DD143128A1 - PIEZOELECTRIC POSITION SENSOR WITH LARGE ADJUSTING RANGE - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein elektrisch steuerbares Hilfsmittel zur Feinpositionierung von Teilen wissenschaftlicher Geräte zueinander über einen Bereich von mehr als 10 gm mit Hilfe piezoelektrischer Verstellelemente. Die durch die zur Zeit bekannten Piezomatsrialien und deren Abmessungen gegebenen Grenzen von linearen oder Winkeländerungen werden durch entsprechende Übersetzungen erweitert. Dabei wirkt der Positionssteller sowohl als Antriebswie als Führungselement, so daß eine getrennte Lagerung des zu positionierenden Teiles nicht erforderlich ist. Fig.2 zeigt eine spezielle Ausführung des Gedankens. Jeweils zwei einander parallel liegende Piezoelemente ändern ihre Länge gegensinnig. Der Einsatz mehrerer Elementepaare erhöht die Steifigkeit, durch entsprechende Orientierung der Elementepaare kann die Steifigkeit in einer oder mehreren Vorzugsrichtungen erhöht werden. Die Erfindung kann außerdem in einer Ablenkeinheit für Lichtstrahlen über Spiegelkippung genutzt werden.The invention relates to an electrically controllable aid for fine positioning of parts of scientific equipment to each other over a range of more than 10 gm with the help piezoelectric adjusting elements. The by the currently known Piezomatsrialien and their dimensions given limits of linear or angle changes are made by appropriate translations extended. The position actuator acts both as a drive as a guide element, so that a separate storage of the Positioning part is not required. Fig.2 shows a special execution of the thought. Two each in parallel lying piezoelectric elements change their length in opposite directions. The use several element pairs increases the rigidity, by appropriate Orientation of the element pairs can increase the stiffness in one or more several preferred directions are increased. The invention can also in a deflection unit for light beams via mirror tilting be used.

Description

-λ- 21 2 -λ- 21 2

a) Titel der Erfindunga) Title of the invention

Piezoelektrischer Positionssteller mit großem VerstellbereichPiezoelectric positioner with a large adjustment range

b) Anwendungsgebiet der Erfindungb) Field of application of the invention

Die Erfindung bezieht eich auf einen piezoelektrischen Positionssteller, insbesondere zur Peinpositionierung von Werkzeugen bzw.. Werkstücken oder Bauteilen wissenschaftlicher Geräte. Sie kann ferner angewendet v/erden zur feinfühligen Justierung zweier oder mehrerer Teile zueinander, z. B. beim fotolithografischen Übertragen von Strukturen von einer Maske auf ein Halbleitersubstrat o. ä., oder z. B. zur feinfühligen Winkeländerung· eines Spiegels für die Ablenkung eines Lichtstrahles.The invention relates to a piezoelectric position controller, in particular for precision positioning of tools or workpieces or components of scientific equipment. It can also be used for the sensitive adjustment of two or more parts to each other, eg. B. in the photolithographic transfer of structures from a mask on a semiconductor substrate o. Ä., Or z. B. for sensitive angle change · a mirror for the deflection of a light beam.

c) Charakteristik der bekannten technischen lösungenc) Characteristic of the known technical solutions

Die Herateilung geringer Verschiebungen im wissenschaftlichen Gerätebau erfolgt im allgemeinen in bekannter Weise durch die Anwendung von Hebeln, motorgetriebenen Spindeln, Exzentern, pneumatisch oder hydraulisch betätigten Kolben oder deren Kombination oder auch durch Anwendung weiterer, z. B. magnetostriktiver Elemente, mit deren Hilfe eine Längenänderung erzeugt v/ird. Die Führungen werden im allgemeinen durch Anwendung von Rollen-, Kugel- und Gleitlagern oder auch durch Einsatz von Parallelogrammen verwirklicht.The Herateilung minor shifts in scientific instrumentation is generally carried out in a known manner by the use of levers, motorized spindles, eccentrics, pneumatically or hydraulically operated pistons or their combination or by the use of further, z. B. magnetostrictive elements, with the aid of a change in length generated v / ird. The guides are generally realized by the use of roller, ball and slide bearings or by the use of parallelograms.

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Unter anderem sind piezoelektrische Verstellelemente "bekannt, die eine Längenänderung auf Grund eines aber dessen Elektroden zugeführten elektrischen Signales erzeugen. (Spectra - Physiecs, Rochester, N.I. 14625 Datenblatt zu Mod. 470 "Optical Spectrum Analyser"; G. Heike, "Praktische Anwendungen einer Piezokeramik mit hoher Dielektrizitätskonstanten und großem piezoelektrischem Effekt" Hermsdorfer Technische Mitteilungen 44/1975 s. 1390) Die Längenänderungen sind i. a. nicht linear mit der an die Elemente angelegten Spannung verknüpft. Ss gibt jedoch Verfahren (DS - AS 2313107 "Verfahren und Schaltungsanordnung zum Steuern der Ausdehnung eines piezoelektrischen Elementes" Anmelder: Hewlett-Pachard GmbH 7030 Böblingen, Erfinder: Knoll, Dieter, 7032 SindelfIngen v. 16. 3. 1973), die lineare, hysteresefreie Auslenkungen gestatten. Die bekannten piezoelektrischen iSlemente, die Dickenänderungen oder Scherungen für Verstellungen ausnutzen, gestatten im allgemeinen nur Verstellungen bis ca. 10/um bei Abmessungen und Spannungen, die noch günstig zu verarbeiten sind.Among other things, piezoelectric displacement elements are known which produce a change in length due to an electrical signal applied to its electrodes. (Spectra - Physiecs, Rochester, NI 14625 Data sheet for Mod. 470 "Optical Spectrum Analyzer", G. Heike, "Practical Applications of Piezoceramic with High Dielectric Constant and Large Piezoelectric Effect "Hermsdorfer Technische Mitteilungen 44/1975 P. 1390) The length changes are generally not linearly related to the voltage applied to the elements, but Ss gives methods (DS - AS 2313107" Method and Circuitry for Controlling Extension of a piezoelectric element "Applicant: Hewlett-Pachard GmbH 7030 Böblingen, inventor: Knoll, Dieter, 7032 SindelfIngen v. 16. 3. 1973), the linear, hysteresis-free deflections allow the known piezoelectric iSlements, the thickness changes or shears for adjustments exploit , generally allow only adjustment up to approx. 10 / um with dimensions and tensions that are still inexpensive to process.

Entsprechend den bekannten Einrichtungen und Verfahren wurde versucht, durch Zusammenschalten mehrerer Elemente (DE OS 2542228 Heywang-Siemens AG (Mehrschichtelemente)), bzw. durch Verwendung von Biegestreifen, einen größeren Verstellbereich zu erzielen. Y/ährend durch Zusammenschalten von Elementen nur'eine Verringerung der Betriebsspannung erzielt werden kann, die mögliche Auslenkung jedoch wesentlich durch die Gesamtdicke (bzw. Länge) des Stapels begrenzt wird, nutzt man beim Einsatz von Biegeelementen eine Hebelwirkung auf Grund unterschiedlicher Dehnungen zweier verklebter Piesostreifen aus. Die-ae Lösung hat neben dem Vorteil der Vergrößerung des Verstellbereiches ö.en Nachteil einer geringeren Federsteife. Der Winkel, der über das als Hebel wirkende Biegoelement wirksam wird undAccording to the known devices and methods, attempts have been made by interconnecting several elements (DE OS 2542228 Heywang-Siemens AG (multi-layer elements)), or by using bending strips to achieve a larger adjustment. If only a reduction of the operating voltage can be achieved by interconnecting elements, but the possible deflection is substantially limited by the total thickness (or length) of the stack, leverage is used when using bending elements due to different expansions of two bonded pebbled strips out. The-ae solution has in addition to the advantage of increasing the adjustment öö disadvantage of a lower spring stiffness. The angle that is effective on the acting as a lever Biegoelement and

_ 3 —_ 3 -

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zur Verstellung fuhrt, muß sich erst längs des Biegestreifens ausbilden. Damit ist eine volle Ausnutzung des gesamten Effektes der durch Spannung hervorgerufenen Längenänderung für eine Verschiebung nicht möglich. Bei gleichzeitiger Verwendung der Biegestreifen als Parallelogramraführung (DE - OS 2045108 Guntersdorfer-Braun AG (Biegestreifen)) ist eine S-förmige Biegung des Streifens zur Realisierung einer Verlagerung erforderlich. Dadurch wird erneut der mögliche Verlagerung^effekt reduziert, weil die jeweils v/irksame Streifenlänge halbiert wird, und die Verlagerung des Endpunktes des Biegestreifens proportional dem Quadrat der Länge desselben ist.leads to adjustment, must first form along the bending strip. Thus, a full utilization of the entire effect of the voltage caused change in length for a shift is not possible. With simultaneous use of the bending strips as Parallelogramraführung (DE - OS 2045108 Guntersdorfer - Braun AG (bending strip)) an S-shaped bend of the strip to the realization of a displacement is required. This again reduces the possible displacement effect because the respective effective strip length is halved and the displacement of the end point of the bending strip is proportional to the square of the length thereof.

d) Ziel der Erfindungd) Object of the invention

Das Ziel der Erfindung ist, ein Verstellelement zu schaffen, das Verstellwege zuläßt, die wesentlich über die durch Biegeelemente oder einfache, bzw. zusammengesetzte Dickenoder Scherschwinger gegebenen Grenzen hinausgehen. Diese sollen weiterhin den bei Biegeelementen vorhandenen Nachteil geringer Federkonstanten der Elemente umgehen.The object of the invention is to provide an adjusting element which allows adjustment paths which go substantially beyond the limits given by flexures or simple or composite thickness or shear oscillators. These should continue to bypass the existing bending elements disadvantage of low spring constants of the elements.

e) Darlegung des Wesens der Erfindunge) Presentation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,.eine Versetzung in einer Koordinate zu erzielen und durch eine Kombination bekannter piezoelektrischer Elemente mit Parallelogrammführungen sowohl den Vorteil großer Ver*3tellwege als auch hoher Federkonstanten zu erreichen.The object of the invention is to achieve an offset in one coordinate and to achieve both the advantage of large displacement paths and high spring constants by a combination of known piezoelectric elements with parallelogram guides.

Die erfindungsgemäße Lösung ermöglicht Stellwege die wesentlich über die durch Biegeelemente oder zusammengesetzte Dicken- oder Scherschwinger gegebenen Grenzen hinausgehen. Die Aufgabe wird durch einen piezoelektrischen Positionssteiler mit mindestens einem in seiner Länge durch Anlegen einer elektrischen Spannung veränderbaren Piezoelement dadurch gelöst, daß zwei Piezoelemente parallel zueinander mit einem ihrer Enden mit einem prismatischen GrundkörperThe solution according to the invention makes it possible to travel substantially beyond the limits given by bending elements or composite thickness or shear oscillators. The object is achieved by a piezoelectric position divider with at least one in its length by applying an electrical voltage variable piezo element in that two piezo elements parallel to each other with one of its ends with a prismatic body

-♦- ?1 2 3- ♦ -? 1 2 3

fest und mil; ihren anderen Enden über jeweils ein Gelenk mit einem Hebel beweglich verbunden sind. Besonders vorteilhaft ist dne Ausführungsform, bei der zur Erhöhung der Steifigkeit mindestens ge ein Piezoelement mit einem Ende mit einer der beiden Schenkelinnenseiten eines L-förmigen Grundkörpers, dessen Schenkel einen Winkel von vorzugsweise 90° einschließen, fest und mit seinem anderen Ende über ein Gelenk mit dem Hebel verbunden ist. .firm and mil; their other ends are connected via a respective joint with a lever movable. Particularly advantageous is the embodiment in which at least ge a piezoelectric element with one end to one of the two legs inner sides of an L-shaped base body, the legs of which enclose an angle of preferably 90 ° fixedly and with its other end via a joint to increase the rigidity connected to the lever. ,

Zur Erzielung eines größeren Verstellweges ist es vorteilhaft, wenn je zwei parallel zueinander angeordnete Piezoelement e zur Verbindung von Schenkelinnenseiten und Hebel vorgesehen sind.To achieve a greater adjustment, it is advantageous if two mutually parallel piezoelectric element e are provided for the connection of leg inner sides and levers.

Es ist auch möglich, eines der beiden Piezoelemente durch ein Verbindungsglied konstanter Länge zu ersetzen. Mehrere erfindungsgemäße Positionssteiler können zu einer Parallelogrammführung zusammengesetzt v/erden.It is also possible to replace one of the two piezo elements by a link of constant length. Several positional dividers according to the invention can be combined to form a parallelogram guide.

f) Ausführungsbeispielf) embodiment

An Hand einiger Ausführungsbeispiele soll die Erfindungnäher erläutert v/erden.With reference to some embodiments, the invention will be explained in more detail.

Die Längenänderung von piezoelektrischen Einzelelementen I₁, Ip, wird entsprechend Fig. 1 in eine Winkeländerung des Teiles C transportiert und diese Winkeländerung mit Hilfe der gleichzeitig als Hebel wirkenden Elemente (Hebellänge L) in eine entsprechend größere Längenänderung umgeformt, wobei die durch die Piezoelemente möglichen Verschiebungen - im Gegensatz zu Biegestreifen - voll ausgenutzt werden. Die Winkeländerung des Teiles C kann auch allein zur Positionsstellung dieses Teiles um denWinkel f ausgenutzt werden. Zur Erhöhung der Steifigkeit der Anordnung in unterschiedlichen Richtungen können weitere Piezostäbe unter beliebigen Winkeln hinzugezogen werden.The change in length of piezoelectric individual elements I ₁ , Ip, is transported in accordance with FIG. 1 in an angle change of the part C and this angle change using the simultaneously acting as a lever elements (lever length L) converted into a correspondingly greater change in length, which is possible by the piezo elements Shifts - in contrast to bending strips - are fully exploited. The change in angle of the part C can also be utilized alone for the positional position of this part by the angle f . To increase the rigidity of the arrangement in different directions further piezoelectric rods can be added at any angle.

Entsprechend der zugehörigen Längenänderung der Einzelstreifen läßt sich die Verstellung aus der durch die Elemente gebildeten Hebellänge und dem durch den Abstand und die Längenänderung erzeugten Winkel ermitteln.According to the associated change in length of the individual strips, the adjustment can be determined from the lever length formed by the elements and the angle generated by the distance and the change in length.

- 5 - 212 380- 5 - 212 380

Bei einer durch den Piesoeffekt hervorgerufenen Änderung der Längen I₁ - l_o =<4l muß sich der Endpunkt A des Hebels derIn a caused by the Piesoeffekt change of the lengths I ₁ - l _o = <4l, the end point A of the lever must

Al XAl X

Länge L um den V/ert χ entsprechend ^- = ν verlagern:Shift length L by the value χ according to ^ - = ν :

x - L Aix - L Ai

^x - ^L a ^x - ^L a

Da Piezoelemente zur Vermeidung einer Depolarisation nur in einer Richtung elektrisch belastet werden dürfen, sind die beiden Elemente, ausgehend von einer festen zulässigen Spannung elektrisch gegenläufig zu belasten (z. B. ausgehend von 500 V ist das eine Element bis ITu 11 zu steuern, das andere bis 1000 V und umgekehrt bei Umkehrung der Verlagerungsrichtung). Bei Verzicht auf den halben Verstellbereich kann, insbesondere zur Erzielung einer höheren Belastbarkeit des Elementes in y-Richtung und zur Erhöhung der Federsteife in x-Richtung an Stelle des einen Elementes ein entsprechender wesentlich stärkerer Stab anderen Materials, evtl* ohne Piezoeffekt, möglichst gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten, eingesetzt werden.Since piezoelectric elements may only be electrically loaded in one direction in order to avoid depolarization, the two elements are to be electrically counteracted starting from a fixed permissible voltage (for example, starting from 500 V, the one element is to be controlled until ITu 11) others up to 1000 V and vice versa when reversing the direction of displacement). In the absence of half the adjustment, in particular to achieve a higher load capacity of the element in the y-direction and to increase the spring stiffness in the x direction instead of the one element a correspondingly much stronger rod other material, possibly * no piezoelectric effect, preferably the same coefficient of thermal expansion , are used.

Die in !'ig. T durch χ bezeichneten, für die Punktion des Stellers notwendigen Gelenke können als Blattfedern ausgebildet sein. Dabei erweist sich die Verbindung der Halterung für die Piezoelemente mit dieser Feder in der Weise als vorteilhaft, indem beide aus dem gleichen Material durch entsprechende Formgebung hergestellt werden. Die durch die o. a. Längenänderungen in Verbindung mit Gelenken erzeugbaren Winkeländerungen können weiterhin zur Herstellung der Winkeländerung eines Spiegelsausgenutzt v/erden, so daß damit ein Lichtstrahl abgelenkt werden kann. Solche Elemente können in Abtasteinrichtungen für z. B. fotoelektrische Mikroskope als Scanner eingesetzt werden. Fig. 2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel. An einem Grundkörper 1 sind einerseits zwei gegeneinander wirkende Piezoeiemente 2 und 3 fest angeordnet. Unter einem Ϋ/inkel, vorzugsweise von 90 , sind andererseits zwei weitere Piezoelemente 4 und 5 an diesem Grundkörper 1The in! 'Ig. T designated by χ, necessary for the puncture of the actuator joints may be formed as leaf springs. In this case, the connection of the holder for the piezoelectric elements with this spring proves to be advantageous in that both are made of the same material by appropriate shaping. The by the o. A. Length changes in conjunction with joints generated angle changes can still v used to produce the change in angle of a mirror v / ground, so that so that a light beam can be deflected. Such elements can be used in scanners for z. B. photoelectric microscopes can be used as a scanner. Fig. 2 shows another embodiment. On a base body 1 on the one hand two mutually acting Piezoeiemente 2 and 3 are fixed. On the other hand, two further piezoelectric elements 4 and 5 are attached to this main body 1 under an angle, preferably 90

-6- 212 3-6- 212 3

fest angeordnet. Die Enden der Piezoelemente 2; .3; 4 und 5 sind mit einem Hebel 6 über Gelenke 7; 8; 9; 10 beweglich verbunden. Es besteht die Möglichkeit, weitere Elementenpaare unter anderen Y/inkeln hinzuzufügen. Eine Längenänderung der Piezoelemente 2 und 4 in der gleichen Weise, z. B. eine Dehnung, bewirkt eine Drehung des Hebels 6, die zu einer gewünschten Verlagerung eines Gelenkpünktes 6,1 gegenüber dem Grundkörper T führt. Je nach Länge de3 Hebels 6 kann diese Verlagerung größer oder kleiner als die Längenänderung der Piezoelemente 2; 3; 4; 5 sein.firmly arranged. The ends of the piezo elements 2; .3; 4 and 5 are connected to a lever 6 via joints 7; 8th; 9; 10 movably connected. It is possible to add further element pairs under other words. A change in length of the piezoelectric elements 2 and 4 in the same manner, for. B. an elongation, causes a rotation of the lever 6, which leads to a desired displacement of a Gelenkpünktes 6.1 with respect to the main body T. Depending on the length de3 lever 6, this displacement may be greater or smaller than the change in length of the piezoelectric elements 2; 3; 4; 5 be.

Die Drehung des Hebels 6 kann zur Kippung eines an dem Hebel 6 befestigten Spiegels 6,2 bzw. als Scanner für fotoelektrische Mikroskope verwendet werden.The rotation of the lever 6 can be used to tilt a mirror 6,2 fixed to the lever 6 or as a scanner for photoelectric microscopes.

Durch Zusammenbau zweier derartiger Anordnungen 11 und 12 (Pig. 3)» bei denen die Gelenkpunkte 6,1 mit einer Platte verbunden sind, ergibt sich eine Parallelogrammführung für die Platte 13. Bei einer Betätigung der Anordnungen 11 und 12 in der vorgeschriebenen Weise ergibt sich eine Verlagerung der Platte 13 parallel zur Verbindungslinie der Punkte 6,1 zur Anordnung 11 und zur Anordnung 12.By assembling two such arrangements 11 and 12 (Fig. 3) in which the hinge points 6,1 are connected to a plate, there results a parallelogram guide for the plate 13. Upon actuation of the assemblies 11 and 12 in the prescribed manner a displacement of the plate 13 parallel to the connecting line of the points 6.1 to the arrangement 11 and the arrangement 12th

Die für die Funktion des Stellers notwendigen Gelenke 7; 8; 9; 10 können als Blattfedern ausgebildet sein. Dabei erweist es sich als vorteilhaft, diese mit den Piezoelementen 2; 3; 4; 5 so zu verbinden, daß beide aus dem gleichen Material durch entsprechende Formgebung hergestellt werden.The necessary for the function of the actuator joints 7; 8th; 9; 10 may be formed as leaf springs. It proves to be advantageous, this with the piezo elements 2; 3; 4; 5 to connect so that both are made of the same material by appropriate shaping.

Pig. 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Gelenke durch Schwächen des !,iaterials als Blattfedern ausgebildet sind. Zur Erhöhung der Steifigkeit des Stellers sind hier 3 Piezoelemente, die in gleicher Richtung wirken, eingesetzt. Darüber hinaus wurde auf die gegenläufig wirkenden Piezoelemente, ebenfalls aus Gründen der höheren Steifigkeit, verzichtet. Als kurzer Hebelarm wirkt hier die Länge a, als langer Hebelarm der Abstand der Gelenke L.Pig. 4 shows an embodiment in which the joints are formed by weaknesses of the material as leaf springs. To increase the rigidity of the actuator 3 piezo elements, which act in the same direction, are used here. In addition, the counteracting piezoelectric elements were omitted, also for reasons of higher rigidity. As a short lever arm acts here the length a, as a long lever arm, the distance of the joints L.

212 380212,380

Die Ausführung nach Pig. 5 wirkt in der gleichen Weise wie diejenige nach Pig. 4. In diesem Palle wurden die Gelenke durch die durchgehende Blattfeder B an deren freien Stellen gebildet. Auf das dritte Gelenk wurde zugunaten der Erhöhung der Pedersteife verzichtet und statt eines Gelenkes wird die Durchbiegung der Piezoelemente bei deren Längenänderung ausgenutzt. Als kurzer Hebelarm wirkt hier ebenfalls a, als langer Hebelarm L. Die mit A bezeichneten Teile der Piguren 4 und 5 haben gleiche Punktion. Baut man die Piezoelemente so ein, daß bei Anlegen einer Spannung nur eine Verkürzung eintreten kann, so kann bei der Montage des Stellers auf einen Spalt zwischen dem Teil A und dem unteren Teil sowie zwischen dem mit A zur Klemmung der Peder verschraubten Teil C und dem oberen Teil verzichtet werden.The execution after Pig. 5 acts in the same way as the one after Pig. 4. In this Palle, the joints were formed by the continuous leaf spring B at their free places. On the third joint Zugunaten was omitted to increase the Pedersteife and instead of a joint, the deflection of the piezoelectric elements is used in their change in length. As a short lever arm acts here also a, as a long lever arm L. The designated A parts of the Piguren 4 and 5 have the same puncture. If one builds the piezoelectric elements so that only a shortening can occur when applying a voltage, so can during assembly of the actuator on a gap between the part A and the lower part and between the bolted to A for clamping the Peder part C and the upper part are omitted.

Claims (6)

- 8 - 212 380- 8 - 212 380 Erfindungsanspruchinvention claim 1. Piezoelktrischer Positions steller mit großem Verstellbereich, der mindestens ein in seiner Länge durch Anlegen einer elektrischen Spannung veränderbares Piezoelement enthält, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Piezoelemente parallel zueinander mit einem ihrer Enden mit einem prismatischen Grundkörper fest mit ihren anderen Enden über jeweils ein Gelenk mit einem Hebel beweglich verbunden sind.1. Piezoelectric positioner positioner with large adjustment range, which contains at least one in its length by applying an electrical voltage variable piezo element, characterized in that two piezo elements parallel to each other with one of its ends with a prismatic body fixed to its other ends via a respective joint a lever are movably connected. 2. Piezoelektrischer Positionssteiler nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der Steifigkeit mindestens je ein Piezoelement mit einem Ende mit einer der beiden Schenkelinnenseiten eines L-förmigen Grundkörpers, dessen Schenkel einen Winkel von vorzugsweise 90° einschließen, fest und mit seinem anderen Ende über ein Gelenk mit dem Hebel verbunden ist.2. Piezoelectric position divider according to item 1, characterized in that to increase the rigidity at least one piezoelectric element with one end with one of the two leg inner sides of an L-shaped base body whose legs enclose an angle of preferably 90 °, fixed and with its other end connected to the lever via a joint. 3..Piezoelektrischer Positionssteiler nach Punkt 2, dadurch gekennzeichnet, daß je zwei parallel zueinander angeordnete Piezoelemente zur Verbindung von Schenkelinnenseiten und Hebel vorgesehen sind.3..Piezoelektrischer position divider according to item 2, characterized in that two mutually parallel piezo elements are provided for connecting leg inner sides and levers. 4. Piezoelektrischer Positionssteller nach Punkt 3» dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eines der beiden Piezoelemente durch ein Verbindungsstück konstanter Länge ersetzt ist.4. Piezoelectric position indicator according to point 3 », characterized in that in each case one of the two piezo elements is replaced by a connector of constant length. 5. Piezoelektrischer Positionssteller nach Punkt 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Enöhung der Pedersteife des Stellers das an das Piezoelement anschließende Gelenk durch eine starre Verbindung ersetzt ist.5. Piezoelectric position indicator according to item 4, characterized in that the Enöhung the Pedersteife of the actuator, the subsequent to the piezoelectric element joint is replaced by a rigid connection. 6. Piezoelektrischer Positionssteller nach Punkt 1-5» dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Positionssteller zu Parallelogrammführungen zusammengesetzt sind.6. Piezoelectric position controller according to item 1-5 », characterized in that a plurality of position plates are assembled to Parallelogrammführungen. Hierzu JLSeiien ZeichnungenFor this JLSeiien drawings