CN2556210Y - 用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置 - Google Patents

用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置 Download PDF

Info

Publication number
CN2556210Y
CN2556210Y CN 02244311 CN02244311U CN2556210Y CN 2556210 Y CN2556210 Y CN 2556210Y CN 02244311 CN02244311 CN 02244311 CN 02244311 U CN02244311 U CN 02244311U CN 2556210 Y CN2556210 Y CN 2556210Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
displacement
sliding chute
displacer
setting device
crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 02244311
Other languages
English (en)
Inventor
周放
吴祖安
遆文新
熊季午
赵忠贤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Physics of CAS
Original Assignee
Institute of Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Physics of CAS filed Critical Institute of Physics of CAS
Priority to CN 02244311 priority Critical patent/CN2556210Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN2556210Y publication Critical patent/CN2556210Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其中还包括：一X－Y二维位移调节装置；一Z轴倾角调节装置；及所述的X－Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连；本实用新型既可以调节籽晶的中心位置又可以调节其倾角，并且操作方便、可靠、省时和重复性好、设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。

Description

用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置
技术领域
本实用新型涉及一种用于方位调节的控制装置，尤指一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置。
背景技术
在一些常见的晶体生长技术中，如浮区法、提拉法、顶部籽晶法(或泡生法)等，为了使结晶过程易于发生和使晶体生长按预期的结晶方向进行，通常需要使用籽晶。同时，为了避免温场的径向不对称和确保晶体生长的质量，籽晶在旋转或位移过程中应处于生长设备的加热中心，通常为单晶生长设备生长区域的几何中心。归纳起来，晶体生长技术中的籽晶的方位控制应满足两个要求：(a)应使籽晶处于单晶生长设备轴杆(对浮区法通常为下轴杆，对提拉法、顶部籽晶法或泡生法为上轴杆)的旋转中心；(b)晶体生长所预期的籽晶结晶面的法线方向应平行于单晶设备的生长位移方向。在实际使用中，这就要求能分别进行籽晶方位的“对中”调节与“倾角”调节。常见的是采用“六螺钉”籽晶夹具来进行调节。该夹具是将一籽晶杆与一调节装置相连，其中调节装置内套接籽晶杆，并在调节装置的径向对称位置设三对共六个调节螺钉顶抵籽晶杆用于调节籽晶杆的倾角或位移。上述夹具适用于调节倾角或位置的两者之一。譬如，籽晶中心位置调整合适后，其倾角往往会有较大的偏差而又不易或无法调节；或是反过来，调节好籽晶的倾角后不易或无法调节籽晶的中心位置。
发明内容
本实用新型的目的是为了提供一种用于晶体生长过程中籽晶方位的控制装置。该装置既可以调节籽晶的中心位置又可以调节其倾角，并且操作方便、可靠、省时和重复性好、设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。
本实用新型的目的可通过如下措施来实现：
一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其特征在于还包括：
-一X-Y二维位移调节装置；
-一Z轴倾角调节装置；及
所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连。
上述的X-Y二维位移调节装置包括：
-一Y/X位移滑槽座，在Y/X位移滑槽座内设Y/X位移滑块；
-一X/Y位移滑槽座，在X/Y位移滑槽座内设X/Y位移滑块；及
所述的X/Y位移滑槽座和Y/X位移滑槽座中的任一滑槽座或其上连接的滑块为对方的位移滑块。
在上述的Y/X位移滑槽座和X/Y位移滑槽座上分别设Y/X位移固定螺钉和X/Y位移固定螺钉，将其内对应的Y/X位移滑块和X/Y位移滑块固定。
上述的Z轴倾角调节装置包括：
-一倾角调节座，与所述的籽晶杆或X-Y二维位移调节装置或晶体生长设备的轴杆的一端相连；
-一顶柱即Z轴，该顶柱与所述的倾角调节座相触；
-一调节基座，其上部与所述的顶柱相连；其下部与所述的X-Y二维位移调节装置或籽晶杆或晶体生长设备的轴杆相连；及
所述的倾角调节座与调节基座由至少三个倾角调节螺钉连接。
上述的Z轴倾角调节装置的顶柱或与其相连的滑块为X-Y二维位移调节装置的滑块。
在上述的Y/X位移滑槽座和Y/X位移滑块之间设Y/X位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；Y/X位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的Y/X位移滑块相触。
在上述的X/Y位移滑槽座和X/Y位移滑块之间设X/Y位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；X/Y位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的X/Y位移滑块相触。
本实用新型相比现有技术的优点在于：
本实用新型采用一种专用夹具来调节固定在籽晶杆上的籽晶的中心位置和倾角，其控制方法操作方便、可靠、省时和重复性好，其夹具设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。
附图说明
图1为本实用新型专用夹具的实施例结构示意图
1-籽晶杆
2-方位调节装置
20-Z轴倾角调节装置
201-倾角调节座                     202-倾角调节螺钉
203-顶柱(Z轴)                     204-调节基座
21-X-Y二维位移调节装置；
210-Y/X位移滑槽座(含Y/X位移滑块)   211-Y/X位移固定螺钉
212-X/Y位移滑槽座(含X/Y位移滑块)   213-X/Y位移固定螺钉
3-籽晶  4-籽晶夹具连接杆
图2是本实用新型专用夹具的另一实施例结构示意图
214-位移调节弹簧  215-位移调节螺钉
具体的实施方式
本实用新型还将结合附图对实施例作进一步详述：
参照图1，为本实用新型的实施例1结构示意图。该实施例是在浮区法单晶生长中的应用。
把籽晶3用镍丝牢固的绑在籽晶杆1上。经晶体定向和加工的籽晶端面为预期的结晶面；将整个籽晶夹具通过其上的夹具连接杆4旋紧固定在浮区单晶炉的下轴杆上。
所述的籽晶夹具的籽晶杆1与倾角调节座201成一体，在倾角调节座201下有一顶柱203即Z轴与之相触，顶柱203与调节基座204成一体，倾角调节座201和调节基座204由三个倾角调节螺钉202连接构成Z轴倾角调节装置20，通过微调三个倾角调节螺钉202实现籽晶杆1相对Z轴的倾角调节，并通过浮区单晶炉的CCD-CRT***(放大倍率3.5倍)或其他观测***观察调节效果，使籽晶3的端面与水平基准线的偏差为0-±0.2°。所述的调节基座204的下部设于Y/X位移滑槽座210内；所述的Y/X位移滑槽座210的下端为一X/Y位移滑块设于X/Y位移滑槽座212内；在所述的Y/X位移滑槽座210和X/Y位移滑槽座212上分别设Y/X位移固定螺钉211和X/Y位移固定螺钉213将其内对应的位移滑块固定，构成X-Y二维位移调节装置21。由X-Y二维位移调节装置21和Z轴倾角调节装置20构成方位调节装置2。松开Y/X位移固定螺钉211和X/Y位移固定螺钉213后可分别调节Y/X或X/Y方向的位移，并通过浮区炉的CCD-CRT或其他观测***观察调节效果，使籽晶端面的中心与籽晶夹具固定于其上的下轴杆的旋转中心的偏差为0-±0.2mm，然后再旋紧固定螺钉211和213。
参见图2，为本发明专用夹具的另一实施例结构示意图。在所述的Y/X位移滑槽座210及X/Y位移滑槽座212和与其对应的Y/X及X/Y位移滑块之间分别设Y/X及X/Y位移调节弹簧215，并在Y/X或X/Y位移滑槽座210、212的与调节弹簧215相对的另一侧分别设Y/X及X/Y位移调节螺钉214，该调节螺钉214及调节弹簧215与其所对应的Y/X或X/Y位移滑块相触。通过调节位移调节螺钉214使调节弹簧215压缩或弹伸从而实现Y/X或X/Y位移滑块的Y/X或X/Y方向的位移调节。与上述实施例同。

Claims (7)

1、一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其特征在于还包括：
-一X-Y二维位移调节装置；
-一Z轴倾角调节装置；及
所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连。
2、如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于所述的X-Y二维位移调节装置包括：
-一Y/X位移滑槽座，在Y/X位移滑槽座内设Y/X位移滑块；
-一X/Y位移滑槽座，在X/Y位移滑槽座内设X/Y位移滑块；及
所述的X/Y位移滑槽座和Y/X位移滑槽座中的任一滑槽座或其上连接的滑块为对方的位移滑块。
3、如权利要求2所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于在所述的Y/X位移滑槽座和X/Y位移滑槽座上分别设Y/X位移固定螺钉和X/Y位移固定螺钉，将其内对应的Y/X位移滑块和X/Y位移滑块固定。
4、如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于所述的Z轴倾角调节装置包括：
-一倾角调节座，与所述的籽晶杆或X-Y二维位移调节装置或晶体生长设备的轴杆的一端相连；
-一顶柱即Z轴，该项柱与所述的倾角调节座相触；
-一调节基座，其上部与所述的项柱相连；其下部与所述的X-Y二维位移调节装置或籽晶杆或晶体生长设备的轴杆相连；及
所述的倾角调节座与调节基座由至少三个倾角调节螺钉连接。
5、如权利要求4所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于所述的Z轴倾角调节装置的顶柱或与其相连的滑块为X-Y二维位移调节装置的滑块。
6、如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于在所述的Y/X位移滑槽座和Y/X位移滑块之间设Y/X位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；Y/X位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的Y/X位移滑块相触。
7、如权利要求1所述的用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，其特征在于在所述的X/Y位移滑槽座和X/Y位移滑块之间设X/Y位移调节螺钉及与之相对的调节弹簧；X/Y位移调节螺钉及调节弹簧与其所对应的X/Y位移滑块相触。
CN 02244311 2002-08-07 2002-08-07 用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置 Expired - Fee Related CN2556210Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 02244311 CN2556210Y (zh) 2002-08-07 2002-08-07 用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 02244311 CN2556210Y (zh) 2002-08-07 2002-08-07 用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2556210Y true CN2556210Y (zh) 2003-06-18

Family

ID=33716238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 02244311 Expired - Fee Related CN2556210Y (zh) 2002-08-07 2002-08-07 用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN2556210Y (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104651937A (zh) * 2015-02-10 2015-05-27 中国科学院物理研究所 磁制冷材料CaFe0.7Co0.3O3单晶及其制备方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104651937A (zh) * 2015-02-10 2015-05-27 中国科学院物理研究所 磁制冷材料CaFe0.7Co0.3O3单晶及其制备方法
CN104651937B (zh) * 2015-02-10 2018-01-05 中国科学院物理研究所 磁制冷材料CaFe0.7Co0.3O3单晶及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1212432C (zh) 晶体生长工艺中的籽晶方位的控制方法
CN2556210Y (zh) 用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置
CN215050854U (zh) 一种籽晶生产用夹持结构
CN116449443A (zh) 一种地磁场矢量观测装置及其调节方法、磁偏角测量方法
CN2784970Y (zh) 画面检测设备及其角度调节装置
CN214736214U (zh) 一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置
CN217122911U (zh) 一种单晶硅棒生产用硅棒夹持固定装置
CN219510430U (zh) 一种摄像头夹持装置
CN1236111C (zh) 厚膜作籽晶熔融织构超导块体材料的制备方法
JP5888631B2 (ja) 単結晶インゴットの製造方法
CN1308484C (zh) 夹具三维运动的控制装置
CN1392296A (zh) 硅锭块生长装置
CN219805612U (zh) 一种焊接装置
CN220162274U (zh) 一种工业生产控制用夹持装置
CN211916900U (zh) 一种视觉机器人用便于调节的夹具
CN219767430U (zh) 一种铜合金生产加工用固定夹具
CN213835025U (zh) 用于坩埚通气体的管道支撑装置
CN218156842U (zh) 结构稳定的偏心轴检测治具
CN211164020U (zh) 塑盘拉伸夹具
CN213673331U (zh) 一种高稳定性不锈钢件加工用夹持装置
CN216052409U (zh) 一种便于定焦的金相显微镜
CN219351313U (zh) 一种电池模组均衡装置
CN221443753U (zh) 一种监控中心多显示器定位装置
US6042645A (en) Method for independently supporting the pull head of a czochralski crystal growing system
CN220904102U (zh) 一种聚酰亚胺薄膜双向拉伸装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20030618

Termination date: 20090807