DE10014956A1 - Device for charging and discharging an electron beam device in an electron beam welding apparatus comprises a sluice chamber connected to a process chamber so that a transport path runs through the sluice chamber into the process chamber - Google Patents

Device for charging and discharging an electron beam device in an electron beam welding apparatus comprises a sluice chamber connected to a process chamber so that a transport path runs through the sluice chamber into the process chamber

Info

Publication number
DE10014956A1
DE10014956A1 DE2000114956 DE10014956A DE10014956A1 DE 10014956 A1 DE10014956 A1 DE 10014956A1 DE 2000114956 DE2000114956 DE 2000114956 DE 10014956 A DE10014956 A DE 10014956A DE 10014956 A1 DE10014956 A1 DE 10014956A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
workpiece
chamber
process chamber
electron beam
lock chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2000114956
Other languages
German (de)
Other versions
DE10014956B4 (en
Inventor
Dietrich Von Dobeneck
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pro Beam GmbH and Co KG
Original Assignee
Pro Beam GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7636404&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE10014956(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Pro Beam GmbH and Co KG filed Critical Pro Beam GmbH and Co KG
Priority to DE10014956A priority Critical patent/DE10014956B4/en
Publication of DE10014956A1 publication Critical patent/DE10014956A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10014956B4 publication Critical patent/DE10014956B4/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Revoked legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
    • B23K37/04—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work
    • B23K37/047—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work moving work to adjust its position between soldering, welding or cutting steps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/18—Vacuum control means
    • H01J2237/184—Vacuum locks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/204—Means for introducing and/or outputting objects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Abstract

Device for charging and discharging an electron beam device comprises a sluice chamber (7) connected to a process chamber (1) so that a first transport path runs from a charging and discharging position (8) through the sluice chamber into the process chamber. A second transport path is arranged parallel to the first path through the sluice chamber. Preferred Features: Workpiece supports (4) are moved on the paths and the supports and workpiece position and movement are CNC-controlled in the process chamber. The evacuation and ventilation of the sluice chamber is synchronized so that at least one support is permanently being circulated.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Be- und Entladen von Anlagen, in denen Elektronenstrahlprozesse ausgeführt werden. Vorzugsweise sind es Elektronenstrahl- Schweißanlagen.The invention relates to a device for loading and unloading systems in which Electron beam processes are carried out. It is preferably electron beam Welding equipment.

Es sind zwei Grundprinzipien bekannt, nach denen derartige Anlagen arbeiten:Two basic principles are known according to which such systems work:

Die Werkstücke werden im Durchlaufbetrieb durch eine Prozesskammer bewegt, oder es wird eine Chargenbeladung vorgenommen.The workpieces are moved through a process chamber in continuous operation, or batch loading is carried out.

Bei den Durchlaufanlagen - auch Transferanlagen genannt - werden die zu behandeln­ den Werkstücke über ein Eingangs- und ein getrenntes Ausgangsschleusensystem auf entsprechenden Transportmitteln in die Prozesskammer ein- und ausgebracht. Es ist bei dieser Art von Anlagen auch bekannt, die Transportmittel im Takt durch die Schleusen zu bewegen und diese jeweils im Takt zu schließen und zu öffnen. Dabei sind jeweils zwei Schleusenkammern mit Vakuumpumpständen auszurüsten und beide Schleusen sind dauernd im Wechsel zu evakuieren und zu belüften. Solche Transferanlagen sind ungeeignet zur Bearbeitung von Werkstücken, die um eine Rotationsachse in waagrechter, senkrechter oder schräger Richtung gedreht werden müssen. Es sind reine Einzweckmaschinen die keine Flexibilität aufweisen.In the case of the continuous systems - also called transfer systems - they have to be treated the workpieces via an entrance and a separate exit lock system appropriate means of transport brought into and out of the process chamber. It is In this type of equipment also known the means of transport in time Moving locks and closing and opening them in time. there Two lock chambers must be equipped with vacuum pumping stations and both Locks have to be evacuated and ventilated alternately. Such Transfer systems are unsuitable for machining workpieces that are one Rotation axis can be rotated in a horizontal, vertical or oblique direction have to. They are pure single-purpose machines that have no flexibility.

Nach dem zweiten Prinzip - das als Kammeranlagen bezeichnet wird - ist die Anlage mit einem Magazin als Werkstückträger ausgerüstet, welches mit Werkstücken bestückt in die Prozesskammer eingebracht wird. Dabei finden die Arbeitsgänge Bestücken, Tür öffnen, Einfahren, Tür schließen, Evakuieren, Schweißen, Belüften, Tür öffnen, Charge ausfahren und Entladen nacheinander statt. Wenn auch während der Bearbeitung das nächste Magazin bereits bestückt werden kann, so ist doch die Nebenzeit durch das Öffnen der Kammer, das Ein- und Ausfahren der Werkstückträger, das Schließen der Kammer und vor allem das Evakuieren und Belüften sehr hoch, denn während dieser Zeit läuft kein produktiver Prozess.According to the second principle - which is called chamber systems - the system is with a magazine equipped as a workpiece carrier, which is equipped with workpieces in the process chamber is introduced. The work steps are loading, door opening, retracting, closing the door, evacuating, welding, venting, opening the door, batch extend and unload one after the other instead. If that while editing next magazine can already be loaded, so the idle time is due to that Opening the chamber, retracting and extending the workpiece carriers, closing the Chamber and especially the evacuation and ventilation very high, because during this Time is not a productive process.

Es sind auch Einrichtungen bekannt, die mehrere getrennt evakuierbare Prozesskammern nebeneinander haben, wobei eine Elektronenstrahlkanone über diesen verfahrbar angeordnet ist. Diese Anlagen werden als Doppelkammermaschinen bezeichnet. Die Prozesskammern werden abwechselnd bestückt und der Prozess findet abwechselnd in der jeweils bestückten und evakuierten Prozesskammer statt, während die andere belüftet und neu bestückt wird. Das heißt mit Ausnahme der Kanonenverfahrzeit, wird ständig gearbeitet. Es besteht aber der Nachteil, daß die beiden Prozesskammern einen erheblich hohen apparativen Aufwand erfordern. Zusätzlich ist der Aufwand an Pumpen sehr hoch, da die Prozesskammern jeweils auf Arbeitsvakuum abgepumpt werden müssen. Die Kanonenverschiebung ist außerdem verschleiß- und störanfällig.Devices are also known which have several separately evacuable Have process chambers next to each other, with an electron beam gun above this is arranged movable. These systems are called double chamber machines designated. The process chambers are loaded alternately and the process takes place take place alternately in the respectively equipped and evacuated process chamber during the other is ventilated and replenished. With the exception of the Cannon travel time, is constantly being worked on. But there is the disadvantage that the both process chambers require a considerable amount of equipment. In addition, the cost of pumps is very high because the process chambers are open Working vacuum must be pumped out. The cannon shift is also susceptible to wear and tear.

Insgesamt ist festzustellen, daß keine der bekannten Einrichtungen geringe Nebenzeiten aufweisen und gleichzeitig bedienungstechnisch und apparativ einfach zu gestalten sind. Die Nebenzeiten sind bei den Kammeranlagen im wesentlichen durch das Evakuieren und Belüften bestimmt, zu denen aber die Zeiten für das Schließen und Öffnen der Türen und das Ein- und Ausfahren der Werkstückträger zu addieren sind. Dadurch wird nicht die ge­ wünschte Wirtschaftlichkeit bei hohen Stückzahlen erreicht. Bei den Transferanlagen fehlt die Flexibilität und die Möglichkeit für mehrachsige Bearbeitungen.Overall, it should be noted that none of the known devices are minor Have non-productive times and at the same time are easy to use in terms of operation and equipment are designed. The idle times are essentially through with the chamber systems the evacuation and ventilation determine the times for the closing and  Opening the doors and moving the workpiece carriers in and out must be added together. This will not ge Desired economy achieved with large quantities. At the transfer facilities lacks the flexibility and the possibility for multi-axis machining.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zum Be- und Entladen von Elektronenstrahlanlagen zu schaffen, die bei Nebenzeiten von wenigen Sekunden mit geringem apparativem Aufwand, bei sehr geringer Störanfälligkeit eine große Stückzahl von Werkstücken in eine Prozesskammer ein- und ausbringt. Es soll möglich sein, beliebig gestaltete Werkstücke für annähernd unbegrenzte Bearbeitungen zu fördern, insbesondere soll die Bearbeitung um beliebige Drehachsen, auch um mehrere zueinander parallel oder aufeinander senkrecht stehende Drehachsen möglich sein (Drehen und Schwenken).The invention has for its object a device for loading and unloading To create electron beam systems with idle times of a few seconds low expenditure on equipment and a large number of items with very low susceptibility to malfunction of workpieces in and out of a process chamber. It should be possible to convey workpieces of any design for almost unlimited machining, in particular, machining should be about any axis of rotation, including several mutually parallel or mutually perpendicular axes of rotation may be possible (Turning and swiveling).

Das Wesen der Erfindung besteht darin, daß die Einrichtung aus einem an sich bekannten Rezipienten, der Prozesskammer, besteht, in dem der Elektronenstrahlprozess ausgeführt wird. Durch nur eine Schleusenkammer mit je einer Tür zur permanent unter Vakuum stehenden Prozesskammer und einer Tür zur Atmosphäre, erfolgt das Be- und Entladen dieser Prozesskammer mittels verfahrbarer Werkstückträger, auf denen ein oder viele Werkstücke gehaltert sind. Zwei Transportbahnen sind dazu nebeneinander angeordnet. Sie übergeben die Werkstückträger in einer genau definierten Position einem Koordinatentisch, der die Werkstücke in der Prozesskammer in jede beliebige Position unter der Elektronenstrahlkanone positionieren bzw. bewegen kann. Während der Prozess läuft, ist bereits der nächste bestückte werkstückträger in die Schleusenkammer eingefahren und diese wird evakuiert. Nach Prozessende öffnet die Schleusentür unter Vakuum, der Werkstückträger fährt aus der Prozesskammer in die Schleusenkammer und der aus der Schleusenkammer fährt in die Prozesskammer. Dabei erfolgt in der Prozesskammer nur eine geringe Druckerhöhung. Sobald die Schleusentür geschlossen ist, wird der Elektronenstrahlprozess in der Prozesskammer gestartet und ausgeführt. Gleichzeitig wird die Schleusenkammer gegen Atmosphäre belüftet und anschließend geöffnet, um den Werkstückträger mit den fertig bearbeiteten Werkstücken in eine vorgeschaltete Be- und Entladestation zu befördern. Dort wird er anschließend entstückt und der nächste Werkstückträger mit einer neuen Charge Werkstücke bestückt. Es handelt sich hierbei um ein sogenanntes "Shuttle Prinzip".The essence of the invention is that the device itself known recipient, the process chamber, in which the Electron beam process is carried out. Through only one lock chamber with one each Door to the process chamber permanently under vacuum and a door to Atmosphere, this process chamber is loaded and unloaded by means of a movable one Workpiece carriers on which one or many workpieces are held. Two Transport lanes are arranged side by side. You pass the Workpiece carrier in a precisely defined position on a coordinate table that the Workpieces in the process chamber in any position under the Can position or move the electron beam gun. While the process is running the next loaded workpiece carrier has already entered the lock chamber and this is evacuated. At the end of the process, the lock door opens under vacuum Workpiece carrier moves out of the process chamber into the lock chamber and out the lock chamber moves into the process chamber. This takes place in the process chamber only a slight pressure increase. As soon as the lock door is closed, the Electron beam process started and executed in the process chamber. At the same time the lock chamber is ventilated to atmosphere and then opened to the workpiece carrier with the finished workpieces in an upstream Transport loading and unloading station. There he is then dismembered and the next workpiece pallet with a new batch of workpieces. It is about a so-called "shuttle principle".

Es ist auch möglich, auf den fahrbaren Werkstückträgern unterschiedliche Bewegungseinrichtungen für unterschiedliche Prozessschritte mit auswechselbaren Halterungen für die Werkstücke anzubringen. Diese können beispielsweise Bewegungen um horizontale, vertikale oder schräge Drehachsen auch ein- oder mehrspindlig ausführen. Teile des Prozesses oder auch der gesamte Prozess kann CNC-gesteuert sein. Im letzteren Fall läuft der Gesamtprozess vollautomatisch ab.It is also possible to have different on the mobile workpiece carriers Movement devices for different process steps with interchangeable Attach brackets for the workpieces. These can, for example Movements around horizontal, vertical or inclined axes of rotation also on or Execute multiple spindles. Parts of the process or the entire process can CNC controlled. In the latter case, the entire process runs fully automatically.

Die Werkstückträger können dabei mit unterschiedlichen Werkstückhalterungen ausgerüstet sein und abwechselnd benutzt werden. Eine Kennung an jedem Werkstückträger ruft in diesen Fällen das für die jeweilige Bearbeitung erforderliche CNC-Programm auf. The workpiece carriers can be used with different workpiece holders be equipped and used alternately. An identifier on everyone In these cases, the workpiece pallet calls for what is required for the respective machining CNC program on.  

Die Schleusentüren sind zweckmäßig so ausgeführt, daß Sie beim Öffnen abheben und dadurch kein Verschleiß der Dichtflächen auftritt. Sensoren überwachen den Vorgang.The lock doors are designed so that you lift off when opening and therefore no wear of the sealing surfaces occurs. Sensors monitor the process.

Die erfindungsmäßige Einrichtung hat den Vorteil, daß sie eine Nebenzeit von maximal 15 Sekunden hat und dadurch ein Mehrfaches der Produktivität von bekannte Anlagen garantiert. Der apparative Aufwand ist dabei vergleichsweise gering. Die Werkstückträger mit Ihren vielfältigen Möglichkeiten der Werkstückaufnahme und Werkstückbewegung erhöhen die Vielseitigkeit des Einsatzes der Einrichtung. Besonders geeignet ist die Einrichtung für Elektronenstrahlschweißanlagen, mit denen große Stückzahlen von unterschiedlichen Werkstücken geschweißt werden sollen.The device according to the invention has the advantage that it has a maximum idle time 15 seconds and thus a multiple of the productivity of known systems guaranteed. The outlay on equipment is comparatively low. The Workpiece carrier with your diverse possibilities of workpiece pick-up and Workpiece movement increases the versatility of using the facility. The device is particularly suitable for electron beam welding systems with which large numbers of different workpieces are to be welded.

An einem Ausführungsbeispiel wird die Erfindung beschrieben, die zugehörige Zeichnung zeigt das Prinzip:The invention is described using an exemplary embodiment, the associated Drawing shows the principle:

Fig. 1 eine Seitenansicht im Schnitt, Fig. 1 is a side view, in section,

Fig. 2 eine Draufsicht. Fig. 2 is a plan view.

In einer Prozesskammer 1 wird mittels einer bekannten Elektronenstrahlkanone 2 ein Werkstück 3, aus zwei Teilen bestehend zusammen geschweißt. Das Werkstück 3 ist auf einem Werkstückträger 4 gehaltert und zwar derart, daß ein Antrieb 5 auf dem Werkstückträger 4 das Werkstück 3 rotieren läßt, damit der Elektronenstrahl 6 die beiden Teile zusammenschweißt. In einer vorgeschalteten Schleusenkammer 7 befindet sich bereits das nächste bestückte Werkstückträger 4. Während des Prozesses in der Prozesskammer 1 wird die Schleusenkammer 7 belüftet, der Werkstückträger 4 mit den bereits geschweißten Werkstücken 3 gegen ein neu bestückten Werkstückträger 4 vom Bestückungsplatz 8 gleichzeitig ausgewechselt und nach Schließen der Schleusentür 10 die Schleusenkammer 7 wieder evakuiert. Nach Prozessende wird die Schleusentür 11 geöffnet, die Werkstückträger 4 aus der Schleusenkammer 7 in die Prozesskammer 1 und umgekehrt bewegt und die Schleusentür 11 geschlossen. Die Schleusenkammer 7 wird belüftet und der darin befindliche Werkstückträger 4 mit den bearbeiteten Werkstücken 3 gelangt zu einer davor angeordneten Be- und Entladestation 8, auf dem die Werkstücke 3 entnommen werden und der nächste Werkstückträger 4 bestückt wird. Die Bewegung der Werkstückträger 4 erfolgt auf entsprechend angeordneten Transportschienen 9, über an sich bekannte Antriebselemente. Die Schleusentüren 10 und 11 öffnen durch Abheben von der Dichtfläche. Die Prozesskammer 1 und die Schleusenkammer 7 werden mittels bekannter Pumpen 12 evakuiert und Ventile 13 belüftet.A workpiece 3 consisting of two parts is welded together in a process chamber 1 by means of a known electron beam gun 2 . The workpiece 3 is held on a workpiece carrier 4 in such a manner that a drive can rotate the workpiece 3 5 on the workpiece carrier 4, so that the electron beam 6 welds the two parts. The next loaded workpiece carrier 4 is already located in an upstream lock chamber 7 . During the process in the process chamber 1 , the lock chamber 7 is ventilated, the workpiece carrier 4 with the already welded workpieces 3 is simultaneously replaced by a newly equipped workpiece carrier 4 from the assembly station 8 , and the lock chamber 7 is evacuated again after the lock door 10 has been closed. After the end of the process, the lock door 11 is opened, the workpiece carriers 4 are moved from the lock chamber 7 into the process chamber 1 and vice versa, and the lock door 11 is closed. The lock chamber 7 is ventilated and the workpiece carrier 4 with the processed workpieces 3 located therein arrives at a loading and unloading station 8 arranged in front of it, on which the workpieces 3 are removed and the next workpiece carrier 4 is loaded. The movement of the workpiece carriers 4 takes place on correspondingly arranged transport rails 9 , via drive elements known per se. The lock doors 10 and 11 open by lifting off the sealing surface. The process chamber 1 and the lock chamber 7 are evacuated by means of known pumps 12 and valves 13 are vented.

Claims (6)

1. Einrichtung zum Be- und Entladen von Elektronenstrahlanlagen, um zu bearbeitende Werkstücke in einen Rezipienten, in dem der Prozess durchgeführt wird, unter Aufrechterhaltung des Vakuums ein- und auszubringen, bestehend aus einer Prozesskammer, einer getrennt evakuierbaren Schleusenkammer und einer Be- und Entladestation, dadurch gekennzeichnet, dass der Prozesskammer (1) die Schleusenkammer (7) vorgeordnet ist, dass eine Transportbahn von einem Be- und Entladeplatz (8) durch die Schleusenkammer (7) in die Prozesskammer (1) führend und einer zweiten parallel verlaufenden Transportbahn durch die Schleusenkammer (7) wieder zurückführend angeordnet sind, dass auf den Transportbahnen Transportmittel als Werkstückträger (4) bewegbar sind, die in ihrer Endposition in der Prozesskammer (1) positionierbar sind, dass die Werkstückposition und Bewegung des Werkstückträgers (4) in der Prozesskammer (1) CNC- gesteuert sind, dass eine Steuereinrichtung angeordnet ist, die das Evakuieren und Belüften der Schleusenkammer (7) mit dem Bearbeitungstakt synchronisiert, dass mindestens ein Werkstückträger (4) sich permanent im Umlauf befindet, wobei jeweils ein Werkstückträger (4) zur Bearbeitung in der Prozesskammer (1) und zwei Werkstückträger (4) in der Schleusenkammer (7) aneinander vorüber bewegbar sind, und mindestens ein Werkstückträger (4) am Be- und Entladeplatz (8) zum Werkstückwechsel bereitstehen.1. Device for loading and unloading electron beam systems in order to introduce and remove workpieces to be machined into a recipient in which the process is carried out while maintaining the vacuum, consisting of a process chamber, a separately evacuable lock chamber and a loading and unloading station , characterized in that the lock chamber ( 7 ) is arranged upstream of the process chamber ( 1 ), that a transport path leading from a loading and unloading place ( 8 ) through the lock chamber ( 7 ) into the process chamber ( 1 ) and a second parallel transport path the lock chamber ( 7 ) is arranged in a returning manner that transport means can be moved as workpiece carriers ( 4 ) on the transport tracks, which can be positioned in the end position in the process chamber ( 1 ), that the workpiece position and movement of the workpiece carrier ( 4 ) in the process chamber ( 1 ) CNC-controlled are arranged that a control device is, which synchronizes the evacuation and ventilation of the lock chamber ( 7 ) with the processing cycle that at least one workpiece carrier ( 4 ) is in constant circulation, with one workpiece carrier ( 4 ) for processing in the process chamber ( 1 ) and two workpiece carriers ( 4 ) can be moved past each other in the lock chamber ( 7 ), and at least one workpiece carrier ( 4 ) is available at the loading and unloading station ( 8 ) for changing the workpiece. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstückträger (4) als Flachpalette ausgeführt sind und Halterungen für die Werkstücke (3) angeordnet sind, die das Auswechseln und Positionieren der Werkstücke (3), sowie Bewegen ermöglichen.2. Device according to claim 1, characterized in that the workpiece carriers ( 4 ) are designed as a flat pallet and holders for the workpieces ( 3 ) are arranged, which allow the replacement and positioning of the workpieces ( 3 ), as well as moving. 3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Werkstückträger (4) ein- oder mehrspindlige Drehvorrichtungen mit horizontal, vertikal oder schrägstehenden Achsen angeordnet sind, deren Winkelposition definiert über die CNC-Steuerung übernommen wird.3. Device according to claim 1 and 2, characterized in that on the workpiece carrier ( 4 ) single or multi-spindle rotating devices with horizontal, vertical or inclined axes are arranged, the angular position of which is adopted via the CNC control. 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Werkstückträger (4) mehrere unabhängig voneinander CNC-angesteuerte Drehachsen derart angeordnet sind, dass räumliche Bearbeitungen am Werkstück (3) ausführbar sind und die jeweilige Werkstückposition über die CNC-Steuerung aufgenommen wird.4. Device according to claim 3, characterized in that a plurality of independently controlled CNC axes of rotation are arranged on the workpiece carrier ( 4 ) in such a way that spatial processing on the workpiece ( 3 ) can be carried out and the respective workpiece position is recorded via the CNC control. 5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass an die jeweiligen Drehachsen Antriebe und inkrementale Winkelmessgeber derart angeordnet sind, dass eine exakte Zuordnung zwischen Werkstückposition und Bewegungsablauf über die CNC-Steuerung gewährleistet ist.5. Device according to claim 4, characterized in that to the respective axes of rotation drives and incremental angle encoders are arranged that an exact assignment between workpiece position and movement sequence is guaranteed via the CNC control. 6. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Volumen der Schleusenkammer (7) ca. 25% des Volumens der Prozesskammer (1) beträgt.6. Device according to claim 1 to 5, characterized in that the volume of the lock chamber ( 7 ) is approximately 25% of the volume of the process chamber ( 1 ).
DE10014956A 2000-03-25 2000-03-25 Device for loading and unloading electron beam systems Revoked DE10014956B4 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10014956A DE10014956B4 (en) 2000-03-25 2000-03-25 Device for loading and unloading electron beam systems

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10014956A DE10014956B4 (en) 2000-03-25 2000-03-25 Device for loading and unloading electron beam systems

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10014956A1 true DE10014956A1 (en) 2001-10-04
DE10014956B4 DE10014956B4 (en) 2004-06-09

Family

ID=7636404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10014956A Revoked DE10014956B4 (en) 2000-03-25 2000-03-25 Device for loading and unloading electron beam systems

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10014956B4 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032303A1 (en) * 2006-07-11 2008-01-17 Klein, Martin, Dipl.-Ing. Surface processing device for laser polishing workpieces comprises an evacuated processing chamber containing a workpiece holder and an electron beam source for producing an electron beam for processing the surface of a workpiece
WO2021165515A1 (en) * 2020-02-19 2021-08-26 Pro-Beam Gmbh & Co. Kgaa Electron beam system, and method for the additive manufacture of a workpiece

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2336223A1 (en) * 1973-07-17 1975-02-06 Adolf Dr Ing Schmitt Electron beam marking of workpieces - by beam scanning and row stepper motion controlled by process computer
US4013261A (en) * 1974-10-16 1977-03-22 Steigerwald Strahltechnik Gmbh Device for producing work pieces perforated by means of electron beams
DE3100927A1 (en) * 1980-02-27 1981-12-17 Sumitomo Metal Industries, Ltd., Osaka METHOD FOR MACHINING THE SURFACE OF A ROLL FOR COLD ROLLS, ESPECIALLY A DRESSING ROLL, AND DEVICE FOR CARRYING OUT THIS METHOD

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19625851A1 (en) * 1996-06-27 1998-01-02 Ebetech Electron Beam Technolo Amorphous layer crystallisation using focussed electron beam

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2336223A1 (en) * 1973-07-17 1975-02-06 Adolf Dr Ing Schmitt Electron beam marking of workpieces - by beam scanning and row stepper motion controlled by process computer
US4013261A (en) * 1974-10-16 1977-03-22 Steigerwald Strahltechnik Gmbh Device for producing work pieces perforated by means of electron beams
DE3100927A1 (en) * 1980-02-27 1981-12-17 Sumitomo Metal Industries, Ltd., Osaka METHOD FOR MACHINING THE SURFACE OF A ROLL FOR COLD ROLLS, ESPECIALLY A DRESSING ROLL, AND DEVICE FOR CARRYING OUT THIS METHOD

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006032303A1 (en) * 2006-07-11 2008-01-17 Klein, Martin, Dipl.-Ing. Surface processing device for laser polishing workpieces comprises an evacuated processing chamber containing a workpiece holder and an electron beam source for producing an electron beam for processing the surface of a workpiece
DE102006032303B4 (en) * 2006-07-11 2010-08-19 Ellcie Maintenance Gmbh Surface treatment device
WO2021165515A1 (en) * 2020-02-19 2021-08-26 Pro-Beam Gmbh & Co. Kgaa Electron beam system, and method for the additive manufacture of a workpiece
CN115135437A (en) * 2020-02-19 2022-09-30 波宾股份有限及两合公司 Electron beam installation and method for additive manufacturing of workpieces

Also Published As

Publication number Publication date
DE10014956B4 (en) 2004-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4409532C2 (en) Handling system
EP0312694B1 (en) Apparatus according to the principle of carousel for depositing substrates
DE3028283C2 (en)
EP0591706B1 (en) Chamber for transport of substrates
DE1959093C2 (en) Device for handling easily fragile workpieces, in particular small plates for the manufacture of semiconductor components
EP2812152B1 (en) Honing machine with a plurality of work stations and a rotary table
CH691376A5 (en) Vacuum system for surface machining of workpieces.
DE2225326A1 (en) Pneumatic transport device for small, flat workpieces
DE2902197C2 (en)
EP0518109B1 (en) Apparatus for vacuum treatment
EP0089474A1 (en) Working station within a transfer line, in particular for assembling or/and machining car-body parts
DE2000998A1 (en) Workpiece manufacturing and machining facility
DE19531522A1 (en) Handling system for workpieces
DE4235677C2 (en) Vacuum chamber, vacuum treatment system with such a chamber and transport processes
DE10014956A1 (en) Device for charging and discharging an electron beam device in an electron beam welding apparatus comprises a sluice chamber connected to a process chamber so that a transport path runs through the sluice chamber into the process chamber
DE3219459A1 (en) Automatic conveyor installation for transporting workpieces in a machine workshop
DE10144605A1 (en) Method for loading tool magazines of a device for machining workpieces
DE2441095A1 (en) WORKPIECE STORAGE FOR MACHINE TOOLS, IN PARTICULAR GEARING MACHINES
DE2529018A1 (en) Item handler for vacuum processing - has conveyor head with multiple carrier arms rotated in steps by exterior drive.
DE10215040B4 (en) Apparatus and method for loading and unloading a vacuum chamber
DE102006056665A1 (en) Device for introducing and / or discharging components into a machining process
DE19648810A1 (en) Loading and machining arrangement for lathe
DE202004009415U1 (en) Machining line with a series of machine tools, for cutting workpieces of different geometries for mass production, has robots and intermediate stores at each workstation for the workpiece transport through the line
EP0612582A2 (en) Linear transfer system
EP2708313A1 (en) Method and device for automated processing of workpieces in finishing cells

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PRO-BEAM AG & CO. KGAA, 82152 PLANEGG, DE

8363 Opposition against the patent
8369 Partition in:

Ref document number: 10066364

Country of ref document: DE

Kind code of ref document: P

Q171 Divided out to:

Kind code of ref document: P

Ref document number: 10066364

Country of ref document: DE

8331 Complete revocation