CN221210161U - 一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床 - Google Patents
一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床 Download PDFInfo
- Publication number
- CN221210161U CN221210161U CN202323090213.1U CN202323090213U CN221210161U CN 221210161 U CN221210161 U CN 221210161U CN 202323090213 U CN202323090213 U CN 202323090213U CN 221210161 U CN221210161 U CN 221210161U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wire
- conductive
- wire frame
- cutting
- double
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 95
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004080 punching Methods 0.000 title claims abstract description 13
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 37
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 31
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 6
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，涉及切割设备技术领域。包括床体，床体的中部设置有底座，底座上安装有上端开口的工件夹持腔，工件夹持腔内通过绝缘块安装有导电支架，导电支架同时电连接切割电源负极，工件夹持腔还设置有将工件定位固定在导电支架上的夹具；所述床体两侧设置有对称布置的金属丝线切割机构，金属丝线切割机构的钼丝切割线电连接切割电源正极。本实用新型将双组切割机构安装在同一机身上，实现对工件双组同时切割加工，从而大大的提高加工效率（提高100%），减少设备占地面积，集中供水节约成本，降低对环境的污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及切割设备技术领域，具体为一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床。
背景技术
碳化硅晶舟的一个作用是承载光伏电池片，所以碳化硅晶舟需要均匀的开设小齿，并且小齿开设的精度和尺寸要求都较高。
现有技术中一般会采用线切割的方式来开齿，但现有技术中线切割设备存在明显缺陷：1）碳化硅晶舟需要双边开齿，而现有切割设备均为单头，切割效率较低：2）切割线通过设置在线架中的导电块与电源正极电连接，切割线支撑在导电块上，长时间工作会在导电块上拉出线槽，而切割线在切割过程中会粘有细屑，粘有细屑的切割线经过导电块上的线槽时会产生振动，甚至有细屑卡在拉出的线槽中造成切割线的崩断。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，可以有效解决背景技术中的问题。
实现上述目的的技术方案是：一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：包括床体，床体的中部设置有底座，底座上安装有上端开口的工件夹持腔，工件夹持腔内通过绝缘块安装有导电支架，导电支架同时电连接切割电源负极，工件夹持腔还设置有将工件定位固定在导电支架上的夹具；所述床体两侧设置有对称布置的金属丝线切割机构，金属丝线切割机构的钼丝切割线电连接切割电源正极。
进一步地，金属丝线切割机构包括前后位移驱动直线模组，前后位移驱动直线模组的滑块上安装有左右位移驱动直线模组，左右位移驱动直线模组上安装有运丝座和立柱，立柱设置在运丝座与工件夹持腔之间，所述运丝座上通过轴承座转动安装有运丝筒以及与运丝筒传动连接的驱动电机，立柱上安装有呈上下平行布置的上线架和下线架，上线架和下线架均横向布置，上线架和下线架的外侧端分别转动安装有导线轮、上线架和下线架的内侧端分别转动安装有电连接切割电源正极的导电轮，上线架和下线架连接导电轮的一端向内延伸至工件夹持腔内；
所述运丝筒上绕制有钼丝切割线，钼丝切割线的一端可拆卸的连接在运丝筒上、另一端绕过上线架上的导线轮和导电轮、工件、下线架上的导电轮和导线轮并可拆卸连接在运丝筒上。
进一步地，所述上线架通过直线导轨上下滑动的安装在立柱上，所述立柱中设置有竖向槽，竖向槽中通过轴承转动安装有垂直布置的丝杆，丝杆上端伸出立柱、并连接有手轮，所述上线架通过丝杆螺母螺纹连接在丝杆上。
进一步地，上线架和下线架上的导线轮和导电轮位于同一水平线上，导电轮采用导电材料制成，导电轮的两端通过绝缘环转动安装在上线架和下线架内；导电轮通过导电滑环与钼丝切割线供电电源负极电连接，导电滑环外设置有连接在上线架上的绝缘罩壳。
进一步地，所述导电轮的中部环周设置有环形凸缘，环形凸缘设置有环形槽，所述穿过环形槽的钼丝切割线与环形凸缘接触设置。
进一步地，环形槽的截面呈大口端朝外的V形。
进一步地，上线架设置有开口朝上的上线槽、下线架上设置有用于走线的下线槽，上线槽和下线槽用于钼丝切割线穿过。
进一步地，上线架上安装的导电轮的出线端、下线架上导电轮的出线端分别安装有喷液座，喷液座上设置有与导电轮的出线同轴线设置有喷液孔，绕制在上线架和下线架之间的钼丝切割线同时穿过喷液孔；上线槽上可分离的盖合有用于阻挡液体向上的L形上盖，所述喷液座上设置有连通喷液孔的进液孔，进液孔通过软管连接绝缘介质输送泵，输送泵连接绝缘介质储箱，介质储箱中设置有纯水或乳化液，所述工件夹持腔的底部设置有出液口。
本实用新型的有益效果：
本实用新型采用以金属丝线（钼丝）作为工具电极，在丝线与被加工物材料之间施加60～300V的脉冲电压，并保持5～50um间隙，间隙中充满纯水或乳化液等绝缘介质，使电极与被加工物之间发生火花放电，并彼此被消耗、腐蚀形成齿槽。
本实用新型将双组切割机构安装在同一机身上，实现对工件双组同时切割加工，从而大大的提高加工效率（提高100%），减少设备占地面积，集中供水节约成本，降低对环境的污染。
本实用新型将现有导向轮作为导电轮，导电轮转动安装，工作过程中使得钼丝切割线能够随导电轮同步转动，减小磨损，同时在导电轮上设置与钼丝切割线配合的环形槽，环形槽的截面呈V形，使得钼丝切割线具有一定活动空间，避免粘附有细屑的钼丝切割线崩断；同时导电轮相对现有导电块更靠近工件，从而减小了损耗。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为图1中A部的局部放大图；
图3为导电轮在上线架上的安装结构示意图；
图4为导电轮的结构示意图；
图5为工件夹持状态的结构示意图。
实施方式
如图1-5所示，本实用新型包括床体1，床体1的中部设置有底座2，底座2上安装有上端开口的工件夹持腔3，工件夹持腔3内通过绝缘块4安装有导电支架5，导电支架5同时电连接钼丝切割线供电电源负极，工件夹持腔3还设置有将工件6定位固定在导电支架5上的夹具，工件6为碳化硅晶舟，碳化硅晶舟包括位于上下两端的端板6.1，端板6.1的两侧分别连接有两根前后布置的支撑杆6.2，两侧支撑杆6.2之间形成有用于硅片支撑的多个支撑槽，支撑槽即为本实施例所加工齿槽。
夹具包括设置在导电支架5上、并与工件的端板6.1厚度匹配的定位槽5.1，通过定位槽5.1实现工件6前后方向的定位，工件6两侧的工件夹持腔3内设置有固定定位块8和活动定位块9，固定定位块8和活动定位块9的内侧端分别连接有绝缘板10，固定定位块8固定安装在工件夹持腔3内，工件夹持腔3一侧安装有输出端与活动定位块9连接的夹紧气缸11，夹紧气缸11驱动活动定位块9与固定定位块8配合夹紧工件6，固定定位块8和活动定位块9在高度方向上与对应侧的两根支撑杆6.2的位置相对应。
所述床体1两侧设置有对称布置的金属丝线切割机构12，金属丝线切割机构12包括前后位移驱动直线模组13，前后位移驱动直线模组13的滑块上安装有左右位移驱动直线模组14，左右位移驱动直线模组13上安装有运丝座15和立柱16，立柱16设置在运丝座15与工件夹持腔3之间，所述运丝座15上通过轴承座17转动安装有运丝筒18以及与运丝筒18传动连接的驱动电机（图中未示出），立柱16上安装有呈上下平行布置的上线架19和下线架20，上线架19和下线架20均横向布置，上线架19和下线架20的外侧端分别转动安装有导线轮21、上线架19和下线架20的内侧端分别转动安装有电连接金属丝切割电源正极的导电轮22，上线架19和下线架20连接导电轮22的一端向内延伸至工件夹持腔3内，上线架19设置有开口朝上的上线槽23、下线架20上设置有用于走线的下线槽24。
上线架19和下线架20上的导线轮21和导电轮22位于同一水平线上，导电轮22采用导电材料制成，导电轮22通过固定在对应上线架19、下线架20上的导电滑环26与钼丝切割线供电电源负极电连接，导电滑环26外设置有绝缘罩壳27，导电轮22的两端通过绝缘环28转动安装在上线架19和下线架20内，所述导电轮22的中部环周设置有环形凸缘31，环形凸缘31设置有环形槽29，环形槽29的截面呈大口端朝外的V形。
运丝筒18上绕制有钼丝切割线30，钼丝切割线30的一端可拆卸的连接在运丝筒18上、另一端依次经上线架19上的导线轮21、上线槽23、导电轮22的环形槽29、工件、下线架20上的导电轮22的环形槽29、下线槽23、导线轮21后可拆卸连接在运丝筒18上，具体地，采用螺丝可拆卸的连接在运丝筒18上；进一步地，所述穿过环形槽29的钼丝切割线30与环形凸缘28接触设置。
上线架29上安装的导电轮22的出线端、下线架20上导电轮22的出线端分别安装有喷液座32，喷液座32上设置有与导电轮22的出线同轴线设置有喷液孔33，绕制在上线架19和下线架20之间的钼丝切割线30同时穿过喷液孔33，上线槽23上可分离的盖合有用于阻挡液体向上的L形上盖25，所述喷液座30上设置有连通喷液孔31的进液孔34，进液孔34通过软管连接绝缘介质输送泵35，输送泵35连接绝缘介质储箱36，介质储箱36中设置有纯水或乳化液，所述工件夹持腔3的底部设置有出液口37。
进一步地，所述上线架19通过直线导轨上下滑动的安装在立柱16上，所述立柱16中设置有竖向槽38，竖向槽38中通过轴承转动安装有垂直布置的丝杆39，丝杆39上端伸出立柱16、并连接有手轮40，所述上线架29通过丝杆螺母螺纹连接在丝杆39上，转动手轮40能够对上线架29的高度位置进行调节，从而适配不同工件的切割需求。
作为本实施例的进一步说明，本实用新型所述机床采用CNC控制***控制。
本实用新型工作时，将工件置于导电支架5的定位槽5.1中，再通过夹紧气缸11驱动活动定位块9与固定定位块8配合夹紧工件，再将两侧运丝筒18上钼丝切割线30的一端松开，之后依次经对应侧的上线架19上的导线轮21、上线槽23、导电轮22的环形槽29、工件6、以及下线架20上的导电轮22的环形槽29、下线槽23、导线轮21后可拆卸连接在对应侧运丝筒18上，两侧金属丝线切割机构12的钼丝切割线30分别向外贴近工件6对应侧的支撑杆6.2。
两侧前后位移驱动直线模组13驱动钼丝切割线30位移至对应侧支撑杆6.2的切割起点位置，同时控制输送泵35将绝缘介质由喷液孔33喷出，并包裹在同侧上下导电轮22之间的钼丝切割线30外，再通过驱动电机驱动运丝筒18往复转动，从而带动钼丝切割线30对工件形成往复切割，切割过程中，左右位移驱动直线模组14控制切割深度，前后位移驱动直线模组13在一个齿槽切割完成后，移动至下一个切割位置。
本实用新型的线切割放电加工以金属丝线（钼丝）作为工具电极，在丝线工件之间施加60～300V的脉冲电压，并保持5～50um间隙，间隙中充满纯水或乳化液等绝缘介质，使电极与被加工物之间发生火花放电，并彼此被消耗、腐蚀，形成齿槽，通过CNC控制的监测和管控，步进机构执行，使这种放电现象均匀一致，从而达到加工物被加工，使之成为符合要求之尺寸大小及形状精度的产品。
Claims (8)
1.一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：包括床体，床体的中部设置有底座，底座上安装有上端开口的工件夹持腔，工件夹持腔内通过绝缘块安装有导电支架，导电支架同时电连接切割电源负极，工件夹持腔还设置有将工件定位固定在导电支架上的夹具；所述床体两侧设置有对称布置的金属丝线切割机构，金属丝线切割机构的钼丝切割线电连接切割电源正极。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：金属丝线切割机构包括前后位移驱动直线模组，前后位移驱动直线模组的滑块上安装有左右位移驱动直线模组，左右位移驱动直线模组上安装有运丝座和立柱，立柱设置在运丝座与工件夹持腔之间，所述运丝座上通过轴承座转动安装有运丝筒以及与运丝筒传动连接的驱动电机，立柱上安装有呈上下平行布置的上线架和下线架，上线架和下线架均横向布置，上线架和下线架的外侧端分别转动安装有导线轮、上线架和下线架的内侧端分别转动安装有电连接切割电源正极的导电轮，上线架和下线架连接导电轮的一端向内延伸至工件夹持腔内；
所述运丝筒上绕制有钼丝切割线，钼丝切割线的一端可拆卸的连接在运丝筒上、另一端绕过上线架上的导线轮和导电轮、工件、下线架上的导电轮和导线轮并可拆卸连接在运丝筒上。
3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：所述上线架通过直线导轨上下滑动的安装在立柱上，所述立柱中设置有竖向槽，竖向槽中通过轴承转动安装有垂直布置的丝杆，丝杆上端伸出立柱、并连接有手轮，所述上线架通过丝杆螺母螺纹连接在丝杆上。
4.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：上线架和下线架上的导线轮和导电轮位于同一水平线上，导电轮采用导电材料制成，导电轮的两端通过绝缘环转动安装在上线架和下线架内；导电轮通过固定在对应上线架、下线架上的导电滑环与钼丝切割线供电电源正极电连接，导电滑环外设置有连接在上线架、下线架上的绝缘罩壳。
5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：所述导电轮的中部环周设置有环形凸缘，环形凸缘设置有环形槽，钼丝切割线穿过环形槽、并且穿过环形槽的钼丝切割线与环形凸缘接触设置。
6.根据权利要求5所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：环形槽的截面呈大口端朝外的V形。
7.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：上线架设置有开口朝上的上线槽、下线架上设置有用于走线的下线槽，上线槽和下线槽用于钼丝切割线穿过。
8.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床，其特征在于：绕过上线架上导电轮的钼丝切割线出线端、绕过下线架上导电轮的钼丝切割线出线端分别安装有喷液座，喷液座上设置有与导电轮的出线同轴线设置有喷液孔，绕制在上线架和下线架之间的钼丝切割线同时穿过喷液孔；上线槽上可分离的盖合有用于阻挡液体向上的L形上盖，所述喷液座上设置有连通喷液孔的进液孔，进液孔通过软管连接绝缘介质输送泵，输送泵连接绝缘介质储箱，介质储箱中设置有纯水或乳化液，所述工件夹持腔的底部设置有出液口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202323090213.1U CN221210161U (zh) | 2023-11-16 | 2023-11-16 | 一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202323090213.1U CN221210161U (zh) | 2023-11-16 | 2023-11-16 | 一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221210161U true CN221210161U (zh) | 2024-06-25 |
Family
ID=91572810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202323090213.1U Active CN221210161U (zh) | 2023-11-16 | 2023-11-16 | 一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN221210161U (zh) |
-
2023
- 2023-11-16 CN CN202323090213.1U patent/CN221210161U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110976955A (zh) | 一种推力圆柱滚子轴承加工尺寸智能控制装置 | |
| CN111151832B (zh) | 旋转电弧铣削加工装置、铣削加工机床及其的控制*** | |
| CN209830871U (zh) | 一种用于管材的切割磨边装置 | |
| CN221210161U (zh) | 一种用于碳化硅晶舟开齿的双头线切割机床 | |
| CN216913315U (zh) | 一种砂线切割机切螺旋线的专用装置 | |
| CN111805029B (zh) | 线切割加工中可升降和旋转工件的工件垂直超声振动装置 | |
| CN2865965Y (zh) | 电火花刀具加工机床的加工电极轴及带有该电极轴的机床 | |
| CN209850053U (zh) | 往复走丝型电火花线切割机床的加工装置 | |
| CN210475766U (zh) | 一种电火花线切割机 | |
| CN113909590B (zh) | 单轴电火花成形加工装置及加工机床 | |
| CN210160545U (zh) | 模具加工用电火花线切割装置 | |
| CN221435229U (zh) | 一种高精度多线切割装置 | |
| CN211804132U (zh) | 一种机械上拉式内拉床 | |
| CN217433636U (zh) | 一种电火花线切割/金刚石线锯一体化加工机床 | |
| CN110434623A (zh) | 机械铣床加工设备的可伸展自动化支架机构 | |
| CN110732739A (zh) | 一种卧式四轴联动数控短电弧加工机床 | |
| CN218657981U (zh) | 一种自动上下料的螺纹槽加工装置 | |
| CN216226691U (zh) | 一种铂丝电极切割装置 | |
| CN113909589B (zh) | 电火花成形加工装置及加工机床 | |
| CN217750891U (zh) | 一种刀网组磨床 | |
| CN216729951U (zh) | 一种刀毂加工用线切割机 | |
| CN219465003U (zh) | 一种管件用电火花线切割机固定装置 | |
| CN216028595U (zh) | 一种线切割穿孔一体机 | |
| CN220636547U (zh) | 一种线切割夹具 | |
| CN219093715U (zh) | 连杆盖加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |