CN221269129U - 一种微通道板自动无接触清洁*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微通道板自动无接触清洁***，包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与超声清洗装置和清吹装置相配合的真空输送装置；超声清洗装置包括清洗槽，清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件；真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道，真空抓取机械手能够沿机械手轨道移动，隔离输送通道连通清洗槽和清吹工作台；还包括控制装置，控制装置分别与超声清洗装置、清吹装置以及真空输送装置相连接，超声清洗装置、清吹装置以及真空输送装置相连接通过控制装置联动控制。采用本申请中的微通道板自动无接触清洁***能够实现全程自动化操作，消除了清洁过程中人工干预产生新的杂质的问题。

Description

一种微通道板自动无接触清洁***

技术领域

本实用新型涉及微通道板生产技术领域，具体涉及一种微通道板自动无接触清洁***。

背景技术

微通道板是一种特殊光学纤维器件，是一种先进的具有传输、增强电子图像功能的电子倍增器，在微通道板的生产过程中，需要通过抛光去除其表面由前工序所残留下的微缺陷及表面损伤层，以求获得表面平整度高、粗糙度低的光亮镜面，抛光结束后的微通道板表面附着有大量的氧化铈抛光粉，因此抛光后对微通道板表面的清洁至关重要，清洁不足容易对微通道板表面的镀膜和成品测试造成不良影响。

现有微通道板清洗为抛光轻吹清洗，细小杂质轻吹不干净。轻吹过程中需要人工多次干预，极易产生新的杂质。微通道板装配对表面清洁度要求高，细小杂质均会影响其装配密封。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种微通道板自动无接触清洁***，用以解决现有微通道板清洗需要人工多次干预，极易产生新的杂质的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种微通道板自动无接触清洁***，包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与所述超声清洗装置和所述清吹装置相配合的真空输送装置；所述超声清洗装置包括清洗槽，所述清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件；所述真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道，所述真空抓取机械手能够沿所述机械手轨道移动，所述隔离输送通道连通所述清洗槽和所述清吹工作台；

还包括控制装置，所述控制装置分别与所述超声清洗装置、所述清吹装置以及所述真空输送装置相连接，所述超声清洗装置、所述清吹装置以及所述真空输送装置相连接通过所述控制装置联动控制。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述超声清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的超声波换能器以及可升降支架，所述可升降支架能够沿竖直方向伸缩移动，且所述可升降支架设置有多个。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述清洗槽的底部设置有支架滑板，所述支架滑板的上部设置有滑动轨道，所述可升降支架的底部设置有与所述滑动轨道相对应的滑动部，所述滑动部与所述滑动轨道配合连接。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述清洗槽的上部设置有隔离板，所述隔离板能够打开或者封闭所述清洗槽。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述真空抓取机械手包括固定段、伸缩段以及与所述伸缩段相连接的真空抓手，所述固定段的底部与所述机械手轨道滑动配合，所述固定段的顶部与所述伸缩段转动配合，且所述伸缩段远离所述固定段的一端连接有所述真空抓手。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述伸缩段通过转轴与所述固定段转动配合，还包括与所述伸缩段相连接的转动驱动，所述伸缩段能够在所述转动驱动的驱动下相对所述固定段偏转。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述隔离输送通道的两端分别靠近所述清洗槽和所述清吹工作台，且所述隔离输送通道的两端均设置有可开合的隔离门；所述真空抓取机械手能够经所述隔离输送通道在所述清洗槽和所述清吹工作台之间往返移动。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述清吹工作台的上部设置有陶瓷真空吸盘；所述清吹装置还包括暖风清吹装置，所述暖风清吹装置包括清吹头，所述清吹头具有工作区域和待机区域，所述工作区域设置在所述清吹工作台的上部，且所述工作区域在竖直方向上的投影覆盖待清洁微通道板的面积；沿水平方向，所述待机区域位于所述工作区域之外。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述清吹头能够在所述工作区域和所述待机区域之间往复移动且所述清吹头能够在所述工作区域内移动。

作为本申请的一个优选的实施方式，所述清吹工作台的上部还开设有第一回流口，所述清吹工作台的内部设置有第一收集装置；所述隔离输送通道的下部设置有第二回流口以及第二收集装置。

由于采用了上述技术方案，本申请所取得的有益效果为：

1.采用本申请中的微通道板自动无接触清洁***能够实现全程自动化操作，消除了清洁过程中人工干预产生新的杂质的问题。

2.本申请中设置有隔离输送通道，能够在微通道板由清洗槽移动至清吹工作台的过程中提供隔离防护，避免外界的杂质侵入；且本申请中的清洗槽的上部设置隔离板，隔离输送通道的两端设置有隔离门，进一步隔离外界杂质的侵入，保障清洁效果。

3.本申请中的清吹工作条以及隔离输送通道均设置有回流、收集用的结构/装置，可以对微通道板移动/清吹过程中遗留的清洁液进行回流收集，方便后续处理，提升设备的环保能力。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为一个示例中微通道板自动无接触清洁***的正视结构示意图；

图2为图1的剖视结构示意图；

图3为一个示例中微通道板自动无接触清洁***的俯视结构示意图；

图4为图3的剖视结构示意图；

图5为一个示例中微通道板自动无接触清洁***的结构示意图；

图6为另一个示例中微通道板自动无接触清洁***的正视结构示意图；

图7为图6的剖视结构示意图；

图8为控制装置与超声清洗装置、真空输送装置、清吹装置以及真空发生装置的连接示意图。

部件和附图标记列表：

1超声清洗装置，11清洗槽，12超声波换能器，13可升降支架，14支架滑板，141滑动轨道，15隔离板；

2真空输送装置，21固定段，22伸缩段，23真空抓手，24机械手轨道；

3隔离输送通道，31隔离门；

4清吹装置，41清吹工作台，411陶瓷真空吸盘，42暖风清吹装置，421清吹头；

51第一回流口，52第一收集装置，53第二回流口，54第二收集装置；

6控制装置；

7真空发生装置，71真空管道。

具体实施方式

为了更清楚的阐释本实用新型的整体构思，下面再结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。

需说明，在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施方式的限制。

如图1-8所示，本申请提供了一种微通道板自动无接触清洁***，包括依次设置的超声清洗装置1、清吹装置4以及与超声清洗装置1和清吹装置4相配合的真空输送装置2；超声清洗装置1包括清洗槽11，清吹装置4包括清吹工作台41和暖风清吹组件；真空输送装置2包括真空抓取机械手、机械手轨道24以及隔离输送通道3，真空抓取机械手能够沿机械手轨道24移动，隔离输送通道3连通清洗槽11和清吹工作台41。

在一个示例中，参照图2及图4所示，超声清洗装置1还包括设置在清洗槽11内的超声波换能器12以及可升降支架13，可升降支架13能够沿竖直方向伸缩移动，且可升降支架13设置有多个。优选的，清洗槽11的底部设置有支架滑板14，支架滑板14的上部设置有滑动轨道141，可升降支架13的底部设置有与滑动轨道141相对应的滑动部，滑动部与滑动轨道141配合连接。在上述方案中，通过调整可升降支架13的高度可以支撑待清洗的微通道板浸入或升出清洗槽11内部的清洁液的液面，且通过使可升降支架13沿滑动轨道141移动调整可升降支架13的位置，从而调整多个可升降支架13配合后的承载面积，方便承载不同规格的待清洗微通道板，有利提升设备的适用范围，经济性高。这里需要说明的是申请对于可升降支架13与滑动轨道141之间的配合方式并不做具体限定，在一个优选示例中，可升降支架13的底部设置有滑动块，滑动轨道141开设有滑动槽，滑动块设置在滑动槽中且可以沿滑动槽移动。当然其也可以采用其他更多不同的配合方式。至于可升降支架13相对滑动轨道141移动的动力来源，可以通过人工手持调整推杆等装置手动推动可升降支架13移动，当然也可以另设驱动件，本申请对此同样不做具体限定。

这里同样需要说明的是，本申请对于可升降支架13的结构同样不做具体限定，在一个示例中，其主体结构为一伸缩杆，通过驱动缸的驱动实现升降。当然其可以采用其他更多不同的结构。

作为本申请的一个优选的实施方式，参照图7所示，清洗槽11的上部设置有隔离板15，隔离板15能够打开或者封闭清洗槽11。在上述方案中，微通道板在清洗槽11内进行清洗时，隔离板15封闭清洗槽11，避免外界杂物进入清洗槽11中，清洗完毕后隔离板15打开，方便将微通道板取出进行后续的清吹工作。

进一步的，参照图5所示，真空抓取机械手包括固定段21、伸缩段22以及与伸缩段22相连接的真空抓手23，固定段21的底部与机械手轨道24滑动配合，固定段21的顶部与伸缩段22转动配合，且伸缩段22远离固定段21的一端连接有真空抓手23。在一个示例中，固定段21的下部设置有驱动轮，驱动轮与机械手轨道24配合，带动整个真空抓取机械手沿机械手轨道24移动。在一个示例中，伸缩段22通过转轴与固定段21转动配合，还包括与伸缩段22相连接的转动驱动，伸缩段22能够在转动驱动的驱动下相对固定段21偏转。优选的，转动驱动为与伸缩段22相连接的驱动电机，其具有可控性高、动作到位率高等优点，且安装方便，维护方便。当然，上述举例仅为本申请的一个优选示例，本申请中固定段21与伸缩段22的配合方式并不局限于上述举例。

这里需要说明的是，本申请对于伸缩段22的结构同样不做具体限定，在一个示例中，其包括第一部分和第二部分，第一部分套设在第二部分的外侧，驱动缸分别连接第一部分和第二部分，从而驱动第二部分相对第一部分移动伸出或收缩，真空抓手23设置在第二部分远离第一部分的一端，第一部分和第二部分内部中空，设置有连通真空抓手23的真空管道71。当然，其可以采用上述示例之外更多不同的结构。

进一步地，参照图7所示，隔离输送通道3的两端分别靠近清洗槽11和清吹工作台41，且隔离输送通道3的两端均设置有可开合的隔离门31；真空抓取机械手能够经隔离输送通道3在清洗槽11和清吹工作台41之间往返移动。隔离输送通道3能够在微通道板由清洗槽11移动至清吹工作台41的过程中提供隔离防护，避免外界的杂质侵入；且隔离门31的设置进一步隔离外界杂质的侵入，保障清洁效果。

进一步地，参照图1、图2、图5、图6及图7所示，清吹工作台41的上部设置有陶瓷真空吸盘411；清吹装置4还包括暖风清吹装置42，暖风清吹装置42包括清吹头421，清吹头421具有工作区域和待机区域，工作区域设置在所示清吹工作台41的上部，且工作区域在竖直方向上的投影覆盖待清洁微通道板的面积；沿水平方向，待机区域位于工作区域之外。在一个示例中，清吹头421的清吹面积在竖直方向上的投影覆盖待清洁微通道板的面积。在另一个示例中，清吹头421能够在工作区域和待机区域之间往复移动且清吹头421能够在工作区域内移动，从而实现对待清洁微通道板的清吹工作。

作为本申请的一个优选的实施方式，参照图4及图7所示，清吹工作台41的上部还开设有第一回流口51，清吹工作台41的内部设置有第一收集装置52；隔离输送通道3的下部设置有第二回流口53以及第二收集装置54。在上述方案中，通过第一回流口51、第二回流口53、第一收集装置52以及第二收集装置54的设置可以对微通道板移动/清吹过程中遗留的清洁液进行回流收集，方便后续处理，提升设备的环保能力。

进一步的，参照图8所示，本申请中的微通道板自动无接触清洁***还包括真空发生装置7以及控制装置6，真空发生装置7分别连通真空抓手23和陶瓷真空吸盘411。控制装置6分别与真空发生装置7、超声清洗装置1、清吹装置4以及真空输送装置2相连接，真空发生装置7、超声清洗装置1、清吹装置4以及真空输送装置2相连接通过控制装置6联动控制。

本实用新型所保护的技术方案，并不局限于上述实施例，应当指出，任意一个实施例的技术方案与其他一个或多个实施例中技术方案的结合，在本实用新型的保护范围内。虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，包括依次设置的超声清洗装置、清吹装置以及与所述超声清洗装置和所述清吹装置相配合的真空输送装置；所述超声清洗装置包括清洗槽，所述清吹装置包括清吹工作台和暖风清吹组件；所述真空输送装置包括真空抓取机械手、机械手轨道以及隔离输送通道，所述真空抓取机械手能够沿所述机械手轨道移动，所述隔离输送通道连通所述清洗槽和所述清吹工作台；

还包括控制装置，所述控制装置分别与所述超声清洗装置、所述清吹装置以及所述真空输送装置相连接，所述超声清洗装置、所述清吹装置以及所述真空输送装置相连接通过所述控制装置联动控制。

2.如权利要求1所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述超声清洗装置还包括设置在所述清洗槽内的超声波换能器以及可升降支架，所述可升降支架能够沿竖直方向伸缩移动，且所述可升降支架设置有多个。

3.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述清洗槽的底部设置有支架滑板，所述支架滑板的上部设置有滑动轨道，所述可升降支架的底部设置有与所述滑动轨道相对应的滑动部，所述滑动部与所述滑动轨道配合连接。

4.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述清洗槽的上部设置有隔离板，所述隔离板能够打开或者封闭所述清洗槽。

5.如权利要求2所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述真空抓取机械手包括固定段、伸缩段以及与所述伸缩段相连接的真空抓手，所述固定段的底部与所述机械手轨道滑动配合，所述固定段的顶部与所述伸缩段转动配合，且所述伸缩段远离所述固定段的一端连接有所述真空抓手。

6.如权利要求5所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述伸缩段通过转轴与所述固定段转动配合，还包括与所述伸缩段相连接的转动驱动，所述伸缩段能够在所述转动驱动的驱动下相对所述固定段偏转。

7.如权利要求5所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述隔离输送通道的两端分别靠近所述清洗槽和所述清吹工作台，且所述隔离输送通道的两端均设置有可开合的隔离门；所述真空抓取机械手能够经所述隔离输送通道在所述清洗槽和所述清吹工作台之间往返移动。

8.如权利要求7所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述清吹工作台的上部设置有陶瓷真空吸盘；所述清吹装置还包括暖风清吹装置，所述暖风清吹装置包括清吹头，所述清吹头具有工作区域和待机区域，所述工作区域设置在所述清吹工作台的上部，且所述工作区域在竖直方向上的投影覆盖待清洁微通道板的面积；沿水平方向，所述待机区域位于所述工作区域之外。

9.如权利要求8所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述清吹头能够在所述工作区域和所述待机区域之间往复移动且所述清吹头能够在所述工作区域内移动。

10.如权利要求1所述的微通道板自动无接触清洁***，其特征在于，所述清吹工作台的上部还开设有第一回流口，所述清吹工作台的内部设置有第一收集装置；所述隔离输送通道的下部设置有第二回流口以及第二收集装置。