DD138678A1 - Verfahren zur herstellung von kohlenstoffschichten mit diamantaehnlichen eigenschaften - Google Patents

Verfahren zur herstellung von kohlenstoffschichten mit diamantaehnlichen eigenschaften

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DD138678A1
DD138678A1 DD20743178A DD20743178A DD138678A1 DD 138678 A1 DD138678 A1 DD 138678A1 DD 20743178 A DD20743178 A DD 20743178A DD 20743178 A DD20743178 A DD 20743178A DD 138678 A1 DD138678 A1 DD 138678A1
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Christian Weissmantel
Christian Schuerer
Klaus Bewilogua
Lienhard Pagel
Uwe Scheit
Bernd Rau
Ingolf Loeschner
Dietmar Fabian
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Christian Weissmantel
Christian Schuerer
Klaus Bewilogua
Lienhard Pagel
Uwe Scheit
Bernd Rau
Ingolf Loeschner
Dietmar Fabian
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0039659A1 (de) * 1980-04-19 1981-11-11 Kurt Fischer Verfahren zur Herstellung von schwarzen Oberflächen auf Metall
DE3047888A1 (de) * 1980-12-19 1982-07-15 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "schneidwerkzeug, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung"
DE3706340A1 (de) * 1987-02-27 1988-09-08 Winter & Sohn Ernst Verfahren zum auftragen einer verschleissschutzschicht und danach hergestelltes erzeugnis
US4795656A (en) * 1986-08-26 1989-01-03 Kozo Iizuka, Director-General, Agency Of Industrial Science And Technology Cluster ion plating method for producing electrically conductive carbon film
EP0304201A1 (de) * 1987-08-19 1989-02-22 The Regents Of The University Of California Verfahren zur Herstellung von Verbundschichten aus Diamant, dotiertem Diamant und aus diamantkubischen Bornitriden
US4832979A (en) * 1986-11-21 1989-05-23 Masahiko Hoshino Process for preparing laser knife
DE4491289C2 (de) * 1993-03-02 1998-02-26 Citizen Watch Co Ltd Strick- oder Wirkwerkzeug

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