CN2721313Y - 非球面光学零件柔性抛光装置 - Google Patents
非球面光学零件柔性抛光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2721313Y CN2721313Y CN 200420085836 CN200420085836U CN2721313Y CN 2721313 Y CN2721313 Y CN 2721313Y CN 200420085836 CN200420085836 CN 200420085836 CN 200420085836 U CN200420085836 U CN 200420085836U CN 2721313 Y CN2721313 Y CN 2721313Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support member
- flexible
- flexible polishing
- polishing
- aspheric surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
一种非球面光学零件柔性抛光装置，包括支撑件和设置在支撑件下端的安装在机器主轴上的接头，支撑件可通过万向轴承与机器摆轴相连接，支撑件内部为一空腔结构，在支撑件的下端固定有柔性抛光模，支撑件与柔性抛光模共同组成了压缩气室，支撑件上还开设有压缩气体进气口。本实用新型在支撑件上开设有压缩气体进气口，通过压缩气体使柔性抛光材料表面产生变形，以达到抛光模和被抛光零件密切大面积接触的目的。通过调节支撑件的摆幅、角度以及气体压力，达到非球面光学零件表面的均匀柔性(不改变原有面形)抛光。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光学零件加工及超精密加工装置，特别涉及一种非球面光学零件柔性抛光装置。
背景技术
非球面光学零件是一种非常重要的光学零件，如常用的抛物面镜、双曲面镜、椭球面镜等。非球面光学零件可以获得球面光学零件无可比拟的良好成像质量，在光学***中能够很好的矫正多种像差，改善成像质量，提高***鉴别能力，它能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件，从而简化仪器结构，降低成本并有效的减轻仪器重量。虽然非球面光学零件有诸多好处，但至今仍未找到一种高精密度、低成本、而且适用于多种生产形式的非球面零件加工方法。因此，有关非球面加工技术是长期需要研究解决的迫切问题。非球面光学零件加工过程中所采用的抛光技术决定了光学零件的精度和光学性能，寻求高效低成本的非球面光学零件抛光技术，是科技工作者一项长期的研究工作。目前用于非球面光学零件的抛光方法有：计算机控制小工具抛光(CCOS)、计算机控制应力盘抛光(CCSL)、应力抛光(SP)、膜带(Membranes)工具抛光、离子束抛光和磁流变抛光、水合抛光、浅低温抛光等。CCOS由计算机控制比工件小得多的抛光模在被加工表面上运动；应力盘抛光采用的抛光盘在抛光过程中不断地产生实时变形，适配被加工表面，完成加工；应力抛光对工件按设计要求设置支承，施加应力使之变形，按光滑球面或平面进行加工，完成后再释放应力，从而产生所需的非球面；膜带工具抛光技术采用足够薄的膜带，通过背面的计算机控制驱动器施加需要的抛光压力；水合抛光法不使用磨料和化学腐蚀液，使用在研磨盘和工件之间不产生固相反应的材料作研磨盘，装置可以用传统的研磨和抛光装置，但必需在水或水蒸气环境下进行加工，去除的是在材料表面上生成的水合物层；浅低温抛光法就是把抛光液冷冻在抛光盘上，形成一个冰的抛光模层，可以得到一个同样形状准确的抛光模层，当冰模层和工件相接触并做相对运动时，就产生抛光效果。与上述六种接触式机械加工方法不同的是，离子束抛光则是采用非接触的物理去除方法即离子束对表面的轰击，而磁流变抛光则是对溶有抛光材料的磁流变抛光液在高压磁场作用下产生的一种射流对表面的材料去除。以上方法各有不同的应用背景种，有的适合非球面度低的零件，比如离子抛光方法；有的则是设备特别复杂且贵重，如应力盘抛光、磁流变抛光；还有的只适合加工口径小的零件等。另外以上各种方法制备的非球面光学零件的表面都不能均匀的抛光。
发明内容
本实用新型目的在于提供一种非球面光学零件加工过程中表面抛光均匀的非球面光学零件柔性抛光装置，它的最大优点是不改变原有的面形，且是均匀抛光。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：包括抛光头和接头，其中抛光头由支撑件、压缩气室、固定件和柔性抛光模组成，抛光头上开有压缩气体进气口，在支撑件下端与抛光模相接触的是被抛光零件，它被安装在接头上，其特点是，支撑件可通过万向轴承与机器摆轴相连接，支撑件内部为一空腔结构，在支撑件的下端固定有柔性抛光模，支撑件与柔性抛光模共同组成了压缩气室，支撑件上还开设有压缩气体进气口。
本实用新型的另一特点是：柔性抛光模通过固定件固定在支撑件上；抛光头与摆轴是通过万向轴承连接；柔性抛光模由单层或多层柔性抛光材料构成；压缩气体进气口至少有两个以上；接头的下端还设置有挡水板。
由于本实用新型在支撑件上开设有压缩气体进气口，通过压缩气体使柔性抛光材料表面产生变形，以达到抛光模和被抛光零件密切大面积接触的目的。通过调节支撑件的摆幅、角度以及气体压力，达到非球面光学零件表面的均匀柔性抛光。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作进一步详细说明。
附图是本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
参见附图，本实用新型包括抛光头12和与主轴11相连的接头8。抛光头由支撑件1、压缩气室3、固定件4和柔性抛光模5组成。接头8的下端设置有挡水板10，支撑件1可通过万向轴承7与机器摆轴9相连接，支撑件1上开设有三个以上的压缩气体进气口2，在支撑件1和单层或多层柔性抛光模通过固定件4固紧，支撑件1与柔性抛光模共同组成了压缩气室3。
在使用时首先将本实用新型安装在普通光学抛光机床上，在工作时，通过压缩气体进气口2向压缩气室3内送入多路压缩气体，每路压缩气体的压力大小可通过控制部件分别进行调节，压缩气室3的压力迫使可柔性抛光模5发生形变与安装在接头8上的被加工的光学零件6在大面积范围内以均匀压力紧密接触，通过摆轴9和万向轴承7控制本实用新型的运动轨迹和压力大小，达到均匀抛光非球面光学零件表面的目的。
Claims (6)
1、一种非球面光学零件柔性抛光装置，包括抛光头[12]和接头[8]，其中抛光头由支撑件[1]、压缩气室[3]、固定件[4]和柔性抛光模[5]组成，抛光头[12]上开有压缩气体进气口[2]，在支撑件[1]下端与抛光模[5]相接触的是被抛光零件[6]，它被安装在接头[8]上，其特征在于：支撑件[1]可通过万向轴承[7]与机器摆轴[9]相连接，支撑件[1]内部为一空腔结构，在支撑件[1]的下端固定有柔性抛光模[5]，支撑件[1]与柔性抛光模[5]共同组成了压缩气室[3]，支撑件[1]上还开设有压缩气体进气口[2]。
2、根据权利要求1所述的非球面光学零件柔性抛光装置，其特征在于：所说的柔性抛光模[5]通过固定件[4]固定在支撑件[1]上。
3、根据权利要求1所述的非球面光学零件柔性抛光装置，其特征在于：所说的抛光头[12]与摆轴[9]是通过万向轴承[7]连接。
4、根据权利要求1所述的非球面光学零件柔性抛光装置，其特征在于：所说的柔性抛光模[5]由单层或多层柔性抛光材料构成。
5、根据权利要求1所述的非球面光学零件柔性抛光装置，其特征在于：所说的压缩气体进气口[2]至少有两个以上。
6、根据权利要求1所述的非球面光学零件柔性抛光装置，其特征在于：所说的接头[8]的下端还设置有挡水板[10]。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200420085836 CN2721313Y (zh) | 2004-08-19 | 2004-08-19 | 非球面光学零件柔性抛光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200420085836 CN2721313Y (zh) | 2004-08-19 | 2004-08-19 | 非球面光学零件柔性抛光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2721313Y true CN2721313Y (zh) | 2005-08-31 |
Family
ID=35011690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200420085836 Expired - Fee Related CN2721313Y (zh) | 2004-08-19 | 2004-08-19 | 非球面光学零件柔性抛光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2721313Y (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101862989A (zh) * | 2010-06-08 | 2010-10-20 | 宁波大学 | 一种非球面光学零件的研抛方法 |
| CN102139465A (zh) * | 2010-09-16 | 2011-08-03 | 湖南大学 | 一种非球曲面零件的高效超精密加工方法及装置 |
| CN102149516A (zh) * | 2008-09-10 | 2011-08-10 | 埃西勒国际通用光学公司 | 光学等级的表面加工工具 |
| CN106736996A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-05-31 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法 |
| CN111230653A (zh) * | 2020-02-03 | 2020-06-05 | 天津大学 | 一种新型轮式气囊抛光装置 |
| CN113523957A (zh) * | 2021-07-15 | 2021-10-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置 |
| CN114147623A (zh) * | 2021-11-11 | 2022-03-08 | 中国人民解放军国防科技大学 | 基于温控磁流变的蓝宝石非球面元件修形及组合抛光方法 |
-
2004
- 2004-08-19 CN CN 200420085836 patent/CN2721313Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102149516A (zh) * | 2008-09-10 | 2011-08-10 | 埃西勒国际通用光学公司 | 光学等级的表面加工工具 |
| CN102149516B (zh) * | 2008-09-10 | 2013-10-23 | 埃西勒国际通用光学公司 | 光学等级的表面加工工具 |
| CN101862989A (zh) * | 2010-06-08 | 2010-10-20 | 宁波大学 | 一种非球面光学零件的研抛方法 |
| CN102139465A (zh) * | 2010-09-16 | 2011-08-03 | 湖南大学 | 一种非球曲面零件的高效超精密加工方法及装置 |
| CN102139465B (zh) * | 2010-09-16 | 2012-11-07 | 湖南大学 | 一种非球曲面零件的高效超精密加工方法及装置 |
| CN106736996A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-05-31 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法 |
| CN106736996B (zh) * | 2017-03-29 | 2019-10-29 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法 |
| CN111230653A (zh) * | 2020-02-03 | 2020-06-05 | 天津大学 | 一种新型轮式气囊抛光装置 |
| CN113523957A (zh) * | 2021-07-15 | 2021-10-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置 |
| CN114147623A (zh) * | 2021-11-11 | 2022-03-08 | 中国人民解放军国防科技大学 | 基于温控磁流变的蓝宝石非球面元件修形及组合抛光方法 |
| CN114147623B (zh) * | 2021-11-11 | 2022-11-25 | 中国人民解放军国防科技大学 | 基于温控磁流变的蓝宝石非球面元件修形及组合抛光方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhu et al. | Compliant grinding and polishing: A review | |
| CN101844320B (zh) | 一种曲面零件的精密高效抛光方法及装置 | |
| US10493597B2 (en) | Method for shaping a workpiece | |
| CN2721313Y (zh) | 非球面光学零件柔性抛光装置 | |
| US20240123567A1 (en) | Double-sided polishing method for optical lens | |
| US20070087670A1 (en) | Polishing method | |
| CN108098536A (zh) | 一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光装置 | |
| Gu et al. | Characteristics of high-shear and low-pressure grinding for Inconel718 alloy with a novel super elastic composite abrasive tool | |
| CN102179758A (zh) | 一种柔性可控球形气压砂轮光整工具 | |
| CN204954499U (zh) | 可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置 | |
| CN101235849B (zh) | 一种空气轴承及其加工工艺 | |
| CN109202602B (zh) | 用于抛光非球面模仁的方法 | |
| CN207858496U (zh) | 用于工件毛刺打磨的自动化装置 | |
| CN200963780Y (zh) | 一种磨削工具 | |
| CN109454526A (zh) | 轴承外圈滚道砂带抛光装置 | |
| CN202045564U (zh) | 一种柔性可控球形气压砂轮光整工具 | |
| JP2002127015A (ja) | 光学レンズの平滑処理方法およびこれを用いた光学レンズの製造方法、光学レンズの平滑処理装置 | |
| CN209157984U (zh) | 一种轴承外圈滚道砂带抛光装置 | |
| JPH10175150A (ja) | 曲面研磨方法および曲面研磨装置 | |
| CN207840983U (zh) | 一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光加工装置 | |
| CN2352308Y (zh) | 用于光学加工的真空自励研磨抛光工具 | |
| Ji et al. | Design of spinning-inflated-gasbag polishing tool and its automated system for free-form mould. | |
| CN101269473A (zh) | 用于圆形球面光学透镜定中心的方法 | |
| JP2001353650A (ja) | ポリッシャーとこれを用いた光学部品の研磨方法および研磨装置 | |
| CN214186608U (zh) | 一种磨研一体式球芯加工设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20050831 Termination date: 20090921 |