförmiger Dic
ke ist weniger fließfähig als das Folienband und sorgt insbe
sondere in den Randbereichen für die Beibehaltung der Abmes
sungen, so dass ein Benetzen von benachbarten Lötanschlußflä
chen ausgeschlossen ist.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist das Deck
band aus einem Schrumpfmaterial hergestellt und die Randbe
reiche des Abdeckbandes sind auf den Randbereichen des Bond
kanals adhesiv befestigt. Damit wird erreicht, dass beim Er
wärmen des Folienmaterials in seinem fließfähigen Zustand das
Abdeckband auf dem fließfähigen Folienmaterial schrumpft und
somit die fließfähige Folienbandmasse in den Bondkanal und
zwischen und um die Bonddrähte presst.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Ver
dickung in dem Mittenbereich des Folienbandes genau dem Bond
kanalvolumen angepaßt, womit in vorteilhafter Weise sicherge
stellt wird, dass die Vergußmassenhöhe niemals die Höhe der
Lötbälle oder Löthöcker überschreitet und dennoch die Bond
drähte vollständig umgibt.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass
parallele Randbereiche des Folienbandes, welche die Randbe
reiche des Bondkanals überlappen, gasdicht mit den Randberei
che des Bondkanals verbunden sind. Diese gasdichte Verbindung
kann durch eine Klebstoffschicht erreicht werden oder durch
Laminieren der Folienrandbereiche auf die Randbereiche des
Bondkanals. Dieses gasdichte Verbinden hat den Vorteil, dass
der Bondkanal gegenüber Umwelteinflüssen vollständig abge
schirmt wird und eine hohe Lebensdauer für die Bonddrahtver
bindungen garantiert werden kann.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung setzt die
Fließfähigkeit des Folienmaterials des Folienbandes bei einer
Schwellentemperatur ein. Solange diese Schwellentemperatur
nicht erreicht wird, bleibt das mit dem Folienmaterial herge
stellte Gehäuse und elektronische Bauteil stabil und fest,
womit gleichzeitig das Maximum einer möglichen Betriebstempe
ratur festgelegt ist. Je höher die Schwellentemperatur des
Folienbandes ausfällt, um so höher kann das Gehäuse des elek
tronischen Bauteils thermisch belastet werden.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist das Ver
hältnis zwischen der maximalen Dicke in einem Mittenbereich
des Folienbandes zur Dicke in Randbereichen 3 : 1. Ein Foli
enband mit einer derartigen dreifachen Dicke im Mittenbereich
gegenüber den Randbereichen ist geeignet, relativ flache
Bondkanäle mit Kunststoffmasse aufzufüllen. Für tiefere Bond
kanäle liegt das Verhältnis zwischen der maximalen Dicke im
Mittenbereich des Folienbandes und der Dicke der abgedeckten
Randbereiche bei 5 : 1. Der Vorteil der Erfindung ist es
folglich, dass die Folienbänder sehr genau den Abmaßen und
Tiefen der Bondkanäle angepaßt werden können, wobei diese
beiden oben aufgeführten bevorzugten Dickenverhältnisse zwi
schen Mittenbereich und Randbereich des Folienbandes einen
großen Anteil der Produktion elektronischer Bauteile abdeckt.
Feinere Abstufungen sind möglich, erhöhen jedoch gleichzeitig
die Lager- und Bevorratungskosten.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist eine kon
vexe Krümmung des Folienbandes im Mittenbereich seines Quer
schnitts größer als eine Überhöhung der Bonddrahtverbindung
über den Bondkanal hinaus. Da die Bonddrähte selbst eine ge
ringfügige Überhöhung über den Bondkanal hinaus aufweisen, da
sie von den Kontaktflächen des Chips auf dem Boden des Bond
kanals zu den Kontaktanschlussflächen des Systemträgers auf
den Rand des Bondkanals geführt werden müssen, sorgt diese
Ausführungsform der Erfindung dafür, dass im festen Zustand
des Folienbandes dieses Folienband die Bonddrahtverbindungen
nicht berührt, sondern mit seiner konvexen Krümmung im Mit
tenbereich einen Sicherheitsabstand zu den Bonddrahtverbin
dungen einhält.
Das Material des Systemträgers ist insbesondere bei Gehäusen,
die unmittelbar auf der aktiven Seite des Chips angeordnet
sind, ein Laminat aus einer Isolierschicht und einer auflami
nierten strukturierten Metallschicht. Dieses Laminat ist auf
der aktiven Seite des Chips angeordnet und weist im Bereich
der Kontaktflächen des Chips einen Bondkanal oder Bondflecken
oder mehrere Bondkanäle auf. Ein derartiges Laminat kann in
einer weiteren Ausführungsform der Erfindung einen porösen
Kunststoff als Isoliermaterial aufweisen, was den Vorteil
hat, dass das Luftpolster unter dem Folienmaterial im Bondka
nal beim Erwärmen des Folienmaterials auf Fließtemperatur
über die poröse Laminatschicht abwandern kann, so dass das
Folienmaterial des Mittenbereichs den Bondkanal vollständig
ausfüllt und dessen Oberflächen benetzt sowie die Bonddrähte
in Kunststoff einbettet.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die bond
kanal-bildende Laminatschicht aus gasdichtem Kunststoff. In
diesem Fall kann das Gas- oder Luftpolster zwischen dem über
dem Bondkanal angeordneten Folienband und dem Bondkanalboden
nicht ohne weiteres entweichen. In diesem Fall wird das Foli
enband unter Vakuum auf die Randbereiche des Bondkanals
auflaminiert, so dass sich kein Gas- oder Luftpolster zwi
schen dem Folienmaterial und dem Bondkanalboden befindet.
Der Systemträger, der auf einem Halbleiterchip adhesiv mit
tels einer Klebeschicht aufgebracht ist, kann in einer Aus
führungsform der Erfindung aus einem den Bondkanal bildenden
Laminat bestehen, das auf seiner dem Folienband zugewandten
Oberfläche Kontaktanschlussflächen für die Bondverbindungen,
Leiterbahnen zum Weiterführen elektrischer Signale und Löt
kontaktflächen für die Außenkontaktanschlüsse des elektroni
schen Bauteils aufweisen. Dieses mit Kontaktanschlussflächen,
Leiterbahnen und Lötkontaktflächen versehene Laminat hat die
Aufgabe, die mikroskopisch kleinen Kontaktflächen auf der ak
tiven Oberfläche des Halbleiterchips auf großflächige Lötkon
taktflächen zu verteilen, für die auf der Laminatschicht die
gesamte Fläche des Halbleiterchips zur Verfügung steht.
In diesem Zusammenhang bedeutet "mikroskopisch klein" eine
Größenordnung, die nur mit einem optischen Mikroskop noch er
kennbar oder messbar ist, während die Lötkontaktflächen für
Löthöcker oder Lötbälle auf der Laminatschicht mit bloßem Au
ge erkennbar sind. Das Gehäuse eines derartigen elektroni
schen Bauteils besteht somit im wesentlichen aus dem aufge
klebten Laminat, dem zugehörigen Bondkanal mit Bonddrahtver
bindungen, wobei das Laminat eine strukturierte Metallschicht
trägt, die Kontaktanschlussflächen, Leiterbahnen und Lötkon
taktflächen aufweist, sowie den auf den Lötkontaktflächen
aufgelöteten Lötbällen oder Löthöckern als Außenkontaktan
schlüsse.
Somit ergibt sich für das erfindungsgemäße elektronische Bau
teil mit durch ein Folienband abgedecktem Bondkanal eine Ver
besserung in der Miniaturisierung, da der Anteil der gehäuse
bildenden Komponenten gegenüber dem Chipvolumen auf ein Mini
mum reduziert ist. Derartige erfindungsgemäße elektronische
Bauteile werden aufgrund ihrer geringen Gehäusehöhe bevorzugt
als Sensorflächen für Fingerspitzensensoren oder als Chipkartenmodule
in Kreditkarten, Telefonkarten usw. eingesetzt.
Ferner lassen sich die erfindungsgemäßen Bauteile unmittelbar
mit ihren Lötbällen und Löthöckern mit flexiblen Busleitungen
oder mit Leiterplatten verbinden.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist die
bondkanal-bildende Laminatschicht auf ihrer dem Folienband
zugewandten Oberfläche eine Lötmaskenschicht auf, die teil
weise die Leiterbahnen abdeckt und sowohl die Kontaktan
schlussflächen für ein Bonden als auch die Lötkontaktflächen
für ein Aufbringen von Löthöckern oder Lötbällen freigibt.
Diese Lötmaskenschicht unterstützt somit die Strukturierung
der Metallschicht, so dass das Lot eines Löthöckers oder Löt
balls auf einen begrenzten Bereich der strukturierten Metall
schicht begrenzt bleibt und nicht entlang der Leiterbahnen
zerfließt. Die Lötmaskenschicht ist eine strukturierte Lack
schicht aus Kunststoff, die beim Abdecken des Bondkanals von
der Folie im Randbereich teilweise abgedeckt wird.
Ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils
mit einem Halbleiterchip, einem Laminat, das Kontaktan
schlussflächen, Leiterbahnen und Lötkontaktflächen trägt und
Bondkanäle aufweist, welche die Oberfläche des Halbleiter
chips freigeben, auf der sich am Bondkanalboden Kontaktflä
chen befinden, wobei Bonddrähte die Kontaktflächen in den
Bondkanal mit den Kontaktanschlussflächen auf dem Laminat
verbinden, weist folgende Verfahrensschritte auf:
- - Nach Fertigstellen der Bonddrahtverbindungen: Positio nieren des Folienbandes über dem Bondkanal unter Über lappung der Randbereiche des Bondkanals durch die Rand bereiche des Folienbandes,
- - Auflaminieren der Randbereiche des Folienbandes auf die Randbereiche des Bondkanals, so dass der konvex gekrümm te Mittenbereich des Folienbandes den Bondkanal mit den Bonddrähten überwölbt,
- - Erwärmen des Folienbandes und Vergießen der Bonddrähte unter Aufschmelzen des Folienbandes im Mittenbereich und
- - Abkühlen des Folienbandes in dem Bondkanal.
Ein derartiges Verfahren hat den Vorteil, dass das Umhüllen
der Bonddrahtverbindung in dem Bondkanal durch ein in seinen
Dimensionen genau angepasstes Folienband durchgeführt wird,
so dass benachbarte Lötkontaktflächen auf dem Laminat nicht
von der Vergußmasse benetzt werden und zusätzlich kann der
konvex gekrümmte Mittenbereich einerseits so bemessen werden,
dass er vor dem Erwärmen des Folienbandes die Bonddrähte
überwölbt und somit diese nicht berührt und nach dem Erwärmen
des Folienbandes die Bonddrähte vollständig in der Kunst
stoffmasse des Folienbandes einbettet. Dabei wird eine Über
höhung des Bondkanals sichergestellt, die geringer ist als
die Überhöhung durch Lötbälle oder Löthöcker auf den Lötkon
taktflächen.
In einem Durchführungsbeispiel des Verfahrens wird als Lami
nat ein poröser Kunststoff verwendet, so dass Luftpolster im
Bondkanal beim Aufschmelzen des Folienbandes im Mittenbereich
über das poröse Laminat entweichen. Dieses hat den Vorteil,
dass keinerlei Luftblasen verbleiben und sich der Mittenbe
reich des Folienmaterials vollständig an die Bonddrähte anle
gen kann und keinerlei unzulässige Überhöhung des Bondkanals
bildet, sondern lediglich eine zulässige minimale Überhöhung
zur Abdeckung der Bonddrähte formt.
In einem weiteren Durchführungsbeispiel des Verfahrens wird
das Auflaminieren des Folienbandes unter Vakuum durchgeführt.
Dieses ist dann von Vorteil, wenn das Laminat selbst kein po
röser, sondern ein gasdichter Kunststoff ist, so dass noch
vor dem Verschließen des Bondkanals Luftpolster durch Abpum
pen in einer Vakuumkammer entfernt werden.
Bei einem weiteren Durchführungsbeispiel des Verfahrens wird
zum Erwärmen des Mittenbereichs des Folienbandes ein Heiz
stempel eingesetzt. Dieser Heizstempel kann gezielt den Mit
tenbereich stärker aufheizen als den Randbereich, so dass das
Material des Mittenbereichs des erfindungsgemäßen Folienban
des schmelzflüssig das Volumen des Bondkanals auffüllt, wäh
rend der Randbereich auflaminiert wird. Derartige Heizstempel
müssen gegenüber der Laminatoberfläche oder gegenüber der
Oberfläche der Lötmaskenschicht nicht vollständig abgedichtet
sein, da die Grenzen der Kunststoffvergußmasse durch den ge
nau definierten Folienrand eingestellt werden, so dass ein
derartiger Heizstempel relativ kostengünstig realisiert wer
den kann und die Ausrichtung des Heizstempels unkritisch
bleibt.
In einem zum Heizstempel alternativen Durchführungsbeispiel
des Verfahrens wird zum Erwärmen des Mittenbereichs des Foli
enbandes ein Infrarotstrahler eingesetzt. Ein derartiger In
frarotstrahler hat den Vorteil, dass seine Strahlenenergie
auf den Mittenbereich projiziert werden kann, ohne das Bau
teil mit Hilfswerkzeugen zu berühren, so dass ein Widerlager
oder ein Auflager des Bauteils keinen Stempeldruck aufnehmen
muss, wie es bei einem Heizstempel erforderlich wäre.
Ein weiteres Durchführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Ver
fahrens sieht vor, dass zum Auflaminieren der Randbereiche
des Folienbandes auf die Randbereiche des Bondkanals ein ge
scannter Laserstrahl eingesetzt wird. Dieses Verfahren hat
den Vorteil, dass das Auflaminieren lokal begrenzt durchge
führt werden kann und die Randbereiche des Folienbandes vor
dem Mittenbereich und getrennt von dem Mittenbereich auf den
Randbereichen des Bondkanals fixiert werden werden können.
Dieses Verfahren ist insbesondere vorteilhaft beim Auflami
nieren unter Vakuum einsetztbar, da zunächst das Folienband
nur positioniert werden muss ohne fixiert zu werden, so dass
ein Abpumpen des Luftpolsters im Bondkanalbereich möglich ist
und erst nach Evakuieren auch dieses Bereichs das Laminieren
mittels gescanntem Laserstrahl erfolgen kann. Nach dem Aufla
minieren durch einen gescannten Laserstrahl kann der Mitten
bereich des Folienmaterials zum Schmelzen durch einen ge
scannten Laserstrahl gebracht werden und somit das Folienbandmaterial
die Bonddrahtverbindungen im Bondkanalbereich
vollständig einbetten.
Ein weiteres Durchführungsbeispiel des Verfahrens sieht vor,
dass im Falle einer Verbundfolie aus Schrumpffolienband als
Abdeckband und Folienband nach dem Auflaminieren der Randbe
reiche des Schrumpffolienbandes auf die Randbereiche des
Bondkanals mittels gescannten Laserstrahl die Verbundfolie
erwärmt wird und die Schrumpffolie als Abdeckfolie den aufge
schmolzenen Mittenbereich des Folienbandes in den Bondkanal
unter Einbetten der Bonddrähte presst. Bei diesem Verfahren
wird vorteilhaft die Eigenschaft der Schrumpffolie einge
setzt, die bei Erwärmung die geringstmögliche Oberfläche ein
nehmen will, die sie aufgrund ihres Memory-Effektes vor dem
Einsatz als Abdeckband eingenommen hatte. Somit ist die
Schrumpffolie bestrebt, ihre Ausdehnung auf der gekrümmt
konvexen Oberfläche des Folienmaterials zu verkürzen, wodurch
sie bei Erwärmung das fließfähige Folienmaterial in den Bond
kanal presst und damit gleichzeitig eine gegenüber elektroni
schen Bauteilen ohne Abdeckfolie erhöhte Betriebstemperatur
zuläßt.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden BOC(Board-On-
Chip)-Gehäuse nach dem Drahtbonden vergossen. Das Vergießen
erfolgt so, dass die Bänddrähte vollständig umhüllt sind. Die
Vergußhöhe darf nicht zu groß sein, da sonst Konflikte mit
dem stand off bzw. der Überhöhung der Lötbälle auftreten. Zu
dem wird der Weg beim Verfließen eingeschränkt, zumal mit
Vergußmasse verschmutzte Lötkontaktflächen ein Auflöten der
Lötbälle behindern würden.
Das Einkapseln der Bonddrähte erfolgt mittels einer Folie
oder eines Folienflecken, welche zum einen auf das Umverdrah
tungssubstrat auflaminiert werden und zum anderen durch Auf
schmelzen des mittleren Teils dieser Folie bzw. des Folien
fleckens den Bondkanal oder Bondflecken auffüllen und dadurch
Drähte abdecken.
Der Aufbau dieser Folie oder des Folienflecken ist folgender
maßen: der Folienflecken besteht aus fließfähigem Material,
wie einem Thermoset oder einer Mischung aus Thermoplast und
Thermoset bzw. die Folie ist mit einem fließfähigen Material
beschichtet, welches durch Temperatureinwirkung - beispiels
weise mittels eines speziellen Heizstempels oder eines IR-
Strahlers - erwärmt wird, dadurch fließfähig wird und somit
in der Lage ist, den Bondkanal aufzufüllen. Vor der Tempera
tureinwirkung befindet sich das Folienmaterial in festem Zu
stand. Um Blasen im Falle einer Folie zu vermeiden, kann ein
poröser Systemträger oder Vakuum angewendet werden. Der Mit
telbereich der Folie bzw. des Folienfleckens wird durch spe
zielle Formgebung z. B. bei der Herstellung der Folie konvex
gekrümmt, so dass dieser Mittelbereich während des Auflami
niervorgangs nicht direkt auf den Bonddrähten zu liegen kommt
oder diese beschädigt werden. Eine vorgestreckte Folie, die
einer Schrumpffolie mit Memory Effekt vergleichbar ist, würde
zusätzlich bewirken, dass die Folie bei Temperatureinfluß in
den Bondkanal gezogen wird.
Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsformen mit Bezug
auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils vor einem Einbetten von
Bondverbindungen in eine Kunststoffmasse mittels
eines Folienbandes einer ersten Ausführungsform der
Erfindung,
Fig. 2 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils mit aufgelegtem Folienband
über einem Bondkanal unter Einwirkung von Wärme,
Fig. 3 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils nach der Einwirkung von
Wärme auf das Folienband,
Fig. 4 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils vor einem Einbetten von
Bondverbindungen mittels eines Folienbandes einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 5 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils mit aufgelegtem Verbundfo
lienband über dem Bondkanal unter Einwirkung von
Wärme und Schrumpfungseffekten,
Fig. 6 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils nach der Einwirkung von
Wärme auf das Folienband.
Fig. 1 zeigt ein elektronisches Bauteil 1 vor einem Einbet
ten von Bondverbindungen 14 in eine Kunststoffmasse 29 mit
tels eines Folienbandes 11 einer ersten Ausführungsform der
Erfindung. In Fig. 1 bezeichnet die Bezugsziffer 2 einen
Chip, die Bezugsziffer 3 Kontaktflächen, die Bezugsziffer 4
einen Bondkanal, die Bezugsziffer 5 ein Laminat für eine Um
verdrahtung mit Kontaktflächen 6, Leiterbahnen 7 und Lötkon
taktflächen 8. Die Bezugsziffer 9 bezeichnet in Fig. 1 eine
aktive Oberfläche des Chips 2, die Bezugsziffer 10 bezeichnet
Bonddrähte und die Ziffern 12 und 13 bezeichnen Randbereiche
des Bondkanals 4.
Die Bondverbindungen 14 reichen von den Kontaktflächen 3 auf
der aktiven Oberfläche 9 des Chips 2 am Bondkanalboden 26 bis
zur Oberfläche des Laminats 5 mit Kontaktanschlussflächen 6
für die Bondverbindungen 14. Das Folienband 11 wölbt sich
nach dem Auflegen auf das elektronische Bauteil 1 über den
Bondkanal 4 und stützt sich auf den Bondkanalrandbereichen 12
und 13 ab. Dabei sind die Randbereiche des Folienbandes 15
und 16, die auf den Randbereichen 12 und 13 des Bondkanals 13
liegen, dünner als der Mittenbereich 17 der Folie, die im
Mittenbereich neben der Auswölbung 18 gleichzeitig eine Ver
dickung 19 aufweist.
Aufgrund der Verdickung 19 weist das Folienband 11 im Mitten
bereich 17 eine konvex gekrümmte äußere Konturlinie 20 und
eine konvex gekrümmte innere Konturlinie 21 mit geringerer
Krümmung als die äußere Konturlinie 20 vom Bondkanal 4 aus
gesehen auf. Das Laminat 5 ist mit Hilfe einer Klebstoff
schicht 30 unmittelbar auf die aktive Oberfläche 9 des Chips
2 mit seiner isolierenden Schicht 31 geklebt. Die metallische
Schicht 32 des Laminats 5 weist in unmittelbarer Nachbar
schaft zum Bondkanal 4 freiliegende Kontaktanschlussflächen 6
zur Aufnahme der Bondverbindung 14 auf und ist für eine Um
verdrahtung in Leiterbahnen 7 strukturiert. Diese Leiterbah
nen 7 führen zu auf der Laminatschicht 5 verteilten freilie
genden Lötkontaktflächen 8.
Eine auf der metallischen Schicht 32 angeordnete Lötmasken
schicht 27 läßt von der strukturierten metallischen Schicht
32 lediglich die Lötkontaktflächen 8 und die Kontaktan
schlussflächen 6 frei, so dass ein Bonddraht 10 von der akti
ven Oberfläche 9 des Halbleiterchips 2 am Kanalboden 26 des
Bondkanals zu einer Kontaktanschlussfläche 6 der metallischen
Schicht 32 geführt werden kann. Der Bondkanal kann auch aus
einzelnen in die Laminatschicht 5 eingebrachten Bondflecken
bestehen, über die sich ein kurzer Abschnitt eines Folienban
des 11 wie in Fig. 1 dargestellt wölben kann.
Sind mehrere Bondverbindungen 14 in einer Reihe in einem
Bondkanal 4 eines elektronischen Bauteils 1 angeordnet, so
wird ein entsprechend längerer Abschnitt des Folienbandes 11
über den Bondkanal gewölbt. Somit hat das Folienband 11 den
Vorteil, dass es an jede Größe eines Bondfleckens in einer
Laminatschicht 5 angepasst werden kann. Zur Fixierung der
Randbereiche 15 und 16 des Folienbandes 11 auf den Randberei
chen 12, 13 des Bondkanals können diese durch lokale Erwär
mung auf die Lötmaskenschicht 27 laminiert werden. Eine ande
re Möglichkeit zur Fixierung der Randbereiche von Folienband
und Bondkanal besteht darin, dass das Folienband aufgeklebt
wird. Schließlich ist es auch möglich, das Folienband ledig
lich aufzulegen und einer Wärmebehandlung auszusetzen.
Fig. 2 zeigt ein elektronisches Bauteil 1 mit aufgelegtem
Folienband 11 über einem Bondkanal 4 unter Einwirkung von
Wärme in Pfeilrichtung W. Komponenten mit gleichen Funktionen
wie in Fig. 1 sind mit gleichen Bezugszeichen in Fig. 2 ge
kennzeichnet. Unter Einwirkung der Wärme in Pfeilrichtung W
wird insbesondere der Mittenbereich mit seiner Verdickung
schmelzflüssig, während sich die auf den Randbereichen 12, 13
des Bondkanals abstützenden Randbereiche 15 und 16 des Foli
enbandes durch den kühlen Chip und das weniger stark aufge
heizte Laminat ihre Form im wesentlichen beibehalten, so dass
lediglich der sich über den Bondkanal wölbende Dom aus dem
Mittenbereich des Folienbandes 11 zusammenbricht und schmelz
flüssig die Bondverbindungen 14 einbettet und die Oberflächen
des Bondkanals sowie die Kontaktanschlussflächen der Laminat
schicht 5 benetzt.
Dazu wird die Verdickung des Mittenbereichs 17 des Folienban
des 11 derart gewählt, dass die Bondverbindungen 14 vollstän
dig mit Kunststoffmasse bedeckt sind, jedoch in einer minima
len Überhöhung gegenüber der Oberfläche der Lötmaskenschicht
27. Bei nachfolgendem Aufbringen von Löthöckern oder Lötbäl
len auf die Lötkontaktflächen 8 weisen diese Löthöcker und
Lötbälle eine wesentlich größere Überhöhung auf als die Über
höhung der die Bonddrähte einbettenden Kunststoffmasse 29 im
Bondkanal 4.
Verbunden mit diesem Einfließen der Kunststoffmasse in den
Bondkanal 4 ist eine Verringerung der konvexen Außenkrümmung
20 des Folienbandes 11. Das Anlegen der Kunststoffmasse an
die unter dem Folienband angeordneten Oberflächen kann durch
Absaugen in Pfeilrichtung A, wie es in Fig. 2 gezeigt wird,
unterstützt werden. Dazu besteht die Isolierschicht 31 des
Laminats 5 aus einem porösen Kunststoff mit offenen Poren.
Bei Verwendung von Laminaten 5 mit geschlossenen Poren oder
aus nicht porösem Kunststoff wird das Bauelement vor dem
Auflaminieren oder Aufkleben des Folienbandes 11 über dem
Bondkanal in einer Vakuumkammer untergebracht, so dass sich
unterhalb des Folienbandes 11 kein Gaspolster ausbilden kann.
Darüber hinaus hat die Verbringung des elektronischen Bau
teils 1 mit aufliegendem Folienband 11 in eine Vakuumkammer
den Vorteil, dass vor und beim Erwärmen des Folienbandes 11
die Oberflächen vakuumgetrocknet werden können, so dass eine
intensive Benetzung der Kunststoffmasse 4 an den zu vergie
ßenden Oberflächen auftritt.
Fig. 3 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils 1 nach der Einwirkung von Wärme auf
das Folienband 11. Komponenten der Fig. 3, die gleiche Funk
tionen erfüllen wie in den Fig. 1 und 2, sind mit gleichen
Bezugszeichen gekennzeichnet und werden nicht erneut erläu
tert. Ein derart hergestelltes elektronisches Bauteil 1 hat
den Vorteil, dass ein durch die Dimensionen des Folienbandes
11 eng begrenzter Bereich mit Kunststoffmasse 29 vergossen
ist. Die Kunststoffmasse zeigt eine Überhöhung h, die wesent
lich geringer als die Überhöhung (nicht gezeigt) der Löthöc
ker oder der Lötbälle ist, so dass ein zuverlässiger Zugriff
zu den Außenkontaktanschlüssen des elektronischen Bauelteils
1 gewährleistet ist.
Das Folienband 11 ermöglicht somit, dass das elektronische
Bauteil 1 im Bereich des Bondkanals 4 mit einer relativ fla
chen bis schwach konvex gekrümmten Außenkonturlinie 20 in der
Querschnittsansicht abgedeckt ist. Lediglich ein präzise be
grenzter und genau definierter Randbereich um den Bondkanal 4
herum wird mit deutlichem Abstand a zu den Lötkontaktflächen
8 mit Kunststoffmasse 29 bedeckt, was aufgrund der hohen
räumlichen Präzision des Kunststoffbandes 11 noch am Fertig
produkt mit Anschlußkontakthöckern oder Anschlußkontaktbällen
und dazwischen angeordnetem mit Folienband 11 abgedeckten
Bondkanal 4 erkennbar ist.
Fig. 4 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils 1 vor einem Einbetten von Bondverbin
dungen 14 mittels eines Verbundfolienbandes 22. In Fig. 4
werden gleiche Komponenten mit gleichen Funktionen wie in den
Fig. 1 bis 3 mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und
nicht näher erläutert. Das Verbundfolienband 22 besteht aus
einem äußeren Abdeckband 23 von gleichmäßiger Dicke und einem
Folienband 11, das eine Verdickung und Auswölbung im Mitten
bereich aufweist. Das Abdeckband 23 ist in diesem Ausfüh
rungsbeispiel ein Schrumpffolienband 28.
Ein derartiges Schrumpffolienband 28 versucht aufgrund eines
Memory-Effektes seine Ausdehnungen bei Wärmeeinwirkung zu
verkürzen und übt dabei in der Ausführungsform nach Fig. 4
einen Druck auf das mit dem Schrumpffolienband 28 verbundene
Folienband 11 aus, so dass in schmelzflüssigem Zustand des
Folienbandes 11 die entstehende Kunststoffmasse in den Bond
kanal 4 gedrückt wird.
Fig. 4 zeigt lediglich das Auflegen des Verbundfolienbandes
22 auf den Bereich des Bondkanals. Dabei wird ein definierter
Abstand a zu den freiliegenden Lötkontaktflächen 8 eingehal
ten. In den Randbereichen 24 und 25 des Verbundfolienbandes
22 besteht dieses in dieser Ausführungsform nur aus dem Mate
rial des Abdeckbandes 23, so dass die Randbereiche 24 und 25
des Abdeckbandes 23 unmittelbar auf der Lötmaskenschicht 27
laminiert sind. Das Verbundfolienband 22 ist ähnlich wie in
Fig. 1 über dem Bondkanal 4 domartig angeordnet.
Fig. 5 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils 1 mit aufgelegtem Verbundfolienband
22 über dem Bondkanal 4 unter Einwirkung von Wärme in Pfeil
richtung W und Schrumpfungseffekten in Pfeilrichtung S. Die
Wärme wirkt dabei relativ gleichmäßig auf die Oberfläche des
Verbundfolienbandes 22 ein. Dabei wird das Abdeckband 23, das
in diesem Ausführungsbeispiel aus einem Schrumpffolienband 28
besteht, nicht schmelzflüssig, sondern schrumpft lediglich,
während die Kunststoffmasse 29 des Folienbandes 11 schmelz
flüssig wird. Somit wird die schmelzflüssige Kunststoffmasse
29 mittels des erwärmten Schrumpffolienbandes 28 in den Bondkanal
4 gedrückt und benetzt gleichzeitig die Oberflächen des
Bondkanals, wobei die Bondverbindungen 14 vollständig in
Kunststoffmasse 29 eingebettet werden.
Dieses Einbetten der Bonddrähte 10 und das Ausgießen des
Bondkanals 4 kann durch ein Evakuieren in Pfeilrichtung A un
terstützt werden. Ein derartiges Evakuieren oder Absaugen des
Gaspolsters im Bondkanal 4 kann jedoch nicht über das Chip 2
erfolgen, sondern ist dann möglich, wenn das Laminat 5 als
seine isolierende Schicht 31 einen offenporigen Kunststoff
verwendet. Bei einem gasdichten Laminat 5 wird vorzugsweise
in einer Vakuumkammer dafür gesorgt, dass kein Gaspolster
zwischen der aufgelegten Verbundfolie 22 und dem Bondkanal 4
vorhanden ist.
Fig. 6 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht eines
elektronischen Bauteils 1 nach der Einwirkung von Wärme auf
das Verbundfolienband 22. Komponenten der Fig. 6 mit glei
chen Funktionen wie in den Fig. 4 und 5 werden mit glei
chen Bezugszeichen bezeichnet und nicht erneut erläutert. Wie
Fig. 6 zeigt, ist der Bondkanal 4 zusätzlich zu der Kunst
stoffmasse, welche die Bonddrähte einbettet und die Oberflä
chen des Bondkanals 4 benetzt, von einem Abdeckband 22 abge
deckt. Dieses Abdeckband läßt in dieser Ausführungsform der
Erfindung höhere Betriebstemperaturen zu als es das erste
Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ermöglicht. Ferner ist mit
diesem Abdeckband 23 sichergestellt, dass die Randbereiche
24, 25 der Verbundfolie 22 auf keinen Fall sich durch Wärme
einwirkung verändern in der Weise, dass sie die Lötkontakt
flächen 8 verschmutzen. Vielmehr kann sich der Abstand a zu
den Lötkontaktflächen noch durch den Schrumpfeffekt geringfü
gig vergrößern, falls die Adhesion zwischen Lötmaskenschicht
27 und Abdeckband 22 eine Verschiebung im erwärmten Zustand
zulässt. Eine minimale Überhöhung h der Bondkanalabdeckung
ist durch die Überhöhung der Bonddrahtverbindung 14 plus der
Dicke des Abdeckbandes 23 gegeben. Die Überhöhung h wird so
bemessen, dass sie in jedem Fall geringer ist als die Überhöhung
durch die auf den Lötkontaktflächen 8 zu positionieren
den Außenanschlußhöcker oder Außenanschlußbälle des elektro
nischen Bauteils 1.
Ein Vorteil dieser zweiten Ausführungsform der Erfindung ge
genüber der ersten Ausführungsform der Erfindung liegt im we
sentlichen darin, dass höhere Betriebstemperaturen für ein
derartig gestaltetes elektronisches Bauteil 1 zugelassen wer
den können, da die Kunststoffmasse im Bondkanal durch das hö
herschmelzende Schrumpffolienband 28 noch in Position gehal
ten wird, wenn bereits die Kunststoffmasse 29 selbst in
fließfähiger Form vorliegt.
Die obigen Ausführungsformen der Fig. 1 bis 6 dienen der
Erläuterung der Erfindung und begrenzen nicht den durch die
Ansprüche definierten Schutzumfang der Erfindung.
1
elektronisches Bauteil
2
Chip
3
Kontaktflächen
4
Bondkanal
5
Laminat
6
Kontaktanschlussflächen
7
Leiterbahnen
8
Lötkontaktflächen
9
aktive Oberfläche des Chips
10
Bonddrähte
11
Folienband
12
,
13
Randbereiche des Bondkanals
14
Bonddrahtverbindungen
15
,
16
Randbereiche des Folienbandes
17
Mittenbereich des Folienbandes
18
Auswölbung des Folienbandes
19
Verdickung des Folienbandes
20
,
21
konvex gekrümmte Konturlinien des Folienbandes
22
Verbundfolienband
23
Abdeckband
24
,
25
Randbereiche des Abdeckbandes
26
Kanalboden
27
Lötmaskenschicht
28
Schrumpffolienband
29
Kunststoffmasse
30
Klebstoffschicht
31
isolierende Schicht des Laminats
32
metallische Schicht des Laminats
Claims (22)
1. Elektronisches Bauteil mit einem Chip (2) mit Kontakt
flächen (3) entlang einem Bondkanal (4) oder in Bond
flecken und mit einem Laminat (5), das Kontaktanschluß
flächen 6, Leiterbahnen (7) und Lötkontaktflächen (8)
trägt und den Bondkanal (4) bzw. die Bondflecken umgibt
und auf der aktiven Oberfläche (9) des Chips (2) ange
ordnet ist, wobei die Kontaktflächen (3) mit den Kontak
tanschlußflächen (6) über Bonddrähte (10) verbunden
sind, und wobei die Bonddrähte mittels eines fließfähi
gen Folienbandes (11) oder mittels fließfähiger Folien
flecken, welche die Randbereiche (12, 13) des Bondkanals
(4) bzw. der Bondflecken überlappen, von Vergußmasse im
Bondkanal (4) umgeben sind.
2. Folienband zum Abdecken von Bonddrahtverbindungen (14)
eines Bondkanals (4) oder auf Bondflecken von elektroni
schen Bauteilen (1), wobei das Folienband (11) minde
stens zwei vorgeformte einander gegenüberliegende Rand
bereiche (15, 16), welche die Randbereiche des Bondka
nals (12, 13) bzw. der Bondflecken überlappend abdecken
aufweist, und wobei das Folienband (11) einen dazwischen
liegenden vorgeformten Mittenbereich (17) aufweist, der
eine Auswölbung (18) und Verdickung (19) aufweist und
der im Querschnitt zwei konvex gekrümmte Konturlinien
(20, 21) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Folienband (11) ein Verbundband (22) aus einem Foli
enband (11) mit unterschiedlicher Dicke über dem Quer
schnitt nach Anspruch (2) und einem Abdeckband (23) von
gleichförmiger Dicke ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Abdeckband (23) aus einem Schrumpfmaterial herge
stellt ist und die Randbereiche des Abdeckbandes (24,
25) auf den Randbereichen (12, 13) des Bondkanals (4)
adhäsiv befestigt sind.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine Verdickung (19) in einem Mittenbereich (17) des Fo
liebandes (11) dem Bondkanalvolumen angepaßt ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
gegenüberliegende Randbereiche (15, 16) des Folienbandes
(11), welche die Randbereiche des Bondkanals (12, 13)
überlappen, gasdicht mit den Randbereiche des Bondkanals
(12, 13) verbunden sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fließfähigkeit des Folienbandes (11) bei einer
Schwellentemperatur einsetzt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Verhältnis zwischen der maximalen Dicke in einem
Mittenbereich (17) des Folienbandes (11) zu der Dicke in
Randbereichen (15, 16) 3 : 1 ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Verhältnis zwischen der maximalen Dicke in einem
Mittenbereich (17) des Folienbandes (11) zu der Dicke in
Randbereichen (15, 16) 5 : 1 ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine konvexe Krümmung (20, 21) des Folienbandes (11) im
Mittenbereich (17) seines Querschnitts größer ist als
eine Überhöhung der Bond-Drahtverbindung (14) über den
Bondkanal (4) hinaus.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein bondkanalbildendes Laminat (5) einen porösen Kunst
stoff aufweist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein bondkanalbildendes Laminat (5) aus gasdichtem Kunst
stoff aufgebaut ist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Bondkanal (4) an seinem Kanalboden (26) Kontaktflä
chen (3) eines Halbleiterchips (2) aufweist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
das bondkanalbildende Laminat (5) auf seiner dem Folien
band (11) zugewandten Oberfläche Kontaktanschlussflächen
(6), Leiterbahnen (7) und Lötkontaktflächen (8) auf
weist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet, daß
das bondkanalbildende Laminat (5) auf seiner dem Folien
band (11) zugewandten Oberfläche eine Lötmaskenschicht
(27) aufweist, die teilweise die Leiterbahnen (7) ab
deckt und sowohl die Kontaktanschlußflächen (6) für ein
Bonden als auch die Lötkontaktflächen (8) für ein Auf
bringen von Löthöckern oder Lötbällen freigibt.
16. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils
(1) mit einem Halbleiterchip (2), einem Laminat (5), das
Kontaktanschlußflächen (6), Leiterbahnen (7) und Lötkon
taktflächen (8) trägt und Bondkanäle (4) oder Bondflec
ken aufweist, welche die Oberfläche des Halbleiterchips
(2) freigeben, auf der sich am Bondboden (26) Kontakt
flächen (3) befinden, wobei Bonddrähte (10) die Kontakt
flächen (3) in dem Bondkanal (4) bzw. den Bondflecken
mit den Kontaktanschlußflächen (6) auf dem Laminat (5)
verbinden, wobei das Verfahren folgende Verfahrens
schritte aufweist:
- - nach Fertigstellen der Bonddrahtverbindungen, Posi tionieren eines Folienbandes (11) über dem Bondka nal (4) bzw. den Bondflecken unter Überlappung von Randbereichen des Bondkanals (12, 13) bzw. der Bondflecken durch Randbereiche des Folienbandes (15, 16),
- - Auflaminieren der Randbereiche (15, 16) des Folien bandes (11) auf die Randbereiche (12, 13) des Bond kanals (4) bzw. der Bondflecken, so daß ein konvex gekrümmter Mittenbereich (17) des Folienbandes (11) den Bondkanal (4) bzw. die Bondflecken mit den Bonddrähten (10) überwölbt,
- - Erwärmen des Folienbandes (11) und Vergießen der Bonddrähte (10) unter Aufschmelzen des Folienbandes (11) im Mittenbereich (17), auf eine Fließtempera tur des Folienbandes (11) und
- - Abkühlen des Folienbandes (11) in dem Bondkanal (4) bzw. in den Bondflecken.
17. Verfahren nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein poröses Laminat (5) verwendet wird, über das Luft
polster im Bondkanal (4) bzw. in den Bondflecken beim
Erweichen des Folienbandes (11) im Mittenbereich (17)
entweichen.
18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Auflaminieren des Folienbandes (11) unter Vakuum
durchgeführt wird.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
zum Erwärmen des Mittenbereichs (17) des Folienbandes
(11) ein Heizstempel eingesetzt wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
zum Erwärmen des Mittenbereichs (17) des Folienbandes
(11) ein Infrarotstrahler eingesetzt wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 20,
dadurch gekennzeichnet, daß
zum Auflaminieren der Randbereiche des Folienbandes (15,
16) auf die Randbereiche des Bondkanals (4) bzw. der
Bondflecken ein gescannter Laserstrahl eingesetzt wird.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 21,
dadurch gekennzeichnet, daß
im Falle einer Verbundfolie (22) aus Schrumpffolienband
(28) als Abdeckband (23) und Folienband (11) nach dem
Auflaminieren der Randbereiche des Schrumpffolienbandes
(28) auf die Randbereiche (12, 13) des Bondkanals (4)
mittels gescanntem Laserstrahl die Verbundfolie (22) er
wärmt wird und die Schrumpffolie (28) als Abdeckfolie
(23) den erweichten fließfähigen Mittenbereich des Foli
enbandes (11) in den Bondkanal (4) unter Einbetten der
Bonddrähte (10) presst.
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