CN2913392Y - 晶体拉晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶体拉晶炉,主要是为解决现有的晶体拉晶炉生产的晶体体积小的问题而设计的。它包括炉体、冷却水嘴、真空接管、隔热屏、电极、加热器、导电棒、大炉盖、小炉盖、坩埚支撑棒、坩埚托盘、坩埚、上隔热屏、提拉电机、微调滑道、子晶等,所不同的是将加料管固定在大炉盖上,其下端通向坩埚的上口中,加料管的上端通过加料波纹管、阀门与盛料箱连接;也可以在盛料箱内装连通管,连通管与装在大炉盖上的通气波纹管连接,通气波纹管下端通入炉体内。本实用新型的优点是在坩埚内晶体碎块熔化体积变小时能边熔化边加料,实现用同样大小的坩埚生产出更大的晶体的目的。
Description
[技术领域]
本实用新型涉及一种晶体拉晶炉。
[背景技术]
现有的晶体拉晶炉是将若干晶体碎块装入坩埚后进行熔化拉晶,由于坩埚体积有限,所装晶体碎块熔化后经拉晶所得到的晶体产品体积也就比较小,往往满足不了用户的需要。
[发明内容]
本实用新型的目的是提供一种在坩埚内晶体碎块熔化体积变小后,坩埚内出现剩余空间时能向坩埚内继续填料的晶体拉晶炉。
上述目的是这样实现的:与现有技术相同的是它也包括炉体、冷却水嘴、真空接管、隔热屏、电极、加热器、导电棒、大炉盖、小炉盖、坩埚支撑棒、坩埚托盘、坩埚、上隔热屏、提拉电机、微调滑道、子晶等,所不同的是在上述现有技术基础上我们将加料管固定在大炉盖上,其下端通向坩埚的上口中,加料管的上端通过加料波纹管、阀门与盛料箱连接;为保持盛料箱内与炉体内真空度平衡,可以在盛料箱内装连通管,连通管与装在大炉盖上的通气波纹管连接,通气波纹管下端通入炉体内。
本实用新型的优点是在坩埚内晶体碎块熔化体积变小时能边熔化边加料,实现用同样大小的坩埚生产出更大的晶体的目的。
[时图说明]
附图是本实用新型的剖面示意图。
[具体实施方式]
参照附图,它包括炉体5,炉体上焊接有冷却水嘴12和真空接管4,大炉盖13装在炉体上,小炉盖14装在大炉盖上,炉体内装有隔热屏1,电极11上装有加热器7和导电棒15,导电棒装在大炉盖和小炉盖上,坩埚支撑棒2立在炉体中,其上方是坩埚托盘3,坩埚托盘上方是坩埚6,坩埚上方是上隔热屏9,提拉电机21装在微调滑道16上,子晶8装在提拉电机下面,子晶的下端伸入坩埚中,使用时微调滑道装在附属设备上;在上述现有技术基础上,我们将加料管10固定在大炉盖上,其下端通向坩埚的上口中,加料管的上端通过加料波纹管20、阀门17与位于大炉盖上方的盛料箱18连接;也可以在盛料箱内装连通管19,连通管与装在大炉盖上的通气波纹管22连接,通气波纹管下端通入炉体内。
Claims (2)
1、晶体拉晶炉,包括炉体(5)、冷却水嘴(1 2)、真空接管(4)、大炉盖(13)、小炉盖(14)、隔热屏(1)、电极(11)、加热器(7)、导电棒(15)、坩埚支撑棒(2)、坩埚托盘(3)、坩埚(6)、上隔热屏(9)、提拉电机(21)、微调滑道(16)、子晶(8)、其特征是将加料管(10)固定在大炉盖上,其下端通向坩埚的上口中,加料管的上端通过加料波纹管(20)、阀门(17)与位于大炉盖上方的盛料箱(18)连接。
2、按照权利要求1所述的晶体拉晶炉,其特征是在盛料箱内装连通管(19),连通管与装在大炉盖上的通气波纹管(22)连接,通气波纹管下端通入炉体内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 200620091214 CN2913392Y (zh) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | 晶体拉晶炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN 200620091214 CN2913392Y (zh) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | 晶体拉晶炉 |
Publications (1)
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CN2913392Y true CN2913392Y (zh) | 2007-06-20 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN 200620091214 Expired - Fee Related CN2913392Y (zh) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | 晶体拉晶炉 |
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CN (1) | CN2913392Y (zh) |
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
DD01 | Delivery of document by public notice | ||
DD01 | Delivery of document by public notice |
Addressee: Gao Dianbin Document name: Notification of Termination of Patent Right |
|
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20070620 Termination date: 20130531 |