DE10039824A1 - Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen - Google Patents

Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen

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Abstract

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, bei denen auf einem piezoelektrischen Substrat mehrere Eintor-Resonator-Strukturen nebeneinander angeordnet sind, die zwei Streifenreflektoren enthalten, welche einen ebenen Hohlraum einschließen, so zu verändern, dass die Einfügedämpfung der Filter insbesondere durch Verringerung der Dämpfung infolge Kaskadierung reduziert wird. DOLLAR A Zur Lösung der Aufgabe ist die Kombination folgender Merkmale vorgesehen: DOLLAR A a) die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) ist größer als zwei und DOLLAR A b) die Länge des ebenen Hohlraumes (24; 34; 44) mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2) unterscheidet sich von derjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen (3; 4). DOLLAR A Die Erfindung ist anwendbar bei Bauelementen auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, insbesondere bei Bandpassfiltern mit einer relativen Bandbreite in der Größenordnung von 0,1% und bei Oszillatoren.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet Elektrotechnik/­ Elektronik. Objekte, bei denen die Anwendung möglich und zweckmäßig ist, sind Bauelemente auf der Basis akustischer Oberflächenwellen wie Bandpassfilter mit einer relativen Bandbreite in der Größenordnung von 0,1 Prozent sowie Oszillatoren.
Es sind Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen bekannt, bei denen auf einem piezoelektrischen Substrat mehrere Eintor-Resonator-Strukturen nebeneinander angeordnet sind, die aus zwei Streifenreflektoren, die einen ebenen Hohlraum einschließen und deren Reflektorstreifen durch Kurzschlussstreifen kurzgeschlossen sind, und aus einem interdigitalen Wandler, der im ebenen Hohlraum angeordnet ist, bestehen, wobei in jeder Eintor-Resonator-Struktur die Streifengebiete der Streifenreflektoren bzw. die Zinkengebiete der interdigitalen Wandler zusammen mit den Kurzschlussstreifen bzw. mit den Sammelelektroden Wellenleiter für akustische Oberflächenwellen bilden und die Eintor-Resonator-Strukturen wegen des Wellenleitereffekts miteinander gekoppelt sind.
Die am weitesten verbreitete spezielle Ausführungsform besteht aus zwei Eintor-Resonator-Strukturen (M. Tanaka, T. Morita, K. Ono und Y. Nakazawa, "Narrow bandpass filter using double-mode SAW resonators on quartz", 38th Annual Frequency Control Symposium 1984, S 286-293 [1]). Die beiden Wandler, die als Filterein- bzw. ausgang betrieben werden, haben eine gemeinsame Sammelelektrode, die mit Massepotential verbunden ist. Meistens sind zwei identische Filter dieser Art zu einer Kaskade verschaltet.
Bei einer zweiten speziellen Ausführung ist das Resonatorfilter aus vier Eintor-Resonator-Strukturen zusammengesetzt (G. Martin, B. Wall, R. Kunze und M. Weihnacht, "Four Modes Waveguide Resonator Filters", 1993 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, S. 35-39 [2]). Alle benachbarten Wandler haben gemeinsame Sammelelektroden. Die jeweils zwei äußeren bzw. inneren Wandler haben die gleiche Apertur, gleiche Breite, Abstand und Anzahl von Wandlerzinken und Reflektorstreifen und sind jeweils parallel geschaltet. Diese Wandlerparallelschaltungen werden als Filterein- und ausgang betrieben. Der beschriebene Aufbau hat zur Folge, dass die Potentialverteilung in solchen Filtern symmetrisch oder antisymmetrisch in Bezug auf die horizontale Mittellinie des Filters ist. Demzufolge können mit Hilfe solcher Filterstrukturen nur symmetrische bzw. antisymmetrische Wellenleitermoden angeregt und empfangen werden.
Eine weitere spezielle Ausführung besteht wie die Ausführung [1] aus zwei Eintor-Resonator-Strukturen. Im Unterschied zu [1] haben die beiden Eintor-Resonator-Strukturen jedoch unterschiedliche Längen des ebenen Hohlraumes (DE 196 50 583 [3]). Dies ergibt sich u. a. daraus, dass sich der Abstand der zwei zentralen Wandlerzinken in den Eintor-Resonator-Strukturen unterscheidet. Der Wellenleiter ist also nicht mehr symmetrisch zur horizontalen Mittellinie der Struktur aufgebaut. Das wirkt sich auch auf das Profil der Wellenleitermoden aus, das infolgedessen nicht mehr symmetrisch oder antisymmetrisch, sondern asymmetrisch ist. Eine weitere Besonderheit ist die starke Frequenzabhängigkeit der Energieverteilung in den Eintor-Resonator-Strukturen. So gibt es wesentliche Unterschiede an den beiden Resonanzen, die das Passband bilden.
Während an der niederfrequenten Resonanz die Wellenenergie in der Eintor-Resonator-Struktur mit dem längeren ebenen Hohlraum größer ist als in der mit dem kürzeren ebenen Hohlraum, sind die Verhältnisse an der höherfrequenten Resonanz genau umgekehrt. Im Gegensatz dazu ist bei den Ausführungen [1] und [2] die Energie an jeder Resonanz symmetrisch zur horizontalen Mittellinie der jeweiligen Struktur verteilt.
Bei der Kaskadierung von zwei identischen Filtern der Ausführung [3] kann man in Umgebung der nieder- bzw. höherfrequenten Resonanz in den Koppelwandlern eine erhöhte Energiedichte erzeugen. Infolgedessen erhöht sich der reelle Leitwert der Koppelwandler, während deren Kapazität unverändert bleibt. Deshalb wird der effektive Koppelfaktor erhöht. Das führt zur Vergrößerung der Resonanzaufspaltung, die eine Folge der Kaskadierung ist, der nieder- bzw. höherfrequenten Resonanz. Andererseits sollte ein erhöhter effektiver Koppelfaktor den Dämpfungsanteil infolge Kaskadierung herabsetzen. Jedoch gelingt das nicht, weil aufgrund der verringerten Energiedichte in den Koppelwandlern in Umgebung der jeweils zweiten Resonanz der effektive Koppelfaktor im gleichen Maße verringert wird.
Der Nachteil der Ausführung [3] besteht darin, dass die Dämpfung infolge Kaskadierung und dadurch die Einfügedämpfung der Filter zu groß ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen der bekannten Art so zu verändern, dass die Einfügedämpfung der Filter insbesondere durch Verringerung der Dämpfung infolge Kaskadierung reduziert wird.
Zur Lösung der Aufgabe ist die Kombination folgender Merkmale vorgesehen:
  • a) Die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen ist größer als zwei und
  • b) die Länge des ebenen Hohlraumes mindestens einer Eintor- Resonator-Struktur unterscheidet sich von derjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen größer als zwei ist, kann einer der Wandler aus zwei parallel geschalteten Teilen zusammengesetzt werden, die sich auch in der Länge des ebenen Hohlraumes unterscheiden können. Was durch diese Maßnahme erreicht werden kann, wird im folgenden an einem Beispiel erläutert.
Es wird eine Filterkaskade betrachtet, bei der zwei Resonatorfilter so in Reihe geschaltet sind, dass der Koppelwandler in beiden Einzelfiltern zu einer Eintor- Resonator-Struktur mit längerem Hohlraum gehört. Demzufolge ist die Wellenenergie in den Koppelwandlern in Umgebung der niederfrequenten Resonanz größer als in Umgebung der höherfrequenten Resonanz. Das hat eine erhöhte bzw. Verringerte Aufspaltung der niederfrequenten bzw. höherfrequenten Resonanz zur Folge. Die beiden Teile eines der Wandler können so im Wellenleiter angeordnet werden, dass - gleiche Polarität der Wandlerteile vorausgesetzt - Anregung bzw. Empfang der höherfrequenten Resonanz herabgesetzt sind. Dadurch wird der reelle Leitwert in Umgebung der höherfrequenten Resonanz kleiner. Wird die Filterkaskade an den Quell- und Lastwiderstand angepasst, so kann eine größere Bandbreite erreicht werden, ohne dass dadurch die Einfügedämpfung ansteigt. Das ist eine ungewöhnliche Eigenschaft, denn in allen bekannten Fällen steigt die Einfügedämpfung mit wachsender Bandbreite an. Infolgedessen kann auch der umgekehrte Weg beschritten werden: Gleichzeitig mit der Erhöhung der Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen von zwei auf im Beispiel drei wird die Bandbreite beispielsweise durch proportionale Vergrößerung der Wandler- und Reflektoraperturen in allen Eintor-Resonator-Strukturen konstant gehalten. Als Ergebnis nimmt die Einfügedämpfung ab, ohne dass die Bandbreite kleiner geworden wäre.
Die Erfindung kann wie folgt zweckmäßig ausgestaltet sein. Die Wandler aller Eintor-Resonator-Strukturen können gleich viele Zinken mit gleicher Breite haben, wobei sich die Breite der Lücke zwischen den zwei zentralen Zinken mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur von derjenigen der übrigen Eintor- Resonator-Strukturen unterscheidet. Die Breite der Wandlerzinken, Reflektorstreifen und Lücken zwischen ihnen in mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur kann sich aber auch um ein und denselben Faktor von denjenigen in den übrigen Eintor-Resonator-Strukturen unterscheiden.
Als Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen vier oder drei zu wählen, ist besonders zweckmäßig.
Wenn Ein- und Ausgang des betrachteten Filters unsymmetrisch angesteuert werden, ist es zweckmäßig, wenn benachbarte Sammelelektroden von Wandlern benachbarter Eintor-Resonator- Strukturen gemeinsame Sammelelektroden bilden.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen vier beträgt, können die Längen des ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator-Struktur, gezählt von einer äußeren Sammelelektrode an, untereinander gleich sein und die Längen des ebenen Hohlraumes der dritten und vierten Eintor- Resonator-Struktur untereinander gleich, jedoch von den Längen des ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator- Struktur verschieden sein. Je zwei Wandler können dabei parallel geschaltet sein.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen drei beträgt, sind folgende Ausgestaltungen besonders zweckmäßig:
Die Längen des ebenen Hohlraumes der zweiten und dritten Eintor-Resonator-Struktur, gezählt von einer äußeren Sammelelektrode an, können untereinander gleich sein und von der Länge des ebenen Hohlraumes der ersten Eintor-Resonator- Struktur verschieden sein. Das Gebiet zwischen der inneren Sammelelektrode des Wandlers der ersten Eintor-Resonator- Struktur und der benachbarten Sammelelektrode der benachbarten Eintor-Resonator-Struktur kann mit Streifengittern ausgefüllt sein, deren Streifen auf gleichem Potential liegen und deren Breite und Abstand mit Breite und Abstand der Wandlerzinken bzw. Reflektorstreifen in der ersten Eintor-Resonator-Struktur übereinstimmen. Dabei können zwei der drei Wandler parallel geschaltet sein.
Die folgenden zwei Ausgestaltungen sind für die Lösung der Aufgabe der Erfindung besonders zweckmäßig.
Es können diejenigen Wandler parallel geschaltet sein, deren eine Sammelelektrode eine äußere Sammelelektrode ist, wobei die zwei parallel geschalteten Wandler die gleiche Polarität haben.
Es können aber auch diejenigen Wandler parallel geschaltet sein, die benachbart sind und zu Eintor-Resonator-Strukturen mit unterschiedlicher Länge des ebenen Hohlraumes gehören, wobei die zwei parallel geschalteten Wandler entgegengesetzte Polarität haben.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen vier beträgt und je zwei Wandler verschiedener Eintor-Resonator-Strukturen parallel geschaltet sind, so ist es zweckmäßig, wenn zwei identische Filter eine Filterkaskade bilden, bei der bei beiden Filtern die gleiche Wandlerparallelschaltung als Koppelwandler benutzt ist, wobei als Koppelwandler jeweils diejenige Wandlerparallelschaltung bezeichnet ist, die mit einer Wandlerparallelschaltung des jeweils anderen Filters verbunden ist.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen drei beträgt und zwei der drei Wandler parallel geschaltet sind, so ist es zweckmäßig, wenn zwei identische Filter eine Filterkaskade bilden, bei der derjenige Wandler, der nicht Teil einer Parallelschaltung ist, als Koppelwandler benutzt ist, wobei als Koppelwandler jeweils derjenige Wandler bezeichnet ist, der mit einem Wandler, der nicht Teil einer Parallelschaltung ist, des jeweils anderen Filters verbunden ist.
Die Erfindung ist nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zugehörigen Zeichnung näher erläutert.
Auf einem piezoelektrischen Substrat 1 sind drei Eintor- Resonator-Strukturen 2, 3 und 4 nebeneinander angeordnet. Sie enthalten in gleicher Reihenfolge die Reflektoren 22 und 23, 32 und 33 sowie 42 und 43. Die Reflektoren 22 und 23, 32 und 33, 42 und 43 schließen den ebenen Hohlraum 24, 34 bzw. 44 ein, in dem die interdigitalen Wandler 21, 31 bzw. 41 angeordnet sind. Der Wandler 21 besteht aus den Sammelelektroden 211 und 213 und den Zinken 212. Der Wandler 31 besteht aus den Sammelelektroden 311 und 313 und den Zinken 312. Der Wandler 41 bildet mit dem Wandler 31 die gemeinsame Sammelelektrode 313 und besteht außerdem aus der Sammelelektrode 412 und den Zinken 411. Die Reflektoren 22 und 23 sind aus den Reflektorstreifen 222 bzw. 232 und den Kurzschlussstreifen 221 und 223 bzw. 231 und 233 zusammengesetzt. Die Reflektoren 32 und 33 sind aus den Reflektorstreifen 322 bzw. 332 und den Kurzschlussstreifen 321 und 323 bzw. 331 und 333 zusammengesetzt. Die Reflektoren 42 und 43 bilden mit den Reflektoren 32 bzw. 33 gemeinsame Kurzschlussstreifen 323 bzw. 333 und sind außerdem aus den Reflektorstreifen 421 bzw. 431 und den Kurzschlussstreifen 422 bzw. 432 zusammengesetzt.
Das Gebiet 5, das von der inneren Sammelelektrode 213 und den Kurzschlussstreifen 223 und 233 der Eintor-Resonator-Struktur 2 einerseits und der Sammelelektrode 311 und den Kurzschlussstreifen 321 und 331 der benachbarten Eintor- Resonator-Struktur andererseits eingeschlossen wird, ist mit den Streifengittern 511, 512 und 513 ausgefüllt. Alle Streifen dieser Streifengitter haben das gleiche elektrische Potential. Breite und Abstand der Streifen der Streifengitter 511 bzw. 512 und 513 stimmen mit Breite und Abstand der Zinken des Wandlers 21 bzw. mit Breite und Abstand der Reflektorstreifen der Reflektoren 22 und 23 überein.
Die ebenen Hohlräume 34 und 44 der Eintor-Resonator-Strukturen 3 und 4 sind gleich lang und länger als der ebene Hohlraum 24 der Eintor-Resonator-Struktur 2. Dementsprechend sind die Zinken der Wandler 31 und 41 hinsichtlich Breite und Abstand gleich, jedoch breiter und weiter voneinander entfernt als die Zinken des Wandlers 21. Die Reflektorstreifen (322; 332) der Reflektoren 32 bzw. 33 sind genauso breit und genauso weit voneinander entfernt wie die Reflektorstreifen (421; 431) der Reflektoren 42 bzw. 43. Alle Wandlerzinken 312, alle Refektorstreifen 322 und 332 der Eintor-Resonator-Struktur 3 bzw. die entsprechenden Lücken zwischen ihnen sind um ein und denselben Faktor breiter als die Wandlerzinken 212, die Reflektorstreifen 222 und 232 der Eintor-Resonator-Struktur 2 bzw. die entsprechenden Lücken zwischen ihnen. Das Gleiche trifft auch auf die Wandlerzinken 411 bzw. die Reflektorstreifen 421 und 431 der Eintor-Resonator-Struktur 4 zu.
Die Kurzschlussstreifen 221 und 231, 223 und 233, 321 und 331, 323 und 333 sowie 422 und 432 der Streifenreflektoren stellen in gleicher Reihenfolge die Verlängerung der Sammelelektroden 211, 213, 311, 313 und 412 dar. Jede Eintor-Resonator-Struktur ist ein Wellenleiter für akustische Oberflächenwellen, der die Wellen im Zinken- und Reflektorstreifengebiet führt. Die innereren Sammelelektroden 213, 311 und 313 beeinflussen die Kopplung zwischen den einzelnen Wellenleitern.
Der Wandler 31 ist über die leitfähige Verbindung 71 an den Filterausgang 7 angeschlossen. Die Wandler 21 und 41 sind über die leitfähige Verbindung 6 parallel geschaltet und an den Filtereingang 8 angeschlossen. Die zweite Verbindung ist über das Streifengitter 513 und den Reflektor 33 hergestellt. Die Reflektoren 42 und 43 sind über die leitfähigen Verbindungen 9 bzw. 10 an das Massepotential angeschlossen. Dadurch sind auch die Reflektoren 22, 32, 23 und 33 sowie die Streifengitter 512 und 513 an das Massepotential angeschlossen.
Infolge der größeren Länge der ebenen Hohlräume 34 und 44 verglichen mit der Länge des ebenen Hohlraumes 24 ist die Dichte der Wellenenergie und als Folge davon auch der effektive Koppelfaktor in Umgebung der niederfrequenten Resonanz in der Eintor-Resonator-Struktur 3 besonders groß. Aus zwei Resonatorfiltern, von denen eines in der Zeichnung dargestellt ist, kann eine Filterkaskade gebildet werden, indem der Anschluss. 7 des ersten Filters, der dessen Ausgang ist, mit dem Anschluss 7 des zweiten Filters, der dessen Eingang ist, verbunden ist. Bei beiden Resonatorfiltern ist der Wandler 31 der Koppelwandler. Aufgrund des erhöhten effektiven Koppelfaktors in den Koppelwandlern wird in Umgebung der niederfrequenten Resonanz die Dämpfung infolge Kaskadierung herabgesetzt. Die Parallelschaltung der Wandler 21 und 41, die die gleiche Polarität haben, führt zur Verringerung von Anregung und Empfang der höherfrequenten Resonanz. Dadurch wird der reelle Leitwert in Umgebung der höherfrequenten Resonanz kleiner. Das führt letztendlich zur Herabsetzung der Dämpfung infolge Kaskadierung.

Claims (15)

1. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, bei dem auf einem piezoelektrischen Substrat (1) mehrere Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) nebeneinander angeordnet sind, die aus zwei Streifenreflektoren (22 und 23; 32 und 33; 42 und 43), die einen ebenen Hohlraum (24; 34; 44) einschließen und deren Reflektorstreifen (222; 232; 322; 332; 421; 431) durch Kurzschlussstreifen (221; 223; 231; 233; 321; 331; 323; 333; 422; 432) kurzgeschlossen sind, und aus einem interdigitalen Wandler (21; 31; 41), der im ebenen Hohlraum (24; 34; 44) angeordnet ist, bestehen, wobei in jeder Eintor-Resonator-Struktur (2; 3; 4) die Streifengebiete der Streifenreflektoren (22; 23; 32; 33; 42; 43) bzw. die Zinkengebiete der interdigitalen Wandler (21; 31; 41) zusammen mit den Kurzschlussstreifen (221; 223; 231; 233; 321; 331; 323; 333; 422; 432) bzw. mit den Sammelelektroden (211; 213; 311; 313; 412) Wellenleiter für akustische Oberflächenwellen bilden und die Eintor- Resonator-Strukturen (2; 3; 4) wegen des Wellenleitereffekts miteinander gekoppelt sind, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale:
  • a) Die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) ist größer als zwei und
  • b) die Länge des ebenen Hohlraumes (24; 34; 44) mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2) unterscheidet sich von derjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen (3; 4).
2. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandler (21; 31; 41) aller Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) gleich viele Zinken (212; 312; 411) mit gleicher Breite haben, und dass sich die Breite der Lücke zwischen den zwei zentralen Zinken mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2; 3; 4) von denjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen unterscheidet.
3. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandler (21; 31; 41) aller Eintor-Resonator-Strukturen gleich viele Zinken (212; 312; 411) haben, wobei sich die Breite der Wandlerzinken (212; 312; 411), Reflektorstreifen (222; 232; 322; 332; 421; 431) und Lücken zwischen ihnen in mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2) um ein und denselben Faktor von denjenigen in den übrigen Eintor- Resonator-Strukturen (3; 4) unterscheidet.
4. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) vier beträgt.
5. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) drei beträgt.
6. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass benachbarte Sammelelektroden von Wandlern (31; 41) benachbarter Eintor-Resonator-Strukturen (3; 4) gemeinsame Sammelelektroden (313) bilden.
7. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Längen des ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator- Struktur, gezählt von einer äußeren Sammelelektrode (211; 412) an, untereinander gleich sind und die Längen des ebenen Hohlraumes der dritten und vierten Eintor-Resonator- Struktur untereinander gleich, jedoch von den Längen des ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator- Struktur verschieden sind.
8. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass je zwei Wandler parallel geschaltet sind.
9. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Längen des ebenen Hohlraumes (34; 44) der zweiten und dritten Eintor- Resonator-Struktur (3; 4), gezählt von einer äußeren Sammelelektrode (211; 412) an, untereinander gleich sind und von der Länge des ebenen Hohlraumes (24) der ersten Eintor- Resonator-Struktur (2) verschieden sind.
10. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Gebiet zwischen der inneren Sammelelektrode (213) des Wandlers (21) der ersten Eintor-Resonator-Struktur (2) und der benachbarten Sammelelektrode (311) der benachbarten Eintor-Resonator-Struktur (3) mit Streifengittern ausgefüllt ist (511; 512; 513), deren Streifen auf gleichem Potential liegen und deren Breite und Abstand mit Breite und Abstand der Wandlerzinken (212) bzw. Reflektorstreifen (222; 232) in der ersten Eintor-Resonator-Struktur (2) übereinstimmen.
11. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwei (21; 41) der drei Wandler (21; 31; 41) parallel geschaltet sind.
12. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass diejenigen Wandler parallel geschaltet sind, deren eine Sammelelektrode eine äußere Sammelelektrode (211; 412) ist, wobei die zwei parallel geschalteten Wandler (21; 41) die gleiche Polarität haben.
13. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass diejenigen Wandler parallel geschaltet sind, die benachbart sind und zu Eintor-Resonator-Strukturen mit unterschiedlicher Länge des ebenen Hohlraumes gehören, wobei die zwei parallel geschalteten Wandler entgegengesetzte Polarität haben.
14. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, dadurch gekennzeichnet, dass zwei identische Filter nach Anspruch 8 eine Filterkaskade bilden, bei der bei beiden Filtern die gleiche Wandlerparallelschaltung als Koppelwandler benutzt ist, wobei als Koppelwandler jeweils diejenige Wandlerparallelschaltung bezeichnet ist, die mit einer Wandlerparallelschaltung des jeweils anderen Filters verbunden ist.
15. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, dadurch gekennzeichnet, dass zwei identische Filter nach Anspruch 12 oder 13 eine Filterkaskade bilden, bei der derjenige Wandler (31), der nicht Teil einer Parallelschaltung ist, als Koppelwandler benutzt ist, wobei als Koppelwandler jeweils derjenige Wandler bezeichnet ist, der mit einem Wandler, der nicht Teil einer Parallelschaltung ist, des jeweils anderen Filters verbunden ist.
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