CS263521B1 - Chuck frame of contact copying machine for working masks copying - Google Patents
Chuck frame of contact copying machine for working masks copying Download PDFInfo
- Publication number
- CS263521B1 CS263521B1 CS872899A CS289987A CS263521B1 CS 263521 B1 CS263521 B1 CS 263521B1 CS 872899 A CS872899 A CS 872899A CS 289987 A CS289987 A CS 289987A CS 263521 B1 CS263521 B1 CS 263521B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- clamping frame
- sealing
- mask
- clamping
- frame
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/02—Exposure apparatus for contact printing
- G03B27/14—Details
- G03B27/18—Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material
- G03B27/20—Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material by using a vacuum or fluid pressure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
Vynález se týká upínacího rámu kontaktní kopírky pracovních masek v polovodičovém průmyslu.
V současné době se v kontaktních kopírkách pracovních masek téměř výhradně užívá systému dělené kopírovací komory s vakuově vyvozovanou přítlačnou silou. Obě části komory jsou osazeny identickými upínacími rámy masek tak, že upínací rám originálu spolu s příslušnou částí komory vytváří vakuový prostor pro upnutí masky originálu, upínací rám kopie spolu s druhou částí komory vytváří pak obdobný prostor pro upnutí masky kopie (pracovní masky). Obě masky bývají obvykle stejně velké, čtvercového tvaru. Pevná část komory je ve dnu osazena buď kolimační čočkou,nebo průzorem pro průchod expozičního světla, dno pohyblivé části komory je opatřeno filtrem pro pozorování interferenčních proužků. Po uzavření obou částí komory se založenými maskami originálu i kopie se vytvoří střední prostor, který po připojení na vakuum a za současného zavzdušnění krajních prostorů vytvoří potřebnou přítlačnou sílu mezi oběma založenými maskami. Masky dosedají svými okraji na těsnicí manžety, které jsou v osazení tělesa upínacího rámu přidržovány přítlačným rámem prostřednictvím upínacích šroubů. Mezi vnějším obvodem masek a otvorem ve dnu osazení tělesa upínacího rámu je ponechána volná plocha těsnicí manžety, která umožňuje pohyby masek к zajištění kontaktu při kopírování. Zároveň však dochází к nežádoucímu průhybu volných ploch těsnicích manžet směrem dd středního prostoru,a tím se vytvářejí tečná napětí v maskách, nerovnoměrně rozložená po obvodu masek, způsobující nepřípustné polohové chyby motivu originálu vůči motivu kopie. Tyto chyby jsou minimalizovány použitím speciálního materiálu těsnicích manžet, jehož výztužná vložka musí vykazovat stejnou tuhost ve dvou navzájem kolmých směrech
263 521 (kolmých na dvě sousední hrany masek). Použitý materiál dále musí vyloučit ulpívání masek na povrchu těsnicích manžet. Kritickými body namáhání těsnicích manžet jsou místa styku rohů masek s těsnicí manžetou, v nichž se kříží dva navzájem kolmé směry průhybů. Tam také nejdříve dochází ke změně tuhosti,a tím ke zvětšení polohové chyby nad přípustnou mez. К této únavě materiálu dochází přibližně po čtyřech měsících. Vzhledem ke značně vysoké ceně a špatné dostupnosti těsnicích manžet se významně zvyšují provozní náklady celého zařízení.
Popsané nevýhody odstraňuje upínací rám kontaktní kopírky pracovních masek podle tohoto vynálezu. Sestává z tělesa upínacího rámu ve tvaru desky se středním otvorem s vytvořeným vnějším osazením, к jehož dnu je přítlačným rámem spojeným s tělesem upínacího rámu upínacími šrouby přitlačována těsnicí manžeta, uložená mezi dno vnějšího osazení a přítlačný rám. Podstatné je, že v tělesu upínacího rámu je vytvořeno vnitřní osazení, к jehož dnu je s radiální i axiální vůlí uloženo těsnění, mezi něž a těsnicí manžetu je s radiální i axiální vůlí uložen opěrný rám. Otvory těsnění, opěrného rámu a těsnicí manžety jsou shodné a jsou s přesahem menší než vnější rozměr masky originálu a kopie. Otvor ve dnu vnitřního osazení je s vůlí větší než největší rozměr masky originálu a kopie. Otvor přítlačného rámu je s přesahem menší než otvor ve dnu vnitrního osazení. Opěrný rám může být oboustranně po obvodu otvoru opatřen těsnicími výstupky.
Nepříznivé tečné síly jsou vyloučeny tím, že těsnicí manžeta nepůsobí na masku přímo, nýbrž prostřednictvím tuhého opěrného rámu, který navíc těsnicí manžetu při průhybu podepře ve značné části šířky a v důsledku toho dochází i к podstatnému omezení tečných sil působících na tuhý opěrný rám. Tím se výrazně snižují nároky na kvalitu materiálu těsnicí manžety, která může být potom vyráběna z běžně dostupných surovin. Vnitrní osazení tělesa upínacího rámu slouží pouze к polohové fixaci těsnění, které může být zhotovováno opět z běžně dostupných surovin, i když jen z takových, které nezpůsobují ulpívání masky na povrchu těsnění, např. ze silikonové pryže apod.
Na připojeném výkresu je v nárysu znázorněna část zavřené vakuové komory v okamžiku, kdy je střední prostor evakuován a krajní prostory jsou zavzdušněny. Pevná část komory s upínacím rámem kontaktní kopírky pracovních masek podle vynálezu je zná3
263 521 zorněna v řezu. Pohyblivá část komory (na obrázku vlevo) je uspořádána zrcadlově к pevné části.
Těleso 3_ upínacího rámu má tvar desky se středním otvorem. V něm je vytvořeno vnější osazení 10 а к jeho dnu je přítlačným rámem 1_ přitlačována těsnicí manžeta 6^, uložená mezi dno vnějšího osazení 10 a přítlačný rám 1_. Přítlačný rám Ί_ je spojen s tělesem 3_ upínacího rámu upínacími šrouby 8^. V tělesu 3 upínacího rámu je vytvořeno vnitřní osazení К jeho dnu je s radiální i axiální vůlí uloženo těsnění £. Mezi těsnění £ a těsnicí manžetu G je s radiální i axiální vůlí uložen opěrný rám 2· Otvory těsnění 4_, opěrného rámu 2 a těsnicí manžety G jsou shodné a jsou s přesahem menší než vnější rozměr masky _1, 2 originálu a kopie. Otvor ve dnu vnitřního osazení 9 je s vůlí větší než největší rozměr masky 1^, 2 originálu a kopie. Otvor přítlačného rámu 1_ je s přesahem menší než otvor ve dnu vnitřního osazení 9_- Opěrný rám 2 je oboustranně po obvodu otvoru opatřen těsnicími výstupky 14. Těsnicí výstupek 14 na straně těsnění 4_ umožňuje zvětšit tlouštku dna vnitřního osazení 9_ při expozici tenkých masek ji, 2 originálu a kopie, těsnicí výstupek 14 na opačné straně vytváří předpětí těsnicí manžety G zajištující kontakt s opěrným rámem jjMaska 1_ originálu a maska _2 kopie se zakládají do otevřené kopírovací komory. Jsou přidržovány malým vakuem (tjak asi 90 kPa), umožňujícím manipulaci s pohyblivou částí komory a zajištujícím jistou malou vzdálenost (asi 1 mm) mezi maskami 2 originálu a kopie po uzavření obou částí komory. Pohyblivá část komory po zavření dosedne na těsnění v pevné části komory, čímž se vnitřní prostory komory utěsní vůči okolnímu prostředí. V této fázi cyklu jsou masky 1_, _2 originálu a kopie vlivem podtlaků v prostorech 11, 12 originálu’ a kopie přitlačovány na opěrné rámy 5_ prostřednictvím těsnění 4_. Vlivem těchto sil se celá soustava posune tak, že opěrné rámy 5^ dosednou na těsnicí manžety £ a jejich prostřednictvím na osazení, vytvořená přesahem přítlačných rámů Ί_ vůči vnitřním osazením 10. Tím se zároveň utěsní prostory 11, 12 originálu a kopie vůči zavzdušněnému střednímu prostoru 13 , nebot těsnicí manžety G fungují pouze v případě přetlaku v prostorech 11, 12 originálu a kopie. Zrní263 521 něný přesah dále způsobuje mechanické vychýlení vnitřního okraje těsnicích manžet £ směrem к opěrným rámům 5^ Při přetlacích v prostorech 11, 12 originálu a kopie. To přispívá ke spolehlivé funkci těsnicích manžet G. V další fázi cyklu jsou prostory 11, 12 originálu a kopie i střední prostor 13 vyčerpány na plné vakuum. Tak se soustava uvolní a masky 1^, 2 originálu a kopie se vlivem pružnosti těsnicích manžet £ к sobě přiblíží. V třetí fázi cyklu jsou zavzdušněny prostory 11, 12 originálu a kopie a proto jsou masky JL, 2^ originálu a kopie vzájemně к sobě přitlačovány vlivem přetlaku okolního prostředí. V této fázi probíhá kontrola kvality kontaktu (interferenčních proužků) a potom expozice masky 2 kopie. Opětovným vyčerpáním prostor 11, 12 originálu a kopie i středního prostoru 13 na plné vakuum se masky 2 originálu a kopie oddělí a po následujícím zavzdušnění středního prostoru 13 a zavedení malého přidržovacího vakua do prostoru 11, 12 originálu a kopie je zařízení připraveno к otevření pohyblivé části komory, aby bylo možné vyjmout naexponovanou a založit novou nenaexponovanou masku kopie 2_.
Claims (2)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU1. Upínací rám kontaktní kopírky pracovních masek, sestávající z tělesa upínacího rámu ve tvaru desky se středním otvorem s vytvořeným vnějším osazením, к jehož dnu je přítlačným rámem spojeným s tělesem upínacího rámu upínacími šrouby přitlačována těsnicí manžeta, uložená mezi dno vnějšího osazení a přítlačný rám, vyznačující se tím, že v tělesu (3) upínacího rámu je vytvořeno vnitřní osazení (9), к jehož dnu je s radiální i axiální vůlí uloženo těsnění (4), mezi něž a těsnicí manžetu (6) je s radiální a axiální vůlí uložen opěrný rám (5), přičemž otvory těsnění (4), opěrného rámu (5) a těsnicí manžety (6) jsou shodné a jsou s přesahem menší než .-vnější rozměr masky (1, 2) originálu a kopie, otvor ve dnu vnitřního osazení (9) je s vůlí větší než největší rozměr masky (1, 2) originálu a kopie a otvor přítlačného rámu (7) je s přesahem menší než otvor ve dnu vnitřního osazení (9 ) .
- 2. Upínací rám kontaktní kopírky pracovních masek podle bodu 1, vyznačující se tím, že opěrný rám (5) je oboustranně po obvodu otvoru opatřen těsnicími výstupky (14).
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS872899A CS263521B1 (en) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | Chuck frame of contact copying machine for working masks copying |
HU881919A HU199632B (en) | 1987-04-24 | 1988-04-14 | Holding frame to working masks for contact copiers |
DD88314746A DD289676A7 (de) | 1987-04-24 | 1988-04-15 | Klemmrahmen zur kontaktbelichtungsanlage fuer fotoschablonen |
DE3812845A DE3812845A1 (de) | 1987-04-24 | 1988-04-18 | Aufnahmerahmen fuer eine kontaktkopieranlage von arbeitsmasken |
PL27202988A PL272029A1 (en) | 1987-04-24 | 1988-04-22 | Locating frame for a photomask contact printer |
US07/185,004 US4879573A (en) | 1987-04-24 | 1988-04-22 | Clamping frame for contact printers of working masks |
CN198888102387A CN88102387A (zh) | 1987-04-24 | 1988-04-23 | 接触式工作膜片印刷机的夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS872899A CS263521B1 (en) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | Chuck frame of contact copying machine for working masks copying |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS289987A1 CS289987A1 (en) | 1988-09-16 |
CS263521B1 true CS263521B1 (en) | 1989-04-14 |
Family
ID=5367459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS872899A CS263521B1 (en) | 1987-04-24 | 1987-04-24 | Chuck frame of contact copying machine for working masks copying |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4879573A (cs) |
CN (1) | CN88102387A (cs) |
CS (1) | CS263521B1 (cs) |
DD (1) | DD289676A7 (cs) |
DE (1) | DE3812845A1 (cs) |
HU (1) | HU199632B (cs) |
PL (1) | PL272029A1 (cs) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3604800A (en) * | 1969-06-23 | 1971-09-14 | Ibm | High resolution contact printing |
US3751250A (en) * | 1972-05-08 | 1973-08-07 | Rca Corp | Method for photoexposing a coated sheet prior to etching |
US4007987A (en) * | 1976-01-12 | 1977-02-15 | Tamarack Scientific Co. Inc. | Vacuum contact printing system and process for electronic circuit photomask replication |
US4054383A (en) * | 1976-02-02 | 1977-10-18 | International Business Machines Corporation | Jig and process for contact printing |
-
1987
- 1987-04-24 CS CS872899A patent/CS263521B1/cs unknown
-
1988
- 1988-04-14 HU HU881919A patent/HU199632B/hu not_active IP Right Cessation
- 1988-04-15 DD DD88314746A patent/DD289676A7/xx unknown
- 1988-04-18 DE DE3812845A patent/DE3812845A1/de not_active Withdrawn
- 1988-04-22 US US07/185,004 patent/US4879573A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-04-22 PL PL27202988A patent/PL272029A1/xx unknown
- 1988-04-23 CN CN198888102387A patent/CN88102387A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
HUT47189A (en) | 1989-01-30 |
HU199632B (en) | 1990-02-28 |
US4879573A (en) | 1989-11-07 |
DD289676A7 (de) | 1991-05-08 |
CS289987A1 (en) | 1988-09-16 |
CN88102387A (zh) | 1988-11-23 |
DE3812845A1 (de) | 1988-11-10 |
PL272029A1 (en) | 1989-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4833051A (en) | Protective device for photographic masks | |
US6809799B2 (en) | Processing system and device manufacturing method using the same | |
US20040125911A1 (en) | Reflection type mask | |
JPS6057216B2 (ja) | ジグ | |
US20020098420A1 (en) | Fused silica pellicle | |
JPH10277858A (ja) | 流体出口を備える高速動作クランプ用シリンダ | |
EP0441646A1 (en) | Gate valve device | |
GB2163992A (en) | Sealing mechanism for a double-lid seal structure | |
CS263521B1 (en) | Chuck frame of contact copying machine for working masks copying | |
US3267614A (en) | Interchangeable sealing device for joining a detachable component to a rigid wall | |
US4636067A (en) | Photography pin board system | |
TWI763737B (zh) | 固持器、清潔光罩的方法以及開關固持器的裝置 | |
US2814975A (en) | Photo-printing apparatus | |
US4425038A (en) | Technique to modify wafer geometry | |
US4651009A (en) | Contact exposure apparatus | |
US5875023A (en) | Dual-sided expose mechanism for web product | |
TW201736945A (zh) | 基板容器 | |
US20220269164A1 (en) | Photomask protection device, photomask protection system, and use method of photomask protection system | |
EP0576185A2 (en) | Exposure drum mask | |
JPH05150445A (ja) | 露光用マスク | |
US4669871A (en) | Photographic printing plate and method of exposing a coated sheet using same | |
US3597081A (en) | Vacuum masking system and method | |
US4674868A (en) | Printing frame | |
JPH06325996A (ja) | レティクルフレーム | |
US4607953A (en) | Vacuum exposure registry apparatus |