DD290733A5 - ELECTROLUMINESCENCE FLAT DISPLAY AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF SUCH FLAT DISPLAYS - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Elektrolumineszenz-Flachdisplay und Verfahren zur Herstellung derartiger Flachdisplays. Die Anwendungsgebiete liegen dort, wo ein Einsatz von Bildroehren nicht zweckmaeszig oder nicht moeglich ist, d. h. bei sehr klein- oder sehr groszformatigen zwei-, mehr- oder vollfarbigen optischen Anzeigemitteln mit einem Bildpunktrastermasz im Bereich zwischen mm und einigen mm, also vor allem bei kleinst-, grosz- und groesztformatiger Wiedergabe bewegter farbiger Bilder, z. B. fuer hochaufloesendes Fernsehen (HDTV). Farbtuechtige Duennfilm-Elektrolumineszenz-Flachdisplays (10) lassen sich mit einer Weiszlicht-Emitterschicht (5) und mit Farbfiltern (7) ausbilden. Mit der Substratplatte (1) des Flachdisplays (10) als dessen Rueckfront, den unmittelbar auf der Substratplatte (1) strukturierten reflektierenden Elektroden (2) und Farbfiltern (7) vor transparenten Elektroden (8) an der Vorderfront des Flachdisplays (10) sind Parallaxe und Farbverzerrungen vermeidbar und eine selbstjustierende Strukturierung der von den Farbfiltern (7) bedeckten transparenten Elektroden (8) moeglich. Fig. 1{Flachdisplay; Elektrolumineszenz; Duennfilme; Weiszlicht-Emitter; Farbfilter; Selbstjustierung; Zwei-, Mehr-, Vollfarbigkeit; Kleinformat; Groesztformat; hochaufloesendes Fernsehen}The invention relates to an electroluminescent flat display and method for producing such flat displays. The areas of application are where a use of picture tubes is not expedient or not possible, d. H. in very small or very large-format two-, multi-color or full-color optical display means with a Bildpunktrastermasz in the range between mm and a few mm, so especially in the smallest, large and grozz format playback of moving colored images, eg. B. for high-definition television (HDTV). Color-fast thin-film electroluminescent flat displays (10) can be formed with a white-light emitter layer (5) and with color filters (7). With the substrate plate (1) of the flat display (10) as its back, directly on the substrate plate (1) structured reflective electrodes (2) and color filters (7) in front of transparent electrodes (8) on the front of the flat display (10) are parallax and color distortion avoidable and a self-aligning structuring of the color filters (7) covered transparent electrodes (8) possible. Fig. 1 {flat display; electroluminescence; Duennfilme; Weisz light emitter; Color filters; Self-adjustment; Two, more, full color; Small format; Groesztformat; high resolution television}

Description

Hierzu 6 Seiten ZeichnungenFor this 6 pages drawings

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektrolumineszenz-Flachdisplay und auf ein Verfahren zur Herstellung derartiger Flachdisplays.The invention relates to an electroluminescent flat display and to a method for producing such flat displays.

Die Anwendungsgebiete von Flachdisplays liegen insbesondere dort, wo ein Einsatz vor Kathodenstrahl-Bildröhren nicht zv/eckmäßig oder nicht möglich ist, also z. B. bei sehr klein- oder sehr großformatigen optischen Anzeigemitteln. Deren Bildpunktrastermaß liegt im Bereich zwischen μπι und einigen mm. Bei kleinformatigen Displays, z. B. bei Hand- oder Tischgeräten, werden im allgemeinen keine extremen Anforderungen an den Farbbereich, die Intensitätsstufung etc. gestellt. Für solche Einsatzzwecke wären Kathodenstrahl-Farbbildröhren also viel zu aufwendig. Eine groß· und größtformatige Wiedergabe bewegter farbiger Bilder ist hingegen z. B. im Standard des Hochauflösungsfernsehens (HDTV) und für einen Betrachtungsabstand, der etwa der doppelten Bildhöhe entspricht, mit Kathodenstrahl-Bildröhren aus Gewichts- und anderen, insbesondere konstruktionsbedingten Gründen nicht mehr und deshalb bislang nur mit Projektionseinrichtungen realisierbar. Flachdisplays bieten mit einem Bildpunktrastermaß im mm-Bereich bei großen Betrachtungsabständen die für HDTV erforderliche hohe Auflösung und sind dann gegenüber Projektionseinrichtungen konkurrenzfähig oder solchen z. B. für Heimanwendungen überlegen, wenn damit eine auch ansonsten vergleichbare Bildqualität erreicht wird. Die wesentlichenThe fields of application of flat displays are especially where use in front of cathode ray tubes is not zv / eckmäßig or not possible, ie z. B. in very small or very large-sized optical display means. Their Bildpunktrastermaß lies in the range between μπι and a few mm. For small format displays, eg. As hand or table devices, no extreme requirements are placed on the color range, the intensity grading, etc. in general. For such purposes cathode ray color picture tubes would be too expensive. A large and large format playback of moving colored images, however, z. B. in the standard of high-definition television (HDTV) and for a viewing distance that corresponds to about twice the image height with cathode ray tubes for weight and other, in particular design-related reasons no longer and therefore so far only with projection devices feasible. Flat displays with a pixel pitch in the mm range at large viewing distances provide the high resolution required for HDTV and are then competitive with projection equipment or such. B. superior for home applications, if so that an otherwise comparable image quality is achieved. The essential

Zielparamoter können prinzipiell sowohl mit Plasma- als auch mit Flüssigkristall- und mit Elektrolumineszenz-Flachdlsplays erfüllt werden. Die nachfolgend dargelegten Gesichtspunkte sprechen dafür, Elektrolumlneszenz-Dünnfilm-Displaye gute Ansichten für die Anwendung In großen Stückzahlen einzuräumen.Target paramaters can be met in principle with both plasma and liquid crystal and with electroluminescent Flachdlsplays. The considerations presented below suggest that thin-film electro-luminescence displays have good prospects for high-volume application.

Die hervorragende Strukturlerfähigkeit des erfindungsgemäßen Elektrolumineszenz-Displays bis zu Farb-Tripel- bzw. Quadrupel-Abmessungen im Bereich einiger pm ermöglicht die Anwendung für Brillen-Displays z.B. für zukünftige dreidimensionale oder Stereoskopie-HDTV-Anwendungen, bei den dom linken Brillenglas-Display das linksäugige Bild, dem rechten Brillenglas-Display das rechtsäuglgo aufgeprägt wird.The excellent structuring capability of the electroluminescent display according to the invention up to color triple or quadruple dimensions in the range of a few pm makes it possible to use it for spectacle displays, e.g. for future three-dimensional or stereoscopic HDTV applications, the left eyeglass image is impressed on the left eyeglass lens display and the right eyeglass lens on the right eyeglass lens display.

Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art

Die Erfindung geht bezüglich des Aufbaus von Elektrolumineszenz-Displays von einem Stand der Technik aus, wie er auf diesem Gebiet durch Veröffentlichungen von S.Tanaka et al. von der Tottori Universität in Japan repräsentiert wird. In einer ersten Arbeit (S.Tanaka, H. Yoshiyama, J.Nishiura, I.Ohshio, H. Kawakami, H. Kobayashi, Digest des 1988 SID Inter. Symp., p.293) wurden Ergebnisse von Untersuchungen für ein vollfarbiges Elektrolumineszenz-Display auf der Basis einer Weiß-Emission vorgestellt, wobei die Farbigkeit durch wahlweise Ansteuerung von solchen Bildpunktelementen erzielbar ist, bei denen die drei Grundfarben aus einer Weiß-Emission durch Farbfilter auszuwählen sind. Der Aufbau dieses Elektrolumineszenz-Versuchsmusters glich insoweit dem Regelfall, als auf einem Glassubstrat ein Filmpaket aus einer transparenten Elektrode, einem ersten ein- oder mehrlagigen Isolatorfilm, einem ein- oder mehrlagigen aktiven Halbleiterfilm und einem zweiten ein- oder mehrlagigen Isolatorfilm sowie aus einer zweiten Elektrode aus Metall bestand. Eine für diese Untersuchungen einfache und zweckmäßige Aufbringung organischer Filter auf der Vorderfront des Glassubstrats ist bei einer großtechnischen Realisierung nicht akzeptabel, weil dabei die Farbfilter um die Glasdicke von mindestens 1 mm von der Emissionsschicht getrennt sind und ein guter Farbeindruck nur bei nahezu senkrechter Betrachtung entsteht, da bei schrägem Winkel eine Parallaxe zwischen Filter und Lichtquelle auftritt.The invention is based on the prior art design of electroluminescent displays as disclosed in this field by publications of S. Tanaka et al. represented by Tottori University in Japan. In a first work (S.Tanaka, H. Yoshiyama, J. Nishiura, I. Ohshio, H. Kawakami, H. Kobayashi, Digest of 1988 SID Inter. Symp., P.293), results of investigations for a full color electroluminescence Display presented on the basis of a white emission, wherein the color can be achieved by selectively controlling such pixel elements in which the three primary colors are selected from a white emission by color filter. The structure of this electroluminescent test pattern resembled the rule, as on a glass substrate, a film package of a transparent electrode, a first single- or multi-layer insulator film, a single or multilayer active semiconductor film and a second single or multilayer insulator film and a second electrode made of metal. A simple and expedient application of organic filters on the front of the glass substrate for these investigations is unacceptable in a large-scale implementation because the color filters are separated by at least 1 mm from the emission layer by the glass thickness and a good color impression only arises when viewed almost perpendicularly. because at an oblique angle parallax between the filter and light source occurs.

Gemäß einer weiterin Arbeit (S.Tanaka, H.Kawakami, K. Nakamura, H.Kobayashi, Digest des 1989 SID Int. Symp., p.321) wurden zur Beseitigung dieses Mangels die Farbfilter zwischen Substratglas und transparenter Elektrode angeordnet und aus anorganischen Vielschicht-Interferenzfiltern gebildet. Diese Lösung vermeidet Parallaxe, ergibt jedoch bei größeren Betrachtungswinkeln Farbverierrungen durch die Winkelabhängigkeit der Transmission der Interferenzfilter. Besondere technologische Maßnahmen für die Herstellung von großformatigen Flachdisplays ^rind z. B. für Plasma-Displays mit einer Diagonale von etwa 50cm (20in.) bzw. 84cm (33in.) durch Arbeiten von H. Murakami et al. bekannt. In Digest des 1988 SID Intern. Symp., p. 142 bis 145 und in Proc. of the 9th Intern. Display Res. Conf., 16. bis 18. Oktober 1989 (Japan Display '89) Kyoto (Japan), p.214 bis 217 werden das Dickfilm-Drucken und die Ablagerung von aktivem Leuchtstoffmaterial hervorgehoben. Elektroden und Stege mit jeweils gleichmäßigen Höhen- und Breitenabmessungen lassen sich danach in sich mehrfach wiederholenden Zyklen von Dickfilmdruckvorgängen und Trocknungsprozessen aufbauen. Für die Ausbildung einer gleichmäßig ebenen Oberfläche einer Schicht aus Leuchtstoffmaterial diente eine Apparatur, bei der eine Ziehklinge über diese Schicht hinweg bewegt wird.According to further work (S.Tanaka, H.Kawakami, K. Nakamura, H. Kobayashi, Digest 1989 SID Int. Symp., P.321), to eliminate this deficiency, the color filters were placed between the substrate glass and the transparent electrode, and inorganic ones Multilayer interference filters formed. This solution avoids parallax, but at larger viewing angles results in color distortions due to the angular dependence of the transmission of the interference filters. Special technological measures for the production of large format flat displays ^r ind z. For example, for plasma displays with a diagonal of about 50cm (20in.) Or 84cm (33in.) By works of H. Murakami et al. known. In Digest of the 1988 SID Intern. Symp., P. 142 to 145 and in Proc. of the 9th Intern. Display Res. Conf., 16-18 October 1989 (Japan Display '89) Kyoto (Japan), p.214-217, highlight thick-film printing and the deposition of active phosphor material. Electrodes and webs, each with uniform height and width dimensions, can then be built up in cycles of thick-film printing processes and drying processes which repeat several times. For the formation of a uniformly flat surface of a layer of phosphor material, an apparatus was used in which a scraper blade is moved over this layer.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Ziel der Erfindung sind klein-, vor allem aber großformatige Elektrolumineszenz-Fachdisplays, die Zwei-, Mehr- oder Vollfarbigkeit ermöglichen und sich durch hohe Bildqualität, geringe Leistungsaufnahme und geringes Gewicht auszeichnen sowie eine kostengünstige Herstellung mittels Fließfertigung und Automatisierbarkeit der Herstellungsprozesse bei guter Verträglichkeit wenig aufwendiger technologischer Operationen ermöglichen.The aim of the invention are small, but especially large-scale electroluminescent displays that allow two, more or full color and are characterized by high image quality, low power and low weight and low cost production by flow production and automation of manufacturing processes with good compatibility little allow more complex technological operations.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung für ein Elektrolumineszenz-Flachdisplay anzugeben, wobei von einer Dünnfilmstruktur mit Weiß-Emitter und mit Farbfiltern ausgegangen werden soll, und bei der Betrachtungswinkel nicht durch Parallaxe oder Interferenzeffekte eingeschränkt wird. Die Ansteuerung der Bildpunkte der Anordnung soll wie in an sich bei Flachdisplays von anderem Typ, aber ebenfalls mit im mm-Bereich liegendem Bildpunktrastermaß schon bekannter und bewährter Weise erfolgen. Dabei soll das Herstellungsverfahren in möglichst wenigen Teilabschnitten mit solchen Operationen ausführbar sein, für die jeweils ähnliche oder möglichst keine besonderen Bedingungen bezüglich Vakuum, Temperatur, Reinraumverhältnisse etc. herrschen müssen, und die es ermöglichen, die Positionierung von Strukturen in unterschiedlichen Schichten mit geringem Aufwand durchzuführen.The invention is therefore based on the object to provide an arrangement for a electroluminescent flat panel display, which is to be assumed by a thin-film structure with white emitter and with color filters, and at the viewing angle is not limited by parallax or interference effects. The control of the pixels of the arrangement should be carried out in a known and proven manner, as in the case of flat displays of a different type, but also with a pixel scale in the mm range. In this case, the manufacturing process in as few subsections should be executable with such operations for each similar or possible no special conditions with respect to vacuum, temperature, clean room conditions, etc. must prevail, and make it possible to perform the positioning of structures in different layers with little effort ,

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß bei einem Elektrolumineszenz-Flachdisplay, das ein von einer Substratplatte getragenes Schichtenpaket aufweist, bei dem zwei Schichten aus elektrisch gut leitenden Materialien zur Bildung der Zeilen und Spalten einer Matrix von Elektrodenpaaren für wahlweise ansteuerbare Bildpunktelemente strukturiert und jeweils einer Schicht aus Isolatormaterial benachbart sind, zwischen denen sich eine Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial befindet, welches unter Einwirkung eines elektrischen Feldes Weißlicht emittiert, und bei dem sich Farbfilter für die Bildpunktelemente in einer weiteren Schichtcnlage befinden, erfindungsgemäß die das Schichtenpaket tragende Substratplatte als Rückfront des Displays ausgebildet ist, im Schichtenpaket auf der Substratplatte eine strukturierte Schicht aus einem Metall als reflektierende Elektroden, die erste Schicht aus Isolatormaterial, die Schicht aus Isolatormaterial und die zweite strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material als optisch transparente Elektroden in der genannten Reihenfolge angeordnet sind, und die Farbfilter die transparenten Elektroden bedecken und die weitere Schichtenlage bilden, die sich an der einem Betrachter zuguwandten Front des Displays befindet.The object is achieved in that, in a electroluminescent flat display, which has a layer package carried by a substrate plate, structured in the two layers of electrically highly conductive materials for forming the rows and columns of a matrix of electrode pairs for selectively controllable pixel elements and each one layer are adjacent of insulating material, between which there is a layer of active phosphor material or semiconductor material, which emits white light under the action of an electric field, and in which color filter for the pixel elements are in a further Schichtcnlage, according to the invention the substrate package carrying the substrate plate as a back panel is formed of the display, in the layer package on the substrate plate, a structured layer of a metal as reflective electrodes, the first layer of insulator material, the layer of insulator material and the second structured Sch Are not arranged electrically good conductive material as optically transparent electrodes in the order named, and the color filter cover the transparent electrodes and form the further layer layer, which is located on the front of the display zuguwandten a viewer.

Diese Lösung beruht auf dem für die Erfindung wesentlichen Gedanken, eine MISIM-Struktur (M = Metall; I = Isolator, S " Halbleiter) hinsichtlich der Betrachtunprlchtung umzukehren und von reflektierenden Metall-Elektroden auf einer die Rücl'.front des Flachdlsplay* bildenden Substratplatte autzugehen, darauf die Isolator- und Halbleiterfilme anzuordnen und darüber den Film für die transparenten Elektroden, z.B. aus ITO (Indlum-Zlnn-Oxid), abzuscheiden. Damit werden die Voraussetzungen dafür geschaffen, die transparenten Elektroden mit den besten verfügbaren Absorptionsfiltern blldpunktwelse zu bedecken, ohne daß Parallaxe oder Interferenzeffekte den Betrachtungswinkel einschränken.This solution is based on the idea essential for the invention of reversing a MISIM structure (M = metal; I = insulator, S " semiconductor) with respect to the consideration and of reflecting metal electrodes on a substrate plate forming the back surface of the flat display * to place the insulator and semiconductor films thereon and then to deposit the film for the transparent electrodes, eg of ITO (Indium-Znnn-Oxide), thus creating the conditions for covering the transparent electrodes with the best absorption filters available, without parallax or interference effects restricting the viewing angle.

Somit lassen sich bislang vorhandene Mängel umgehen, die darin begründet sind, daß hinreichend gute Absorptionsfilter auf anorganischer Basis, die den Prozeßtemperaturen bei der Herstellung darüber anzuordnender MISIM-Strukturlagen widerstehen, nicht bekannt sind. Zumindest wird für derartige Filter, die z. B. Blau durchlassen, aber Rot absorbieren solion, bei noch vertretbaren Dicken bis etwa 1 Mikrometer keine hinreichende Farbsättigung erreicht. Die erfindungsgemäße Anordnung relativ dicker, gut farbsättigender anorganischer oder organischer Absorptionsfilter auf einem bereits Im wesentlichen fertigen Filmpaket, das jedenfalls keiner Behandlung bei hohen Temperaturen mehr bedarf, bietet hinyogen Möglichkeiten von erheblicher Bedeutung.Thus, existing deficiencies can be circumvented by reasoning that sufficiently good inorganic-based absorption filters which can withstand the process temperatures in the fabrication of MISIM structural layers to be superimposed thereon are not known. At least for such filters, the z. B. Blue, but red absorb solion, with still acceptable thicknesses to about 1 micrometer does not reach sufficient color saturation. The inventive arrangement relatively thick, good color saturation inorganic or organic absorption filter on an already substantially finished film package, which in any case no longer requires treatment at high temperatures, hinyogen offers opportunities of considerable importance.

Ausbildungsformen der Erfindung können sich nämlich sowohl bozüglich der Farbigkeit als auch des Formats eines Flachdisplays wesentlich unterscheiden und ansonsten eine Vielzahl gleicher bzw. weitgehend ähnlicher konstruktiver Einzelheiten aufweisen. Beim Aufbau der MISIM-Struktur für den Weiß-Emitter sind die Schichtdickon und die Materialien der Festkörper unabhängig davon, ob es sich um die Ausführung als Variante für z. B. kleinformatige, zweifarbige alphanumerische Darstellungen oder als komfortabelste Variante für großformatige, vollfarbige Bewegtbildwiedergabe im HDTV-Standard handelt. Das im mm-Bereich liegende Bildpunktrastermaß Ist bestimmend für die Abmessungen der Elektroden. Ein vollfarbigos Display benötigt Farbfilter-Tripel, hat also einen Flächenbedarf von z. B. 1 mm² für jeden Bildpunkt. Werden bei einem Flachdisplay nur zwei Farben je Bildpunkt benötigt und die Elektroden in denselben Abmessungen wie für ein vollfarbiges Display ausgebildet, reduziert sich der Flächenbedarf je Bi dpunkt auf rund 0,44mm². In allen Fällen kann die Bildpunktmatrix zeilen- oder spaltenserioll angesteuert werden. Für ein vollfarbiges Display müssen die Elemente der Farbtripel je Bildpunkt sehr gut mischbar sein, ein zwei- oder mehrfarbiges Flachdisplay mit geringerer Anzahl der Helligkeitsstufen von einzelnen, innerhalb eines Bildpunktes nicht zu mischenden Farben hingegen erfordert eine in dieser Hinsicht dann weniger aufwendige Steuerung. Bei einer vorteilhaften ersten Ausbildungsform erfindungsgemäßer Flachdisplays können die erste, als reflektierende Elektroden strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material eine Chromschicht, die zweite, als transparente Elektroden strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material eine Schicht aus mit Indium dotiertem Zinnoxid, die der jeweiligen Schicht aus elektrisch gut leitendem Material benachbart angeordneten Schichten aus Isolatormaterial ein- oder mehrlagig ausgebildet und die Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial ein- oder mehrlagig ausgebildet und eine Schicht aus Sr(S, Se):Ce und/oder SrS:Eu enthalten.Forms of training of the invention can differ substantially both in terms of color and of the format of a flat display and otherwise have a multiplicity of identical or substantially similar structural details. When building the MISIM structure for the white emitter, the layer thickness and the materials of the solids are independent of whether it is the version as a variant for z. B. small-format, two-color alphanumeric representations or as the most comfortable variant for large-format, full-color moving image playback in the HDTV standard is. The pixel scale in the mm range determines the dimensions of the electrodes. A full-color display needs color filter triples, so has an area requirement of z. B. 1 mm ² for each pixel. If only two colors per pixel are required for a flat display and the electrodes are designed in the same dimensions as for a full-color display, the area requirement per bi-point is reduced to around 0.44 mm ² . In all cases, the pixel matrix can be controlled by rows or columns. For a full-color display, the elements of the color triplets per pixel must be very easy to mix, a two-color or multicolor flat display with a lower number of levels of brightness of individual, not to be mixed within a pixel colors, however, requires in this regard then less expensive control. In an advantageous first embodiment of flat displays according to the invention, the first layer of electrically highly conductive material structured as a reflective electrode may comprise a chromium layer, the second layer of electrically highly conductive material structured as transparent electrodes a layer of indium-doped tin oxide corresponding to the respective layer electrically well conductive material adjacent layers of insulating material arranged one or more layers and formed the layer of active phosphor or semiconductor material one or more layers and a layer of Sr (S, Se): Ce and / or SrS: Eu included.

Eine zweite Ausbildungsform, die auch als Weiterbildung der zuvor genannten von Vorteil ist, bezieht sich darauf, die reflektierenden Elektroden streifenförmig auszubilden und längs einer Symmetrieachse der Substratplatte verlaufend anzuordnen, dio transparenten Elektroden ebenfalls streifenförmig auszubilden, jedoch orthogonal zu den reflektierendenA second embodiment, which is also advantageous as a further development of the aforementioned, relates to forming the reflective electrodes strip-shaped and extending along an axis of symmetry of the substrate plate, also forming the transparent electrodes strip-like, but orthogonal to the reflective

für Bildpunkte die Farbfilter streifenförmig auszubilden sowie die transparenten Elektroden bedeckend und in deren Richtung verlaufend anzuordnen, womit jeder Kreuzungspunkt einer der reflektierenden Elektroden und einer der transparenten Elektroden ein frei wählbar anzusteuerndes Elektrodenpaar in einem zwei·, mehr- oder vollfarbigen Display bildet. Hierzu kann als weitere Ausbildungsform vorgesehen sein, daß die Elemente der Bildpunkte in einem Wiederholmuster von Farbquadrupeln angeordnet sind. Der Vorteil davon ist, daß z.B. für schwächer transmittierende Farbfilter, insbesondere für Blau, bei funktionell als Farbtripel wirkenden Bildpunkten eine größere Abstrahlfläche für solche Farben zur Verfügung steht. Bei zweifarbigen Displays läßt sich auf diese Weise die Helligkeit jeder der beiden Farben feiner abstufen.for pixels to form the color filter strip-shaped and covering the transparent electrodes and to arrange running in the direction thereof, whereby each intersection of one of the reflective electrodes and one of the transparent electrodes forms an arbitrary selectable pair of electrodes in a two, multi or full color display. For this purpose can be provided as a further embodiment that the elements of the pixels are arranged in a repeating pattern of color quads. The advantage of this is that e.g. for weaker-transmitting color filters, in particular for blue, a larger emission surface for such colors is available for pixels which function functionally as color triplets. With two-color displays, the brightness of each of the two colors can be finely graduated in this way.

Bei allen erfindungsgemäßen Flachdisplays und deren Ausbildungsformen kann besonders zweckmäßig auf der Schichtenlage der Farbfilter eine die Vorderfront des Displays bildende Verkappung angeordnet sein. Diese dient als Berührungs- und Korrosionsschutz für das Flachdisplay auch zur Stabilisierung des MISIM-Schichtenpakets und der Farbfilterschicht auf der Substratplatte.In all flat displays according to the invention and their embodiments, a capping forming the front of the display can be arranged particularly expediently on the layer layer of the color filter. This serves as contact and corrosion protection for the flat display also for stabilizing the MISIM layer package and the color filter layer on the substrate plate.

Eine weitere Ausbildungsform, die sich ebenfalls auf alle erfindungsgemäßen Flachdisplays in den vorstehend genannten Ausbildungsformen in vorteilhafterweise anwenden läßt, bezieht sich darauf, zur Ansteuerung des Displays jeweils nur an einer Längs- und einer Querseite für die Zeilen bzw. die Spalten der Matrix elektronische Schaltkreise anzuordnen. Dies ist sowohl für einen hybriden als auch für einen integrierten Aufbau von Flachdisplays und ihren zugehörigen elektronischen Schaltkreisen günstig.A further embodiment, which can likewise be applied advantageously to all flat displays according to the invention in the abovementioned embodiments, relates to arranging electronic circuits for driving the display only on one longitudinal side and one transverse side for the rows or columns of the matrix , This is beneficial for both hybrid and integrated design of flat panel displays and their associated electronic circuits.

Hiermit in engem Zusammenhang stehend und aufgrund der Tatsache, daß Elektrolumineszenz-Flachdisplays als Festkörpergebilde keine seitlichen Verschlußkanten benötigen, ergibt sich schließlich noch eine besonders günstige Ausbildungsform, bei der vier Displays zu einem Flachbildschirm aneinandergefügt sind. Flachbildschirme, die aus einer größeren Anzahl von aneinandergereihten und/oder aneinandergefügten Displays gebildet werden sollen, benötigen dann eine besondere Verbindungstechnik zwischen den Displays, wenn das Bildpunktrastermaß unbedingt eingehalten werden soll. Für die Herstellung eines Elektrolumineszenz-Flachdisplays besteht die zu lösende Aufgabe darin, auf einer Substratplatte ein Schichtenpaket auszubilden, das eine erste strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material, eine erste Schicht aus Isolatormaterial, eine mittlere Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial, eine zweite Schicht aus einem Isolatormaterial und eine zweite strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material sowie eine weitere strukturierte Schichtenlage aufweist, in der Farbfilter für die Bildpunktelemente angeordnet sind.Closely related to this and due to the fact that electroluminescent flat displays do not require lateral closure edges as solid bodies, finally a particularly favorable embodiment results, in which four displays are joined together to form a flat screen. Flat screens, which are to be formed from a larger number of juxtaposed and / or joined displays, then require a special connection technology between the displays, if the Bildpunktrastermaß is to be strictly adhered to. For the production of an electroluminescent flat panel display, the problem to be solved is to form a layer package on a substrate plate which comprises a first structured layer of electrically highly conductive material, a first layer of insulator material, a middle layer of active phosphor material or semiconductor material second layer of an insulator material and a second structured layer of electrically good conductive material and a further structured layer layer, are arranged in the color filter for the pixel elements.

Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, die Si ·' jstratplatte, deren untere Fläche hernach die Rückfront des Displays bildet, auf ihrer oberen Fläche mit reflektierenden Elektroden aus Metall, als der ersten strukturierten Schicht aus elektrisch gut leitendem Material, zu versehen, sodann über und zwischen den reflektierenden Elektroden die erste Schicht aus Isolatormaterial, darüber die mittlere Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial und darüber die zweite Schicht aus Isolatormaterial, jeweils ganzflächig und ein- oder mehrlagig, abzuscheiden, über der zweiten Schicht aus Isolatormaterial ein elektrisch gut leitendes sowie optisch transparentes Material als zunächst ganzflächige, homogene Schicht abzulagern, nunmehr über der zunächst noch ganzflächigen Schicht aus dem optisch transparenten und elektrisch gut leitenden Material die weitere Schichtenlage mit den Farbfiltern an der Vorderfront des Displays aufzubauen und anschließend, zur AusbildungThe inventive method provides for the Si · 'jstratplatte whose lower surface thereafter forming the rear front of the display, on its upper surface with a reflective electrode made of metal, to provide as the first patterned layer of electrically well conductive material, then over and between the first layer of insulator material, above the middle layer of active phosphor or semiconductor material and above the second layer of insulator material, in each case over the entire surface and single or multilayer, deposit over the second layer of insulator material is a good electrical conductivity and optical To deposit transparent material as initially full-area, homogeneous layer, now build on the first still full-surface layer of the optically transparent and highly electrically conductive material, the further layer layer with the color filters on the front of the display and then, for training

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transparenter, von Farbfiltern bedeckter Elektroden die Struktur der Farbfilter als Maske tür eine selbstjustierende Strukturierung der Schicht aus dem optisch transparenten, elektrisch gut leitenden Material zu verwenden.Transparent, covered by color filters electrodes to use the structure of the color filter as a mask door for a self-aligning structuring of the layer of the optically transparent, electrically highly conductive material.

Für die Herstellung monochromer Elektrolumlneszenz-Dlsplaye mit Palettenabmessungen von je 700mm Länge und Breite sindFor the production of monochrome electroluminescence displays with pallet dimensions of 700mm length and width respectively Apparaturen und herkömmliche Technolgien bereits erprobt. Diese Technologien sind für diejenigen Prozeßstufen ohneEquipment and conventional technologies already tested. These technologies are for those process stages without

weiteres übernehmbar, die sich auf die Ausbildung der Schichten aus den leolatormaterialien und dem aktiven Leuchtstoff- bzw.Other adaptable, based on the formation of the layers of the leolatormaterialien and the active phosphor or

Halbleitermaterial beziehen. Solche Materialschichten lassen sich alle in jeweils derselben Technologie erzeugen, z. B. durchRefer to semiconductor material. Such material layers can all be produced in the same technology, for. B. by

reaktive Abscheidung aus den Metallen, durch Sputtern, durch Deposition aus metallorganischen Verbindungen usw.reactive deposition from the metals, by sputtering, by deposition of organometallic compounds, etc.

Auch die Abscheidung eines optisch transparenten, elektrisch gut leitenden Materials gehört zu herkömmlichen, beroitsThe deposition of an optically transparent, electrically highly conductive material belongs to conventional, beroits

erprobten Technologien für die Herstellung von Elektrolumineszenz-Dünnfilm-Displays. Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird diese Schicht jedoch nicht als erste sodann als die letzte der MISIM-Struktur gebildet.proven technologies for the production of electroluminescent thin-film displays. However, in the method of this invention, this layer is not formed first as the last of the MISIM structure.

Der zu Beginn des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens liegende technologische Teilabschnitt, in dem als erste SchichtThe technological subsection at the beginning of the production process according to the invention, in which as the first layer

der MISIM-Struktur eine Metallschicht zu erzeugen und zu strukturieren ist, weist weitgehende Ähnlichkeiten mit Operationen auf, die auch zur Herstellung von Plasma-Flachdisplays, und zwar für deren rückwärtigen Teil, durchzuführen sind. In beidenThe MISIM structure to produce and structure a metal layer has much in common with operations that are also to be performed for the production of plasma flat displays, namely for the rear part. In both

Fällen genügt es, die Substratplatten von groben Unebenheiten, Partikeln und Schlieren zu befreien, um sodann die Flächen derCases it is sufficient to free the substrate plates of coarse unevenness, particles and streaks, then the surfaces of the Substratplatten mit Elektroden aus Metall versehen zu können.Substrate plates to be provided with electrodes made of metal. Im letzten Teilabschnitt des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens worden sowohl die Farbfilter aufgebaut als auch dieIn the last part of the manufacturing process according to the invention both the color filters have been constructed and the Elektroden in der Schicht aus dem optisch transparenten, elektrisch gut leitenden Material strukturiert. Die Operationen, die inElectrodes in the layer of the optically transparent, electrically highly conductive material structured. The operations in

diesem Teilabschnitt erfolgen, führen dazu, daß sich die Farbfilter einerseits sohr nah an der Weißlichtemitterschicht und andererseits unmittelbar an der Vorderfront des Displays befinden, dort also bis zum Abschluß der Herstellung leicht zugänglich sind und ohne weitere« letzte Feinbearbeitungen ermöglichen. Von wesentlicher Bedeutung ist dabei, daß die Operationen zumThis subsection, cause the color filter on the one hand are so close to the white light emitter layer and on the other hand directly on the front of the display, so there are easily accessible to the completion of the production and without further «final finishes allow. It is essential that the operations for

Aufbau von Farbfiltern und zur Strukturierung transparentor Elektroden in denkbar engster funktioneller VerbindungStructure of color filters and structuring transparent electrodes in the closest possible functional connection

miteinander stehen und eine Selbstjustir Jng der Strukturen der Farbfilter und der von ihnen bedeckten transparentenstanding together and a self-adjusting the structures of the color filters and the transparent ones covered by them

Elektroden bewirken. Dabei sind die Anforderungen an die Einhaltung von Toleranzen dieser Strukturen gering; lediglichEffect electrodes. The requirements for compliance with tolerances of these structures are low; only

sicherzustellen ist, daß Strukturierungskanten nicht unterbrochen sind.ensure that structuring edges are not interrupted.

Die Erzeugung von Elektrolumineszenz-Flachdisplays erfolgt also nach dem erfindungsgemäßen Verfahren in wenigenThe production of electroluminescent flat displays thus takes place according to the inventive method in a few Teilabschnitten mit jeweils sowie in ihrer Gesamtwirkung optimal durchzuführenden Operationen. Nur am Anfang und am EndeSubsections, each with and in their overall effect optimally performed operations. Only at the beginning and at the end

des Herstellungsprozesses müssen Strukturierungen vorgenommen werden. Dazwischen sind ganzflächige Feststoffschichten aufeinander abzulagern.structuring must be done in the manufacturing process. In between, all-over solid layers are to be deposited on each other.

Ausgestaltungsformen des erfindungsgomäßen Herstellungsverfahrens betreffen vornehmlich solche Maßnahmen, die imEmbodiments of the manufacturing method according to the invention relate primarily to such measures as are described in the Zusammenhang mit der Strukturierung von Schichten stehen. So ist es bezüglich der Herstellung reflektierender Elektroden ausRelated to the structuring of layers. So it is with respect to the production of reflective electrodes Metall besonders günstig, hierfür ein vorgefertigtes Abziehbild von einer Trägerfolie auf die Substratplatte zu übertragen. DiesesMetal particularly low, this purpose to transfer a prefabricated decal of a carrier film on the substrate plate. This Abziehbild läßt sich z. B. durch Anschmelzen auf der Substratplatte ausreichend fixieren.Decal can be z. B. sufficiently fix by melting on the substrate plate. In entsprechender Art und Weise lassen sich bei Ausgestaltungsformen der Erfindung auch die Farbfilter als ein vorgefertigtesIn a corresponding manner can be in embodiments of the invention, the color filter as a prefabricated Abziehbild von einer Trägerfolie auf die noch unstrukturierte Schicht aus optisch transparentem, elektrisch gut leitendemDecal of a carrier film on the still unstructured layer of optically transparent, electrically good conductive Matertal übertragen. Hierbei kann die Fixierung der Farbfilter z. B. mittels eines organischen Klebers vorgenommen werden, derMatertal transferred. Here, the fixation of the color filter z. B. be made by means of an organic adhesive, the

in ausgehärtetem Zustand resistant gegen Mittel zur Abtragung des optisch transparenten, elektrisch gut leitenden Materials sein muß, wenn die Strukturierung der transparenten Elektroden durchgeführt wird.must be resistant in the cured state against means for removing the optically transparent, highly electrically conductive material when the structuring of the transparent electrodes is performed.

Nach einer anderen Ausgestaltungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens kann die Erzeugung von Strukturen für ElektrodenAccording to another embodiment of the method according to the invention, the production of structures for electrodes

und Farbfilter in geometrisch einfacher, regelmäßiger Gestaltung auch durch Relativbewegung zwischen der Substratplatte und einer Apparatur erfolgen, welche die Operationen zur Strukturbildung ausführt. Zu derartigen Operationen gehören beispielsweise das Auftragen von Strukturen, bereits in deren endgültiger Gestaltung, oder das Abtragen von Bereichen zuvor ganzflächig aufgetragener Schichten.and color filter in geometrically simple, regular design also by relative movement between the substrate plate and an apparatus carried out, which carries out the operations for structure formation. Such operations include, for example, the application of structures, already in their final design, or the removal of areas previously previously applied over the entire surface layers.

Infolge der Seibstjustierung von Farbfiltern und von diesen bedeckten transparenten Elektroden sowie der sich ohne besondereDue to the Seibstjustierung of color filters and these covered transparent electrodes as well as without special Maßnahmen von solbst ergebenden Kreuzungspunkte reflektierender und transparenter Elektroden bei erfindungsgemäßenMeasures of such resulting crossing points of reflective and transparent electrodes in the invention Elektrolurnineszenz-Flachdisplays lassen sich auf diese Weise die erforderlichen Maßgenauigkeiten ohne besonderen AufwandElektrolurnineszenz flat displays can be in this way the required dimensional accuracy without special effort

erzielen.achieve.

Die oben genannten Ausgestaltungsformen des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens sind offensichtlich nicht nur aufThe above-mentioned embodiments of the manufacturing method according to the invention are obviously not only on Elektrolumineszenz-Flachdisplays anwendbar; diese Ausgestaltungsformen bezeichnen damit Gegenstände, denen neben ihrerElectroluminescent flat displays applicable; these embodiments thus designate objects, in addition to their

selbständigen erfinderischen Bedeutung auch noch ein sachlich weitergehender Schutzumfang zukommt.independent inventive importance also has a factually wider scope of protection.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungsformen befassen sich mit dem Teilabschnitt für den Aufbau der Farbfilter und dieFurther advantageous embodiments are concerned with the subsection for the construction of the color filters and the Strukturierung der transparenten Elektroden. Nach der Reihenfolge der dazu durchzuführenden Operationen wird zunächst derStructuring the transparent electrodes. After the order of the operations to be performed, the first Aufbau der Schichtenlage mit den Farbfiltern eingehender dargelegt.Structure of the layer layer with the color filters set out in more detail. Wie bereits weiter oben schon erwähnt ist, kann der Aufbau der Farbfilter schon mit einem an anderer Stelle vorgefertigtenAs already mentioned above, the structure of the color filter can already be prefabricated with a elsewhere Abziehbild beginnen oder auf der noch unstrukturierten Schicht des optisch transparenten, elektrisch gut leitenden MaterialsStart decal or on the still unstructured layer of optically transparent, electrically highly conductive material

vorgenommen werden. In derartigen Fällen bildet die fertige Struktur der Farbfilter die Maske, die sodann für die selbstjustierende Strukturierung der transparenten Elektroden verwendet wird. Insbesondere bei Farbfiltern aus anorganischenbe made. In such cases, the finished structure of the color filters forms the mask, which is then used for the self-aligning structuring of the transparent electrodes. Especially with color filters made of inorganic

Materialien ist zu diesem Zeitpunkt auch schon jene Farbe festgelegt. Den jeweiligen Möglichkeiten und ErfordernissenMaterials is already set that color at this time. The respective possibilities and requirements

entsprechend können dabei die strukturierten Filter in den einzelnen Farben gleichzeitig oder für jede Farbe getrennt aufgebaut werden.Accordingly, the structured filters can be constructed separately in the individual colors or separately for each color.

Eine andere Ausgestaltungsform dieses Teilabschnittes des erfindungsgemäßen Verfahrens bildet die vorteilhafte Möglichkeit,Another embodiment of this subsection of the method according to the invention forms the advantageous possibility

zum Aufbau der Schichtenlage mit den Farbfiltern zunächst eine ganzflächige Schicht aus farbneutralem, organischem Material über der zunächst noch ganzflächigen Schicht aus optisch transparentem, elektrisch gut leitenden Material aufzubringen, sodann die Strukturen der Farbfilter und danach - oder in einem gemeinsamen Verfahrensschritt- die Strukturen der transparenten Elektroden zu erzeugen und schließlich die zuvor strukturierten und noch farbneutralen Farbfilter mit Farbstoffen in den gewünschten Farbtönen einzufärben.To build up the layer layer with the color filters first apply a full-surface layer of color-neutral, organic material over the first full-surface layer of optically transparent, highly electrically conductive material, then the structures of the color filter and then - or in a common Verfahrensschritt- the structures of the transparent To produce electrodes and finally to color the previously structured and color-neutral color filter with dyes in the desired color tones.

Für diese Einfärbung sieht eine besonders bevorzugte Ausgestaltungsform vor, die einzelnen Farbstoffe elektrochemisch in dieFor this coloring provides a particularly preferred embodiment, the individual dyes electrochemically in the Farbfilter einzuführen und dazu selektiv die betreffenden transparenten Elektroden zu verwenden.Introduce color filter and to selectively use the respective transparent electrodes.

Selbstverständlich haben auch herkömmliche Prozesse für den Aufbau der Farbfilter neben den oben erwähnten Ausgestaltungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens ihre Bedeutung, besonders dann, wenn komplizierter gestaltete Wiederholmuster für die Farbfilter verlangt werden. So läßt sich die Schichtenlage mit den Farbfiltern dann z. B. im Siebdruckverfahren oder auch In für jeden Farbton getrennten Lithographieoperetionen, insbesondere unter Vorwendung eingefärbter Fotolacke, aufbauen.Of course, conventional processes for the construction of the color filters in addition to the above-mentioned embodiments of the method according to the invention have their meaning, especially when more complicated designed repeating patterns are required for the color filter. Thus, the layer layer with the color filters then z. B. in the screen printing process or in for each color separate Lithographyoperetionen, in particular using vorben colored photoresists build.

Schließlich ist es zweckmäßig, das Flachdisplay nach Fertigstellung und Funktionsprüfung mit einer Verkappung zu versehen, die die Vorderfront des Displays bildet.Finally, it is expedient to provide the flat display after completion and functional testing with a capping, which forms the front of the display.

Ausführungsbeispieleembodiments

Ausführungsformen der Erfindung, die als besonders günstig anzusehen sind und Einzelheiten der konstruktiven Ausbildung und/oder Maßnahmen für das Herstellungsverfahren der erfindungsgemäßen Flachdisplays umfassen, werden nachfolgend anhand der schematischen Darstellungen in den Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenEmbodiments of the invention, which are considered to be particularly favorable and include details of the structural design and / or measures for the manufacturing method of the flat panel displays according to the invention are explained in more detail below with reference to the schematic representations in the drawings. Show

Fig. 1: den Schichtenaufbau eines Elektrolumineszenz-Flachdisplays mit Farbfiltern, als Ausschnitt in perspektivischerFig. 1: the layer structure of a electroluminescent flat panel display with color filters, as a detail in perspective

Darstellung; Fig. 2: ähnlich Fig. 1 den Schichtenaufbau, jedoch in abschnittsweiser Darstellung jeweils erzeugter Lagen · .os MISIM-Presentation; FIG. 2: similar to FIG. 1, the layer structure, but in a section-wise representation of respectively produced layers · .os MISIM-

Filmpakets und der Farbfilter;Film packages and the color filter;

Fig. 3: ein Elektrolumineszenz-Flachdisplay mit Ansteuer-Elektronik; Fig.4: einen Flachbildschirm, der aus vier aneinandergefügten Displays gebildet ist; Fig. 5: einen Ausschnitt einer Bildpunkte-Matrix, bei der die reflektierenden Elektroden, die transparenten Elektroden und die3 shows an electroluminescent flat display with control electronics; 4 shows a flat screen, which is formed from four joined displays; 5 shows a detail of a pixel matrix in which the reflective electrodes, the transparent electrodes and the

Farbfilter streifenförmig ausgebildet sind;Color filter are formed strip-shaped;

Fig. 6: einen Ausschnitt ähnlich Fig. 5, jedoch mit breiteren Streifen für Blau-Farbfilter als für Rot- und Grün-Farbfilter; Fig. 7: eine Variante für die Ausbildung von Farbtrlpel-Bildpunkten in Form von Farbquadrupeln; Fig. 8: eine andere Variante mit der Wirkung wie gemäß Fig.6 oder Fig.7; Fig. 9: zwei Ausbildungsformen für Bildpunkte eines Zweifarben-Flachdisplays; Fig. 10: eine Möglichkeit der Strukturierungen von Bildpunkten mit Zeilen-Farbfiltern, reflektierenden Elektroden für dieFig. 6 is a section similar to Fig. 5, but with wider stripes for blue color filters than for red and green color filters; FIG. 7 shows a variant for the formation of color control pixels in the form of color quadruples; FIG. 8 shows another variant with the effect as in FIG. 6 or FIG. Fig. 9: two embodiments of pixels of a two-color flat panel display; Fig. 10: a possibility of structuring of pixels with line color filters, reflective electrodes for the

einzelnen Farben und transparenten Elektroden für Bildpunkte; Fig. 11: eine Möglichkeit der Strukturierungen von Bildpunkten mit Spalten-Farbfiltern, reflektierenden Elektroden fürindividual colors and transparent electrodes for pixels; Fig. 11: a possibility of structuring of pixels with column color filters, reflective electrodes for

Bildpunkte und transparenten Elektroden für die einzelnen Farben Fig. 12: eine Darstellung für die Durchführung von Operationen zur Erzeugung regelmäßiger Struk'uren durch Relativbewegung zwischen Substratplatte, mit gegebenenfalls bereits darauf befindlichen Schichten, und jeweiligen Apparaturen zurPixels and transparent electrodes for the individual colors. FIG. 12: a representation for carrying out operations for generating regular structures by relative movement between the substrate plate, with any layers already present thereon, and with respective apparatuses for

Stukturenbildung.Stukturenbildung.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung befindet sich auf einer Substratplatte 1 aus Glas zunächst eine Streifenstruktur von reflektierenden Elektroden 2 aus Chrom. Diese strukturierte Schicht aus Metall sowie die darüber, in herkömmlicherWeise abgeschiedenen, ein- oder mehrlagigen Filme, d.h. eine erste Schicht aus Isolatormaterial 3, eine homogene, über die Gesamtfläche ein- oder mehrlagige Schicht aus aktivem Leuchtstoff- oder Halbleitermaterial 4 - zur Erreichung einer Weiß-Emission z. B. ein Film aus Sr(S, Se) :Ce und ein Film aus SrS:Eu -, eine zweite Schicht aus Isolatormaterial 5 und eine zunächst ganzflächige homogene Schicht 6 aus elektrisch leitendem und optisch transparentem Material, z. B. aus Indium-Zinnoxid (ITO), stellen die MISIM-Struktur dar.In the exemplary embodiment of the invention shown in FIG. 1, a strip structure of reflective electrodes 2 made of chromium is initially located on a substrate plate 1 made of glass. This patterned layer of metal as well as the conventionally deposited, single or multilayer films, i. a first layer of insulator material 3, a homogeneous, over the entire surface or multilayer layer of active phosphor or semiconductor material 4 - to achieve a white emission z. B. a film of Sr (S, Se): Ce and a film of SrS: Eu -, a second layer of insulator material 5 and a first whole-surface homogeneous layer 6 of electrically conductive and optically transparent material, eg. B. indium-tin oxide (ITO), represent the MISIM structure.

Orthogonal zu den Streifen der reflektierenden Elektroden 2 verlaufen auf der Schicht 6 jeweils drei, die Grundfarben R (rot), G (grün), B (blau) transmittierende, aus anorganischen oder organischen Materialien gebildete Farbfilter 7 R, 7 G, 7 B, die abwechselnd streifenweise aufgebracht wurden und von sich aus oder mittels einer Schutzschicht der Abtragung von Material bei der Strukturierung transparenter Elektroden 8 widerstehen. Je drei benachbarte, die Grundfarbenfilter 7 R, 7 G, 7 B bildende Farbstreifen wiederholen sich im Rastermaß von z. B. 1 Millimeter, das auch für je drei benachbarte reflektierende Elektroden 2 gilt. Infolge der sodann durchgeführten ITO-Ätzung/Abtragung werden aus der Schicht 6 die transparenten Elektroden 8 in Streifen gebildet, wobei selbstjustierend jedem Streifen eines der Farbfilter 7 in den Grundfarben R, G, B zugeordnet ist. Eine anschließend aufgebrachte Verkappung 11 (nicht dargestellt) gibt dem Flachdisplay 10 einen ausreichenden Berührungsschutz und bildet dessen Vorderfront, wie durch ein Auge 9 eines Betrachters angedeutet ist.Orthogonal to the strips of the reflective electrodes 2 extend on the layer 6 in each case three basic colors R (red), G (green), B (blue) transmitting color filters 7 R, 7 G, 7 B formed from inorganic or organic materials. which have been alternately applied in strips and by themselves or by means of a protective layer resist the removal of material in the structuring of transparent electrodes 8. Each three adjacent, the primary color filters 7 R, 7 G, 7 B forming color stripes are repeated in the grid of z. B. 1 millimeter, which also applies to three adjacent reflective electrodes 2. As a result of the ITO etching / ablation which is then carried out, the transparent electrodes 8 are formed from the layer 6 into strips, wherein one of the color filters 7 in the primary colors R, G, B is assigned to each strip in a self-adjusting manner. A subsequently applied capping 11 (not shown) gives the flat display 10 sufficient protection against contact and forms its front, as indicated by an eye 9 of an observer.

Die Art und Weise zur Ausbildung der Strukturen für reflektierende Elektroden 2 und Farbfilter 7, unter deren Verwendung auch der transparenten Elektroden 8, ist weiter vorstehend bereits beschrieben. Beispielhaft und stellvertretend für alle diese Möglichkeiten sei hier dafür nur das Siebdruckverfahren genannt.The manner of forming the structures for reflective electrodes 2 and color filters 7, including the use of the transparent electrodes 8, has already been described above. By way of example and representative of all these possibilities, only the screen printing process is mentioned here.

Mit den in Fig. 2 dargestellten Gebilden soll auch die Reihenfolge der Verfahrensschritte für die Herstellung derartiger Flachdisplays verdeutlicht werden. Auf der Substratplatte 1 befinden sich die reflektierenden Elektroden 2 aus Chrom, hier als breite Streifen im Rastermaß von z. B. 1 mm ausgebildet. Die Schicht aus Isolatormaterial 3 bedeckt die reflektierenden Elektroden 2 und füllt auch die Trennfugon zwischen diesen aus. Die darüber befindliche homogene Schicht besteht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial 4 und bildet die Weißlichtemitterschicht. Darauf folgt die zweite Schicht aus Isolatormaterial 5 und sodann die zunächst ganzflächig aufgebrachte Schicht 6 aus optisch transparentem, elektrisch gut leitenden Material. Orthogonal zu den reflektierenden Elektroden 2 verlaufond befinden sich die streifenförmigen Farbfilter 7 R, 7 G, 7 B im Rastermaß von 1 mm für dieses Wiederholmuster auf der zunächst noch unstrukturierten Schicht 6. Die Dicke des MISIM-Schichtenpakets auf der Substratplatte 1 beträgt insgesamt etwa 2 pm. Dabei entfallen auf die reflektierenden Elektroden 2 ca. 50nm, auf die Schichten aus den Isolatormaterialien 3,4 jeweils ca. 200nm bis 300 nm, auf die Schicht aus dem aktiven Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial 4 etwa 1000 nm und auf die Schicht β aus optisch transparentem, elektrisch gut leitenden Material knapp 200nm.With the structures shown in Fig. 2 and the order of the method steps for the production of such flat displays should be illustrated. On the substrate plate 1, the reflective electrodes 2 are made of chrome, here as wide strips in the grid of z. B. 1 mm formed. The layer of insulator material 3 covers the reflective electrodes 2 and also fills the separation gap between them. The homogeneous layer above it consists of active phosphor or semiconductor material 4 and forms the white light emitter layer. This is followed by the second layer of insulator material 5 and then the initially applied over the entire surface layer 6 of optically transparent, electrically highly conductive material. Orthogonal to the reflective electrodes 2 verlaufond are the strip-shaped color filter 7 R, 7 G, 7 B with a pitch of 1 mm for this repeat pattern on the first unstructured layer 6. The thickness of the MISIM layer package on the substrate plate 1 is about 2 in total pm. In this case, the reflective electrodes 2 are about 50 nm, on the layers of the insulator materials 3,4 each about 200 nm to 300 nm, on the layer of the active phosphor or semiconductor material 4 about 1000 nm and on the layer β of optical transparent, electrically well conductive material scarcely 200nm.

Die Struktur der Farbfilter 7 R, 7 G, 7 B dient als Maske zur Strukturierung dor transparenten Elektroden 8 in der Schicht 6. Damit bedecken die Farbfilter 7 selbstjustlerend die transparenten Elektroden 8 und befinden dich auf der dem Betrachter, symbolisiert durch ein Auge 9, zugewandten Front des Flachdisplays 10.The structure of the color filters 7 R, 7 G, 7 B serves as a mask for structuring the transparent electrodes 8 in the layer 6. Thus, the color filters 7 selbstjustlerend cover the transparent electrodes 8 and are on the viewer, symbolized by an eye 9, facing front of the flat panel display 10.

Bezüglich der Ansteuerbarkelt einzelner Bildpunkte 12 Ist aus Flg.2 bereits folgendes zu erkennen: Liegt an einer der reflektierenden Elektroden 2 eine Vorspannung knapp unterhalb der Schwellspannung, z. B. U_v = -150V, und erhalten zur selben Zeit drei transparente Elektroden 8, die jeweils einem Streifen der Farbfilter 7 R, 7 G, 7 B zugeordnet sind, Spannungswerto von z. B. U_n = +50V, U₀ - +40V und U₀ = +60 V, oder Spannungsimpulse mit unterschiedlicher Dauer, wird bei genau einem Bildpunkt 12, den drei Kreuzungspunkten der an Spannung liegenden reflektierenden Elektrode 2 und transparenten Elektroden 8, die Weißlichtemission in der Schicht aus aktivem Leuchtstoff- oder Halbleitermaterial 4 in drei Intensitätsstufen entsprechend den sich betragsmäßig ergebenden Spannungspotentialen bzw. der Dauer der betreffenden Steuerimpulse örtlich eng auf die Bereiche der herrschenden elektrischen Felder begrenzt herbeigeführt. Die von den Farbfiltern 7 R, 7 G, 7 B angesteuerter Bildpunkte 12 transmittiorten Farben mischen sich entsprechend ihrer jeweiligen Intensitäten und ermöglichen damit jeden gewünschten Farbton In der gewünschtem Helligkeit.With regard to the drive control of individual pixels 12, the following can already be seen from FIG. 2: If a bias voltage lies just below the threshold voltage, for example, at one of the reflective electrodes 2. B. U _v = -150V, and obtained at the same time three transparent electrodes 8, which are each associated with a strip of color filters 7 R, 7 G, 7 B, Spannungswerto of z. B. U _n = + 50V, U ₀ - + 40V and U ₀ = +60 V, or voltage pulses of different duration, is at exactly one pixel 12, the three crossing points of the voltage lying on the reflective electrode 2 and transparent electrodes 8, the White light emission in the layer of active phosphor or semiconductor material 4 in three intensity levels in accordance with the magnitude resulting voltage potentials or the duration of the relevant control pulses locally narrowly limited to the areas of the prevailing electric fields brought about. The pixels 12 conveyed by the color filters 7 R, 7 G, 7 B mix according to their respective intensities and thus allow any desired hue In the desired brightness.

Bei dem in Fig. 3 dargestellton Flachdisplay 10 sind zur wahlweisen Ansteuerung der Bildpunkte 12, von denen einige im Ausschnitt der Verkappung 11 angedeutet sind, an den Längs· und den Querseiton des Flachdisplays 10 als Blöcke gezeichnete elektronische Schaltungen 13,14 vorgesehen. Diese enthalten z. B. Spalten- und Zeilontreiber. Für eine zeilen- odor spaltenseriolle Ansteuerung werden in an sich bekannter Weise in einer der beiden elektronischen Schaltungen 13,14 je zwei Schaltungssätze vorgesehen, von denen jeweils einer im Schreib-, der andere im Lesezyklus arbeitet. Die Amplitudenwerte bzw. die Steuerimpulse aller Bildpunkt-Farbelemente einer Zeile bzw. einer Spalte der Matrix gelangen somit gleichzeitig in die betreffende Zeile bzw. Spalte, die von dor zugeordneten elektronischen Schaltung 14,13 im Takt weitergeschaltet worden. Fig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiol der Erfindung für einen Flachbildschirm mit vier spiogelsymmetrisch aufgebauten, ohne Unterbrechung dos Rastermaßes aneinandergefügten Flachdisplays 10. Diese Reih- und Fügbarkeit des Flachdisplays 10 ist deshalb möglich, weil ein Elektroluminoszenz-Display als ein Festkörper-Gebilde (all solid state) koine Verschlußkanten benötigt. Ein Großformat-Flachbildschirm für Hochauflösungsfernsehen, bei dem ein Verhältnis von Höhezu Breite von 1:1,7 angewendet wird, also z.B. 1250mm hoch und 2125mm breit ist, kann damit aus vier Flachbildschirmen zu je 625mm Höhe und 1065mm Breite aneinandergefügt sein. Auf jedem der vier Flachdisplays 10 findet gleichzeitig die Ansteuerung der jeweiligen Bildpunkte 12 statt, so daß sich für den Flachbildschirm gemäß Fig. 4 die maximal zulässige Dauer einer Steuerspannung bzw. eines Steuerimpulses für einen jeden Bildpunkt 12 im Vergleich zu einem Flachdisplay 10 mit gleichgroßer Bildpunkteanzahl erhöht, gleichzeitig aber die kapazitive Last der Treiber reduziert.In the case of the flat display 10 shown in FIG. 3, electronic circuits 13, 14 are provided on the longitudinal and transverse sides of the flat display 10 as blocks for selective activation of the pixels 12, some of which are indicated in the detail of the capping 11. These contain z. For example, column and row drivers. For a row-odor column-selection control, two circuit sets are provided in a manner known per se in one of the two electronic circuits 13, 14, of which one each works in the write cycle, the other in the read cycle. The amplitude values or the control pulses of all pixel color elements of a row or a column of the matrix thus arrive simultaneously in the relevant row or column, which has been indexed by the associated electronic circuit 14,13 in time. 4 shows an exemplary embodiment of the invention for a flat screen with four mirror-symmetrically constructed flat displays 10 connected to each other without interruption. This row and availability of the flat display 10 is possible because an electroluminescent display is designed as a solid state structure ) koine sealing edges needed. A large-format flat panel display for high-definition television in which a height-to-width ratio of 1: 1.7 is applied, e.g. 1250mm high and 2125mm wide, it can be assembled with four flat screens of 625mm height and 1065mm width. On each of the four flat displays 10, the control of the respective pixels 12 takes place at the same time, so that the maximum allowable duration of a control voltage or a control pulse for each pixel 12 in comparison to a flat panel display 10 with the same pixel number for the flat panel of FIG increases, but at the same time reduces the capacitive load of the driver.

Die Ausführungsformen der Erfindung erfüllen somit die Voraussetzungen für vollfarbige Displays, also maximale Anforderungen der Wiedergabeeinrichtungen für Farbfernsehen, insbesondere für das Hochauflösungsfernsehen - HDTV -. Soweit z. B. für Computeranwendungen, Hand- oder Tischgeräte keine volle Farbtauglichkeit oder für andero Arten optisch anzeigender Informationsausgaben, wie bei solchen für Werbezwecke, Verkehrsleiteinrichtungen und Warntafeln an Straßen oder Hinweistafeln auf Bahnhöfen und Flughäfen keine hochfeine Abstufung der Helligkeitswerte und/oder Auflösung erforderlich ist, können Einzelheiten ohne weiteres modifiziert werden.The embodiments of the invention thus meet the requirements for full-color displays, ie maximum requirements of the color television, especially for high-definition television - HDTV -. As far as z. B. for computer applications, hand or tabletop devices full color capability or for other types of visually indicating information issues, such as those for promotional purposes, traffic management and warning signs on roads or information boards at stations and airports no very fine gradation of brightness values and / or resolution is required Details are readily modified.

Elektrolumineszenz-Flachdisplays lassen sich im Rahmen der erfindungsgemäßen technischen Lehre auch bezüglich der Realisierung von wahlweise ansteuerbaren Bildpunkten 12 in vielerlei Weise ausgestalten. Fig. 5 zeigt einen Ausschnitt einer Matrix von Bildpunkten 12, die aus Elementen für die drei Primärfarben R (rot), G (grün) und B (blau) bestohen und bei denen die Elektrodenpaare bei jedem Bildpunkt 12 von jeweils einer reflektierenden Elektrode 2 und jeweils drei transparenten Elektroden 8 gebildet werden. Die Elektroden 2,8 und die Farbfilter 7 sind streifenförmig ausgebildet. Die Farben der Farbfilter können im sich wiederholenden Muster R, G, B..., R, G, B, oder z. B. auch B, R, G, G, R, B, B,..., angeordnet sein. Wie durch die beiden Achsenkreuze (x, y) angedeutet, sind beide Anordnungen grundsätzlich gleichberechtigt. Hier nicht ddrgestellt ist (vgl. jedoch Fig. 1) eine Ausbildung mit auch je drei reflektierenden Elektroden 2 je Bildpunkt 12.Electroluminescent flat displays can be configured in many ways in the context of the technical teaching according to the invention also with regard to the realization of selectively controllable pixels 12. FIG. 5 shows a section of a matrix of pixels 12 which consist of elements for the three primary colors R (red), G (green) and B (blue) and in which the pairs of electrodes at each pixel 12 are each of a reflective electrode 2 and three transparent electrodes 8 are formed in each case. The electrodes 2, 8 and the color filters 7 are strip-shaped. The colors of the color filters may be in the repeating pattern R, G, B ..., R, G, B, or z. B. also B, R, G, G, R, B, B, ..., be arranged. As indicated by the two axboxes (x, y), both arrangements are basically equal. Not illustrated here (cf., however, FIG. 1) is a design with three reflective electrodes 2 per pixel 12.

Die Fig.6 zeigt eine Ausführungsvariante, bei der im Hinblick auf die vergleichsweise hohe Absorption von Blaufiltern deren Fläche größer ausgelegt ist als die der Grün- und Rotfilter. Da das menschliche Auge beim vorgesehenen - normalen Betrachtungsabstand als kleinste auflösbare Einheit einen Bildpunkt 12 wahrnimmt, verschmelzen dessen Farbelemente, so daß derer. Wiederholmuster beliebig, z. B. mit dem breiten Streifen des Blaufilters Binder Mitte zwischen Grünfilter G und Rotfilter R oder seitlich vom Grün-/Rotfilterpaar G/R, gewählt werden können.FIG. 6 shows a variant embodiment in which, with regard to the comparatively high absorption of blue filters, their area is designed to be larger than that of the green and red filters. Since the human eye perceives a pixel 12 at the intended normal viewing distance as the smallest resolvable unit, its color elements merge, so that the latter. Repeat pattern arbitrarily, z. B. with the wide strip of blue filter binder middle between green filter G and red filter R or laterally from the green / red filter pair G / R can be selected.

Die Fig. 7 und 8 zeigen R-G-B-Bildpunkte 12, die funktionell als Farbtripel, konstruktiv - vgl. Flg. 7 - jedoch als Quadrupel ausgebildet sind. Auch hierbei wird die höhere Absorption der Blaufilter durch eine für sie größer ausgelegte Abstrahlfläche ausgeglichen. Die Wiederholmuster erstrecken sich hierbei zweidimensional. Dadurch wird zwar die Anzahl der Farbfilterstreifen pro Bildpunkt 12 bzw. das Bildpunkt-Rastermaß in einer Richtung verringert. Dafür ist die Einfärbung der Farbfilterstreifen, vergleiche insbesondere Fig. 7, und auch die Ansteuerung 3owio die Ausbildung der Struktur für die reflektierenden Elektroden 2 aufwendiger.FIGS. 7 and 8 show R-G-B pixels 12, which functionally as Farbtripel, constructive - see. Flg. 7 - are formed as a quadruple. Again, the higher absorption of the blue filter is compensated by a larger sized for their radiating surface. The repeating patterns extend in two dimensions. Although this reduces the number of color filter strips per pixel 12 or the pixel pitch in one direction. For this purpose, the coloring of the color filter strips, compare in particular Fig. 7, and the control 3owio the formation of the structure for the reflective electrodes 2 more expensive.

Fig. 9 zeigt in allgemeiner Form zwei Möglichkeiten der Ausbildung für Bildpunkte 12 eines zweifarbigen Flachdisplays auf der Basis eines Weißlicht-Elektrolumineszenz-Emitters mit Farbfiltern 7 F1 und 7 Γ 2. Es sind je Bildpunkt 12 vorzusehen: z.B.: zwei Streifen reflektierender Elektroden 2 und ein Streifen für die transparente Elektrode 8, bedeckt von zwei unmittelbar. benachbarte η Streifen für die Farbfilter 7F1,7 F2; oder: ein Streifen für die reflektierende Elektrode 2 und zwei, jeweils von Farbfilterstreifen 7 F1,7 F2 überdeckte Streifen für transparente Elektroden 8; oder: hiernach ohne weiteres ableitbare Zwischenformen.Fig. 9 shows in a general form two ways of training for pixels 12 of a two-color flat panel display based on a white light electroluminescent emitter with color filters 7 F1 and 7 Γ 2. There are per pixel 12 provided: eg: two strips of reflective electrodes 2 and a strip for the transparent electrode 8, covered by two directly. adjacent η stripes for the color filters 7F1,7 F2; or: a strip for the reflective electrode 2 and two strips for transparent electrodes 8 each covered by color filter strips 7 F1, 7 F2; or: hereinafter readily derivable intermediate forms.

Nach Fig. 10 verlaufen die streifenförmigen Farbfilter 7 R, 7G, 7 B z. B. in Richtung der Zeilen des Flachdisplays 10. Im Gegensatz zu dem aus Fig. 2 zu entnehmenden Aufbau ist bei der hier dargestellten Variante eine besondere Strukturierung reflektierender Elektroden 2 R, 2 B, 2 G mit drei ineinander verschachtelten, durch Bahnen verbundenen Flächen dazu vorgesehen. Die Gegenelektroden 8 lassen sich dann als breite, dem Bildpunktrastermaß entsprechende Streifen ausbilden. Die in Fig. 11 gezeigt Variante entspricht dem aus Fig. 2 zu entnehmenden Aufbau. Hier sollen die streifenförmigen Farbfilter 7 R, 7 G, 7 B in Richtung der Spalten des Flachdisplays liegen.According to Fig. 10, the strip-shaped color filters 7 R, 7 G, 7 B z. In contrast to the structure to be taken from FIG. 2, in the variant shown here, a special structuring of reflective electrodes 2 R, 2 B, 2 G with three nested surfaces connected by webs thereto is provided intended. The counterelectrodes 8 can then be formed as a broad band corresponding to the pixel scale. The variant shown in FIG. 11 corresponds to the structure to be taken from FIG. 2. Here are the strip-shaped color filter 7 R, 7 G, 7 B lie in the direction of the columns of the flat panel display.

Wie weiter oben schon angedeutet, können die Flachdlsplays 10 zumeist entweder mit In Zeilen- oder in Spaltenrichtung verlaufenden Farbfiltorstreifen aufgebaut und eingesetzt wreden. In diesem Zusammenhang ist noch zu erwähnen, daß als strelfenförmlge Strukturen für Flektroden 2,8 und Farbfilter 7 auch gekrümmt ausgebildete Gestaltungen in Betracht kommen, beispielsweise zum Zwecke strahlenoptischor Korrekturen bei großen ebenen sowie konkav gekrümmten Eloktroluminoszenz-Flachdisplays 10.As already indicated above, the flat-panel displays 10 can usually be constructed and used either with color filter strips running in the line or in the column direction. In this context, it should also be mentioned that as strelfenförmlge structures for Flektroden 2.8 and color filter 7 also curved trained designs come into consideration, for example, for the purpose Strahlelementenischischor corrections for large flat and concave curved Eloktroluminoszenz flat displays 10th

Anhand der Fig. 12 sollen besondere bodoutsame produktionstochnische Maßnahmen für die Erzeugung von regelmäßigen Strukturen bei Flachdisplays unterschiedlicher Typen verdeutlicht worden. Die Strukturen, wie sie bei der erfindungsgemäßen technischen Lehre für reflektierende Elektroden 2, transparente Elektroden 8 und Farbfilter 7 benötigt worden, sind im allgemeinen in ihrer Geometrie sehr einfach gestaltbar. Weiterhin sollen Flachdisplays auch als großflächige Gebilde mit Abmessungen im Meter-Bereich Verwendung finden, die mit derartigen Strukturen zu versehen sind. Außerdem sind für diese Strukturen die Toleranzanforderungen nicht 0 jormäßig streng. Alle diese Voraussetzungen erlauben, geometrisch einfach auslegbare Strukturen in Operationen auszubilden, die In einer Relativbewegung zwischen dem Werkstück und der Apparatur für die Struktur-Abbildung stattfinden. Das Werkstück ist im Falle der vorliegenden Erfindung die Substratplatte 1 mit der ic weils darauf zu strukturierenden Schicht, die Apparaturen 15 für die Abbildung oder Ausbildung der Strukturen enthalten beispielsweise eine Schablone, der Anzahl und der Größe paralleler Streifen entsprechend geschlitzt oder das zu wiederru. lonclo Muster (vgl. z.B. Fig. 10 für die reflektierenden Elektroden 2) einmal als Positiv oder Negativ enthaltend ausgestanztWith the aid of FIG. 12, particular bodsteady production-stochastic measures for the generation of regular structures in flat displays of different types are made clear. The structures, as required in the technical teaching of the invention for reflective electrodes 2, transparent electrodes 8 and color filters 7, are generally very simple in their geometry. Furthermore, flat displays should also be used as large-scale structures with dimensions in the meter range, which are to be provided with such structures. Moreover, for these structures, the tolerance requirements are not normally strict. All these prerequisites make it possible to form geometrically simple structures in operations which take place in a relative movement between the workpiece and the device for the structure imaging. The workpiece is in the case of the present invention, the substrate plate 1 with the ic Weils layer to be structured, the apparatuses 15 for the imaging or formation of the structures contain, for example, a template, the number and the size of parallel strips slotted according to or wiederru. For example, Fig. 10 for the reflective electrodes 2) once punched out as containing positive or negative

Derzeit für die Strukturierung elektronischer Schaltkreise gebräuchliche Apparaturen arbeiten hingegen nach dem Prinzip „Step and Repeat", setzen also ein einmal vorhandenen kleinformatiges Layout in x- und y-Richtung nebeneinander. Die Anwendung dieses Prinzips bei der Herstellung von Flachdisplays gemäß der Erfindung und auch anderer Typen, z. B. bei Plasma-Disp.ays, würde in den betreffenden technologischen Teilabschnitten einen bedeutend höheren Produktionsaufwand bedeuten r,id zudem besondere, bei der Herstellung elektronischer Schaltkreise auf Wafern nicht benötigte bzw. nicht zulässige Maßnahmen erfordern, mit denen sichergestellt wird, daß sich die Abbilder des Layouts in gewünschter Weise berühren oder überlappen. On the other hand, apparatuses currently used for structuring electronic circuits work according to the "step and repeat" principle, thus putting a small format layout once in the x and y direction next to one another The application of this principle in the production of flat displays according to the invention and others Types, for example in plasma disp.ays, would mean significantly higher production costs in the relevant technological subsections, and in addition require special measures which are not required or are not permitted in the production of electronic circuits on wafers and which ensure this in that the images of the layout touch or overlap in the desired manner.

Claims (18)

1. Elektrolumineszenz-Flachdisplay, das ein von einer Substratplatte getragenes Schichtenpaket aufweist, bei dem zwei Schichten aus elektrisch gut leitenden Materialien zur Bildung der Zeilen und Spalten einer Matrix von Elektrodenpaaren für wahlweise ansteuerbare Bildpunktelemente strukturiert und jeweils einer Schicht aus Isolatormaterial benachbart siml, zwischen denen sich eine Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial befindet, welches unter Einwirkung eines elektrischen Feldes Weißlicht emittiert, und bei dem sich Farbfilterfürdie Bildpunktelemente in einer weiteren Schichtenlage befinden, gekennzeichnet dadurch, daß die das Schichtenpaket tragende Substratplatte (1) als Rückfront des Displays (10) ausgebildet ist, daß im Schichtenpaket auf der Substratplatte (1) die strukturierte Schicht aus uinem Metall als reflektierende Elektroden (2), die erste Schicht aus Isolatormaterial (3), die Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial (4), die zweite Schicht aus Isolatormaterial (5) und die zweite strukturierte Schicht (6) aus elektrisch gut leitendem Material als optisch transparente Elektroden (8) in der genannten Reihenfolge angeordnet sind, und daß die Farbfilter (7) die transparenten Elektroden (8) bedecken und die weitere Schichtenlage bilden, die sich an der einem Betrachter (9) zugewandten Front des Displays (10) befindet.1. An electroluminescent flat panel display comprising a layer package carried by a substrate plate, wherein two layers of electrically highly conductive materials for forming the rows and columns of a matrix of electrode pairs for selectively controllable pixel elements and each adjacent to a layer of insulator material siml between them there is a layer of active phosphor or semiconductor material which emits white light under the action of an electric field, and in which color filters for the pixel elements are in a further layer layer, characterized in that the substrate plate (1) carrying the layer packet is used as the back face of the display ( 10), that in the layer package on the substrate plate (1) the structured layer of uinem metal as reflective electrodes (2), the first layer of insulator material (3), the layer of active phosphor material or semiconductor material (4) second Layer of insulator material (5) and the second structured layer (6) of electrically good conductive material as optically transparent electrodes (8) are arranged in the order named, and that the color filters (7) cover the transparent electrodes (8) and the other Form layer layer, which is located on the viewer (9) facing the front of the display (10). 2. Elektrolumineszenz-Flachdisplay nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die erste, als reflektierende Elektroden (2) strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material eine Chromschicht ist, daß die zweite, als transparente Elektroden (8) strukturierte Schicht (6) aus elektrisch gut leitendem Material eine Schicht aus mit Indium dotiertem Zinnoxid ist, daß die der jeweiligen Schicht aus elektrisch gut leitendem Material benachbart angeordneten Schichten aus Isolatormaterial (3,5) ein- oder mehrlagig ausgebildet sind, und daß die Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial (4) ein- oder mehrlagig ausgebildet und eine Schicht aus Sr(S, Se):Ce und/oder SrS:Eu enthält.2. Electroluminescent flat display according to claim 1, characterized in that the first, as a reflective electrode (2) structured layer of electrically good conductive material is a chromium layer, that the second, as transparent electrodes (8) structured layer (6) of electrically good conductive material is a layer of indium-doped tin oxide, that the respective layer of electrically good conductive material adjacently arranged layers of insulator material (3,5) are formed in one or more layers, and that the layer of active phosphor or semiconductor material (4) formed in one or more layers and a layer of Sr (S, Se): Ce and / or SrS: Eu contains. 3. Elektrolumineszenz-Flachdisplay nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die reflektierenden Elektroden (2) streifenförmig ausgebildet und längs einer Symmetrieachse der Substratplatte (1) verlaufend angeordnet sind, daß die transparenten Elektroden (8) ebenfalls streifenförmig ausgebildet, jedoch orthogonal zu den reflektierenden Elektroden (2) verlaufend angeordnet sind, daß als Elemente in zwei oder mehr unterschiedlichen Farben (F 1, F 2,... Fn) streifenförmig ausgebildet, die transparenten Elektroden (8) bedeckend und in deren Richtung verlaufend angeordnet sind und daß somit jeder Kreuzungspunkt einer der reflektierenden Elektroden (2) und einer der transparenten Elektroden (8) ein frei wählbar anzusteuerndes Elektrodenpaar in einem zwei-, mehr- oder vollfarbigen Display (10) bildet.3. Electroluminescent flat display according to claim 1, characterized in that the reflective electrodes (2) are strip-shaped and arranged along an axis of symmetry of the substrate plate (1) running, that the transparent electrodes (8) also formed strip-shaped, but orthogonal to the reflective Electrodes (2) are arranged to extend, that as elements in two or more different colors (F 1, F 2, ... Fn) strip-shaped, the transparent electrodes (8) covering and extending in the direction of which are arranged and thus that each Crossing point of one of the reflective electrodes (2) and one of the transparent electrodes (8) forms an arbitrary selectable pair of electrodes in a two, more or full color display (10). 4. Elektrolumineszenz-Flachdisplay nach Anspruch 3, gekennzeichnet dadurch, daß die Elemente der Bildpunkte (12) in einem Wiederholmuster von Farbquadrupeln angeordnet sind.4. Electroluminescent flat display according to claim 3, characterized in that the elements of the pixels (12) are arranged in a repetition pattern of color quads. 5. Elektrolumineszenz-Flachdisplay nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß auf der Schichtenlage der Farbfilter (7) eine die Vorderfront des Displays (10) bildende Verkappung (11) angeordnet ist.5. Electroluminescent flat display according to claim 1, characterized in that on the layer layer of the color filter (7) a front of the display (10) forming capping (11) is arranged. 6. Elektrolumineszenz-Flachdisplay nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß zur Ansteuerung des Displays (10) jeweils nur an einer Längs-und einer Querseite für die Zeilen bzw. die Spalten der Matrix elektronische Schaltkreise (13,14) angeordnet sind.6. Electroluminescent flat panel display according to claim 1, characterized in that for controlling the display (10) are arranged only on one longitudinal and one transverse side for the rows or columns of the matrix electronic circuits (13,14). 7. Elektrolumineszsnz-Flachdisplay nach Anspruch 6, gekennzeichnet dadurch, daß vier Displays (10) zu einem Flachbildschirm aneinandergefügt sind.7. Elektrolumineszsnz-flat display according to claim 6, characterized in that four displays (10) are joined together to form a flat screen. 8. Verfahren zur Herstellung eines Elektrolumineszenz-Flachdisplays, wobei auf einer Substratplatte ein Schichtenpaket ausgebildet wird, das eine erste strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material, eine erste Schicht aus Isolatormaterial, eine mittlere Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial, eine zweite Schicht aus einem Isolatormaterial und eine zweite strukturierte Schicht aus elektrisch gut leitendem Material sowie eine weitere strukturierte Schichtenlage aufweist, in der Farbfilter für die Bildpunktelemente sind, gekennzeichnet dadurch, daß die Substratplatte (1), deren untere Fläche hernach die Rückfront des Displays (10) bildet, auf ihrer oberen Fläche mit reflektierenden Elektroden (2) aus Metall, als der ersten strukturierten Schicht aus elektrisch gut leitendem Material, versehen wird, daß sodann über und zwischen den reflektierenden Elektroden (2) die erste Schicht aus Isolatormaterial (3), darüber die mittlere Schicht aus aktivem Leuchtstoff- bzw. Halbleitermaterial (4) und darüber die zweite Schicht aus Isolatormaterial (5), jeweils ganzflächig und ein- oder mehrlagig, abgeschieden werden, daß über8. A method for producing a electroluminescent flat panel display, wherein on a substrate plate, a layer package is formed, comprising a first structured layer of electrically good conductive material, a first layer of insulator material, a middle layer of active phosphor or semiconductor material, a second layer of an insulator material and a second structured layer of electrically highly conductive material and a further structured layer layer, in the color filter for the pixel elements, characterized in that the substrate plate (1), the lower surface of which forms the back of the display (10) , is provided on its upper surface with reflective metal electrodes (2) as the first structured layer of highly electrically conductive material, then above and between the reflective electrodes (2) the first layer of insulator material (3) above middle layer of active leuc Hetstoff- or semiconductor material (4) and above the second layer of insulator material (5), each over the entire surface and one or more layers, are deposited, that over der zweiten Schicht aus Isolatormaterial (5) ein elektrisch gut leitendes sowie optisch transparentes Material als zunächst ganzflächige, homogene Schicht (6) abgelagert wird, daß nunmehr über der zunächst noch ganzflächigen Schicht (6) aus dem optisch transparenten und elektrisch gut leitenden Material die weitere Schichtenlage mit den Farbfiltern (7) an der Vorderfront des Displays (10) aufgebaut wird, und daß anschließend, zur Ausbildung transparenter, von Farbfiltern (7) bedeckter Elektroden (8) die Struktur der Farbfilter (7) als Maske für eine selbstjustierende Strukturierung der Schicht (6) aus dem optisch transparenten, elektrisch gut leitenden Material verwendet wird.the second layer of insulator material (5) an electrically good conductive and optically transparent material as initially full-area, homogeneous layer (6) is deposited, that now on the first still full-surface layer (6) of the optically transparent and electrically highly conductive material further Layer structure with the color filters (7) on the front of the display (10) is constructed, and then, to form transparent, of color filters (7) covered electrodes (8), the structure of the color filter (7) as a mask for a self-aligning structuring Layer (6) of the optically transparent, electrically highly conductive material is used. 9. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß reflektierende Elektroden (2) aus Metall als ein vorgefertigtes Abziehbild von einer Trägerfolie auf die Substratplatte (1) übertragen werden.9. The method according to claim 8, characterized in that reflective electrodes (2) are transferred from metal as a prefabricated decal of a carrier film on the substrate plate (1). 10. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß Farbfilter (7) als ein vorgefertigtes Abziehbild von einer Trägerfolie auf die noch unstrukturierte Schicht (6) aus optisch transparentem, elektrisch gut leitendem Material übertragen werden.10. The method according to claim 8, characterized in that color filters (7) are transmitted as a prefabricated decal of a carrier film on the still unstructured layer (6) of optically transparent, electrically good conductive material. 11. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß die Erzeugung von Strukturen für Elektroden (2) und Farbfilter (7) in geometrisch einfacher regelmäßiger Gestaltung durch Relativbewegung zwischen der Substratplatte (1) und einer Apparatur erfolgt, welcher die Operationen zur Strukturbildung ausführt.11. The method according to claim 8, characterized in that the formation of structures for electrodes (2) and color filter (7) in geometrically simple regular design by relative movement between the substrate plate (1) and an apparatus is carried out, which performs the operations for structure formation. 12. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß zum Aufbau der Schichtenlage mit den Farbfiltern (7) zunächst eine panaflächige Schicht aus farbneutralem, organischem Material über der zunächst noch ganzflächigen Schicht (6) aus optisch transparentem, elektrisch gut leitendem Material aufgebracht wird, daß sodann die Strukturen der Farbfilter (7) erzeugt werden, daß danach die Strukturen der transparenten Elektroden (8) erzeugt werden und daß schließlich die zuvor strukturierten und noch farbneutralen Farbfilter (7) mit Farbstoffen in den gewünschten Farbtönen eingefärbt werden.12. The method according to claim 8, characterized in that for the construction of the layer layer with the color filters (7) first a panaflächige layer of color neutral, organic material over the first still full-area layer (6) of optically transparent, electrically good conductive material is applied that then the structures of the color filter (7) are produced, that thereafter the structures of the transparent electrodes (8) are produced and that finally the previously structured and still color neutral color filter (7) are dyed with dyes in the desired color tones. 13. Verfahren nach Anspruch 12, gekennzeichnet dadurch, daß die Erzeugung der Strukturen der Farbfilter (7) und der transparenten Elektroden (8) in einem gemeinsamen Verfahrensschritt durchgeführt wird.13. The method according to claim 12, characterized in that the generation of the structures of the color filter (7) and the transparent electrodes (8) is carried out in a common process step. 14. Verfahren nach Anspruch 12, gekennzeichnet dadurch, daß die einzelnen Farbstoffe elektrochemisch in die Farbfilter (7) eingeführt und dazu selektiv die betreffenden transparenten Elektroden (8) verwendet werden.14. The method according to claim 12, characterized in that the individual dyes electrochemically introduced into the color filter (7) and to selectively the respective transparent electrodes (8) are used. 15. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß die Schichtenlage mit den Farbfiltern (7) im Siebdruckverfahren aufgebaut wird.15. The method according to claim 8, characterized in that the layer layer with the color filters (7) is constructed by screen printing. 16. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß die Schichtenlage mit den Farbfiltern (7) in für jeden Farbton getrennten Lithographieoperationen aufgebaut wird.16. The method according to claim 8, characterized in that the layer layer is constructed with the color filters (7) in separate for each hue lithography operations. 17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, gekennzeichnet dadurch, daß für den Aufbau der Farbfilter (7) eingefärbte Fotolacke verwendet werden.17. The method according to claim 15 or 16, characterized in that for the construction of the color filter (7) colored photoresists are used. 18. Verfahren nach Anspruch 8, gekennzeichnet dadurch, daß das Flachdisplay nach Fertigstellung und Funktionsprüfung mit einer Verkappung (11) versehen wird, die die Vorderfront des Displays (10) bildet.18. The method according to claim 8, characterized in that the flat display after completion and functional testing with a capping (11) is provided which forms the front of the display (10).