CN2502048Y - 拖动分子泵 - Google Patents

拖动分子泵 Download PDF

Info

Publication number
CN2502048Y
CN2502048Y CN01255860U CN01255860U CN2502048Y CN 2502048 Y CN2502048 Y CN 2502048Y CN 01255860 U CN01255860 U CN 01255860U CN 01255860 U CN01255860 U CN 01255860U CN 2502048 Y CN2502048 Y CN 2502048Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
groove
bleeding
molecular pump
relief opening
auxiliary seal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN01255860U
Other languages
English (en)
Inventor
储琦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN01255860U priority Critical patent/CN2502048Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN2502048Y publication Critical patent/CN2502048Y/zh
Priority to PCT/CN2002/000672 priority patent/WO2003025400A1/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

一种拖动分子泵,包括转子、转轴、隔环、泵壳,转子上设有至少一条沿圆周向的抽气槽,抽气槽中设有动密封块,动密封块两边有进气口和排气口,每一个抽气槽、相应的隔环和动密封块构成一级基本抽气单元,其特征在于:所述基本抽气单元的隔环的一部分***抽气槽内,隔环***部分的一侧设有若干条螺旋状辅助密封槽,相应抽气槽中的动密封块两侧分别设有至少一条的螺旋状辅助密封槽。该拖动分子泵泄漏小、压缩比和工作压强高,还可以与其他分子泵、或者旋转机械真空泵同轴安装,构成性能优良的复合真空泵。

Description

拖动分子泵
技术领域
本实用新型属于流体压缩机械，具体是一种拖动分子泵或者空气压缩机。
背景技术
中国专利ZL92101300.0介绍了一种具有多个拖动面的分子泵。该泵将若干级抽气单元同轴安装，能够组成串、并联组合的多级泵，泵的抽速和压缩比均较高，但也存在如下缺点：
1.抽气槽与隔环和动密封块之间的工作间隙存在泄漏，降低了抽气槽的压缩比。
2.工作压强较高时，分子拖动效率下降，抽气作用降低。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的上述不足，提供一种泄漏小、压缩比和工作压强较高的拖动分子泵。
本实用新型提供的拖动分子泵，包括转子、转轴、隔环、泵壳，转子上设有至少一条沿圆周向的抽气槽，抽气槽中设有动密封块，动密封块两边有进气口和排气口，每一个抽气槽、相应的隔环和动密封块构成一级基本抽气单元，其特征在于：
所述基本抽气单元的隔环的一部分***抽气槽内，隔环***部分的一侧设有若干条螺旋状辅助密封槽，相应抽气槽中的动密封块两侧分别设有至少一条的螺旋状辅助密封槽，靠近抽气槽排气口的辅助密封槽外侧的排气口与抽气槽的排气口相连。
与现有技术比较，本实用新型的优点如下：
1.本实用新型的拖动分子泵的隔环和动密封块上设有的辅助密封槽可以降低工作间隙气体泄漏量20-80％，提高抽气槽的压缩比和工作压强。
2.本实用新型提出的拖动分子泵基本抽气单元，可以多单元同轴安装，并、串联组合，构成性能优良的多级拖动分子泵。
3.本实用新型提出的拖动分子泵，还可以与其它分子泵，或者其它旋转机械真空泵同轴安装，串联组合，构成复合真空泵。
附图说明
图1为其单级拖动分子泵示意图；
图2为图1的隔环和动密封块示意图；
图3为其多槽并联拖动分子泵示意图；
图4为其多级拖动分子泵示意图；
图5为带锯齿状槽底的拖动分子泵抽气单元示意图。
具体实施方式
下面结合实施例附图对本实用新型进一步描述。
实施例一：单级拖动分子泵
本实施例如图1所示，由转轴(1)、转子(2)、转子(3)、抽气槽(4)、隔环(5)、泵壳(6)、动密封块(9)等组成。
转子(2)上设有若干条(图1中所示为1条)沿圆周向的抽气槽(4)。隔环(5)一部分***抽气槽(4)内，隔环***部分与高压强相邻一侧(图1所示为左侧)设有若干螺旋状辅助密封槽(12)(辅助密封槽也可以设在与低压强相邻一侧，但密封槽的方向相反)。动密封块(9)固定在隔环(5)上，两边分别设进气口(7)和排气口(8)。动密封块(9)两侧分别设有至少1条对称的螺旋状辅助密封槽(10)(图2中所示为1条)，靠近抽气槽排气口辅助密封槽外侧的排气口(11)与抽气槽的排气口(8)相连。
抽气槽(4)、隔环(5)和动密封块(9)组成基本抽气单元。当转子按箭头所示方向高速旋转时，被抽气体经进气口(7)、抽气槽(4)和排气口(8)抽走。辅助密封槽(12)将阻挡转子外侧工作间隙的气体泄漏，辅助密封槽(10)将动密封块工作间隙的泄漏气体送回抽气槽的排气口(8)。
上述两种辅助密封装置可以降低泄漏量20-80％，从而，显著提高抽气槽的压缩比。
上述两种辅助密封装置可以单独分开使用。动密封块(9)两侧对称的辅助密封槽的共有槽底可以不用。
辅助密封槽(12)的深度与转子半径之比的最佳值为0.02-0.04，辅助密封槽(10)的深度与转子半径之比的最佳值为0.04-0.08。上述两种密封槽与转子半径之间夹角的最佳值为45-75°，宽度与深度之比的最佳值为1-3。
抽气槽进气口(7)和排气口(8)还可以增设类似径流式涡轮分子泵静叶片的挡板，挡板的抽气方向与被气体的流动方向一致。挡板与转子半径之间夹角的最佳值为45-70°，挡板间距与挡板宽度之比的最佳值为1-3，进气口(7)的挡板在靠近动密封块处的间距采用较大值。
实施例二：单槽并联抽气单元
图1所示的抽气槽(4)中也可以设有2个，或2个以上动密封块，将抽气槽分成若干抽气单元，每个动密封块两边分别设进气口和排气口，同一抽气槽中各抽气单元的进气口、排气口分别相连，构成单槽并联抽气单元，从而，大幅度提高抽速。
实施例三：多槽并联拖动分子泵
如图3所示，由转轴(1)、转子(2)、动密封槽(13)、抽气槽(14)、隔环(5)和(15)、泵壳(6)、进气口(7)、排气口(8)、动密封块(19)等组成。转子上设有若干条(图3中所示为5条)抽气槽，其中两侧各有一条专用的动密封槽(13)，中间3条为抽气槽(14)。动密封槽(13)与图1的抽气槽(4)完全相同，隔环(5)部分***抽气槽内，隔环(5)***部分的一侧设有若干条螺旋状辅助密封槽，动密封块两侧分别设有至少一条螺旋状辅助密封槽。抽气槽(14)如图3(b)所示，各抽气槽的进气口和排气口分别相连，构成多槽并联抽气单元。抽气槽(14)与图1中抽气槽(4)类似，差别在于：
1.隔环(15)不***抽气槽内，无辅助密封槽。
2.动密封块(19)两侧分别设有至少两条辅助密封槽，图3中所示为(10)和(17)两条。辅助密封槽(10)外侧排气口与抽气槽排气口相连，辅助密封槽(17)外侧排气口(20)与专用动密封槽(13)的进气口相连。专用动密封槽(13)的排气口与抽气槽(14)的排气口(8)相连。
本实施例采用了多槽并联的抽气单元，抽速成倍提高，抽气槽两侧又设有专用动密封槽(13)，因此，工作间隙的泄漏更小，压缩比也更高。
实施例四：多级拖动分子泵
当含有2级以上的所述基本抽气单元时，各基本抽气单元的进气口和排气口分别首尾相连构成并联抽气，也可将相邻基本抽气单元的进气口和排气口首尾相连构成串联抽气。转子两端的基本抽气单元的隔环一部分***抽气槽内，隔环***部分的一侧设有若干条螺旋状辅助密封槽；相应的动密封块两侧分别设有至少一条的螺旋状辅助密封槽，靠近抽气槽排气口的辅助密封槽外侧的排气口与抽气槽的排气口相连。
本实施例如图4所示，由若干基本抽气单元同轴安装，并联、串联组合构成。图4中各部分是：转轴(1)、转子(2)、抽气级(21-25)、动密封槽(13)、泵壳(6)、端盖(26)、泵进气口(27)、泵排气口(28)、隔环(29)、前级管道(30)、电机(31)和轴承(32)等。
位于中部的第1抽气级(21)采用带专用动密封槽(13)的多槽(图4中所示为6槽)并联抽气单元。其它抽气级(22-25)通常采用图1所示单槽抽气单元，或者实施例二所示的单槽并联抽气单元，其中，前面几级也可采用多槽并联抽气单元。
被抽气体由泵口(27)进入，经第1抽气级(21)，然后，分成左右两路，依次经过第2-5抽气级，最后，由前级管道(30)汇总到排气口(28)排出。
实施例五：带锯齿状槽底的拖动分子泵
本实施例如图5所示，其基本结构与图1相同，差别在于抽气槽设有锯齿状槽底(31)。在较高压强工作时，锯齿状槽底撞击气体分子，提高气体分子的速度，从而提高泵的抽速和压缩比。
槽底的锯齿也可以用相同高度和数量的窄横条代替。
锯齿数的最佳值为25-50，锯齿的高度与抽气槽深度之比的最佳值为0.05-0.15。相邻锯齿的间距应小于动密封块(9)上辅助密封槽槽壁的密封长度。
实施例六：空气压缩机
本实施例结构与实施例五相同，差别从进气口引入大气，拖动分子泵作为空气压缩机使用。
本实用新型的拖动分子泵还可以与其它分子泵，或者其它旋转机械真空泵同轴安装，串联组合，构成复合真空泵。

Claims (10)

1.一种拖动分子泵，包括转子、转轴、隔环、泵壳，转子上设有至少一条沿圆周向的抽气槽，抽气槽中设有动密封块，动密封块两边有进气口和排气口，每一个抽气槽、相应的隔环和动密封块构成一级基本抽气单元，其特征在于：
所述基本抽气单元的隔环的一部分***抽气槽内，隔环***部分的一侧设有若干条螺旋状辅助密封槽，相应抽气槽中的动密封块两侧分别设有至少一条的螺旋状辅助密封槽，靠近抽气槽排气口的辅助密封槽外侧的排气口与抽气槽的排气口相连。
2.根据权利要求1所述的拖动分子泵，其特征在于：同一基本抽气单元的抽气槽中有至少2个动密封块，每个动密封块两边分别设进气口和排气口，各进气口、排气口分别相连，构成单槽并联抽气单元。
3.根据权利要求1所述的拖动分子泵，其特征在于：隔环的辅助密封槽的深度与转子半径之比的最佳值为0.02-0.05，动密封块两侧辅助密封槽的深度与转子半径之比的最佳值为0.04-0.08。
4.根据权利要求3所述的拖动分子泵，其特征在于：所述两种辅助密封槽与转子半径之间夹角的最佳值为45°-75°，槽宽与槽深之比的最佳值为1-3。
5.根据权利要求1所述的拖动分子泵，其特征在于：抽气槽进气口和排气口增设类似径流式涡轮分子泵静叶片的挡板，这些挡板的抽气方向与被抽气体的流动方向一致；挡板与转子半径之间夹角的最佳值为45-70°，挡板间距与挡板宽度之比的最佳值为1-3。
6.根据权利要求1所述的拖动分子泵，其特征在于：所述抽气槽设有锯齿状的槽底。
7.根据权利要求6所述的拖动分子泵，其特征在于：所述抽气槽槽底的锯齿用窄横条构成，它的锯齿数为25-50个；所述锯齿高度与抽气槽深度之比为0.05-0.15；所述相邻锯齿的间距小于动密封块上辅助密封槽槽壁的密封长度。
8.根据权利要求1所述的拖动分子泵，其特征在于：当含有2级以上的所述基本抽气单元时，转子两端的基本抽气单元的隔环一部分***抽气槽内，隔环***部分的一侧设有若干条螺旋状辅助密封槽；相应的动密封块两侧分别设有至少一条的螺旋状辅助密封槽，靠近抽气槽排气口的辅助密封槽外侧的排气口与抽气槽的排气口相连。
9.根据权利要求8所述的拖动分子泵，其特征在于：各基本抽气单元的进气口和排气口分别相连构成并联抽气，或相邻基本抽气单元的进气口和排气口首尾相连构成串联抽气。
10.根据权利要求8所述的拖动分子泵，其特征在于：当大气从进气口进入时，所述拖动分子泵是气体压缩机。
CN01255860U 2001-09-20 2001-09-20 拖动分子泵 Expired - Fee Related CN2502048Y (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN01255860U CN2502048Y (zh) 2001-09-20 2001-09-20 拖动分子泵
PCT/CN2002/000672 WO2003025400A1 (fr) 2001-09-20 2002-09-20 Pompe de trainee moleculaire

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN01255860U CN2502048Y (zh) 2001-09-20 2001-09-20 拖动分子泵

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2502048Y true CN2502048Y (zh) 2002-07-24

Family

ID=4720743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN01255860U Expired - Fee Related CN2502048Y (zh) 2001-09-20 2001-09-20 拖动分子泵

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN2502048Y (zh)
WO (1) WO2003025400A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1298885C (zh) * 2003-12-19 2007-02-07 储继国 真空镀膜设备
CN100429406C (zh) * 2003-09-30 2008-10-29 爱德华兹有限公司 真空泵

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL184487C (nl) * 1977-02-25 1989-08-01 Ultra Centrifuge Nederland Nv Moleculaire pomp.
NL8105614A (nl) * 1981-12-14 1983-07-01 Ultra Centrifuge Nederland Nv Hoog-vacuum moleculair pomp.
CN1056914C (zh) * 1992-02-28 2000-09-27 储继国 复合拖动分子泵

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100429406C (zh) * 2003-09-30 2008-10-29 爱德华兹有限公司 真空泵
CN1298885C (zh) * 2003-12-19 2007-02-07 储继国 真空镀膜设备

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003025400A1 (fr) 2003-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1215262C (zh) 一种复合压缩机
CN100340769C (zh) 一种用于高压***的双螺杆压缩机
CN1253662C (zh) 高压多级离心式压缩机
CN1791737A (zh) 用于内燃机的涡轮增压器***
CN101852199B (zh) 复合真空泵
CN204984884U (zh) 一种变螺距干式螺杆真空泵
US4504201A (en) Mechanical pumps
CN1676938A (zh) 采用排气中隔板的旋转式双缸压缩机
CN106014995A (zh) 多级干式罗茨真空泵
CN2667203Y (zh) 多级罗茨式无油真空泵
CN2502048Y (zh) 拖动分子泵
CN1110376A (zh) 拖动分子泵
CN203926013U (zh) 一种变螺距干式螺杆真空泵
CN2789416Y (zh) 反向旋流防汽轮机激振汽封装置
CN2503232Y (zh) 耐高压多级爪式转子真空泵
CN1115362A (zh) 多拖动面分子泵
CN1056914C (zh) 复合拖动分子泵
CN1025574C (zh) 分子泵
CN102410221A (zh) 双缸旋转式压缩机
CN101457758A (zh) 增强排气型复合分子泵
CN203081752U (zh) 双溢流阀的双级罗茨泵
CN209100260U (zh) 一种曲线旋转活塞泵
CN1186534C (zh) 一种新型轴流式流体压缩装置
CN201292960Y (zh) 一种增强排气型复合分子泵
CN1898464A (zh) 交叉式叶片装置的改进

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee