DE10033787C2 - Laser beam terminator for the radiation of a high-power laser - Google Patents
Laser beam terminator for the radiation of a high-power laserInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Laserstrahlterminator für die Strahlung eines Hochleistungslasers, insbesondere eines Lasers mit einer mittleren Leistung von mehr als 500 W.The invention relates to a laser beam terminator for the Radiation from a high-power laser, especially one Lasers with an average power of more than 500 W.
Bei der Materialbearbeitung mittels Laserstrahlung werden zunehmend Hochleistungslaser eingesetzt, die eine mittlere Leistung von 500 W und mehr aufweisen. Um hierbei das Bedienpersonal vor Schäden aufgrund von einem dejustierten Strahlengang zu schützen, müssen Absorber vorgesehen werden, mit denen die den Strahlengang verlassende Laserstrahlung vernichtet werden kann. Je nach Anwendungsfall kann es auch vorkommen, daß bewußt ein Teil des Laserstrahls ausgeblendet wird, damit dieser nicht unkontrolliert in den Raum gelangt, sind auch in diesem Fall geeignete Absorber vorzusehen.When processing materials using laser radiation increasingly high power lasers are used, which is a medium Have power of 500 W and more. To do this Operating personnel from damage due to a misaligned To protect the beam path, absorbers must be provided with which the laser radiation leaving the beam path can be destroyed. Depending on the application, it can also occur that part of the laser beam is deliberately hidden so that it does not get into the room in an uncontrolled manner, Suitable absorbers must also be provided in this case.
Aus der US-PS 5,237,454 ist ein Laserstrahlterminator bekannt, bei der der zu vernichtende Laserstrahl durch ein Loch in einen ansonsten allseits geschlossenen Kasten gelenkt wird und dort auf einen sogenannten schwarzen Spiegel trifft, der einen Großteil der Laserenergie absorbiert. Dieser schwarze Spiegel ist in dem Kasten dem Loch gegenüberliegend angeordnet und zwar unter einem solchen Winkel, daß der von dem Spiegel noch reflektierte Anteil der Laserstrahlung nicht aus dem Loch austreten kann. Der schwarze Spiegel besteht aus einem solchen Material, das Energie bei der Wellenlänge des einfallenden Laserstrahls absorbiert. Es ist weiterhin vorgesehen, mehrere solcher schwarzen Spiegel in dem Kasten anzuordnen und zwar dergestalt, daß der durch das Loch einfallende Laserstrahl nacheinander an den schwarzen Spiegeln reflektiert und gleichzeitig an jedem schwarzen Spiegel ein Anteil absorbiert wird. Für Hochleistungslaser, also für Laser mit einer mittleren Leistung von mehr als 500 W ist diese Anordnung weniger geeignet, weil die Gefahr besteht, daß sich der Hochleistungslaserstrahl mit der Zeit durch den ersten schwarzen Spiegel hindurchbohren kann und dann aus dem Kasten austritt. Es sind ferner keine Maßnahmen zum Kühlen der Absorptionsflächen vorgesehen. Außerdem besteht aufgrund der diffusen Reflexionen die Gefahr unerwünschter Restrückreflexionen.A laser beam terminator is known from US Pat. No. 5,237,454 known in which the laser beam to be destroyed by a Steered a hole in an otherwise closed box and meets a so-called black mirror there, that absorbs much of the laser energy. This black mirror is in the box opposite the hole arranged and at such an angle that that of portion of the laser radiation still not reflected in the mirror can emerge from the hole. The black mirror consists of such a material that energy at the wavelength of the incident laser beam is absorbed. It is still provided several such black mirrors in the box to be arranged such that the through the hole incident laser beam successively on the black Mirror reflected and at the same time on any black Mirror a portion is absorbed. For high power lasers, So for lasers with an average power of more than 500 W. this arrangement is less suitable because of the danger is that the high power laser beam changes over time can drill through the first black mirror and then exits the box. They are also not measures provided for cooling the absorption surfaces. Moreover there is a risk due to the diffuse reflections unwanted residual reflections.
Es ist weiterhin bekannt (US-PS 5,083,852), zum Stoppen eines Laserstrahls eine mit einer absorbierenden Flüssigkeit gefüllte Zelle zu verwenden und mit einem unter dem Brewster Winkel angeordneten Eintrittsfenster zu versehen, damit möglichst keine spiegelnde Reflektionen an dem Eintrittsfenster auftreten. Die Flüssigkeit ist so auf die zu absorbierende Laserstrahlung abgestimmt, daß sie ein Maximum an Absorption bei der in Frage kommenden Laserwellenlänge aufweist. Zur Verwendung bei Hochleistungslasern wird vorgeschlagen, daß die Flüssigkeit eine hohe Wärmekapazität aufweisen soll. Nachteilig an diesem Laserstrahlterminator ist zum einen, daß diese Anordnung nur für linear polarisiertes Laserlicht sinnvoll ist. Nachteilig ist weiterhin, daß die absorbierende Flüssigkeit mit der Zeit altert und die Absorptionsfähigkeit sich verändert. Außerdem besteht bei hohen Laserleistungen die Gefahr, daß die absorbierende Flüssigkeit bis in den Bereich des Siedepunktes oder gar darüberhinaus erhitzt wird. Maßnahmen zur Wärmeabfuhr sind nicht vorgesehen. It is also known (US Pat. No. 5,083,852) for stopping one Laser beam one with an absorbent liquid filled cell to use and with one under the Brewster Winkel to provide arranged entrance windows, so that there are no specular reflections on the Entry windows occur. The liquid is so on Laser radiation to be absorbed that they matched Maximum absorption at the candidate Has laser wavelength. For use with High power lasers suggest that the liquid should have a high heat capacity. Disadvantageous this laser beam terminator is that this Arrangement only makes sense for linearly polarized laser light is. Another disadvantage is that the absorbent Liquid ages with time and the absorbency to change. There is also high laser power the risk that the absorbent liquid into the Range of boiling point or even heated becomes. No heat dissipation measures are provided.
Aus der US-PS 4,864,098 ist eine Einrichtung zum Vernichten eines Laserstrahls hoher Leistung bekannt, bei der der Laserstrahl auf einen kegelförmigen Spiegel auftrifft, dessen Kegelachse parallel zur Mittenachse des zu vernichtenden Laserstrahls orientiert ist. Der Laserstrahl wird durch den kegelförmigen Spiegel aufgeweitet und auf eine den Spiegel umgebende Absorberhülse gelenkt, die in einem wassergekühlten Hohlzylinder eingebettet ist.A device for destruction is known from US Pat. No. 4,864,098 known a high power laser beam, in which the Laser beam hits a conical mirror, the Cone axis parallel to the center axis of the to be destroyed Laser beam is oriented. The laser beam is through the conical mirrors widened and onto one the mirror surrounding absorber sleeve steered into a water-cooled Hollow cylinder is embedded.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen speziell für Hochleistungslaser geeigneten Laserstrahlterminator anzugeben, der einfach in der Handhabung ist und bei dem mit einfachen und an sich bekannten Absorbern eine Vernichtung der Laserenergie möglich ist.The invention is based on this prior art based on the task, one especially for high-power lasers specify suitable laser beam terminator, which is simply in the handling is simple and in itself known absorbers a destruction of laser energy is possible.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch einen Laserstrahlterminator gemäß Patentanspruch 1. Vorteilhafte Weiterentwicklungen und Ausgestaltungen finden sich in den Unteransprüchen 2 bis 14.This task is solved by a Laser beam terminator according to claim 1. Advantageous Further developments and refinements can be found in the Subclaims 2 to 14.
Zum Aufweiten und Umlenken auf den Absorber wird ein Prismenkörper mit einer spitz zulaufenden Ausnehmung verwendet, der so angeordnet ist, daß die Spitze dem zu vernichtenden Laserstrahl zugewandt ist. Der auf den Prismenkörper auftreffende Laserstrahl dringt in diesen ein, wird an der Grenzfläche zwischen dem Prismenkörper und der Ausnehmung total reflektiert und nach außen abgelenkt. Bei der Totalreflexion tritt eine Aufweitung und damit verbunden eine deutliche Reduzierung der Energiedichte und der Leistungsdichte ein, wobei dieser Effekt in der unmittelbaren Umgebung der Spitze besonders stark ausgeprägt ist. Der derart aufgeweitete Laserstrahl kann dann einfachen Absorbern, wie z. B. geschwärzten Flächen oder absorbierenden Flüssigkeiten zugeführt werden. Bei einer konischen Ausnehmung, wie im Unteranspruch 2 angegeben, läßt sich der Prismenkörper als Kegelstumpfprisma vergleichsweise einfach herstellen. Zur Vermeidung von Beschädigungen des Prismenkörpers an der Spitze der Ausnehmung kann der Laserstrahl ausserzentrisch auf den Prismenkörper auftreffen. In diesem Fall kann anstelle eines vollständigen Prismenkörpers auch nur ein Teilstück, z. B. ein halbes Kegelprisma, vorgesehen werden. Aufgrund der stark reduzierten Energie- und Leistungsdichte kann anstelle einer direkten Kühlung der absorbierenden Flächen eine indirekte Kühlung in dem Absorber vorgesehen werden, sodaß durch das Kühlmittel bedingte Verschmutzungen an den Innenwänden des Absorbers vermieden werden. Durch eine Abdeckplatte mit einem kreisringförmigen Steg zur axialen Fixierung des Prismenkörpers in dem Absorber wird der Hohlraum der Absorption gegenüber dem Raum mit der totalreflektierenden Grenzfläche hermetisch abgedichtet, so daß die für ein einwandfreies Funktionieren des Laserstrahlterminators wichtige Grenzfläche in keinster Weise verunreinigt werden kann (Unteranspruch 11).To expand and redirect to the absorber, a Prismatic body with a tapered recess used, which is arranged so that the tip to devastating laser beam is facing. The one on the Laser beam hitting the prism penetrates into it, is at the interface between the prism body and the Recess totally reflected and deflected outwards. at the total reflection occurs a widening and connected with it a significant reduction in energy density and Power density, this effect in the the immediate vicinity of the tip is particularly pronounced is. The laser beam expanded in this way can then be simple Absorbers, such as B. blackened surfaces or absorbent Liquids are supplied. With a conical Recess, as specified in subclaim 2, can Prism body as a truncated cone prism comparatively simple produce. To avoid damage to the Prism body at the top of the recess can Laser beam out of center on the prism body incident. In this case, instead of a full Prism body also only a part, for. B. half Cone prism. Because of the strong reduced energy and power density can instead of one direct cooling of the absorbent surfaces indirect Cooling can be provided in the absorber, so that by the Contamination on the inner walls of the coolant Absorbers can be avoided. Through a cover plate with a annular web for the axial fixation of the Prism body in the absorber is the cavity of the Absorption towards the room with the total reflective Interface hermetically sealed, so that for a perfect functioning of the laser beam terminator important interface are not contaminated in any way can (sub-claim 11).
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 näher erläutert. Es zeigen:The invention is explained in more detail below using an exemplary embodiment and with reference to FIGS. 1 and 2. Show it:
Fig. 1 Laserstrahlterminator im Querschnitt; Fig. 1 laser beam terminator in cross section;
Fig. 2 Ansicht des Laserstrahlterminators aus der Richtung des Pfeils A von Fig. 1, Fig. 2 view of the laser beam terminator from the direction of arrow A of FIG. 1,
Der erfindungsgemäße Laserstrahlterminator 1 besteht im wesentlichen aus einem Kegelprisma 2, einem Absorber 3 und einer Abdeckplatte 4. Der Absorber 3 besitzt auf seiner der einfallenden Laserstrahlung 5 zugewandten Seite eine kreisförmige Öffnung 6, die in eine kreisförmige Ausnehmung 7 übergeht. Das Kegelprisma 2 wird über die Ausnehmung 7 in der Öffnung 6 befestigt und ist damit radial fixiert. Die Abdeckplatte 4 besitzt einen kreisringförmigen Steg 8, mit dem das Kegelprisma 2 in axialer Richtung in dem Absorber 3 fixiert wird. Auf diese Weise werden zwei völlig voneinander getrennte Hohlräume 9 und 10 gebildet. Das Kegelprisma 2 weist auf seiner dem einfallenden Laserstrahl 5 abgewandten Seite eine konische Ausnehmung 11 auf, die entgegen der Einfallsrichtung des Laserstrahls 5 spitz zulaufend ist. Die Justierung des Laserstrahlterminators 1 ist dergestalt, daß die Symmetrieachse 12 der konischen Ausnehmung 11 und die Spitze 13 dieser Ausnehmung auf der optischen Achse des einfallenden und zu vernichtenden Laserstrahls 5 liegen. Die senkrecht auf die dem Laserstrahl zugewandte Oberfläche des Kegelprismas 2 auftreffende Laserstrahlung dringt in den Prismenkörper ein und erfährt an der Kegelfläche 14 eine innere Totalreflexion. Dabei erfährt der Laserstrahl eine beträchtliche Aufweitung, so daß die Energiedichte und die Leistungsdichte erheblich reduziert werden. Der Kegelwinkel ist so gewählt, daß die reflektierten Laserstrahlen im wesentlichen senkrecht zur optischen Achse abgelenkt werden, wie dies vorliegend für zwei Randstrahlen 15 und 16 dargestellt ist. Die reflektierten Laserstrahlen treten an der Aussenseite 17 des Kegelprismas 2 aus, durchlaufen den äußeren Hohlraum 9 und treffen anschließend auf die Innenseite 18 des Absorbers 3, der beispielsweise aus CrNi- Stahl bestehen kann und dessen Innenseite 18 mit einer geeignet absorbierenden Schicht versehen sein kann. Im oberen Bereich des Absorbers 3 ist ein Kanal 19 zur Durchleitung eines Kühlmediums, beispielsweise Kühlwasser, vorgesehen. Es findet also eine indirekte Kühlung statt, so daß durch das Kühlmittel bedingte Verschmutzungen in dem Hohlraum 9, insbesondere an der Aussenfläche 17 des Kegelprismas 2, vermieden werden. Da jeder der Hohlräume 9 und 10 dicht geschlossen ist, können bei der Vernichtung der Laserstrahlung 5 auftretende Verschmutzungen, beispielsweise durch das Abdampfen von Partikeln der Absorberinnenseite 18, nicht in die konische Ausnehmung 11 gelangen und die Grenzfläche 14 der inneren Totalreflexion verunreinigen, was die Funktion des Laserstrahlterminators beeinträchtigen würde. Die für ein gutes Funktionieren des Laserstrahlterminators wichtige Grenzfläche 14 der inneren Totalreflexion ist also sowohl gegenüber der Umgebung als auch gegenüber dem Hohlraum 9 der Absorption hermetisch abgedichtet, was die Lebensdauer des gesamten Laserstrahlterminators beträchtlich erhöht. Anstelle des hier dargestellten quadratischen Absorbers 3 mit einem Hohlraum 9 mit rechteckigem Querschnitt kann der Absorber auch mit einem torusförmigen Hohlraum ausgebildet sein. Wenn die aus dem Kegelprisma 2 austretenden Laserstrahlen, z. B. 15 und 16, in dem Hohlraum 9 umlaufen sollen, so daß nicht nur einmal Laserstrahlung absorbiert werden muss, dürfen die abgelenkten Laserstrahlen, z. B. 15 und 16, nicht im rechten Winkel auf die Innenseite 18 auftreffen. Der Hohlraum 9 und insbesondere die Innenseite 18 dürfen in diesem Fall nicht zylindersymmetrisch wie in Fig. 1 und 2 ausgebildet sein. Dem Fachmann sind geeignete Ausgestaltungen bekannt, so daß auf deren Erläuterung an dieser Stelle verzichtet werden kann.The laser beam terminator 1 according to the invention essentially consists of a cone prism 2 , an absorber 3 and a cover plate 4 . The absorber 3 has on its side facing the incident laser radiation 5 a circular opening 6 which merges into a circular recess 7 . The conical prism 2 is fastened via the recess 7 in the opening 6 and is thus fixed radially. The cover plate 4 has an annular web 8 , with which the cone prism 2 is fixed in the axial direction in the absorber 3 . In this way, two completely separate cavities 9 and 10 are formed. The cone prism 2 has on its side facing away from the incident laser beam 5 a conical recess 11 which tapers against the direction of incidence of the laser beam 5 . The adjustment of the laser beam terminator 1 is such that the axis of symmetry 12 of the conical recess 11 and the tip 13 of this recess lie on the optical axis of the incident and to be destroyed laser beam 5 . The laser radiation incident perpendicular to the surface of the cone prism 2 facing the laser beam penetrates into the prism body and experiences an internal total reflection on the cone surface 14 . The laser beam expands considerably, so that the energy density and the power density are considerably reduced. The cone angle is selected so that the reflected laser beams are deflected substantially perpendicular to the optical axis, as is shown here for two edge beams 15 and 16 . The reflected laser beams emerge on the outside 17 of the conical prism 2 , pass through the outer cavity 9 and then hit the inside 18 of the absorber 3 , which can be made of stainless steel, for example, and whose inside 18 can be provided with a suitably absorbing layer. In the upper area of the absorber 3 , a channel 19 is provided for the passage of a cooling medium, for example cooling water. Indirect cooling thus takes place, so that contamination caused by the coolant in the cavity 9 , in particular on the outer surface 17 of the conical prism 2 , is avoided. Since each of the cavities 9 and 10 is tightly closed, contamination occurring during the destruction of the laser radiation 5 , for example due to the evaporation of particles on the inside of the absorber 18 , cannot get into the conical recess 11 and contaminate the interface 14 of the total internal reflection, which impairs the function of the laser beam terminator. The interface 14 of the total internal reflection, which is important for the good functioning of the laser beam terminator, is therefore hermetically sealed both from the environment and from the cavity 9 of the absorption, which considerably increases the service life of the entire laser beam terminator. Instead of the square absorber 3 shown here with a cavity 9 with a rectangular cross section, the absorber can also be designed with a toroidal cavity. If the laser beams emerging from the cone prism 2 , e.g. B. 15 and 16, should circulate in the cavity 9 so that laser radiation does not have to be absorbed only once, the deflected laser beams, for. B. 15 and 16, do not hit the inside 18 at right angles. In this case, the cavity 9 and in particular the inside 18 must not be cylindrical symmetrical as in FIGS. 1 and 2. Suitable configurations are known to the person skilled in the art, so that their explanation can be dispensed with here.
Es ist auch möglich, anstelle eines vollständigen Kegelprismas 2 nur ein Teilstück eines derartigen Kegelprismas 2 zu verwenden, so daß nur ein Teil eines die optische Achse umgebenden Kreises als Kegelprisma ausgebildet ist, d. h. das Kegelprisma ist in azimutaler Richtung nicht vollständig. In diesem Fall ist der Laserstrahlterminator so zu positionieren, daß der Laserstrahl 5 außerzentrisch auf das Kegelprismateilstück auftrifft und die in das Kegelprismateilstück eindringende Laserstrahlung an der Grenzfläche 14 zwischen dem Kegelprismateilstück und der von diesem Teilstück gebildeten Ausnehmung 11 eine innere Totalreflexion erfährt. Mit dieser Ausgestaltung wird bei hohen Energiedichten eine Beschädigung des Kegelprismas an der Spitze der Ausnehmung vermieden. Beispielsweise kann zu diesem Zweck ein halbes Kegelprisma in den Absorber eingebaut und der so gebildete Laserstrahlterminator dergestalt ausserhalb der optischen Achse positioniert werden, daß der einfallende Laserstrahl 5 über seinen gesamten Querschnitt eine Grenzfläche 14 zur inneren Totalreflexion zur Verfügung hat. It is also possible to use only a portion of such a cone prism 2 instead of a complete cone prism 2 , so that only part of a circle surrounding the optical axis is designed as a cone prism, ie the cone prism is not complete in the azimuthal direction. In this case, the laser beam terminator is to be positioned such that the laser beam 5 hits the conical prism part off-center and the laser radiation penetrating into the conical prism part experiences an internal total reflection at the interface 14 between the conical prism part and the recess 11 formed by this part. With this configuration, damage to the cone prism at the tip of the recess is avoided at high energy densities. For example, for this purpose a half cone prism can be installed in the absorber and the laser beam terminator thus formed can be positioned outside the optical axis such that the incident laser beam 5 has an interface 14 for total internal reflection over its entire cross section.
11
Laserstrahlterminator
laser terminator
22
Kegelprisma
cone prism
33
Absorber
absorber
44
Abdeckplatte
cover
55
Laserstrahl
laser beam
66
Kreisförmige Eintrittsöffnung
Circular entry opening
77
Kreisförmige Ausnehmung
Circular recess
88th
Kreisringförmiger Steg
Annular web
99
Erster Hohlraum
First cavity
1010
Zweiter Hohlraum
Second cavity
1111
Konische Ausnehmung
Tapered recess
1212
Symmetrieachse
axis of symmetry
1313
Spitze der konischen Ausnehmung
Tip of the conical recess
1414
Kegelfläche
conical surface
1515
Umgelenkter Laserstrahl
Redirected laser beam
1616
Umgelenkter Laserstrahl
Redirected laser beam
1717
Aussenseite des Kegelprismas
Outside of the cone prism
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Innenseite des Absorbers
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Legal Events
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8304 | Grant after examination procedure | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: BERGER, ROLAND, 82131 GAUTING, DE |
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R082 | Change of representative |
Representative=s name: FISCHER, ERNST, DIPL.-ING. (UNIV.) DR.-ING., DE |
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R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |