DD143323A1 - LIGHTING SYSTEM FOR PHOTOGRAPHIC COPIER UNITS - Google Patents

LIGHTING SYSTEM FOR PHOTOGRAPHIC COPIER UNITS Download PDF

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DD143323A1
DD143323A1 DD21612078A DD21612078A DD143323A1 DD 143323 A1 DD143323 A1 DD 143323A1 DD 21612078 A DD21612078 A DD 21612078A DD 21612078 A DD21612078 A DD 21612078A DD 143323 A1 DD143323 A1 DD 143323A1
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Manfred Roessler
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Manfred Roessler
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    • G03B27/542—Lamp housings; Illuminating means for copying cameras, reflex exposure lighting
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Description

1 6 11 6 1

Tit_gl_L Beleuchtungssystem für fotografische KopiergeräteTit_gl_L Lighting system for photographic copiers

Anwendungsgebiet der Erfindung;Field of application of the invention;

Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für fotografie sehe Kopiergeräte, insbesondere für fotolithografische Gerate. Sie kann überall dort verwendet werden, wo es neben einer hohen Beleuchtungsstärke auf gute Gleichmäßigkeit der Ausleuchtung ankommt.The invention relates to an illumination system for photography copy machines see, especially for photolithographic devices. It can be used wherever high brightness and good uniformity of illumination are required.

Charakter der bekannten technischen Lösungen; Um eine bessere Ausnutzung der Energie von Lichtquellen zu erreichen; werden vielfach Reflektoren verwendet, welche das- Licht mit einem bestimmten Öffnungswinkel in eine vorgegebene Richtung reflektieren· In optischen Geräten haben diese Spiegel in erster Linie Kugelkalotten- oder Ellipsoidform«, Bei Verwendung eines Kugelspiegels wird die Licht-« quelle durch diesen in sich selbst abgebildet. Auf Grund der BedingungCharacter of the known technical solutions; To achieve a better utilization of the energy of light sources; In many cases, reflectors are used which reflect the light in a predetermined direction at a certain aperture angle. In optical devices, these mirrors have a spherical or ellipsoidal shape. When a spherical mirror is used, the light source is imaged by itself , Due to the condition

dL · sin a J1 = dp . sin a 0 d L · sin a J 1 = dp. sin a 0

(dL = Durchmesser des Leuchtfleckes, a-r = halber Öffnungswinkel der Lichtquelle, d™ = Pelddurchmesser in der Objektebene, a - objektseitiger halber Öffnungswinkel des Objektives), der Abstrahlcharakteristik der Lichtquelle und der konstruktiven Möglichkeiten wird der maximale nutzbare Aperturwinkela L bzw. der maximal nutzbare Leuchtfleckdurchmesser d-r und damit die Ausnutzung der Lichtenergie begrenzt.(d L = diameter of the light spot, ar = half the opening angle of the light source, d ™ = Pelddurchmesser in the object plane, a - object half angle of the lens), the radiation characteristics of the light source and the constructive possibilities is the maximum usable Aperturwinkela L or the maximum Usable spot diameter dr and thus limits the utilization of light energy.

Zusätzliche Versuste treten durch Absorption bei mehrmaligem Durchgang des vom Spiegel reflektierten Lichtes durch den Glaskolben der Lichtquelle auf. Diese Absorptionsverluste machen sich besonders nach längerer Brenndauer stark bemerkbar. Eine Erhöhung des Wirkungsgrades kann durch Verwendung eines Ellipsoidspiegels erreicht werden. Die Lichtquelle, die sich im ersten Brennpunkt befindet, wird in den zweiten Brennpunkt des Spiegels abgebildet. Dadurch entfällt die verstärkte Absorption im Lampenkolben, wie sie beim Kugelspiegel auftritt. Desweiteren kann beim Ellipsoidspiegel bei entsprechender Größe und Form ein bedeutend größerer Raumwinkel erfaßt werden« Von Nachteil ist beim Ellipsoidspiegel der unterschiedliche Abbildungsmaßstab mit dem die Lichtquelle durch jedes Spiegelelement in den zweiten Brennpunkt abgebildet wird. Hier entsteht die Überlagerung der Lichtquellenbilder mit verschiedenen Größen und verschiedenen Aperturen. Die maximale Apertur wird durch den kleinsten Abstrahlwinkel bestimmt, der noch durch den Reflek· tor erfaßt wird. Die maximale Größe des Lichtquellenbildes wird durch den maximalen Abstrahlwinkel bestimmt, der durch den Reflektor erfaßt wird. Die ausnutzbare maximale Größe des Lichtquellenbildes und die maximale Apertur werden jedoch auch hier durch die Sinusbedingung begrenzt.Additional verses occur by absorption by repeated passage of the reflected light from the mirror through the glass bulb of the light source. These absorption losses are particularly noticeable after a longer burning time. An increase in efficiency can be achieved by using an ellipsoidal mirror. The light source, which is at the first focus, is imaged into the second focus of the mirror. This eliminates the increased absorption in the lamp bulb, as occurs in the spherical mirror. Furthermore, a significantly larger solid angle can be detected in the ellipsoidal mirror with the appropriate size and shape. "A disadvantage of the ellipsoidal mirror is the different magnification with which the light source is imaged by each mirror element in the second focal point. Here the superimposition of the light source images with different sizes and different apertures arises. The maximum aperture is determined by the smallest emission angle, which is still detected by the reflector. The maximum size of the light source image is determined by the maximum radiation angle detected by the reflector. However, the exploitable maximum size of the light source image and the maximum aperture are also limited by the sine condition.

Unter bestimmten Bedingungen (kleine Objektivapertur, kleines Objektfeld, kleiner erwünschter Kohärenzparameter) kann man entweder nicht die gesamte Apertur oder nicht den gesamten sekundären Leuchtfleck ausnutzen. Dies bedeutet jedoch, daß entweder nicht der minimale Absta?ahlwinkel ausgenutzt wird. Man erhält dann ebenso wie beim Kugelspiegel Lichtverluste durch Nichtausnutzung des gesamten, durch die Abstrahlcharakteristik der Lichtquelle vorgegebenen Raumwinkels» Eine Verbesserung wird im US-Patent 3*241»440 angegeben. Hier wird nur ein Teil des Raumwinkels vom Ellipsoidspiegel erfaßt und die maximale Apertur des sekun-Under certain conditions (small objective aperture, small object field, small desired coherence parameter) either one can not exploit the entire aperture or the entire secondary luminous spot. However, this means that either the minimum stop angle is not utilized. Then, just as with the spherical mirror, light losses are obtained by not utilizing the entire solid angle prescribed by the emission characteristic of the light source. "An improvement is specified in US Pat. No. 3,241,440. Here only a part of the solid angle is detected by the ellipsoidal mirror and the maximum aperture of the second

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dären Leuchtfleckes somit verkleinert. Um den vollen Raumwinkel auszunutzen, wird dem Ellipsoidspiegel ein Kugelspiegel gegenübergestellt, welcher-die Lampe in sich selbst a.bbildet. ·dary light spots thus reduced. To take advantage of the full solid angle, the ellipsoid mirror is compared with a spherical mirror, which forms the lamp in itself a.b. ·

Nachteilig wirken sich dabei jedoch' wiederum die zusätzlichen Absorptionsverluste im Lampenkolben aus.Disadvantageous, however, are the additional absorption losses in the lamp bulb.

Unreine gleichmäßige Ausleuchtung der Objektebene zu erhalten, werden sehr häufige Wabenkondensoren im Beleuchtungsstrahlengang verwendet.To obtain impure uniform illumination of the object plane, very frequent honeycomb condensers are used in the illumination beam path.

Hier erfolgt eine Aufteilung des Aperturwinkels in Einzelbereiche und die Erzeugung einer Vielzahl von Lichtquellenbildern in einer definierten Ebene mittels einer Wabenplatte. Die nachfolgende optische Anordnung ist so geartet, daß es in der Objektebene zu einer Überlagerung des von den einzelnen Lichtquellenbildern kommenden Lichtes kommt, und daß die Lichtquellenbilder in die Pupille des nachfolgenden Objektives abgebildet wird. Sollen die der Objektebene korrespondierenden Ebenen die Einzelwaben der Wabenplatte sein, so muß eine zweite Wabenplatte in die Ebene der Lichtquellenbilder gebracht werden» Anderenfalls liegt die korrespondierende Ebene im Unendlichen S. US-Patent 3.241.440). An den Wabenplatten treten jedoch beträchtliche Lichtverluste auf und zwar durch a) Absorptionsverluste im Glas der EinzelwabeHere, a division of the aperture angle into individual areas and the generation of a plurality of light source images in a defined plane by means of a honeycomb panel. The subsequent optical arrangement is such that it comes in the object plane to a superposition of the light coming from the individual light source images, and that the light source images is imaged in the pupil of the subsequent objective. If the planes corresponding to the object plane are to be the individual honeycomb of the honeycomb panel, a second honeycomb panel must be brought into the plane of the light source images. »Otherwise, the corresponding plane lies at infinity S. US Patent 3,241,440). However, considerable losses of light occur on the honeycomb panels due to a) absorption losses in the glass of the single honeycomb

b) Reflexionsverluste an den Grenzflächenb) reflection losses at the interfaces

c) Absorptionsverluste an den Flächen zwischen den Einzelwaben.c) Absorption losses on the surfaces between the individual honeycombs.

Besonders bei kreisförmigen Einzelwaben sind die in c) angeführten Verluste sehr groß.Especially in the case of circular single honeycombs, the losses stated in c) are very large.

Die im US-Patent 3.225.188 dargelegte Anordnung benutzt einzelne Ringreflekto.ren, welche das Licht in einer vorgegebenen Ebene zur gleichmäßigen Überlagerung bringen. Die Ausnutzung des von der Lichtquelle beleuchteten Raumwinkels ist jedoch infolge der Anordnung der Reflektorringe :.stark eingeschränkt.The arrangement set forth in US Pat. No. 3,225,188 uses individual ring reflectors which bring the light into a uniform plane of uniform superposition. However, the utilization of the illuminated by the light source solid angle is due to the arrangement of the reflector rings:. Strong restricted.

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Durch die Erfindung aoll die Energie der Lichtquelle besser ausgenutzt werden, so daß bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Beleuchtungssystems in fotolithografischen Kopier- geräten die Belichtungszeiten gesenkt werden können. Damit trägt die Erfindung zur Steigerung der Arbeitsproduktivität derartiger Geräte bei· Darlegung des Wesens der Erfindung; Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, daä Beleuchtungssystem so auszubilden, daß der Reflektor einen möglichst großen Raumwinkel erfaßt und daß das von den Lichtquellenbildern kommende Licht so gemischt wird, daß in einer festgelegten Ebene eine gleichmäßige Ausleuchtung über einen bestimmten Bereich erfolgt.As a result of the invention, the energy of the light source can be better utilized so that the exposure times can be reduced when using the illumination system according to the invention in photolithographic copying machines. Thus, the invention contributes to increasing the labor productivity of such devices in · explaining the nature of the invention; The invention has for its object daä lighting system in such a way that the reflector detects the largest possible solid angle and that the coming of the light source images of light is mixed so that in a fixed plane uniform illumination over a certain range.

Die Merkmale der Erfindung werden anhand der in der Zeichnung dargelegten Ausführungsbeispiele beschrieben.The features of the invention will be described with reference to the embodiments set forth in the drawings.

Ausführungsbeispiele:EXAMPLES

Die genannten Nachteile der angegebenen Reflektortypen und des Wabenkondensors können beseitigt werden durch den Einsatz von speziellen Reflektorformen, welche gleichzeitig, als Wabenplatte wirken (s. Abb. 1). Der Reflektor hat dabei die Aufgabe, einen möglichst großen Raumwinkel zu erfassen, diesen in verschiedene Bereiche zu teilen und eine Vielzahl von Lichtquellenbildern zu erzeugen.The mentioned disadvantages of the specified types of reflector and the honeycomb condenser can be eliminated by the use of special reflector shapes, which simultaneously act as a honeycomb panel (see Fig. 1). The reflector has the task to capture the largest possible solid angle, to divide it into different areas and to produce a variety of light source images.

Als Hüllflächen 2, welche die Lichtquelle 1 umfassen, kommen folgende Forman in Frage:As envelope surfaces 2, which comprise the light source 1, the following forms are suitable:

Ellipsoid (Rotationskurve ist Ellipse) Hyperboloid (Rotationskurve ist Hyperbel) Paraboloid (Rotationskurve ist Parabel) Diese Hüllflächen bilden die Lichtquellen definiert ab, wenn sich diese in einem Brennpunkt der Flächen befinden. Sie teilen den von der Lichtquelle beleuchteten Raumwinkel jedoch nicht, um eine größere Anzahl Lichtquellenbilder zu schaffen. Dies kann nur durch eine stückweise Veränderung der Hüllfläche erfolgen.Ellipsoid (rotation curve is ellipse) Hyperboloid (rotation curve is hyperbola) Paraboloid (rotation curve is parabola) These envelope surfaces define the light sources in a defined way when they are in a focal point of the surfaces. However, they do not share the solid angle illuminated by the light source to provide a larger number of light source images. This can only be done by a piecewise change of the envelope.

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Die Teilreflektoren 3 können dabei Ellipsoidstücke, Hyperboloidstücke, Paraboloidsfdcke oder ebene Spiegel sein, wobei die reflektierende Fläche und die Hiillfläche in einem Punkt tangential aneinander liegen. Jeder Teilreflektor bildet die Lichtquelle in eine bestimmte Fläche E ab, wobei er das Licht eines bestimmten Raumwinkelbereiches nutzt. Es entsteht somit eine Vielzahl von Lichtquellenbildern. Durch die nächfolgende optische Anordnung wird eine Durchmischung des von den Einzellichtquellen kommenden Lichtes erreicht» Die Geometrie der Hiillfläche und die dem Reflektor nachgestellte optische Anordnung bestimmt die Lage der Ebene, in welcher die Durchmischung des von den Einzellichtquellen kommenden Lichtes erfolgt· Eine Möglichkeit unter Verwendung einer Wabenplatte 4 und zwei Linsen 5» 6 zeigt Abb. 2. Um eine Rotationssymmetrie der Anordnung zu erreichen, kann die Veränderung an der die Hiillfläche erzeugenden Rotationskurve (im folgenden Hüllkurve genannt) vorgenommen werden. Die Hüllkurve wird in i-Teile zerlegt. Jedes Teilstück wird ersetzt durch eine andere Kurvenform, wobei ein Punkt des neuen Kurvenstückes (im folgenden Abbildungskurve genannt) auf der Hüllkurve· liegt und beide Kurven in diesem Punkt tangential aneinander liegen. Als Abbildungskurven eignen sich Geraden, Hyperbeln, Parabeln und Ellipsen. Daraus ergeben sich 11 verschiedenartige Kombinationsmöglichkeiten von Hüllkurven und Abbildungskurven. Die Kombination Parabel-Parabel entfällt, da in diesem Fall die Kurven identisch sind. Die Abbildungskurven bestimmen dabei die Lage der Lichtquellenbilder und die Hüllkurve bestimmt den Ort der Überlagerung des von den Lichtquellenbildern kommenden Lichtes. In den Abbildungen 3 bis 13 sind die verschiedenen Kombinationsmöglichkeiten dargestellt.The partial reflectors 3 can be ellipsoid pieces, hyperboloid pieces, paraboloid felts or plane mirrors, wherein the reflective surface and the hi-fi surface lie tangentially to one another at one point. Each partial reflector images the light source into a specific area E, using the light of a certain solid angle range. It thus creates a variety of light source images. The geometry of the hi-fi surface and the optical arrangement following the reflector determines the position of the plane in which the mixing of the light coming from the individual light sources takes place Honeycomb plate 4 and two lenses 5 »6, Fig. 2. In order to achieve a rotational symmetry of the arrangement, the change in the Hiillfläche generating rotation curve (hereinafter referred to as envelope) can be made. The envelope is split into i parts. Each section is replaced by another curve, with one point of the new curve (hereinafter referred to as the mapping curve) on the envelope and both curves being tangent to each other at this point. Straight lines, hyperbolas, parabolas and ellipses are suitable as imaging curves. This results in 11 different possible combinations of envelopes and imaging curves. The combination parabola parabola is omitted, since in this case the curves are identical. The imaging curves determine the position of the light source images and the envelope determines the location of the superimposition of the light coming from the light source images. Figures 3 to 13 show the various possible combinations.

Dabei bedeutet 7-Hüllkurve, 8-Abbildungskurve, 9-Rotationsachse = optische Achse, 1-Lichtquelle7-envelope, 8-mapping curve, 9-rotation axis = optical axis, 1-light source

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I) :· . η I): · . η

Hüll- Abbil- Ellipse Hyperbel Gerade Parabel Ort d. Überkurve dungs» lagerung (F)Envelope- Ellipse Hyperbola Straight Parabola Location d. Overcurrent Storage (F)

kurveCurve

Ellipseellipse Abb.Illustration 33 Abb.Illustration 66 Abb.Illustration 99 AbbFig .1.1 22 imin the Reellenreal Hyperbelhyperbole Abb.Illustration 44 Abb.Illustration 77 Abb.Illustration 1010 AbbFig .1.1 33 imin the Virtuellenvirtual Parabelparabola Abb.Illustration 55 Abb.Illustration 88th Abb.Illustration 1111 AbbFig •• -- imin the Unendlicheninfinity

O ω •η <ϋO ω • η <ϋ

•Η• Η

O) β O) β

0> r-t ro a0> rt ro a

-P •Η-P • Η

ωω ωω Xlxl HH οο HH •Η• Η ωω HH Ρ Ρ CDCD ββ ΘΘ •Η• Η •Η• Η

Infolge der Rotationsaymmetrie des Reflektors erhält man als Lichtquellenbilder i konzentrische Ringe. Diese Ringe stellen eine Überlagerung von unendlich vielen Lichtquellenbildern dar. In Rotationsrichtung können somit auch große Intensitätsschwankungen über den Raumwinkel ausgeglichen werden. Die Möglichkeit des Ausgleichs in der zur Rotation senkrechten Richtung ist gegeben durch die Zahl der verschiedenen Abbildungskurven.As a result of the rotation of the reflector reflectors are obtained as light source images i concentric rings. These rings represent a superimposition of an infinite number of light source images. In the direction of rotation, therefore, even large intensity fluctuations over the solid angle can be compensated. The possibility of compensation in the direction perpendicular to the rotation is given by the number of different imaging curves.

Das dem Reflektor nachfolgende optische System muß derart aufgebaut sein, daß die Fläche E auf der sich die Lichtquellenbilder befinden, in die Pupille des Objektivs abgebildet wird und daß die Fläche F, in der sich die von den Lichtquellenbildern kommenden Lichtstrahlen überlagern, in die Objektebene abgebildet werden. Dazu kann wie beim Wabenkondensor in die Ebene der Lichtquellenbilder ein spezielles Abbildungssystem gebracht werden« Eine Möglichkeit zeigt die Abb. 14« Das Abbildungssystem besteht au3 einem Ringlinsensystem 10 und zwei als Kondensor wirkenden Linsen 11, 12. 9 ist dabei die Achse der Rotationssymmetrie.The optical system following the reflector must be constructed such that the surface E on which the light source images are located is imaged into the pupil of the objective, and the surface F in which the light rays coming from the light source images are superimposed onto the object plane become. For this purpose, as in the honeycomb condenser, a special imaging system can be brought into the plane of the light source images. One possibility is shown in FIG. 14. The imaging system consists of a ring lens system 10 and two lenses 11, 12 acting as a condenser. 9 is the axis of rotational symmetry.

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Das Ringlinsensystem bewirkt, daß im Endlichen liegende Ebenen in die Objekt ebene 0 abgebildet werden. Die Fläche der Lichtquellenbilder E muß dabei im Reellen liegen. Lichtquellenbilder im Virtuellen müssen erst durch · eine entsprechende optische Anordnung ins Reelle transformiert werden. Die Fläche E wird mittels der Linsen 11, 12 in die Pupillenebene P abgebildet.The ring lens system causes lying in the final levels are imaged in the object level 0. The area of the light source images E must be in the real world. Light source images in the virtual must first be transformed into the real by means of a corresponding optical arrangement. The surface E is imaged by means of the lenses 11, 12 in the pupil plane P.

Alle genannten Reflektoranordnungen haben die Vorteile, daß ein großer Raumwinkelbereich erfaßt wird, und daß - gegenüber dem Wabenkondensor - eine Wabenplatte durch den Reflektor ersetzt wird, wodurch die Lichtverluste ver~ ringert werden.All these reflector arrangements have the advantages that a large solid angle range is detected, and that - compared to the honeycomb condenser - a honeycomb plate is replaced by the reflector, whereby the light losses are ver ~ reduced.

Die Größe und der maximale Aperturwinkel der sekundären Lichtquelle sind abhängig von den Parametern der HUIlkurve und der Abbildungskurve. Für kleine geforderte Werte von d-r . sin aτ ist die Verwendung einer Parabel als Hüll- und einer Hyperbel als Abbildungskurve günstig. Dadurch, daß die Lichtquellenbilder im Virtuellen liegen, kann der Aperturwinkel stark verkleinert werden, ohne daß die Baulänge des Beleuchtungssystems sehr groß wird.The size and the maximum aperture angle of the secondary light source depend on the parameters of the HUI curve and the imaging curve. For small required values of d-r. sin aτ, the use of a parabola as an envelope and a hyperbola as an imaging curve is favorable. The fact that the light source images are in the virtual, the aperture angle can be greatly reduced without the length of the lighting system is very large.

Eine Verkleinerung des Wertes dj . sina-r kann durch einen sphärischen Spiegel 14 erreicht werden, welcher dem neuen Reflektorsystem 13 gegenübergestellt wird, so daß ein Teil des beleuchteten Raumwinkelbereiches vom sphärischen Spiegel erfaßt wird (s. Abb. 19).A reduction of the value dj. sina-r can be achieved by a spherical mirror 14, which faces the new reflector system 13, so that a part of the illuminated solid angle range is detected by the spherical mirror (see Fig. 19).

Durch eine entsprechende Verspiegelung kann das Reflektorsystem wellenlängenselektierend wirken, so daß eine unnötige thermische Belastung des nachfolgenden optischen Systems vermieden werden kann.By means of a corresponding reflection, the reflector system can be wavelength-selective, so that unnecessary thermal stress on the subsequent optical system can be avoided.

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Claims (16)

Ansprücheclaims 1. Ein Beleuchtungssystem für fotografische Kopiergeräte, insbesondere für fotolithografische Geräte, bestehend aus einer Lichtquelle, einem Reflektor und einem nach-' folgenden optischen System, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufteilung des gesamten von der Lichtquelle beleuchteten Raumwinkels in verschiedene Bereiche mittels eines Reflektors erfolgt, wobei jeder dieser Bereiche des Reflektors ein Lichtquellenbild erzeugt, die einzelnen Lichtquellenbilder räumlich vonainander getrennt sind und das von den verschiedenen Libhtquellenbildern auegehende Licht in einer festgelegten Ebene überlagert wird.1. An illumination system for photographic copying apparatus, in particular for photolithographic apparatus, consisting of a light source, a reflector and a subsequent optical system, characterized in that the distribution of the entire illuminated by the light source solid angle in different areas by means of a reflector, wherein each of these areas of the reflector generates a light source image, the individual light source images are spatially separated from one another and the light emerging from the different libht source images is superimposed in a defined plane. 2. Ein Beleuchtungssystem nach Pkt. 1, gekennzeichnet da-' durch, daß die Reflektorfläche zusammengesetzt ist aus2. A lighting system according to item 1, characterized 'da by' that the reflector surface is composed of Einzelreflektoren, welche eine gemeinsame Hüllfläche • haben.Single reflectors, which have a common envelope surface. 3. Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Einzelreflektoren Ellipsoidstücke sind.3. An arrangement according to item 2, characterized in that the individual reflectors are ellipsoid pieces. 4* Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Einzelreflektoren Paraboloidstücke sind.4 * An arrangement according to item 2, characterized in that the individual reflectors are paraboloid pieces. 5« Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Einzelreflektoren Hyperboloidstücke sind.5 «An arrangement according to item 2, characterized in that the individual reflectors are Hyperboloidstücke. 6. Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Einzelreflektoren ebene Spiegel sind.6. An arrangement according to item 2, characterized in that the individual reflectors are plane mirrors. 7. Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Hüllfläche ein Ellipsoid ist.'7. An arrangement according to item 2, characterized in that the envelope surface is an ellipsoid. 8. Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Hüllfläche ein Paraboloid ist.8. An arrangement according to item 2, characterized in that the envelope surface is a paraboloid. 33933393 9. Eine Anordnung nach Pkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Hüllfläche ein Hyperboloid ist,9. An arrangement according to item 2, characterized in that the envelope surface is a hyperboloid, 10. Ein Beleuchtungasystern unter Verwendung eines Reflektors nach Fkt. 2, gekennzeichnet dadurch, daß in der Ebene der Lichtquellenbilder eine Anordnung von Linsen derart angebracht wurde, daß in jede Linse ein Lichtquellenbild projeziert wird und das Linsensystem die Aufgabe hat, allein oder zusammen mit einem nachfolgenden optischen System definierte Ebenen im End« liehen in die Objektebene abzubilden.10. A lighting system using a reflector according to Fkt. 2, characterized in that in the plane of the light source images, an array of lenses has been mounted such that in each lens, a light source image is projected and the lens system has the task, alone or together with a subsequent levels defined in the optical system to reproduce in the object plane. 11. Eine Anordnung nach Pkt. 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Reflektorfläche-eine Rotationsfläche ist, deren Drehachse die optische Achse darstellt und die erzeugende Kurve zusammengesetzt ist aus zwei oder mehr Bogenstücken und die Hüllkurve in ihrem Berührungspunkt tangential aneinander liegen.11. An arrangement according to item 1, characterized in that the reflector surface is a surface of revolution, whose axis of rotation is the optical axis and the generating curve is composed of two or more elbows and the envelope tangent to each other in their point of contact. 12. Ein Beleuchtungssystem unter Verwendung eines Reflektors nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß in der Ebene der Lichtquellenbilder eine Anordnung von Ringlinsen derart angebracht wurde, daß in jeder Ringlinse genau ein zu einem konzentrischen Ring verschmiertes Lichtquellenbild projeziert wird und das Ringlinsensystem die Aufgabe hat, allein oder zusammen mit einem nachfolgenden optischen System definierte Ebenen im Endlichen in die zu beleuchtende Objektebene abzubilden. 12. An illumination system using a reflector according to item 11, characterized in that in the plane of the light source images, an array of ring lenses has been mounted so that in each ring lens exactly one to a concentric ring smeared light source image is projected and the ring lens system has the task to image planes defined alone or together with a subsequent optical system in the finite plane into the object plane to be illuminated. 13. Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Hüllkurve eine Ellipse darstellt, deren große Halbachse auf der optischen Achse liegt.13. An arrangement according to item 11, characterized in that the envelope represents an ellipse whose major axis lies on the optical axis. H. Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Hüllkurve eine Parabel darstellt, deren Achse auf der optischen Achse liegt.H. An arrangement according to item 11, characterized in that the envelope represents a parabola whose axis lies on the optical axis. ... : 3393...: 3393 15. Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Hüllkurve eine Hyperbel darstellt, deren reelle Achse auf der optischen Achse liegt.15. An arrangement according to item 11, characterized in that the envelope represents a hyperbola whose real axis lies on the optical axis. 16. Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Bogenstücke Ellipsenstücke sind*16. An arrangement according to item 11, characterized in that the curved pieces are elliptical pieces * 17. Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Bogenstücke Parabelstücke sind.17. An arrangement according to item 11, characterized in that the curved pieces are parabolic pieces. 18. Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß 'die Bogenstücke Hyperbelstücke sind.18. An arrangement according to item 11, characterized in that 'the elbows are hyperbolic pieces. 19· Eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die Bogenstücke Geraden sind.19 · An arrangement according to item 11, characterized in that the curved pieces are straight lines. 20. Ein' Beleuchtungssystem unter Verwendung eines Reflektors nach Pkt. 2, oder unter Verwendung eines Reflektors nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß dem Reflektor ein Kugelspiegel gegenübergestellt wird, welcher einen Teil des von der Lichtquelle beleuchteten Raumwinkels erfaßt und die Lichtquelle in sich selbst abbildet, mit dem Ziel, das Produkt aus Beleuchtungsapertur und Leuchtfleckdurchmesser zu verkleinern und die Leuchtdichte' zu erhöhen.20. An ' illumination system using a reflector according to item 2, or using a reflector according to item 11, characterized in that the reflector is confronted with a spherical mirror, which detects a part of the illuminated from the light source solid angle and the light source in itself itself with the aim of reducing the product of illumination aperture and spot diameter and to increase the luminance '. 21· Eine Anordnung nach $kt. 2 oder, eine Anordnung nach Pkt. 11, gekennzeichnet dadurch, daß die reflektierende Fläche derart beschichtet wurde, daß vorwiegend nur das Licht eines oder mehrerer Wellenlängenbereiche reflektiert wird.21 · An arrangement according to $ kt. 2 or, an arrangement according to item 11, characterized in that the reflective surface has been coated so that predominantly only the light of one or more wavelength ranges is reflected. Selten ZeichnungenRarely drawings 33933393
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