DD148177A3 - Fotoschablone und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Fotoschablone und verfahren zu ihrer herstellung

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DD148177A3
DD148177A3 DD21649479A DD21649479A DD148177A3 DD 148177 A3 DD148177 A3 DD 148177A3 DD 21649479 A DD21649479 A DD 21649479A DD 21649479 A DD21649479 A DD 21649479A DD 148177 A3 DD148177 A3 DD 148177A3
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DD
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photos
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photos chart
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DD21649479A
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Inventor
Nina M Gunina
Igor I Pojarkov
Ljudmila V Logutova
Valerij V Stepanov
Konstantin A Lavrentev
Anatolij M Cernikov
Original Assignee
Nina M Gunina
Igor I Pojarkov
Ljudmila V Logutova
Valerij V Stepanov
Konstantin A Lavrentev
Anatolij M Cernikov
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    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/56Organic absorbers, e.g. of photo-resists
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    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
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DD21649479A 1978-10-30 1979-10-26 Fotoschablone und verfahren zu ihrer herstellung DD148177A3 (de)

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DD148177A3 true DD148177A3 (de) 1981-05-13

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SU938338A1 (ru) 1982-06-23
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