DE10013450A1 - Appliance for producing monodisperse droplets of fluids at high temperature has piezoelectric vibration generator installed at distance from housing of fluid feed passage and connected to it by vibration transmission component - Google Patents
Appliance for producing monodisperse droplets of fluids at high temperature has piezoelectric vibration generator installed at distance from housing of fluid feed passage and connected to it by vibration transmission componentInfo
- Publication number
- DE10013450A1 DE10013450A1 DE2000113450 DE10013450A DE10013450A1 DE 10013450 A1 DE10013450 A1 DE 10013450A1 DE 2000113450 DE2000113450 DE 2000113450 DE 10013450 A DE10013450 A DE 10013450A DE 10013450 A1 DE10013450 A1 DE 10013450A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- vibration
- housing
- piezoelectric vibration
- piezoelectric
- transmission member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0653—Details
- B05B17/0669—Excitation frequencies
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
Landscapes
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung mo nodisperser Tropfen aus Flüssigkeiten hoher Temperatur, mit einem Schwingungserzeuger, der auf die in einem Zufuhrkanal in einem Gehäuse enthaltene Flüssigkeit einwirkt, mit einer den Zufuhrkanal abschließenden, mindestens eine Düsenöff nung aufweisende Düsenwand, wobei der Schwingungserzeuger einen piezoelektrischen Schwingungsaktuator aufweist.The invention relates to a device for generating mo nodisperse drops from high temperature liquids, with a vibrator on the in a feed channel liquid contained in a housing acts with a closing the feed channel, at least one nozzle opening tion having nozzle wall, wherein the vibration generator has a piezoelectric vibration actuator.
Derartige Vorrichtungen dienen dazu, monodisperse Tropfen und Sprays mit genau einstellbarem Tropfendurchmesser her zustellen. Die Monodispersität der Tropfen und Sprays ist durch die VDI-Richtlinie 3491 definiert. Monodisperse Sprays sind erforderlich, wenn sowohl das dynamische Ver halten der Spraytropfen als auch ihr Wärme- und Stoffaus tauschverhalten genau bestimmbar sein sollen. Dies ist eine wichtige Voraussetzung für eine Optimierung von Geräten und Anlagen, in denen Tropfen und aus Tropfen bestehende Sprays zum Einsatz kommen, beispielsweise Sprühtrocknungsanlagen und Feuerungen.Devices of this type are used to produce monodisperse drops and sprays with a precisely adjustable drop diameter. The monodispersity of drops and sprays is defined by VDI guideline 3491 . Monodisperse sprays are required if both the dynamic behavior of the spray drops and their heat and material exchange behavior are to be precisely determinable. This is an important prerequisite for the optimization of devices and systems in which drops and sprays consisting of drops are used, for example spray drying systems and furnaces.
Bei einer bekannten Vorrichtung der eingangs genannten Gat tung (DE-OS 39 12 524) ist der einen piezoelektrischen Schwingungsaktuator enthaltende Schwingungserzeuger unmit telbar im Gehäuse des Zufuhrkanals angeordnet. Wenn die Temperatur der zu zerstäubenden Flüssigkeit hoch ist, wird dadurch auch der piezoelektrische Schwingungsaktuator er wärmt. Beim Überschreiten des Curie-Punktes (etwa bei 300- 350°C) geht der piezoelektrische Effekt verloren. Dadurch ist die Anwendbarkeit der bekannten Vorrichtung und aller ähnlich aufgebauter bekannten Vorrichtungen zur Erzeugung monodisperser Tropfen eingeschränkt, weil ein Einsatz bei Flüssigkeiten hoher Temperatur, beispielsweise bei Metall schmelzen, nicht möglich ist. In a known device of the aforementioned Gat device (DE-OS 39 12 524) is a piezoelectric Vibration generator containing vibration actuator immediately arranged telbar in the housing of the feed channel. If the Temperature of the liquid to be atomized is high thereby also the piezoelectric vibration actuator warms. When crossing the Curie point (about 300- 350 ° C) the piezoelectric effect is lost. Thereby is the applicability of the known device and all similarly constructed known devices for production monodisperse drops are restricted because they are used in Liquids of high temperature, for example with metal melt, is not possible.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung der eingangs genannten Gattung so auszubilden, daß sie auch bei Flüssigkeiten hoher Temperaturen eingesetzt werden kann, und zwar insbesondere auch im Frequenzbereich von 5-300 kHz.The object of the invention is therefore a device of train the type mentioned so that they also at High temperature liquids can be used in particular in the frequency range of 5-300 kHz.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der piezoelektrische Schwingungsaktuator im Abstand zum Gehäuse des Zufuhrkanals angeordnet und mit diesem über ein im we sentlichen starres Schwingungsübertragungsglied verbunden ist.This object is achieved in that the piezoelectric vibration actuator at a distance from the housing arranged of the feed channel and with this via a we Substantially rigid vibration transmission link connected is.
Durch das Schwingungsübertragungsglied werden die vom pie zoelektrischen Schwingungsaktuator erzeugten Schwingungen auf das Gehäuse übertragen; die Wärmeübertragung vom Gehäu se auf den piezoelektrischen Schwingungsaktuator ist aber allein schon durch den räumlichen Abstand und darüber hin aus durch die Länge des Schwingungsübertragungsgliedes ent scheidend verringert, so daß auch Flüssigkeiten verarbeitet werden können, deren Temperatur, die sich auf das Gehäuse überträgt, höher als der Curie-Punkt des piezoelektrischen Schwingungsaktuators liegt. Erst dadurch ist es möglich, beispielsweise auch Metallschmelzen zu verarbeiten.Through the vibration transmission member, the pie zoelectric vibration actuator generated vibrations transferred to the housing; heat transfer from the housing se on the piezoelectric vibration actuator is just by the spatial distance and beyond ent by the length of the vibration transmission member significantly reduced so that liquids can also be processed can be, their temperature, which affects the housing transmits higher than the Curie point of the piezoelectric Vibration actuator lies. Only then is it possible to process metal melts, for example.
Vorzugsweise besteht das Schwingungsübertragungsglied aus einem schlecht wärmeleitenden Material, so daß auch die Wärmeübertragung durch Wärmeleitung stark herabgesetzt ist.The vibration transmission member preferably consists of a poorly heat-conducting material, so that the Heat transfer due to heat conduction is greatly reduced.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, daß das Schwingungsübertragungsglied ein Druck stab ist, dessen Längsachse sich in Schwingungsrichtung des angekoppelten piezoelektrischen Schwingungsaktuators er streckt, der beispielsweise stabförmig, plattenförmig oder als sog. Crossbow-Aktuator ausgeführt ist. Bei der Ausbil dung des Schwingungsübertragungsgliedes als Druckstab ist eine Schwingungsübertragung über verhältnismäßig große Län gen ohne wesentlichen Energieverlust möglich. According to a preferred embodiment of the invention provided that the vibration transmission member a pressure is rod, the longitudinal axis of which is in the direction of vibration of the coupled piezoelectric vibration actuator he stretches, for example, rod-shaped, plate-shaped or is designed as a so-called crossbow actuator. At the training is the vibration transmission member as a pressure rod a vibration transmission over relatively large lengths possible without significant loss of energy.
Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfin dung ist vorgesehen, daß das Schwingungsübertragungsglied ein am Gehäuse des Zufuhrkanals biegesteif angreifender Biegebalken ist, dessen Längsachse sich quer zur Schwin gungsrichtung des angekoppelten piezoelektrischen Schwin gungsaktuators erstreckt.According to another preferred embodiment of the invention manure is provided that the vibration transmission member a rigidly acting on the housing of the feed channel Bending beam is, whose longitudinal axis is transverse to the Schwin direction of the coupled piezoelectric vibration tion actuator extends.
Es hat sich gezeigt, daß auch Biegeschwingungen ohne we sentlichen Energieverlust über verhältnismäßig große Ent fernungen übertragen und in Form von Biegekräften in das Gehäuse des Zufuhrkanals eingeleitet werden können, um die zur Tropfenbildung erforderlichen Druckschwingungen im Zu fuhrkanal zu erzeugen.It has been shown that bending vibrations without we considerable energy loss over relatively large ent transmitted distances and in the form of bending forces in the Housing of the feed channel can be initiated to the pressure fluctuations in the closing required for droplet formation to generate the driving channel.
Eine weitere Verringerung der Wärmeübertragung zwischen dem durch die Flüssigkeit aufgeheizten Gehäuse und dem piezo elektrischen Schwingungsaktuator kann in weiterer Ausge staltung der Erfindung dadurch erreicht werden, daß zwi schen dem Gehäuse des Zufuhrkanals und dem piezoelektri schen Schwingungsaktuator eine auf das Schwingungsübertra gungsglied wirkende Kühleinrichtung und/oder eine Wärmeab schirmung angeordnet ist.A further reduction in heat transfer between the heated by the liquid housing and the piezo electrical vibration actuator can in a further Ausge staltung of the invention can be achieved in that between rule the housing of the feed channel and the piezoelectric vibration actuator on the vibration transmission tion element acting cooling device and / or a Wärmeab shielding is arranged.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungsgedan kens sind Gegenstand weiterer Unteransprüche.Further advantageous refinements of the inventive concept kens are the subject of further subclaims.
Die durch die Erfindung gegebene Möglichkeit, den Ort der Anordnung des piezoelektrischen Schwingungsaktuators bezüg lich des Gehäuses weitgehend frei zu wählen, ermöglicht ei ne sehr flexible Anpassung an unterschiedliche Anforderun gen des Tropfen- oder Sprayerzeugungsprozesses. Insbesonde re können die durch den Piezoeffekt gegebenen thermischen Anforderungen erfüllt werden, weil der piezoelektrische Schwingungsaktuator vor Überhitzung geschützt wird.The possibility given by the invention, the location of the Arrangement of the piezoelectric vibration actuator Lich choose the housing largely freely, egg ne very flexible adaptation to different requirements against the drop or spray generation process. In particular re can the thermal given by the piezo effect Requirements are met because of the piezoelectric Vibration actuator is protected against overheating.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert, die in der Zeichnung jeweils stark vereinfacht dargestellt sind. Es zeigt: Exemplary embodiments of the invention are described in more detail below explained, each greatly simplified in the drawing are shown. It shows:
Fig. 1 eine Vorrichtung zur Erzeugung monodisperser Tropfen mit einem piezoelektrischen Schwingungsaktuator, der über einen Biegebalken als Schwingungsübertragungsglied angekop pelt ist, Fig. 1 shows an apparatus for producing monodisperse droplets using a piezoelectric vibration actuator is angekop pelt over a bending beam as an oscillation transmission member,
Fig. 2 eine Vorrichtung zur Erzeugung monodisperser Trop
fen, bei der der piezoelektrische Schwingungsaktuator über
einen Druckstab als Schwingungsübertragungsglied angekop
pelt ist,
mit einer Kühleinrichtung, Fig. 2 shows an apparatus for producing monodisperse fen Trop, wherein the piezoelectric vibration actuator pelt angekop via a pressure rod as a vibration transmitting member,
with a cooling device,
Fig. 3 eine Vorrichtung zur Erzeugung monodisperser Tropfen mit einem piezoelektrischen Schwingungsaktuator, der über einen schräg angeordneten Druckstab als Schwingungsübertra gungsglied angekoppelt ist und Fig. 3 shows a device for generating monodisperse drops with a piezoelectric vibration actuator which is coupled via a slanted pressure rod as a vibration transmission member and
Fig. 4 eine Vorrichtung zur Erzeugung monodisperser Trop fen, bei der ein piezoelektrischer Schwingungsaktuator über ein angekoppeltes Schwingungsübertragungsglied mit mehreren Gehäusen von Zufuhrkanälen verbunden ist. Fig. 4 shows a device for generating monodisperse drops, in which a piezoelectric vibration actuator is connected to a plurality of housings of supply channels via a coupled vibration transmission element.
Die in Fig. 1 stark vereinfacht dargestellte Vorrichtung zur Erzeugung monodisperser Tropfen weist einen Zufuhrkanal 1 in einem beispielsweise rohrförmigen Gehäuse 2 auf. Dem Zufuhrkanal 1 wird die zu zerstäubende Flüssigkeit über ei nen Anschluß 3 mit Druck zugeführt. Die Flüssigkeit tritt am entgegengesetzten Ende des Gehäuses 2 durch eine Düsen öffnung 4 einer Düsenwand 5 aus.The apparatus greatly in Fig. 1 shown in simplified form for the production of monodisperse droplets has a supply channel 1 in a housing 2, for example, tubular. The feed channel 1 , the liquid to be atomized is supplied with pressure via a connector 3 . The liquid exits at the opposite end of the housing 2 through a nozzle opening 4 of a nozzle wall 5 .
Die zur Tröpfchenbildung erforderlichen Druckschwingungen der Flüssigkeit im Zufuhrkanal 1 werden durch einen Schwin gungserzeuger 6 erzeugt. Dieser weist bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel einen als Stab ausgebil deten piezoelektrischen Schwingungsaktuator 7 auf, der durch einen elektrischen Signalgenerator 8 zu Längenände rungen in Stablängsrichtung angeregt wird. Der piezoelek trische Schwingungsaktuator 7 ist über einen als Schwin gungsübertragungsglied wirkenden Biegebalken 9 mit dem Gehäuse 2 verbunden. Der Biegebalken 9 greift an seinem einen Ende biegesteif am Gehäuse 2 an. Am anderen Ende des Biege balkens 9 ist der piezoelektrische Schwingungsaktuator so angekoppelt, daß sich die Längsachse des Biegebalkens 9 quer zur Schwingungsrichtung des angekoppelten piezoelek trischen Schwingungsaktuators 7 erstreckt. Die Vorrichtung ist insbesondere für den Einsatz im Frequenzbereich von 5- 300 kHz geeignet.The pressure vibrations of the liquid in the feed channel 1 required for droplet formation are generated by a vibration generator 6 . In the embodiment shown in FIG. 1, this has a piezoelectric vibration actuator 7 designed as a rod, which is excited by an electrical signal generator 8 to length changes in the longitudinal direction of the rod. The piezoelectric tric vibration actuator 7 is connected to the housing 2 via a bending beam acting as a vibration transmission member 9 . The bending beam 9 engages at one end in a rigid manner on the housing 2 . At the other end of the bending beam 9 , the piezoelectric vibration actuator is coupled so that the longitudinal axis of the bending beam 9 extends transversely to the direction of vibration of the coupled piezoelectric vibration actuator 7 . The device is particularly suitable for use in the frequency range from 5 to 300 kHz.
Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist der im Abstand zum Gehäuse 2 des Zufuhrkanals 1 angeordnete piezoelektrische Schwingungsaktuator 7 als quer zu Ihrer Scheibenebene schwingende Scheibe ausgebildet. Das Schwingungsübertra gungsglied ist ein Druckstab 10, dessen Längsachse sich in Schwingungsrichtung des angekoppelten piezoelektrischen Schwingungsaktuators 7 erstreckt und der an seinem anderen Ende mit dem Gehäuse 2 verbunden ist. Zwischen dem Gehäuse 2 und dem piezoelektrischen Schwingungsaktuator 7 ist eine auf den Druckstab 10 wirkende Kühleinrichtung 11 vorgese hen, die in Fig. 2 als eine den Druckstab 10 umgebende Kühlschlange dargestellt ist. Zusätzlich kann eine in Fig. 2 mit einer strichpunktierten Linie nur angedeutete Wär meabschirmung 12 vorgesehen sein. Außerdem besteht der Druckstab 10 - ebenso wie die Schwingungsübertragungsglie der der anderen dargestellten Ausführungsbeispiele - vor zugsweise aus einem schlecht wärmeleitenden Material.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, the piezoelectric vibration actuator 7 arranged at a distance from the housing 2 of the feed channel 1 is designed as a disk which oscillates transversely to its disk plane. The vibration transmission member is a pressure rod 10 , the longitudinal axis of which extends in the direction of vibration of the coupled piezoelectric vibration actuator 7 and which is connected at its other end to the housing 2 . Between the housing 2 and the piezoelectric vibration actuator 7 , a cooling device 11 acting on the pressure rod 10 is provided, which is shown in FIG. 2 as a cooling coil surrounding the pressure rod 10 . In addition, can be provided in Fig. 2 with a dash-dotted line only indicated heat shield 12 . In addition, the pressure rod 10 - just like the vibration transmission member of the other exemplary embodiments shown - preferably consists of a poorly heat-conducting material.
Alle diese Maßnahmen bewirken zusammen mit der räumlichen Trennung des piezoelektrischen Schwingungsaktuators vom Ge häuse 2, daß auch bei verhältnismäßig starker Erhitzung des Gehäuses 2, beispielsweise durch eine Metallschmelze hoher Temperatur, keine störende Erwärmung des piezoelektrischen Schwingungsaktuators 7 eintritt und insbesondere der Curie- Punkt des verwendeten Piezomaterials nicht überschritten wird.All these measures result together with the spatial separation of the piezoelectric vibration actuator from Ge housing 2 that occurs even with relatively strong heating of the housing 2, for example by a metal melt of high temperature, no disturbing heating of the piezoelectric vibration actuator 7, and especially the Curie point of the used Piezo material is not exceeded.
Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 unterscheidet sich von dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 im wesentlichen dadurch, daß der als Schwingungsübertragungsglied dienende Druckstab 10 schräg zur Längsrichtung des Zufuhrkanals 1 angeordnet ist. Damit wird gezeigt, daß der Druckstab 10 als verhältnismäßig langes Schwingungsübertragungsglied zwischen dem piezoelektrischen Schwingungsaktuator 7 und dem Gehäuse 2 weitgehend beliebig, insbesondere unter be liebigem Winkel angeordnet werden kann. Der piezoelektri sche Schwingungsaktuator 7 ist beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 als sog. Crossbow-Aktuator ausgeführt. Sein Piezoelement stellt einen an seinen beiden Enden einge spannten Biegebalken dar, der in seinem mittleren Bereich mit dem Druckstab 10 verbunden ist.The embodiment of FIG. 3 differs from the embodiment of FIG. 2 essentially in that the pressure rod 10 serving as a vibration transmission member is arranged obliquely to the longitudinal direction of the feed channel 1 . This shows that the pressure rod 10 can be arranged as a relatively long vibration transmission member between the piezoelectric vibration actuator 7 and the housing 2 largely as desired, in particular at any angle. The piezoelectric vibration actuator 7 is designed in the embodiment of FIG. 3 as a so-called crossbow actuator. Its piezo element represents a bending beam clamped at both ends, which is connected in its central region to the pressure rod 10 .
Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel greift der das Schwingungsübertragungsglied bildende Biegebalken 13 an seinen beiden Enden biegesteif an zwei Gehäusen 2, 2' von Zufuhrkanälen 1, 1' an. Der piezoelektrische Schwin gungsaktuator 7, der hier entsprechend dem Beispiel nach Fig. 1 stabförmig ausgebildet ist und Längsschwingungen er zeugt, ist im mittleren Bereich des Biegebalkens 13 ange koppelt.In the exemplary embodiment shown in FIG. 4, the bending beam 13 forming the vibration transmission member acts on both housings 2 , 2 'of supply channels 1 , 1 ' at both ends in a rigid manner. The piezoelectric vibration actuator 7 , which here is rod-shaped in accordance with the example of FIG. 1 and generates longitudinal vibrations, is coupled in the central region of the bending beam 13 .
Allen Ausführungsbeispielen ist gemeinsam, daß nicht nur die Schwingungsübertragungsglieder, sondern auch die zuge ordneten Verbindungen (Schweißnähte, Verschraubungen usw.) als Übertragungseinheit jeweils einen E-Modul aufweisen, wie er metallischen oder keramischen Bauteilen eigen ist.All of the exemplary embodiments have in common that not only the vibration transmission links, but also the ordered connections (weld seams, screw connections, etc.) each have an E-module as the transmission unit, as it is specific to metallic or ceramic components.
Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000113450 DE10013450B4 (en) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | Device for producing monodisperse drops |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000113450 DE10013450B4 (en) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | Device for producing monodisperse drops |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10013450A1 true DE10013450A1 (en) | 2001-09-27 |
DE10013450B4 DE10013450B4 (en) | 2006-05-04 |
Family
ID=7635401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000113450 Expired - Fee Related DE10013450B4 (en) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | Device for producing monodisperse drops |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10013450B4 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8691022B1 (en) | 2012-12-18 | 2014-04-08 | Lam Research Ag | Method and apparatus for processing wafer-shaped articles |
US8866111B2 (en) | 2011-08-05 | 2014-10-21 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source and method for lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN112317221A (en) * | 2017-06-30 | 2021-02-05 | 江苏高凯精密流体技术股份有限公司 | Split type liquid drop dispensing device |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009030099B4 (en) | 2009-06-22 | 2011-05-19 | Karl Hehl | Device for producing a three-dimensional object |
US8292610B2 (en) | 2010-12-21 | 2012-10-23 | Arburg Gmbh + Co. Kg | Device for manufacturing a three-dimensional object |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2543635B2 (en) * | 1974-09-30 | 1980-12-11 | K.K. Toyota Chuo Kenkyusho, Nagoya, Aichi (Japan) | |
DE3501077A1 (en) * | 1985-01-15 | 1986-07-17 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe | PULSE VALVE |
DE3912524A1 (en) * | 1988-04-20 | 1989-11-02 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Device for periodically producing drops of the smallest dimensions |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE718744C (en) * | 1938-12-06 | 1942-03-19 | Siemens Ag | Equipment for the treatment and production of dispersions, emulsions and suspensions |
-
2000
- 2000-03-17 DE DE2000113450 patent/DE10013450B4/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2543635B2 (en) * | 1974-09-30 | 1980-12-11 | K.K. Toyota Chuo Kenkyusho, Nagoya, Aichi (Japan) | |
DE3501077A1 (en) * | 1985-01-15 | 1986-07-17 | Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe | PULSE VALVE |
DE3912524A1 (en) * | 1988-04-20 | 1989-11-02 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Device for periodically producing drops of the smallest dimensions |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8866111B2 (en) | 2011-08-05 | 2014-10-21 | Asml Netherlands B.V. | Radiation source and method for lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8691022B1 (en) | 2012-12-18 | 2014-04-08 | Lam Research Ag | Method and apparatus for processing wafer-shaped articles |
US9548221B2 (en) | 2012-12-18 | 2017-01-17 | Lam Research Ag | Method and apparatus for processing wafer-shaped articles |
CN112317221A (en) * | 2017-06-30 | 2021-02-05 | 江苏高凯精密流体技术股份有限公司 | Split type liquid drop dispensing device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10013450B4 (en) | 2006-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112016007605B4 (en) | Supporting structure of an ultrasonic vibration transmission mechanism | |
DE3427915C1 (en) | Calibration unit of an extrusion device for thermoplastic | |
DE102009026636B4 (en) | A method of welding a membrane to a carrier in the manufacture of a membrane nebulizer | |
DE102013107154B4 (en) | Drive device | |
DE102014100817A1 (en) | converter unit | |
DE2543635B2 (en) | ||
DE102014213526A1 (en) | Device for heating a functional layer | |
DE102004039684B4 (en) | Device for applying a conductive paste to a curved resin glass pane | |
EP1859436A1 (en) | Rod-shaped ultrasonic resonator for producing ultrasound in liquids | |
DE69723922T2 (en) | Device with ultrasonic excited solder bath | |
DE10013450A1 (en) | Appliance for producing monodisperse droplets of fluids at high temperature has piezoelectric vibration generator installed at distance from housing of fluid feed passage and connected to it by vibration transmission component | |
EP2815638B1 (en) | Cooling device | |
DE4303736A1 (en) | ||
DE102015105038A1 (en) | Sonotrode for transmission of low-frequency power ultrasound and device for generating low-frequency power ultrasound with sonotrode | |
DE212017000184U1 (en) | Apparatus for ultrasonic welding and sonotrode for such a device | |
EP2331268B1 (en) | Device for producing high-frequency vibrations and method for operating said device | |
DE4421465A1 (en) | Ultrasonic welding and cutting tool for fabrics | |
DE202008005868U1 (en) | Device for soldering workpieces | |
DE102009031360A1 (en) | Wire conveyor to bring wire to a wire consumer, comprises an excitation device that is arranged so that it directly transfers the wire in oscillation, where the oscillations are transferred from the wire conveyor to the wire | |
EP1868182A1 (en) | Ultrasonic generator with cooling-fluid, a welding system, and a method for operating an ultrasonic generator | |
DE102013106531A1 (en) | Evaporating device for vaporizing an aerosol | |
DE19714665C1 (en) | Removal and prevention device for ultrasonic depositions in heat exchangers | |
EP3908421A1 (en) | Ultrasonic welding apparatus with cooling for oscillator arrangement | |
DE2950659A1 (en) | DEVICE FOR THERMAL SPRAYING | |
DE4312410A1 (en) | YIG ball positioning device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEGUSSA GMBH, 40474 DUESSELDORF, DE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: EVONIK DEGUSSA GMBH, 40474 DUESSELDORF, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20141001 |