CZ283311B6 - Sonda pro odběr vzorků plynů a měření teplot v šachtových pecích - Google Patents
Sonda pro odběr vzorků plynů a měření teplot v šachtových pecích Download PDFInfo
- Publication number
- CZ283311B6 CZ283311B6 CS91594A CS59491A CZ283311B6 CZ 283311 B6 CZ283311 B6 CZ 283311B6 CS 91594 A CS91594 A CS 91594A CS 59491 A CS59491 A CS 59491A CZ 283311 B6 CZ283311 B6 CZ 283311B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- envelope
- probe
- outside
- furnace
- tube
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21C—PROCESSING OF PIG-IRON, e.g. REFINING, MANUFACTURE OF WROUGHT-IRON OR STEEL; TREATMENT IN MOLTEN STATE OF FERROUS ALLOYS
- C21C5/00—Manufacture of carbon-steel, e.g. plain mild steel, medium carbon steel or cast steel or stainless steel
- C21C5/28—Manufacture of steel in the converter
- C21C5/42—Constructional features of converters
- C21C5/46—Details or accessories
- C21C5/4673—Measuring and sampling devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
- G01K13/12—Thermometers specially adapted for specific purposes combined with sampling devices for measuring temperatures of samples of materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/26—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with provision for intake from several spaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
- G01N1/14—Suction devices, e.g. pumps; Ejector devices
- G01N1/1409—Suction devices, e.g. pumps; Ejector devices adapted for sampling molten metals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2247—Sampling from a flowing stream of gas
- G01N1/2252—Sampling from a flowing stream of gas in a vehicle exhaust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2226—Sampling from a closed space, e.g. food package, head space
- G01N2001/2235—Sampling from a closed space, e.g. food package, head space over a melt, e.g. furnace
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N2001/2282—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with cooling means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
- Blast Furnaces (AREA)
Abstract
Sonda obsahuje podpěru ve tvaru obalu (16), v němž je uložena řada trubek (32, 44), držených rozpěrami v kanálcích, rozložených v obalu (16), spojujících zařízení pro měření a pro přijímání plynných vzorků vně pece s termočlánky uloženými uvnitř sondy. Aby bylo možné vyměnit trubky (32, 44) bez rozebrání sondy, jsou kanálky umístěny ve stupních-krocích (18), obsažených v obalu (16). Trubky (32, 44) pro odběr plynných vzorků jsou tvořeny jednotlivými přímými a vyměnitelnými prvky, uloženými v přímé podpěře a ochranných kanálcích, které procházejí podélně obalem (16) od vnějšího čela sondy až ke konci příslušného kroku (18).ŕ
Description
Oblast techniky
Vynález se týká sondy a jejího uspořádání, které umožňuje snadnější měření teplot a odběr vzorků plynů u šachtových pecí.
Dosavadní stav techniky
Současné vynálezy, které pojednávají o sondách pro odběr vzorků plynů a měření teplot v šachtové peci, zahrnují podpěru ve tvaru obalu, zavedeného zdí pece nad zavážecí plošinou do vnitřního prostoru pece, který obsahuje sérii vnitřních trubek, spojujících otvory, rozložené podél obalu, k zařízení pro měření a pro přijímání plynných vzorků vně pece, termočlánky, umístěné v úrovni řečených otvorů, rozpěry, umístěné napříč pecí tak, aby obsáhly vnitřní trubky, a jeden nebo více chladicích okruhů.
Sonda tohoto typuje známa např. z US patentu 3 130 584 nebo 3 240 069. Protože tyto sondy pracují ve velmi nepříznivých podmínkách, vyžadují pravidelnou údržbu, např. výměnu vadných termočlánků nebo odpojení ucpaných trubek pro odběr plynných vzorků. Pro provedení těchto oprav bylo až dosud nutné úplně rozebrat sondu, provést tyto práce, a to nejčastěji v opravářské dílně, co znamenalo ztrátu času.
Podstata vynálezu
Nedostatky stávajícího stavu techniky jsou odstraněny sondou pro odběr vzorku plynu a měření teploty v šachtové peci nad vsázkovou plošinou podle vynálezu, která sestává z prodloužené obálky s odstupňovanými sekcemi, zmenšující se v přímém řezu ke konci sondy, přičemž v prodloužené obálce je umístěna jedna nebo více chladicích trubek a řada trubic pro odběr vzorku plynu, jejichž ústí je uloženo v čele sekce a které jsou napojeny na zařízení pro příjem vzorku plynu, umístěné vně pece, a dále sestává z řady ochranných trubek, jehož podstata spočívá v tom, že trubice pro odběr vzorku plynu jsou uloženy v kanálcích, uspořádaných paralelně s podélnou osou prodloužené obálky, s ukončením vně rozpěrky, vymezující jednotlivé sekce. Ochranné trubky s termočlánkem pro měření teploty jsou jednotlivě uzavřeny v podélném kanálku, uspořádaném rovnoběžně s podélnou osou obálky, přičemž termočlánek je uložen v jeho ústí v rozpěrce, která tvoří vyztužení kanálků uvnitř obálky. Tyto rozpěrky jsou umístěny mezi dvěma následujícími sekcemi a část rozpěrky s ústím kanálků leží vně pláště obálky.
Sekce jsou provedeny střídavě na dvou stranách vertikální roviny, procházející podélnou osou sondy.
Část rozpěrky, ležící vně obálky, má obecně trojúhelníkový tvar s vrcholem, přivráceným k rovině zavážecí plošiny, a trojúhelníkové části následných rozpěrek jsou uspořádány střídavě v řadě podél osy sondy.
Zadní konec trubky vzorku plynu a/nebo zadní konec trubky pro měření teploty je přírubou spojen s obálkou vně pece a vnitřní konec těchto trubek vystupuje skrze rozpěrku pláště obálky, kde zadní konec trubky pro odběr vzorku plynu a/nebo zadní konec trubky pro měření teploty je uspořádán v kanálku prostřednictvím spirálové pružiny, umístěné vně pece. Obálka tvoří těsně uzavřený plášť, ve kterém jsou umístěny kanálky a který je spojen vně pece s chladicím okruhem.
- 1 CZ 283311 B6
Chladicí trubka pro oběh chladicí kapaliny je podepřena rozpěrkou uvnitř obálky. Kanálky, procházející pláštěm obálky, jsou utěsněny těsnicími kroužky.
Přehled obrázků na výkrese
Příkladné provedení sondy pro odběr vzorků plynu a měření teploty v šachtové peci podle vynálezu je znázorněno na připojených výkresech, kde představuje obr. 1 a obr. 2 varianty uložení sondy v peci, obr. 3 osový pohled na sondu z vnitřku pece, obr. 4 řez vnitřkem konce sondy v rovině A-A z obr. 3, obr. 5 perspektivní pohled na část sondy, obr.6 částečný svislý řez prvním provedením uspořádání trubic pro odběr vzorků, obr.7 podobný pohled, jako je na obr.6, druhým provedením trubic pro odběr vzorků, a obr. 8 vnitřní konec trubice pro měření teplot.
Příklady provedeni vynálezu
Obr. 1 schematicky znázorňuje část čela šachtové pece 10. Sonda 12 pro odběr vzorků plynů a měření teplot je uložena v podpěře 14 ve zdi pece 10 a je vodorovně protažena nad zavážecí plošinou až ke střední ose pece JO. Tato sonda 12 sestává z prodloužené obálky 16, ve které jsou uspořádány trubky pro odběr plynných vzorků a měření teploty, které jsou podle tohoto vynálezu všechny samostatné, přímé a vyměnitelné prvky. Jejich jednotlivé konce v každé z odstupňovaných sekcí 18 jsou formovány v prodloužené obálce 16 přes celou délku sondy a dávají jí konečný kónický tvar.
Obr. 2 znázorňuje sondu 12, jejíž stavba je identická sobr.l, ale která je skloněná vzhledem k horizontu, čelo sondy 12 je situováno níže než podpěra 14. Toto uspořádání bylo vybráno proto, aby sonda 12 byla souběžná se zavážecí plošinou v peci.
Zvláštní vzhled sondy 12 ve tvaru stupňů je jasný z obr. 3 a 5. Jak je znázorněno na perspektivním pohledu na obr. 5, příčný řez sondy 12 se snižuje zvnějšku dovnitř v odstupňovaných sekcích 18, které jsou radiálně uspořádány vzhledem k ose sondy 12 a které jsou opatřeny otevřenými kanálky 20 a 22 pro odběr vzorků plynů a měření teplot. Jak je znázorněno na obr. 3, odstupňované sekce 18 mají v podstatě trojúhelníkový tvar. Jsou provedeny střídavě po obou stranách svislé roviny, vedené osou sondy 12. Chladicí trubka 14 pro oběh chladicí kapaliny probíhá po celé délce sondy 12, zatímco ochranný obal 26 je obvykle umístěn kolem horní části sondy 12 a může se skládat například z kamenných schránek.
Obr. 4 znázorňuje řez vnitřním koncem sondy 12 s předposlední a poslední odstupňovanou sekcí 18. Poslední sekce 18 je pouze částečně viditelná, protože se nalézá za svislou rovinou symetrie. Tento obrázek znázorňuje přímý otevřený kanálek 20, který je otevřený ven směrem ke konci prodloužené obálky 16, a druhý podobný kanálek 20, ven otevřený, v radiálním čele předposlední sekce 18, další podobný kanálek 20, ven otevřený, v poslední sekci 18 není na obr. 4 viditelný. Kanálky 20 jsou uvnitř prodloužené obálky 16 podepřené rozpěrami 28, které jsou součástí prodloužené obálky 16 a které tvoří čela odstupňovaných sekcí 18. Rozpěry 28 také podpírají uvnitř obálky 16 chladicí trubku 24, nebo případně několik trubek 24, pro oběh chladicí kapaliny. Tato chladicí kapalina, kterou může být jednoduše voda, vyplňuje celou prodlouženou obálku 16 a obíhá kolem kanálků 20 nezaslepenými průchody v rozpěrách 28 kolem kanálků 20, 22 a chladicí trubky 24, nebo dostatečnými perforacemi v rozpěrách 28, až ke konci obálky 16. Zpátky se chladicí kapalina vrací vnější souosou trubkou 24.
Jedním zvýznaků tohoto vynálezu je to, že umožňuje zavedení prostředků k odběru plynů a měření teplot do každého z kanálků 20, 22 z vnějšku sondy 12 bez vyjmutí této sondy z pece 10 a bez vypuštění chladicích okruhů.
-2CZ 283311 B6
Obr. 6 znázorňuje ve větším detailu jeden z vnitřních kanálků 20, potažených z jedné sekce 18 až k vnějšímu obalu pece JO, kde prochází ven z obálky 16 průchodkou 30, která tak umožňuje uzavření chladicí kapaliny v obálce 16 a současně rozdílnou roztažnost obálky 16 a kanálku 20. Kanálek 20 na obr. 6 obsahuje trubku 32, protaženou přes celou délku kanálku 20 a vystupující v radiálním čele jedné sekce 18. Trubka pro odběr plynných vzorků je v tomto případě jedna, plynům na úrovni sekcí 18 je umožněno pronikat do trubky 32, kterou procházejí ven z pece, kde jsou sbírány k analýze. Podle provedení na obr. 6 je trubka 32 zvnějšku pece 10 uchycena přírubou ke kanálku 20. Její vnitřní konec na druhé straně volně vychází z kanálku 20 tak, aby umožnil rozdílnou tepelnou roztažnost a aby usnadnil rozebrání. Pro rozebrání skutečně stačí odšroubovat trubku 32 zvenku pece 10 a volně ji vytáhnout z jejího kanálku 20 bez narušení operací ve zbytku sondy. Je též možno ji odpojit vsunutím vhodné tyče zvenku.
Obr. 7 znázorňuje druhé provedení uchycení trubky 32a pro odběr plynných vzorků. Tato trubka je také volně zasunuta do kanálku 20, ale tato trubka 32a obsahuje na jejím vnějším konci rozšíření 34, které na sebe vzájemně působí s vnitřním koncem kanálku 20 tak, aby ustavil pracovní polohu trubky 32a. Zvnějšku sondy 12 trubka 32a obsahuje přírubu 36, která je pružně přitlačena ke kanálku 20 ve směru průchodu spirálovou pružinou 38, která je umístěna kolem trubky 32a a opírá se o základnu víka 40, které je přišroubováno k vnější části kanálku 20 nebo k obalu sondy 12. Trubka je proto držena na místě pružně a pružina 38 umožňuje kompenzovat rozdílnou tepelnou roztažnost. Pro rozebrání je rovněž postačující rozebrat víko 40 a trubku vyjmout.
Obr. 8 ukazuje trubku 42 pro měření teplot. Tato trubka je vsunuta a zajištěna v kanálku 22 stejným způsobem, jako trubka 32 na obr. 6 nebo trubka 32a na obr. 7. Na vnitřním konci každé trubky je přivařen kryt 44 do tvaru uzavřeného konce, který obsahuje termočlánek 46, zapuštěný v materiálu s dobrou tepelnou vodivostí. Každý termočlánek 46 je elektricky spojen kruhovou tyčí skrz trubku 42 s měřicím zařízením vně pece 10. V pracovní pozici je každá trubka 42 držena v kanálku 22 tak, aby kryt 44, pronikající stěnou obálky 16, tvořil odpovídající sekci 18, jak je znázorněno na perspektivním pohledu obr. 5.
Claims (8)
1. Sonda pro odběr vzorků plynu a měření teploty v šachtové peci (10) nad vsázkovou plošinou,sestávající z prodloužené obálky (16) s odstupňovanými sekcemi (18), zmenšující se v příčném řezu ke konci sondy (12), přičemž v prodloužené obálce (16) je umístěna jedna nebo více chladicích trubek (24) a řada trubic (32, 32a) pro odběr vzorků plynu, jejichž ústí je uloženo v čele sekce (18) a které jsou napojeny na zařízení pro příjem vzorků plynu vně pece (10), a dále sestává z řady ochranných trubek (42), vyznačující se tím, že trubice (32, 32a) pro odběr vzorků plynu jsou uloženy v kanálcích (20), uspořádaných paralelně s podélnou osou prodloužené obálky (16) s ukončením vně rozpěrky (28), vymezující jednotlivé sekce (18), ochranné trubky (42) s termočlánkem (46) pro měření teploty jsou jednotlivě uzavřeny v podélném kanálku (22), uspořádaném rovnoběžně s podélnou osu obálky (16), přičemž termočlánek (46) je uložen v jeho ústí v rozpěrce (28), která tvoří vyztužení kanálků (20, 22) uvnitř obálky (16), přičemž tyto rozpěrky (28) jsou umístěny mezi dvěma následujícími sekcemi (18) a část rozpěrky (28) a ústím kanálku (20, 22) leží vně pláště obálky (16).
2. Sonda podle nároku 1, vyznačující se tím, že sekce (18) jsou provedeny střídavě na dvou stranách vertikální roviny, procházející podélnou osou sondy (12).
-3CZ 283311 B6
3. Sonda podle nároku 1, vyznačující se tím, že část rozpěrky (28), ležící vně obálky (16), má obecně trojúhelníkový tvar svrcholem, přivráceným křovině zavážecí plošiny, a trojúhelníkové části následných rozpěrek (28) jsou uspořádány střídavě v řadě podél osy sondy (12).
4. Sonda podle nároku 1, vyznačující se tím, že zadní konec trubky (32) pro odběr vzorků plynu a/nebo zadní konec trubky (42) pro měření teploty je přírubou spojen s obálkou (16) vně pece (10) a vnitřní konec těchto trubek (32, 42) vystupuje z kanálků (20, 22) skrze rozpěrku (28) pláště obálky (16).
5. Sonda podle nároku 1, vyznačující se tím, že zadní konec trubky (32a) pro odběr vzorků plynu a/nebo zadní konec trubky (42) pro měření teploty je uspořádán v kanálku (20, 22) prostřednictvím spirálové pružiny (38), umístěné vně pece (10).
6. Sonda podle nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že obálka (16) tvoří těsně uzavřený plášť, ve kterém jsou umístěny kanálky (20, 22) a který je spojen vně pece (10) s chladicím okruhem.
7. Sonda podle nároku 5, vyznačující se tím, že chladicí trubka (24) pro oběh chladicí kapaliny je podepřena rozpěrkou (28) uvnitř obálky (16).
8. Sonda podle jednoho z nároků laž4, vyznačující se tím, že kanálky (20, 22), procházející pláštěm obálky (16), jsou utěsněny těsnicími kroužky (30).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
LU87693A LU87693A1 (fr) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | Sonde de prise d'echantillons gazeux et de mesures thermiques dans un four a cuve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS9100594A2 CS9100594A2 (en) | 1991-10-15 |
CZ283311B6 true CZ283311B6 (cs) | 1998-02-18 |
Family
ID=19731222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS91594A CZ283311B6 (cs) | 1990-03-07 | 1991-03-07 | Sonda pro odběr vzorků plynů a měření teplot v šachtových pecích |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5108192A (cs) |
EP (1) | EP0445599B1 (cs) |
JP (1) | JPH0658855A (cs) |
CN (1) | CN1028907C (cs) |
AT (1) | ATE132624T1 (cs) |
AU (1) | AU635391B2 (cs) |
BR (1) | BR9100969A (cs) |
CA (1) | CA2037224A1 (cs) |
CZ (1) | CZ283311B6 (cs) |
DE (1) | DE4105830C2 (cs) |
ES (1) | ES2082021T3 (cs) |
LU (1) | LU87693A1 (cs) |
Families Citing this family (328)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2702047A1 (fr) * | 1993-02-26 | 1994-09-02 | Framatome Sa | Dispositif de prélèvements d'échantillons ou de mesures de grandeurs physiques dans un milieu sous-marin. |
US5505544A (en) * | 1994-03-17 | 1996-04-09 | Sony Corp. | Chamber temperature uniformity test fixture |
GB0019176D0 (en) * | 2000-08-05 | 2000-09-27 | Cambridge Material Science Lim | Monitoring thermal events |
US6550963B2 (en) * | 2001-04-26 | 2003-04-22 | Daily Instruments | Multipoint thermocouple |
DE10202357C2 (de) * | 2001-06-21 | 2003-04-24 | Schott Glas | Verfahren und Vorrichtung zum Entnehmen einer Glasprobe aus einer Glassschmelze, insbesondere aus Bereichen unterhalb der Oberfläche der Glasschmelze |
EP1636129B1 (en) * | 2003-03-31 | 2017-08-09 | Saudi Arabian Oil Company | Measurement of molten sulfur level in receptacles |
KR100776914B1 (ko) * | 2005-06-14 | 2007-11-15 | 주식회사 엘지화학 | 온도 측정 장치 |
DE102006019723B4 (de) * | 2006-03-31 | 2014-12-24 | Alstom Technology Ltd. | Messsondensystem, Anordnung und Verfahren zur Erfassung von Abgasparametern stromabwärts einer Gasturbine |
DE102006058286B4 (de) * | 2006-12-08 | 2009-05-14 | Technische Universität München | Gasentnahmeventil und dessen Anordnung in einer Brennkammer einer Verbrennungskraftmaschine sowie Verfahren zum Betrieb eines derartigen Gasentnahmeventils |
WO2008143962A1 (en) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Enviormental Energy Services, Inc. | Method for measuring ash/slag deposition in a utility boiler |
US20090052498A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
US8262287B2 (en) * | 2008-12-08 | 2012-09-11 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US9297705B2 (en) * | 2009-05-06 | 2016-03-29 | Asm America, Inc. | Smart temperature measuring device |
US8100583B2 (en) * | 2009-05-06 | 2012-01-24 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
US8382370B2 (en) * | 2009-05-06 | 2013-02-26 | Asm America, Inc. | Thermocouple assembly with guarded thermocouple junction |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
GB2483931B (en) * | 2010-09-27 | 2015-12-23 | Endet Ltd | Combined fluid sampling and monitoring probe |
DE202011001277U1 (de) | 2011-01-10 | 2012-04-16 | Klaus Irrgang | Thermoelektrischer Temperaturfühler |
DE102011008176B4 (de) | 2011-01-10 | 2013-02-07 | Klaus Irrgang | Thermoelektrischer Temperaturfühler |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
CN102443667B (zh) * | 2011-12-07 | 2013-04-17 | 首钢总公司 | 一种风口回旋区取样测量装置 |
ES2723885T3 (es) | 2012-07-19 | 2019-09-03 | Daiichi Sankyo Co Ltd | Anticuerpos anti-Siglec-15 |
US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
CN103115692A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-22 | 宁波松科磁材有限公司 | 一种钕铁硼烧结测温法兰 |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
USD702188S1 (en) | 2013-03-08 | 2014-04-08 | Asm Ip Holding B.V. | Thermocouple |
US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
CN103411697B (zh) * | 2013-07-11 | 2016-04-27 | 青岛新力通工业有限责任公司 | 材料高温力学试验机的铠装热电偶测温装置 |
US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
CN103602770B (zh) * | 2013-12-05 | 2015-05-13 | 江苏联兴成套设备制造有限公司 | 可在线更换的带预警功能的十字测温装置 |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
US10048098B2 (en) * | 2014-12-11 | 2018-08-14 | Cim-Tech Inc. | Probes, blast furnaces equipped therewith, and methods of fabricating probes |
KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
CN106153402A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-11-23 | 安徽省绿巨人环境技术有限公司 | 一种基于储气罐的空气采样装置 |
US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102613349B1 (ko) | 2016-08-25 | 2023-12-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치와 박막 제조 방법 |
US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
DE102017102046A1 (de) * | 2017-02-02 | 2018-08-02 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) | Entnahmesonde und Verfahren zur Entnahme von Abgas |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
KR102401446B1 (ko) | 2017-08-31 | 2022-05-24 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
KR102597978B1 (ko) | 2017-11-27 | 2023-11-06 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치 |
CN111344522B (zh) | 2017-11-27 | 2022-04-12 | 阿斯莫Ip控股公司 | 包括洁净迷你环境的装置 |
US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
KR20200108016A (ko) | 2018-01-19 | 2020-09-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 플라즈마 보조 증착에 의해 갭 충진 층을 증착하는 방법 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
CN111699278B (zh) | 2018-02-14 | 2023-05-16 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环沉积工艺在衬底上沉积含钌膜的方法 |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
TWI811348B (zh) | 2018-05-08 | 2023-08-11 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
TW202349473A (zh) | 2018-05-11 | 2023-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
TWI815915B (zh) | 2018-06-27 | 2023-09-21 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的***及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US20210396469A1 (en) * | 2018-11-13 | 2021-12-23 | Arcelormittal | Direct reduction shaft furnace with probe for measuring interior gas analysis |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TW202405220A (zh) | 2019-01-17 | 2024-02-01 | 荷蘭商Asm Ip 私人控股有限公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
CN111593319B (zh) | 2019-02-20 | 2023-05-30 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于填充在衬底表面内形成的凹部的循环沉积方法和设备 |
JP2020136678A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置 |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
JP2020167398A (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置 |
KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
US11447864B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
US11408779B2 (en) | 2019-06-03 | 2022-08-09 | Daily Thermetrics Corporation | Temperature sensor and methods of use |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
KR20200141002A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법 |
KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
KR20210042810A (ko) | 2019-10-08 | 2021-04-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
CN112635282A (zh) | 2019-10-08 | 2021-04-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
KR20210050453A (ko) | 2019-10-25 | 2021-05-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
TW202129068A (zh) | 2020-01-20 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 形成薄膜之方法及修飾薄膜表面之方法 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
TW202140831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含氮化釩層及包含該層的結構之方法 |
TW202146831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法 |
KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
KR20210143653A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
KR20210145080A (ko) | 2020-05-22 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
KR20220006455A (ko) | 2020-07-08 | 2022-01-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
US11725280B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
CN114252302A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-03-29 | 五冶集团上海有限公司 | 一种干熄焦炉斜道区在线测温及气体取样装置和方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2382888A (en) * | 1943-01-23 | 1945-08-14 | William B Levy | Thermocouple mounting for furnaces |
US3130584A (en) * | 1961-02-14 | 1964-04-28 | United States Steel Corp | Blast furnace probe |
US3247714A (en) * | 1963-05-15 | 1966-04-26 | Union Carbide Corp | Pyrometer |
US3240069A (en) * | 1963-09-04 | 1966-03-15 | United States Steel Corp | Blast furnace probe |
LU65940A1 (cs) * | 1972-08-23 | 1973-01-15 | ||
LU65998A1 (cs) * | 1972-09-05 | 1973-01-17 | ||
US3834237A (en) * | 1972-10-05 | 1974-09-10 | Leeds & Northrup Co | Thermocouple for surface temperature measurements |
US3923552A (en) * | 1972-12-21 | 1975-12-02 | Ppg Industries Inc | Hermetically sealed thermocouple assembly |
US3946610A (en) * | 1973-06-12 | 1976-03-30 | Societe Des Aciers Fins De L'est | Temperature measuring device for metallurgical furnaces |
US4098122A (en) * | 1975-08-05 | 1978-07-04 | The Broken Hill Propietary Company Limited | Temperature probes |
US4044612A (en) * | 1977-01-14 | 1977-08-30 | Koppers Company, Inc. | Probe for obtaining gas samples from a shaft furnace |
US4822570A (en) * | 1986-12-01 | 1989-04-18 | De Dietrich (Usa), Inc. | Thermal sensing apparatus in outlet nozzle |
US4919543A (en) * | 1988-06-20 | 1990-04-24 | Reynolds Metals Company | Molten metal temperature probe |
-
1990
- 1990-03-07 LU LU87693A patent/LU87693A1/fr unknown
-
1991
- 1991-02-22 AT AT91102571T patent/ATE132624T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-02-22 ES ES91102571T patent/ES2082021T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-22 EP EP91102571A patent/EP0445599B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-25 AU AU71347/91A patent/AU635391B2/en not_active Ceased
- 1991-02-25 DE DE4105830A patent/DE4105830C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-27 CA CA002037224A patent/CA2037224A1/en not_active Abandoned
- 1991-03-01 US US07/663,138 patent/US5108192A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-05 JP JP3123263A patent/JPH0658855A/ja active Pending
- 1991-03-07 CN CN91101382.2A patent/CN1028907C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-07 CZ CS91594A patent/CZ283311B6/cs unknown
- 1991-03-07 BR BR919100969A patent/BR9100969A/pt not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0445599B1 (fr) | 1996-01-03 |
ATE132624T1 (de) | 1996-01-15 |
DE4105830C2 (de) | 1999-03-11 |
EP0445599A2 (fr) | 1991-09-11 |
CN1054663A (zh) | 1991-09-18 |
BR9100969A (pt) | 1991-11-05 |
AU7134791A (en) | 1991-09-12 |
CN1028907C (zh) | 1995-06-14 |
EP0445599A3 (en) | 1992-03-11 |
DE4105830A1 (de) | 1991-09-12 |
LU87693A1 (fr) | 1991-10-08 |
CA2037224A1 (en) | 1991-09-08 |
AU635391B2 (en) | 1993-03-18 |
CS9100594A2 (en) | 1991-10-15 |
US5108192A (en) | 1992-04-28 |
ES2082021T3 (es) | 1996-03-16 |
JPH0658855A (ja) | 1994-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CZ283311B6 (cs) | Sonda pro odběr vzorků plynů a měření teplot v šachtových pecích | |
JP6710703B2 (ja) | 原子炉における核加熱を測定するためのサンプルホルダ、および少なくとも1つのそのようなサンプルホルダを含む熱量測定セル | |
US4044612A (en) | Probe for obtaining gas samples from a shaft furnace | |
JP2016509241A (ja) | 不凝縮ガスサンプリングプローブシステム | |
US4778281A (en) | Molten metal sampler with heat sensors | |
US3085435A (en) | Method and apparatus for determining conditions at spaced points within a chamber | |
US5236353A (en) | Vertical combustion furnace | |
GB1378279A (en) | Device for positioning within a wall of a furnace and for measuring the temperature in the furnace | |
US3240069A (en) | Blast furnace probe | |
US1869151A (en) | Pyrometer tube | |
US4175438A (en) | Temperature measuring probe | |
US4403516A (en) | Furnace probe | |
CA1204607A (en) | Gas temperature monitoring device | |
EP0343811B1 (en) | Method and apparatus for testing thermal conductivity | |
US2496807A (en) | Gas probe of the thermocouple type | |
US5874667A (en) | Block-type heater assembly for isothermally heating samples with observation access | |
US2496835A (en) | Gas temperature probe of the thermocouple type | |
US5568722A (en) | Emission probe for the removal of exhaust gas from the combustion chamber of a gas turbine | |
KR200308195Y1 (ko) | 용융금속 측온 및 시료채취용 복합프로브 | |
JPS6018938B2 (ja) | 熱間探傷用検出コイル | |
JPH0321464Y2 (cs) | ||
US3908459A (en) | Temperature sensing device | |
CS217715B1 (cs) | Nosič kombinované sondy | |
EP0018514B1 (en) | Molten metal sampler with heat sensors | |
CN117572478A (zh) | 一种辐照试验用堆内复合式探测器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
IF00 | In force as of 2000-06-30 in czech republic |