DD282530A5 - CAPACITIVE MICROMECHANICAL ACCELERATION SENSOR - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen kapazitiv arbeitenden und nach mikromechanischer Fertigungstechnologie hergestellten Beschleunigungssensor. Er ist ueberall dort anwendbar, wo Beschleunigungen an Maschinen, Geraeten und Bauteilen ermittelt und daraus Steuerfunktionen abgeleitet werden muessen. Aufgabe der Erfindung ist es, einen Beschleunigungssensor zu schaffen, mit dem eine schnelle Eindeutigkeit der Nullstellung erreicht wird, der eine minimale Schwingungsneigung aufweist und der sich durch hohe Empfindlichkeit und Richtungsstabilitaet auszeichnet. Der erfindungsgemaesze Beschleunigungssensor besteht aus Anschlagdeckel * welcher einseitig symmetrisch eine Vertiefung besitzt, in der Erhoehungen vorhanden sind, einem Federteil, das beidseitig ganz oder teilweise mit einer elektrisch leitfaehigen Schicht versehen ist und aus Rahmen (2 c), Federn (2 a) und seismischer Masse (2 b) besteht, wobei jede Feder (2 a) die Form eines Polygonzuges hat, dessen Strecken sich gegenseitig weder beruehren noch schneiden und stets den gleichen Drehsinn beibehalten, wobei mittig des Federteils eine seismische Masse (2 b) angeordnet ist, die bezueglich ihres Masseschwerpunktes an mindestens 2 Federn (2 a) aufgehaengt ist und einem Elektrodendeckel * der einseitig symmetrisch mit einer Festelektrode * die mit einer elektrisch nicht leitfaehigen Schicht (5) abgedeckt ist, versehen ist. Fig. 1{Kapazitaetsaenderung; Beschleunigungssensor; Mikromechanik; Anschlagdeckel; Federteil; Elektrodendeckel; seismische Masse}The invention relates to a capacitive working and produced by micromechanical manufacturing technology acceleration sensor. It can be used wherever accelerations on machines, devices and components have to be determined and control functions derived from them. The object of the invention is to provide an acceleration sensor with which a quick uniqueness of the zero position is achieved, which has a minimum tendency to oscillate and which is characterized by high sensitivity and directional stability. The acceleration sensor according to the invention consists of a stop cap * which on one side has symmetrically a depression in which elevations are present, a spring part which is completely or partially provided on both sides with an electrically conductive layer and of frame (2 c), springs (2 a) and seismic Mass (2 b), each spring (2 a) has the shape of a polygon, the distances neither touch nor cut each other and always maintain the same sense of rotation, wherein the center of the spring part, a seismic mass (2 b) is arranged, the is suspended at least 2 springs (2 a) with respect to their center of gravity and is provided with an electrode cover * which is unilaterally symmetrical with a fixed electrode * which is covered with an electrically nonconductive layer (5). Fig. 1 {Capacity change; Acceleration sensor; Micromechanics; Stop lid; Spring member; Electrode cover; seismic mass}

Description

Hierzu 1 Seite Zeich^r ngenTo this end, hang one side undersigned ^r

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindurg betrifft einen kapazitiv arbeitenden und nach mikromechanischer Fertigungstechnologie hergestellten Beschleunigungssensor, der zur Umwandlung von auf ihn wirkenden Beschleunigungen in elektrische Signale dient. Er ist überall dort anwendbar, wo Beschleunigungen von Maschinen, Geräten und Bauteilen ermittelt und daraus Steuerfunktionen abgeleitet werden müssen. Solche Beschleunigungssensoren sind unter anderem für den Einsatz in der Konsumgüterindustrie sowie im Werkzeug- und Textilmaschinenbau und Fahrzeugbau geeignet.The inventor relates to a capacitive working and produced by micromechanical manufacturing technology acceleration sensor, which is used to convert acting on him accelerations into electrical signals. It is applicable wherever accelerations of machines, devices and components have to be determined and from this control functions have to be derived. Such acceleration sensors are suitable, inter alia, for use in the consumer goods industry and in tool and textile machine construction and vehicle construction.

-2- 282 530 Charakteristik dos bekannten Standes der Technik-2- 282 530 Characteristics of the known state of the art

Beschleunigungssensoren gemäß dem Oberbegriff „Kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensor mit mikromechanischer Fertigungstechnologie" sind bekannt. Ein solcher Beschleunigungssensor ist durch die DE-OS 3223987 offengelegt. Diesser weist eine Klappe auf, die an einem Träger über zwei Torsionshalterungen befestigt ist, die symmetrisch und in Verlängerung einer Kant« der Klappe angeordnet sind. Das Messen der Beschleunigung erfolgt durch Messen der entsprechenden Änderung der Kapazität zwischen Klappe und der Elektrode. Ein derartiger Sensor erzeugt eine Kapazitätsänderung, die eine relativ komplizierte Funktion der Beschleunigung ist, weil sich der Luftspalt zwischen Klappe und der Elektrode nur keilförmig ändert. Ferner sind bei dieser Torsionsaufhängung relativ große Querempfindlichkeiten zu erwarten.Acceleration sensors according to the generic term "Capacitive micromechanical acceleration sensor with micromechanical production technology" are known, Such an acceleration sensor is disclosed by DE-OS 3223987. Diesser has a flap, which is fastened to a carrier via two torsion supports which are symmetrical and in extension of a Kant Measuring the acceleration is accomplished by measuring the corresponding change in capacitance between the valve and the electrode Such a sensor produces a capacitance change which is a relatively complicated function of acceleration because the air gap between the valve and the electrode only Furthermore, relatively large cross-sensitivities are to be expected with this torsion suspension.

Ein weiterer Beschleunigungssensor ist durch die DE-OS 3625411 bekannt. Dieser weist eine Beschleunigungsplatte mit einer geraden Anzahl von symmetrisch bezüglich der Mittelebene zwischen Ober- und Unterseite der Beschleunigungsplatte angeordneten Biegebändern auf. Die Beschleunigungsplatte selbst oder auf ihrer Ober- und Unterseite flächenhaft aufgebrachte Leiter bilden die einen Elektroden von zwei Plattenkondensatoren. Die Gegenelektroden sind auf gegenüberliegenden Flächen von Deckplatten angeordnet. Dieser Sensor ermöglicht eine parallele Annäherung bzw. Entfernung der Kondensatorflächen und damit eine gegenläufige Veränderung der Plettenkapazität der beiden Kondensatoren. Diese Anordnung neigt durch die federnde Mittellage der Beschleunigungsplatte zu unerwünschten Schwingungen. Durch die relativ starre räumliche Anordnung der Biegebänder an der Ober- und Unterseite der Beschleunigungsplatte lassen sich geringe Beschleunigungen nur bedingt messen.Another acceleration sensor is known from DE-OS 3625411. This has an acceleration plate with an even number of symmetrically with respect to the median plane between the top and bottom of the acceleration plate arranged bending bands. The acceleration plate itself or on its top and bottom surface-applied conductors form the one electrodes of two plate capacitors. The counter electrodes are arranged on opposite surfaces of cover plates. This sensor allows a parallel approach or removal of the capacitor surfaces and thus an opposite change in the Plettenkapazität of the two capacitors. This arrangement tends by the resilient central position of the acceleration plate to undesirable vibrations. Due to the relatively rigid spatial arrangement of the bending bands on the top and bottom of the acceleration plate, low accelerations can be measured only conditionally.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Das Ziel der Erfindung ist es, einen kleinen robusten richtungsabhängigen Beschleunigungssensor für Geräte und Maschinen zu schaffen, um diese in ihrer Funktion zu steuern oder um -lavariesituationen zu signalisieren, der in großen Stückzahlen billig hergestellt werden kann.The object of the invention is to provide a small robust directional acceleration sensor for devices and machines to control their function or to signal -Lavariesituationen that can be produced cheaply in large quantities.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Die Aufgabe der Erfindung ist es, einen Beschleunigungssensor zu schaffen, mit dem eine schnelle Eindeutigkeit der Nullstellung erreicht wird, der nur eine minimale Schwingunusneigung aufweist und der durch hohe Empfindlichkeit und Richtungsstabilität auszeichnet.The object of the invention is to provide an acceleration sensor with which a quick uniqueness of the zero position is achieved, which has only a minimal tendency to oscillate and which is characterized by high sensitivity and directional stability.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einem kapazitiv arbeitenden mikromechanischen Beschleunigungssensor gelöst, der aus den Einzelteilen Anschlagdeckel, Federiail und (F.lektrodendeckel besteht. Der Anschlagdeckel besitzt einseitig symmetrisch teilweise eine Vertiefung, in der Erhöhungen vorhanden sind, wobei die Erhöhungen aus mindestens 3 Höckern, die vorzugsweise auf einer Kreisbahn in · ".hmäßigen Abständen zueinander angeordnet sind oder aus 2 Schienen bestehen und so angebracht sind, daß sie gegenüb λ seismischen Masse angeordnet sind. Das beidseitig ganz oder teilweise rr. „,ner elektrisch leüfähigen Schicht beschichtete Federteil, welches aus Rahmen, Federn und seismischer Masse besteht, wobei jede Feder in Form eines ebenen Polygonzuges, der aus einer Folge vor. η geradlinigen Strecken I₁,1₂... I_n besteht, ausgebildet ist, wobei der Anfangspunkt der Strecke l_{k +}, mit dem Endpunkt der Strecke l_k für k = 1,2, 3...η - 1 übereinstimmt und der Richtungssinn der Strecke I₁- ₊ ι aus der Strecke l_k dadurch gewonnen wird, indem man die Strecke l_k um einen gerichteten konstanten Winkel dreht, wobei das Drehzentrum der gemeinsame Punkt von l_k und l_{k +}, ist. Der Drehwinkel bleibt für den gesamten Polygonzug konstant, wobei sich die einzelnen Polygonstrecken gegenseitig weder durchdringen noch berühren. Mittig des Federteils ist als Funktionselement eine seismische Masse angeordnet, die bezüglich ihres Masseschwerpunktes an mindestens 2 Federn aufgehängt ist, die mit dem Rahmen des Federteils verbunden sind, wobei die seismische Masse gegenüber dem Rahmen des Federteils ein geringeres Niveau aufweist. Ansielle der Federn ist es möglich, als Funktionselement eine geschlossene oder mit Durchbrüchen versshene dünnwandige Folie zu verwenden, die den Rahmen mit der seismischen Masse verbindet. Pm· Elektrodendeckel ist einseitig symmetrisch mit einer Festelektrode versehen, die mit einer elektrisch nicht leitenden Schicht aufgedeckt ist. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, daß der Rand des Anschlagdeckels gegenüber den Erhöhungen ein gringeres Niveau aufweist. Damit ist es möglich, die Bauteile Anschlagdeckel und Federteil unter Vorspannung der seismischen Masse zu fügen. Weiterhin besteht die Möglichkeit, daß die seismische Masse die gleiche Dicke wie das Federteil besitzt und dafür dei Elektrodendeckel symmetrisch mit einer grubenförmigen Vertiefung versehen ist, auf dessen Grund sich die Festelektrode befindet. Damit ist es möglich, den Sensor an bestimmte Beschleunigungsfälle anzupassen sowie seine Empfindlichkeit zu variieren. Um den Beschleunigungssensor gegen äußere elektrische Felder unempfindlich zu machen bzw. abzuschirmen, sind die Außenflächen von Anschlagdeckel und i ?ktrodendeckel mit einer elektrisch leitfähigen Schicht versehen und beide Potentiale miteinander verbunden. Die Einzelteile des kapazitiven Beschleunigungssensors bestehen vorteilhafterweise aus Glas, Keramik oder Silizium und werden vorzugsweise nach einer mikromechanischen Fertigungstechnologie und Ätztechnik hergestellt und mit Hilfe einer anodischen Verbindungstechnik durch Anlegen einer äußeren elektrischen Spannung bei erhöhter Temperatur gefügt oder durch geeignete Klebeverfahren verbunden. Beim Kleben werden die an den Stirnseiten des Anschlagdeckels, des Federteils und des Elektrodendeckols vorhandenen und technologisch bedingten Einbettungen genutzt, um eine stabile Verbindung zu erzielen, indem diese mit dem Klebemedium ausgefüllt werden. Durch die Anordnung der zentral an speziellen Federn aufgehängten seismischen Masse besitzt der erfindungsgemäße Beschleunigungssensor eine hohe Empfindlichkeit, die von bekannten Sensoren nicht erreicht wird. Der einseitige Anschlag der seismischen Masse bedingt eine genaue Nullpunktlage derselben, die sehr schnell erreicht wird, da durch die Vorspannung der seismischen Masse praktisch keine Schwingungsneigung auftritt.According to the invention, the object is achieved by a capacitive micromechanical acceleration sensor, which consists of the individual parts of the stop cover, spring leaf and insert cover The stop cover has on one side symmetrically partially a depression in which elevations are present, the elevations consisting of at least three protuberances preferably "are arranged .hmäßigen distances from each other or consisting of 2 bars and are mounted so that they gegenüb disposed λ seismic mass. The both sides completely or partially rr." on a circular path in · ner electrically leüfähigen layer coated spring part, which consists of Frame, springs and seismic mass, each spring being in the form of a plane traverse consisting of a series of η rectilinear distances I ₁ , 1 ₂ ... I _n , the starting point of the distance l _{k +} , coincides with the end point of the line l _k for k = 1,2, 3 ... η - 1 and the direction sense of the distance I ₁ - ₊ ι from the distance l _k is obtained by turning the distance l _k by a directed constant angle, wherein the center of rotation is the common point of l _k and l _{k +} . The angle of rotation remains constant for the entire polygonal course, with the individual polygonal sections neither penetrating nor touching each other. In the middle of the spring part is arranged as a functional element, a seismic mass, which is suspended with respect to its center of gravity on at least two springs which are connected to the frame of the spring member, wherein the seismic mass relative to the frame of the spring member has a lower level. Ansielle of the springs, it is possible to use as a functional element, a closed or with breakthroughs versshene thin-walled film that connects the frame with the seismic mass. Pm · electrode cover is symmetrical on one side with a solid electrode, which is uncovered with an electrically non-conductive layer. It has proved to be advantageous that the edge of the stopper lid relative to the elevations has a lower level. This makes it possible to add the components stopper and spring part under bias of the seismic mass. Furthermore, there is the possibility that the seismic mass has the same thickness as the spring part and for the electrode cover is symmetrically provided with a pit-like depression, at the bottom of which the solid electrode is located. This makes it possible to adapt the sensor to specific acceleration cases and to vary its sensitivity. In order to make the acceleration sensor against external electric fields insensitive or shield, the outer surfaces of the stop cover and i? Ktrodendeckel provided with an electrically conductive layer and both potentials are connected together. The individual parts of the capacitive acceleration sensor are advantageously made of glass, ceramic or silicon and are preferably produced by micromechanical manufacturing technology and etching technology and joined by means of anodic connection technology by applying an external electrical voltage at elevated temperature or connected by suitable adhesive bonding. When gluing existing on the front sides of the stopper cover, the spring member and the Elektrodendeckols and technologically related embedding are used to achieve a stable connection by being filled with the adhesive medium. Due to the arrangement of the seismic mass suspended centrally on special springs, the acceleration sensor according to the invention has a high sensitivity, which is not achieved by known sensors. The one-sided stop of the seismic mass causes an exact zero point position of the same, which is reached very quickly, since practically no tendency to oscillate occurs due to the bias of the seismic mass.

AusführungsbelsplelAusführungsbelsplel

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. In the accompanying drawings show:

Fig. 1: Schnitt durch erfindungsgemäßen Beschleunigungssensor mit polygonzugähnlichen Federn Fig. 2: Schnitt durch erfindungsgemäßen Beschleunigungssonsor anderer Ausführung Fig.3: Ansicht Federteil mit polygonzugähnlichen Federn, die in L-Form ausgebildet sind.1 shows a section through acceleration sensor according to the invention with polygon-like springs; FIG. 2 shows a section through an acceleration sponsor according to the invention of another embodiment; FIG. 3 shows a view of a spring part with polygon-like springs formed in an L-shape.

Der erfindungsgemäße Beschleunigungssensor besteht entsprechend Fig. 1 und Fig. 2 aus einem Anschlagdeckel 1 mit auf der Innenseite angeordneten Höckern 1 a, einem Federteil mit einer an diesem zentrisch angeordneten seismischen Masse 2 b, die über Federn 2 a mit dem Rahmen 2c verbunden ist und einem Elektrodendeckel 3, der einseitig mit einer Festelektrode 4 versehen ist, die mit einer elektrisch nicht leitenden Schicht 5 verdeckt ist. Die Hocker 1 b im Anschlagdeckel 1 sind so angeordnet, daß sie für die seismische Masse 2b sine 3-Punkt-Auflage bilden. Die Auflagefläche ist dabei möglichst klein zu halten. Das Federteil besteht aus Rahmen 2c, Federn 2a und seismischer Masse 2 b und ist beidseitig mit einer elektrisch leitfähigen Schicht versehen. Die Federn 2a ähneln einem Polygonzug mit konstanter Dicke, der aus den Strecken Ii und I₂ besteht, wobei der Endpunkt der Strecke I) mit dem Anfangspunkt dpr Strecke I₂ übereinstimmt und der Richtungssinn der Strecke I₂ aus der Strecke I) dadurch gewonnen wird, indem man die Strecke I₂ um den gerichteten Winkel α = +90° dreht, wobei das Drehzentrum der gemeinsame Punkt von I₁ und I; ist. Die seismische Masse 2 b wird über 4 dieser L-förmigen Federn 2 a, die die 4 Ecken der quadratisch ausgeführten seismischen Masse 2 b mit dem Rahmen 2c des Federteils verbindet, verbunden. Die 4 L-förmigen Federn 2a des Federteils entstehen, indem in das Federteil 4 U-förmige, um 90° versetzt und ineinander verschachtelte Durchbrüche herausgearbeitet werden. Bei einer quadratischen Grundfläche der seismischen Masse 2 b muß jedes Teilstück der U-förmigen Durchbrüche eine unterschiedliche Länge aufweisr n, für die gilt:The acceleration sensor according to the invention consists according to FIG. 1 and FIG. 2 of a stopper cover 1 with arranged on the inside humps 1 a, a spring member with a centrically arranged on this seismic mass 2 b, which is connected via springs 2 a to the frame 2c and an electrode cover 3, which is provided on one side with a fixed electrode 4, which is covered with an electrically non-conductive layer 5. The stool 1 b in the stopper cover 1 are arranged so that they form for the seismic mass 2b sine 3-point support. The bearing surface is to be kept as small as possible. The spring part consists of frame 2c, springs 2a and seismic mass 2 b and is provided on both sides with an electrically conductive layer. The springs 2a are similar to a constant thickness polygon, consisting of the lines Ii and I ₂ , the end point of the line I) coincides with the starting point dpr line I ₂ and the sense of direction of the line I ₂ from the line I) is obtained by rotating the distance I ₂ by the directed angle α = + 90 °, the center of rotation being the common point of I ₁ and I; is. The seismic mass 2 b is connected via 4 of these L-shaped springs 2 a, which connects the 4 corners of the square executed seismic mass 2 b with the frame 2 c of the spring member. The 4 L-shaped springs 2a of the spring part are formed by 4 U-shaped, offset by 90 ° and nested openings are worked out in the spring part. In a square base of the seismic mass 2 b each section of the U-shaped openings must have a different length n, for which applies:

d, >d₂>d₃. Fig. 3d,> d ₂ > d ₃ . Fig. 3

Die Unterseite der seismischen Masse 2 b ist gegenüber der Unterseite des Rahmens 2 c etwas zurückgesetzt, so daß zwischen seismischer Masse 2 b und der elektrisch leitfähigen Schicht am Elektrodendeckel 3 in Ruhelage ein Spalt entsteht. Die elektrisch leitfähige Schicht ist als Festelektrode 4 ausgebildet und bildet in Verbindung mit dem Spalt und der seismischen Masse 2 b des Federteils einen Plattenkondensator. Wirkt nun auf den Sensor, speziell auf die seismische Masse 2 b des Federteils, eine Beschleunigung, so verändert sich der Spalt zwischen seismischer Masse 2 b und Festelektrode 4 und damit die Kapazität. Diese Kapazitätsänderung dient als Maß für die jeweilige Beschleunigung. Die Einzelteile des Beschleunigungssensors bestehen aus Silizium und werden nach einer mikromechanischen Fertigungstechnologie und Ätztechnik hergestellt und n.!t Hilfe einer anodischen Verbindungstechnik durch Anlegen einer äußeren elektrischen Spannung bei erhöhter Temperatur unter Vorspannung der seismischen Masse 2 b gefügt und durch geeignete Klebeverfahren verbunden. Beim Kleben werden die an den Stirnseiten der Einzelteile vorhanden Einbettungen bzw. Absätze genutzt, um eine stabile Verbindung zu erzielen, indem diese Absätze mit dem Klebemedium ausgefüllt werden.The underside of the seismic mass 2 b is slightly set back relative to the underside of the frame 2 c, so that a gap is formed between seismic mass 2 b and the electrically conductive layer on the electrode cover 3 in the rest position. The electrically conductive layer is formed as a fixed electrode 4 and forms in conjunction with the gap and the seismic mass 2 b of the spring member a plate capacitor. Now acts on the sensor, especially on the seismic mass 2 b of the spring member, an acceleration, so the gap between seismic mass 2 b and fixed electrode 4 and thus the capacitance changes. This capacity change serves as a measure for the respective acceleration. The individual parts of the acceleration sensor are made of silicon and are produced by a micromechanical manufacturing technology and etching technology and n.! T t using an anodic connection technology by applying an external electrical voltage at elevated temperature under bias of the seismic mass 2 b joined and connected by suitable adhesive bonding. When gluing the embedding or paragraphs are used on the front sides of the items used to achieve a stable connection by these paragraphs are filled with the adhesive medium.

Claims (8)

1. Kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensor, bestehend aus Anschlagdeckel, Federtei' und Elektrodendeckel, der nach mikromechanischer Fertigungstechnologie und Ätztechnik hergestellt ist und dessen Einzelteile mit Hilfe einer anodischen Verbindungstechnik durch Anlegen einer elektrischen Spannung bei erhöhter Temperatur oder durch geeignete Klebeverfahren verbunden werden, gekennzeichnet dadurch, daß der Anschlagdeckel (1) einseitig, symmetrisch teilweise eine Vertiefung besitzt, in der Erhöhungen vorhanden sind, daß das beidseitig ganz oder teilweise mit einer elektrisch leitfähigen Schicht beschichtete Federteil, welcnes aus Rahmen (2c), Federn (2a) und seismischer Masse (2 b) besteht, wobei jede Feder in Form eines ebenen Polygonzuges, der aus einer Folge von η geradlinigen Strecken I₁,1₂... I_n besteht, ausgebildet ist, wobei der Anfangspunkt der Strecke l_{k + 1} mit dem Endpunkt der Strecke l_k übereinstimmt (für k = 1, 2,3... η - 1) und man den Richtungssinn der Strecke l_{k +} ^ aus der Strecke l_k dadurch gewinnt, daß man die Strecke l_k um einen gerichteten konstanten Winkel dreht, wobei das Drehzentrum der gemeinsame Punkt von l_k und l_{k +} τ ist, daß der Drehwinkel für den gesamten Polygonzug konstant bleibt und die einzelnen Polygonstrecken sich gegenseitig weder durchdringen noch berühren, daß mittig des Federteils als Funktionselement eine seismische Masse (2 b) angeordnet ist, die bezüglich ihres Masseschwerpunktes an mindestens 2 Federn (2a) aufgehängt ist, die mit dem Rahmen (2c) des Federteils verbunden sind, wobei die seismische Masse (2b) gegenüber dem Rahmen (2c) des Federteils ein geringeres Niveau aufweist, oder daß mittig des Federteils als Funktionselement über eine geschlossene oder mit Durchbrüchen versehene dünnwandige Folie die seismische Masse (2 b) mit dem Rahmen (2c) des Federteils verbunden ist, daß der Elektrodendeckel (3) einseitig symmetrisch mit einer Festelektrode (4), die mit einer elektrisch nicht leitenden Schicht (5) abgedeckt ist, versehen ist.1. Capacitive micromechanical acceleration sensor consisting of stopper cover, Federtei 'and electrode cover, which is produced by micromechanical manufacturing technology and etching and whose individual parts are connected by means of anodic connection technology by applying an electrical voltage at elevated temperature or by suitable bonding methods, characterized in that the stopper cover (1) on one side, symmetrically partially has a recess in which elevations are provided that the completely or partially coated on both sides with an electrically conductive layer spring part, welcnes of frame (2c), springs (2a) and seismic mass (2 b ), each spring being in the form of a plane traverse consisting of a series of η straight lines I ₁ , 1 ₂ ... I _n , the starting point of the line l _{k + 1 coinciding} with the end point of the line l _k agrees (for k = 1, 2,3 ... η - 1) and one the direction si nn the distance l _{k +} ^ from the distance l _k wins by turning the distance l _k by a directed constant angle, wherein the center of rotation is the common point of l _k and l _{k +} τ, that the angle of rotation for the entire Traverse remains constant and the individual polygonal distances neither penetrate nor touch each other that a seismic mass (2 b) is arranged centrally of the spring part as a functional element, which is suspended with respect to its center of mass at least 2 springs (2 a), with the frame (2 c ) of the spring part are connected, wherein the seismic mass (2b) relative to the frame (2c) of the spring part has a lower level, or that the center of the spring part as a functional element via a closed or apertured thin-walled film, the seismic mass (2 b) with the frame (2c) of the spring member is connected, that the electrode cover (3) on one side symmetrically with a fixed electrode (4) connected to an electric non-conductive layer (5) is covered is provided. 2. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß der Rand (1 b) des Anschlagdeckels (1) gegenüber den Erhöhungen (1 a) ein geringeres Niveau aufweist.2. Capacitive acceleration sensor according to claim 1, characterized in that the edge (1 b) of the stopper cover (1) relative to the elevations (1 a) has a lower level. 3. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Erhöhungen (1 a) aus mindestens 3 Höckern, die vorzugsweise auf einer Kreisbahn bezüglich der Mittelachse der seismischen Masse (2b) in gleichmäßigen Abständen zueinander angeordnet sind oder aus 2 Schienen bestehen, wobei die Erhöhungen (1a) gegenüber der seismischen Masse (2 b) angeordnet sind.3. A capacitive acceleration sensor according to claim 1 and 2, characterized in that the elevations (1 a) of at least 3 humps, which are preferably arranged on a circular path with respect to the central axis of the seismic mass (2b) at regular intervals from each other or consist of 2 rails , wherein the elevations (1a) with respect to the seismic mass (2 b) are arranged. 4. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß die federnd aufgehängte seismische Masse (2 b) die gleiche Dicke wie das Federteil besitzt und sich im Elektrodendeckel (3) symmetrisch eine grubenförmige Vertiefung befindet, auf deren Grund die Festelektrode (4) angeordnet ist.4. Capacitive acceleration sensor according to claim 1 to 3, characterized in that the resiliently suspended seismic mass (2 b) has the same thickness as the spring part and in the electrode cover (3) is symmetrically a pit-shaped depression, on the basis of the fixed electrode (4 ) is arranged. 5. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 bis 4, gekennzeichnet dadurch, daß die Bauteile Anschlagdeckel (1) und Federteil unter Vorspannung der seismischen Masse (2 b) gefügt sind.5. Capacitive acceleration sensor according to claim 1 to 4, characterized in that the components stop cover (1) and spring member under bias of the seismic mass (2 b) are joined. 6. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 bis 5, gekennzeichnet dadurch, daß die Bauteile Anschlagdeckel (1), Federteil und Elektrodendeckel (3) durch die in den Seiten vorhandenen Einbettungen gefügt werden.6. Capacitive acceleration sensor according to claim 1 to 5, characterized in that the components stop cover (1), spring part and electrode cover (3) are joined by the existing embedding in the pages. 7. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1-6, gekennzeichnet dadurch, daß die Außenflächen von Anschlagdeckel (1) und Elektrodendeckel (3) mit einer elektrisch leitfähigen Schicht versehen sind und beide Potentiale elektrisch miteinander verbunden sind,7. Capacitive acceleration sensor according to claim 1-6, characterized in that the outer surfaces of stopper cover (1) and electrode cover (3) are provided with an electrically conductive layer and both potentials are electrically connected to each other, 8. Kapazitiver Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 bis 6, gekennzeichnet dadurch, daß der Anschlagdeckel (1), das Federteil und der Elektrodendeckel (3) aus Silizium, Glas oder Keramik bestehen.8. Capacitive acceleration sensor according to claim 1 to 6, characterized in that the stopper cover (1), the spring member and the electrode cover (3) made of silicon, glass or ceramic.