DE10039824A1 - Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen - Google Patents
Resonatorfilter auf der Basis akustischer OberflächenwellenInfo
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Abstract
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, bei denen auf einem piezoelektrischen Substrat mehrere Eintor-Resonator-Strukturen nebeneinander angeordnet sind, die zwei Streifenreflektoren enthalten, welche einen ebenen Hohlraum einschließen, so zu verändern, dass die Einfügedämpfung der Filter insbesondere durch Verringerung der Dämpfung infolge Kaskadierung reduziert wird. DOLLAR A Zur Lösung der Aufgabe ist die Kombination folgender Merkmale vorgesehen: DOLLAR A a) die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) ist größer als zwei und DOLLAR A b) die Länge des ebenen Hohlraumes (24; 34; 44) mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2) unterscheidet sich von derjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen (3; 4). DOLLAR A Die Erfindung ist anwendbar bei Bauelementen auf der Basis akustischer Oberflächenwellen, insbesondere bei Bandpassfiltern mit einer relativen Bandbreite in der Größenordnung von 0,1% und bei Oszillatoren.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet Elektrotechnik/
Elektronik. Objekte, bei denen die Anwendung möglich und
zweckmäßig ist, sind Bauelemente auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen wie Bandpassfilter mit einer relativen
Bandbreite in der Größenordnung von 0,1 Prozent sowie
Oszillatoren.
Es sind Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen bekannt, bei denen auf einem
piezoelektrischen Substrat mehrere Eintor-Resonator-Strukturen
nebeneinander angeordnet sind, die aus zwei
Streifenreflektoren, die einen ebenen Hohlraum einschließen und
deren Reflektorstreifen durch Kurzschlussstreifen
kurzgeschlossen sind, und aus einem interdigitalen Wandler, der
im ebenen Hohlraum angeordnet ist, bestehen, wobei in jeder
Eintor-Resonator-Struktur die Streifengebiete der
Streifenreflektoren bzw. die Zinkengebiete der interdigitalen
Wandler zusammen mit den Kurzschlussstreifen bzw. mit den
Sammelelektroden Wellenleiter für akustische Oberflächenwellen
bilden und die Eintor-Resonator-Strukturen wegen des
Wellenleitereffekts miteinander gekoppelt sind.
Die am weitesten verbreitete spezielle Ausführungsform besteht
aus zwei Eintor-Resonator-Strukturen (M. Tanaka, T. Morita, K.
Ono und Y. Nakazawa, "Narrow bandpass filter using double-mode
SAW resonators on quartz", 38th Annual Frequency Control
Symposium 1984, S 286-293 [1]). Die beiden Wandler, die als
Filterein- bzw. ausgang betrieben werden, haben eine gemeinsame
Sammelelektrode, die mit Massepotential verbunden ist. Meistens
sind zwei identische Filter dieser Art zu einer Kaskade
verschaltet.
Bei einer zweiten speziellen Ausführung ist das Resonatorfilter
aus vier Eintor-Resonator-Strukturen zusammengesetzt (G.
Martin, B. Wall, R. Kunze und M. Weihnacht, "Four Modes
Waveguide Resonator Filters", 1993 IEEE Ultrasonics Symposium
Proceedings, S. 35-39 [2]). Alle benachbarten Wandler haben
gemeinsame Sammelelektroden. Die jeweils zwei äußeren bzw.
inneren Wandler haben die gleiche Apertur, gleiche Breite,
Abstand und Anzahl von Wandlerzinken und Reflektorstreifen und
sind jeweils parallel geschaltet. Diese
Wandlerparallelschaltungen werden als Filterein- und ausgang
betrieben. Der beschriebene Aufbau hat zur Folge, dass die
Potentialverteilung in solchen Filtern symmetrisch oder
antisymmetrisch in Bezug auf die horizontale Mittellinie des
Filters ist. Demzufolge können mit Hilfe solcher
Filterstrukturen nur symmetrische bzw. antisymmetrische
Wellenleitermoden angeregt und empfangen werden.
Eine weitere spezielle Ausführung besteht wie die Ausführung
[1] aus zwei Eintor-Resonator-Strukturen. Im Unterschied zu [1]
haben die beiden Eintor-Resonator-Strukturen jedoch
unterschiedliche Längen des ebenen Hohlraumes (DE 196 50 583
[3]). Dies ergibt sich u. a. daraus, dass sich der Abstand der
zwei zentralen Wandlerzinken in den Eintor-Resonator-Strukturen
unterscheidet. Der Wellenleiter ist also nicht mehr symmetrisch
zur horizontalen Mittellinie der Struktur aufgebaut. Das wirkt
sich auch auf das Profil der Wellenleitermoden aus, das
infolgedessen nicht mehr symmetrisch oder antisymmetrisch,
sondern asymmetrisch ist. Eine weitere Besonderheit ist die
starke Frequenzabhängigkeit der Energieverteilung in den
Eintor-Resonator-Strukturen. So gibt es wesentliche
Unterschiede an den beiden Resonanzen, die das Passband bilden.
Während an der niederfrequenten Resonanz die Wellenenergie in
der Eintor-Resonator-Struktur mit dem längeren ebenen Hohlraum
größer ist als in der mit dem kürzeren ebenen Hohlraum, sind
die Verhältnisse an der höherfrequenten Resonanz genau
umgekehrt. Im Gegensatz dazu ist bei den Ausführungen [1] und
[2] die Energie an jeder Resonanz symmetrisch zur horizontalen
Mittellinie der jeweiligen Struktur verteilt.
Bei der Kaskadierung von zwei identischen Filtern der
Ausführung [3] kann man in Umgebung der nieder- bzw.
höherfrequenten Resonanz in den Koppelwandlern eine erhöhte
Energiedichte erzeugen. Infolgedessen erhöht sich der reelle
Leitwert der Koppelwandler, während deren Kapazität unverändert
bleibt. Deshalb wird der effektive Koppelfaktor erhöht. Das
führt zur Vergrößerung der Resonanzaufspaltung, die eine Folge
der Kaskadierung ist, der nieder- bzw. höherfrequenten
Resonanz. Andererseits sollte ein erhöhter effektiver
Koppelfaktor den Dämpfungsanteil infolge Kaskadierung
herabsetzen. Jedoch gelingt das nicht, weil aufgrund der
verringerten Energiedichte in den Koppelwandlern in Umgebung
der jeweils zweiten Resonanz der effektive Koppelfaktor im
gleichen Maße verringert wird.
Der Nachteil der Ausführung [3] besteht darin, dass die
Dämpfung infolge Kaskadierung und dadurch die Einfügedämpfung
der Filter zu groß ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Resonatorfilter auf
der Basis akustischer Oberflächenwellen der bekannten Art so zu
verändern, dass die Einfügedämpfung der Filter insbesondere
durch Verringerung der Dämpfung infolge Kaskadierung reduziert
wird.
Zur Lösung der Aufgabe ist die Kombination folgender Merkmale
vorgesehen:
- a) Die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen ist größer als zwei und
- b) die Länge des ebenen Hohlraumes mindestens einer Eintor- Resonator-Struktur unterscheidet sich von derjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen größer als zwei
ist, kann einer der Wandler aus zwei parallel geschalteten
Teilen zusammengesetzt werden, die sich auch in der Länge des
ebenen Hohlraumes unterscheiden können. Was durch diese
Maßnahme erreicht werden kann, wird im folgenden an einem
Beispiel erläutert.
Es wird eine Filterkaskade betrachtet, bei der zwei
Resonatorfilter so in Reihe geschaltet sind, dass der
Koppelwandler in beiden Einzelfiltern zu einer Eintor-
Resonator-Struktur mit längerem Hohlraum gehört. Demzufolge ist
die Wellenenergie in den Koppelwandlern in Umgebung der
niederfrequenten Resonanz größer als in Umgebung der
höherfrequenten Resonanz. Das hat eine erhöhte bzw. Verringerte
Aufspaltung der niederfrequenten bzw. höherfrequenten Resonanz
zur Folge. Die beiden Teile eines der Wandler können so im
Wellenleiter angeordnet werden, dass - gleiche Polarität der
Wandlerteile vorausgesetzt - Anregung bzw. Empfang der
höherfrequenten Resonanz herabgesetzt sind. Dadurch wird der
reelle Leitwert in Umgebung der höherfrequenten Resonanz
kleiner. Wird die Filterkaskade an den Quell- und
Lastwiderstand angepasst, so kann eine größere Bandbreite
erreicht werden, ohne dass dadurch die Einfügedämpfung
ansteigt. Das ist eine ungewöhnliche Eigenschaft, denn in allen
bekannten Fällen steigt die Einfügedämpfung mit wachsender
Bandbreite an. Infolgedessen kann auch der umgekehrte Weg
beschritten werden: Gleichzeitig mit der Erhöhung der Anzahl
der Eintor-Resonator-Strukturen von zwei auf im Beispiel drei
wird die Bandbreite beispielsweise durch proportionale
Vergrößerung der Wandler- und Reflektoraperturen in allen
Eintor-Resonator-Strukturen konstant gehalten. Als Ergebnis
nimmt die Einfügedämpfung ab, ohne dass die Bandbreite kleiner
geworden wäre.
Die Erfindung kann wie folgt zweckmäßig ausgestaltet sein.
Die Wandler aller Eintor-Resonator-Strukturen können gleich
viele Zinken mit gleicher Breite haben, wobei sich die Breite
der Lücke zwischen den zwei zentralen Zinken mindestens einer
Eintor-Resonator-Struktur von derjenigen der übrigen Eintor-
Resonator-Strukturen unterscheidet. Die Breite der
Wandlerzinken, Reflektorstreifen und Lücken zwischen ihnen in
mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur kann sich aber auch
um ein und denselben Faktor von denjenigen in den übrigen
Eintor-Resonator-Strukturen unterscheiden.
Als Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen vier oder drei zu
wählen, ist besonders zweckmäßig.
Wenn Ein- und Ausgang des betrachteten Filters unsymmetrisch
angesteuert werden, ist es zweckmäßig, wenn benachbarte
Sammelelektroden von Wandlern benachbarter Eintor-Resonator-
Strukturen gemeinsame Sammelelektroden bilden.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen vier beträgt,
können die Längen des ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten
Eintor-Resonator-Struktur, gezählt von einer äußeren
Sammelelektrode an, untereinander gleich sein und die Längen
des ebenen Hohlraumes der dritten und vierten Eintor-
Resonator-Struktur untereinander gleich, jedoch von den Längen
des ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator-
Struktur verschieden sein. Je zwei Wandler können dabei
parallel geschaltet sein.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen drei beträgt,
sind folgende Ausgestaltungen besonders zweckmäßig:
Die Längen des ebenen Hohlraumes der zweiten und dritten Eintor-Resonator-Struktur, gezählt von einer äußeren Sammelelektrode an, können untereinander gleich sein und von der Länge des ebenen Hohlraumes der ersten Eintor-Resonator- Struktur verschieden sein. Das Gebiet zwischen der inneren Sammelelektrode des Wandlers der ersten Eintor-Resonator- Struktur und der benachbarten Sammelelektrode der benachbarten Eintor-Resonator-Struktur kann mit Streifengittern ausgefüllt sein, deren Streifen auf gleichem Potential liegen und deren Breite und Abstand mit Breite und Abstand der Wandlerzinken bzw. Reflektorstreifen in der ersten Eintor-Resonator-Struktur übereinstimmen. Dabei können zwei der drei Wandler parallel geschaltet sein.
Die Längen des ebenen Hohlraumes der zweiten und dritten Eintor-Resonator-Struktur, gezählt von einer äußeren Sammelelektrode an, können untereinander gleich sein und von der Länge des ebenen Hohlraumes der ersten Eintor-Resonator- Struktur verschieden sein. Das Gebiet zwischen der inneren Sammelelektrode des Wandlers der ersten Eintor-Resonator- Struktur und der benachbarten Sammelelektrode der benachbarten Eintor-Resonator-Struktur kann mit Streifengittern ausgefüllt sein, deren Streifen auf gleichem Potential liegen und deren Breite und Abstand mit Breite und Abstand der Wandlerzinken bzw. Reflektorstreifen in der ersten Eintor-Resonator-Struktur übereinstimmen. Dabei können zwei der drei Wandler parallel geschaltet sein.
Die folgenden zwei Ausgestaltungen sind für die Lösung der
Aufgabe der Erfindung besonders zweckmäßig.
Es können diejenigen Wandler parallel geschaltet sein, deren
eine Sammelelektrode eine äußere Sammelelektrode ist, wobei die
zwei parallel geschalteten Wandler die gleiche Polarität haben.
Es können aber auch diejenigen Wandler parallel geschaltet
sein, die benachbart sind und zu Eintor-Resonator-Strukturen
mit unterschiedlicher Länge des ebenen Hohlraumes gehören,
wobei die zwei parallel geschalteten Wandler entgegengesetzte
Polarität haben.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen vier beträgt
und je zwei Wandler verschiedener Eintor-Resonator-Strukturen
parallel geschaltet sind, so ist es zweckmäßig, wenn zwei
identische Filter eine Filterkaskade bilden, bei der bei beiden
Filtern die gleiche Wandlerparallelschaltung als Koppelwandler
benutzt ist, wobei als Koppelwandler jeweils diejenige
Wandlerparallelschaltung bezeichnet ist, die mit einer
Wandlerparallelschaltung des jeweils anderen Filters verbunden
ist.
Wenn die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen drei beträgt
und zwei der drei Wandler parallel geschaltet sind, so ist es
zweckmäßig, wenn zwei identische Filter eine Filterkaskade
bilden, bei der derjenige Wandler, der nicht Teil einer
Parallelschaltung ist, als Koppelwandler benutzt ist, wobei als
Koppelwandler jeweils derjenige Wandler bezeichnet ist, der mit
einem Wandler, der nicht Teil einer Parallelschaltung ist, des
jeweils anderen Filters verbunden ist.
Die Erfindung ist nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels
und einer zugehörigen Zeichnung näher erläutert.
Auf einem piezoelektrischen Substrat 1 sind drei Eintor-
Resonator-Strukturen 2, 3 und 4 nebeneinander angeordnet. Sie
enthalten in gleicher Reihenfolge die Reflektoren 22 und 23, 32
und 33 sowie 42 und 43. Die Reflektoren 22 und 23, 32 und 33,
42 und 43 schließen den ebenen Hohlraum 24, 34 bzw. 44 ein, in
dem die interdigitalen Wandler 21, 31 bzw. 41 angeordnet sind.
Der Wandler 21 besteht aus den Sammelelektroden 211 und 213 und
den Zinken 212. Der Wandler 31 besteht aus den Sammelelektroden
311 und 313 und den Zinken 312. Der Wandler 41 bildet mit dem
Wandler 31 die gemeinsame Sammelelektrode 313 und besteht
außerdem aus der Sammelelektrode 412 und den Zinken 411. Die
Reflektoren 22 und 23 sind aus den Reflektorstreifen 222 bzw.
232 und den Kurzschlussstreifen 221 und 223 bzw. 231 und 233
zusammengesetzt. Die Reflektoren 32 und 33 sind aus den
Reflektorstreifen 322 bzw. 332 und den Kurzschlussstreifen 321
und 323 bzw. 331 und 333 zusammengesetzt. Die Reflektoren 42
und 43 bilden mit den Reflektoren 32 bzw. 33 gemeinsame
Kurzschlussstreifen 323 bzw. 333 und sind außerdem aus den
Reflektorstreifen 421 bzw. 431 und den Kurzschlussstreifen 422
bzw. 432 zusammengesetzt.
Das Gebiet 5, das von der inneren Sammelelektrode 213 und den
Kurzschlussstreifen 223 und 233 der Eintor-Resonator-Struktur 2
einerseits und der Sammelelektrode 311 und den
Kurzschlussstreifen 321 und 331 der benachbarten Eintor-
Resonator-Struktur andererseits eingeschlossen wird, ist mit
den Streifengittern 511, 512 und 513 ausgefüllt. Alle Streifen
dieser Streifengitter haben das gleiche elektrische Potential.
Breite und Abstand der Streifen der Streifengitter 511 bzw. 512
und 513 stimmen mit Breite und Abstand der Zinken des Wandlers
21 bzw. mit Breite und Abstand der Reflektorstreifen der
Reflektoren 22 und 23 überein.
Die ebenen Hohlräume 34 und 44 der Eintor-Resonator-Strukturen
3 und 4 sind gleich lang und länger als der ebene Hohlraum 24
der Eintor-Resonator-Struktur 2. Dementsprechend sind die
Zinken der Wandler 31 und 41 hinsichtlich Breite und Abstand
gleich, jedoch breiter und weiter voneinander entfernt als die
Zinken des Wandlers 21. Die Reflektorstreifen (322; 332) der
Reflektoren 32 bzw. 33 sind genauso breit und genauso weit
voneinander entfernt wie die Reflektorstreifen (421; 431) der
Reflektoren 42 bzw. 43. Alle Wandlerzinken 312, alle
Refektorstreifen 322 und 332 der Eintor-Resonator-Struktur 3
bzw. die entsprechenden Lücken zwischen ihnen sind um ein und
denselben Faktor breiter als die Wandlerzinken 212, die
Reflektorstreifen 222 und 232 der Eintor-Resonator-Struktur 2
bzw. die entsprechenden Lücken zwischen ihnen. Das Gleiche
trifft auch auf die Wandlerzinken 411 bzw. die
Reflektorstreifen 421 und 431 der Eintor-Resonator-Struktur 4
zu.
Die Kurzschlussstreifen 221 und 231, 223 und 233, 321 und 331,
323 und 333 sowie 422 und 432 der Streifenreflektoren stellen
in gleicher Reihenfolge die Verlängerung der Sammelelektroden
211, 213, 311, 313 und 412 dar. Jede Eintor-Resonator-Struktur
ist ein Wellenleiter für akustische Oberflächenwellen, der die
Wellen im Zinken- und Reflektorstreifengebiet führt. Die
innereren Sammelelektroden 213, 311 und 313 beeinflussen die
Kopplung zwischen den einzelnen Wellenleitern.
Der Wandler 31 ist über die leitfähige Verbindung 71 an den
Filterausgang 7 angeschlossen. Die Wandler 21 und 41 sind über
die leitfähige Verbindung 6 parallel geschaltet und an den
Filtereingang 8 angeschlossen. Die zweite Verbindung ist über
das Streifengitter 513 und den Reflektor 33 hergestellt. Die
Reflektoren 42 und 43 sind über die leitfähigen Verbindungen 9
bzw. 10 an das Massepotential angeschlossen. Dadurch sind auch
die Reflektoren 22, 32, 23 und 33 sowie die Streifengitter 512
und 513 an das Massepotential angeschlossen.
Infolge der größeren Länge der ebenen Hohlräume 34 und 44
verglichen mit der Länge des ebenen Hohlraumes 24 ist die
Dichte der Wellenenergie und als Folge davon auch der effektive
Koppelfaktor in Umgebung der niederfrequenten Resonanz in der
Eintor-Resonator-Struktur 3 besonders groß. Aus zwei
Resonatorfiltern, von denen eines in der Zeichnung dargestellt
ist, kann eine Filterkaskade gebildet werden, indem der
Anschluss. 7 des ersten Filters, der dessen Ausgang ist, mit dem
Anschluss 7 des zweiten Filters, der dessen Eingang ist,
verbunden ist. Bei beiden Resonatorfiltern ist der Wandler 31
der Koppelwandler. Aufgrund des erhöhten effektiven
Koppelfaktors in den Koppelwandlern wird in Umgebung der
niederfrequenten Resonanz die Dämpfung infolge Kaskadierung
herabgesetzt. Die Parallelschaltung der Wandler 21 und 41, die
die gleiche Polarität haben, führt zur Verringerung von
Anregung und Empfang der höherfrequenten Resonanz. Dadurch wird
der reelle Leitwert in Umgebung der höherfrequenten Resonanz
kleiner. Das führt letztendlich zur Herabsetzung der Dämpfung
infolge Kaskadierung.
Claims (15)
1. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen,
bei dem auf einem piezoelektrischen Substrat (1) mehrere
Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) nebeneinander angeordnet
sind, die aus zwei Streifenreflektoren (22 und 23; 32 und
33; 42 und 43), die einen ebenen Hohlraum (24; 34; 44)
einschließen und deren Reflektorstreifen
(222; 232; 322; 332; 421; 431) durch Kurzschlussstreifen
(221; 223; 231; 233; 321; 331; 323; 333; 422; 432) kurzgeschlossen
sind, und aus einem interdigitalen Wandler (21; 31; 41), der
im ebenen Hohlraum (24; 34; 44) angeordnet ist, bestehen,
wobei in jeder Eintor-Resonator-Struktur (2; 3; 4) die
Streifengebiete der Streifenreflektoren (22; 23; 32; 33; 42; 43)
bzw. die Zinkengebiete der interdigitalen Wandler (21; 31; 41)
zusammen mit den Kurzschlussstreifen
(221; 223; 231; 233; 321; 331; 323; 333; 422; 432) bzw. mit den
Sammelelektroden (211; 213; 311; 313; 412) Wellenleiter für
akustische Oberflächenwellen bilden und die Eintor-
Resonator-Strukturen (2; 3; 4) wegen des Wellenleitereffekts
miteinander gekoppelt sind, gekennzeichnet durch die
Kombination folgender Merkmale:
- a) Die Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) ist größer als zwei und
- b) die Länge des ebenen Hohlraumes (24; 34; 44) mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2) unterscheidet sich von derjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen (3; 4).
2. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandler
(21; 31; 41) aller Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) gleich
viele Zinken (212; 312; 411) mit gleicher Breite haben, und
dass sich die Breite der Lücke zwischen den zwei zentralen
Zinken mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2; 3; 4)
von denjenigen der übrigen Eintor-Resonator-Strukturen
unterscheidet.
3. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandler
(21; 31; 41) aller Eintor-Resonator-Strukturen gleich viele
Zinken (212; 312; 411) haben, wobei sich die Breite der
Wandlerzinken (212; 312; 411), Reflektorstreifen
(222; 232; 322; 332; 421; 431) und Lücken zwischen ihnen in
mindestens einer Eintor-Resonator-Struktur (2) um ein und
denselben Faktor von denjenigen in den übrigen Eintor-
Resonator-Strukturen (3; 4) unterscheidet.
4. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die
Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) vier beträgt.
5. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die
Anzahl der Eintor-Resonator-Strukturen (2; 3; 4) drei beträgt.
6. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass
benachbarte Sammelelektroden von Wandlern (31; 41)
benachbarter Eintor-Resonator-Strukturen (3; 4) gemeinsame
Sammelelektroden (313) bilden.
7. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Längen des
ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator-
Struktur, gezählt von einer äußeren Sammelelektrode
(211; 412) an, untereinander gleich sind und die Längen des
ebenen Hohlraumes der dritten und vierten Eintor-Resonator-
Struktur untereinander gleich, jedoch von den Längen des
ebenen Hohlraumes der ersten und zweiten Eintor-Resonator-
Struktur verschieden sind.
8. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass je zwei
Wandler parallel geschaltet sind.
9. Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Längen des
ebenen Hohlraumes (34; 44) der zweiten und dritten Eintor-
Resonator-Struktur (3; 4), gezählt von einer äußeren
Sammelelektrode (211; 412) an, untereinander gleich sind und
von der Länge des ebenen Hohlraumes (24) der ersten Eintor-
Resonator-Struktur (2) verschieden sind.
10. Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
dass das Gebiet zwischen der inneren Sammelelektrode (213)
des Wandlers (21) der ersten Eintor-Resonator-Struktur (2)
und der benachbarten Sammelelektrode (311) der benachbarten
Eintor-Resonator-Struktur (3) mit Streifengittern ausgefüllt
ist (511; 512; 513), deren Streifen auf gleichem Potential
liegen und deren Breite und Abstand mit Breite und Abstand
der Wandlerzinken (212) bzw. Reflektorstreifen (222; 232) in
der ersten Eintor-Resonator-Struktur (2) übereinstimmen.
11. Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
dass zwei (21; 41) der drei Wandler (21; 31; 41) parallel
geschaltet sind.
12. Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
dass diejenigen Wandler parallel geschaltet sind, deren eine
Sammelelektrode eine äußere Sammelelektrode (211; 412) ist,
wobei die zwei parallel geschalteten Wandler (21; 41) die
gleiche Polarität haben.
13. Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
dass diejenigen Wandler parallel geschaltet sind, die
benachbart sind und zu Eintor-Resonator-Strukturen mit
unterschiedlicher Länge des ebenen Hohlraumes gehören, wobei
die zwei parallel geschalteten Wandler entgegengesetzte
Polarität haben.
14. Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen, dadurch gekennzeichnet, dass zwei
identische Filter nach Anspruch 8 eine Filterkaskade bilden,
bei der bei beiden Filtern die gleiche
Wandlerparallelschaltung als Koppelwandler benutzt ist,
wobei als Koppelwandler jeweils diejenige
Wandlerparallelschaltung bezeichnet ist, die mit einer
Wandlerparallelschaltung des jeweils anderen Filters
verbunden ist.
15. Resonatorfilter auf der Basis akustischer
Oberflächenwellen, dadurch gekennzeichnet, dass zwei
identische Filter nach Anspruch 12 oder 13 eine
Filterkaskade bilden, bei der derjenige Wandler (31), der
nicht Teil einer Parallelschaltung ist, als Koppelwandler
benutzt ist, wobei als Koppelwandler jeweils derjenige
Wandler bezeichnet ist, der mit einem Wandler, der nicht
Teil einer Parallelschaltung ist, des jeweils anderen
Filters verbunden ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000139824 DE10039824A1 (de) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000139824 DE10039824A1 (de) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10039824A1 true DE10039824A1 (de) | 2002-03-07 |
Family
ID=7652483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000139824 Ceased DE10039824A1 (de) | 2000-08-08 | 2000-08-08 | Resonatorfilter auf der Basis akustischer Oberflächenwellen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10039824A1 (de) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4306825A1 (de) * | 1993-03-04 | 1994-09-08 | Siemens Ag | Oberflächenwellen-Resonatorfilter |
DE19641662A1 (de) * | 1995-10-13 | 1997-04-17 | Fujitsu Ltd | Oberflächenakustikwellenvorrichtung, bei der eine verlustbehaftete akustische Oberflächenwelle verwendet wird, mit einem optimierten Schnittwinkel eines piezoelektrischen Substrats |
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2000
- 2000-08-08 DE DE2000139824 patent/DE10039824A1/de not_active Ceased
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4306825A1 (de) * | 1993-03-04 | 1994-09-08 | Siemens Ag | Oberflächenwellen-Resonatorfilter |
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