CN221201136U - 晶圆翻转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆翻转装置，晶圆翻转装置包括：支撑结构、翻转机构、第一套夹持机构和第二套夹持机构；翻转机构转动连接在支撑结构上，翻转机构用于在第一状态和第二状态之间转动；第一套夹持机构和第二套夹持机构层叠设置，每套夹持机构用于夹持一个晶圆；翻转机构在第一状态和第二状态之间转动时，能够带动第一套夹持机构和第二套夹持机构所夹持的晶圆翻转。可以将两片晶圆放置到晶圆翻转装置中提前进行翻转，从而不同工艺或同一工艺之间的晶圆加工设备直接从晶圆翻转装置中取出已经完成翻转的晶圆即可，无需等待晶圆的翻转，减少晶圆加工设备等待晶圆翻转的时间，提高晶圆加工设备的利用率及加工效率，提高产线产能。

Description

晶圆翻转装置

技术领域

本申请涉及半导体加工领域，更具体地涉及一种晶圆翻转装置。

背景技术

晶圆的加工指的是通过采用诸如但不限于淀积、刻蚀、清洗等工艺在晶圆上加工出各种芯片的微电路结构。在晶圆的加工过程中，在相邻两个工艺或一个工艺过程中，往往需要对晶圆进行翻转。针对晶圆的翻转需求，现有技术中通常设置一个单独的晶圆翻转装置。但是现有的晶圆翻转装置一次只能对单片晶圆进行翻转，在实际加工过程中，如果遇到晶圆翻转情况，淀积、刻蚀、清洗等其他的晶圆加工设备需要等到晶圆完成翻转之后才能进行加工，导致晶圆加工设备利用率及加工效率较差，产线产能较低。

实用新型内容

为了解决上述问题中的至少一个而提出了本实用新型。根据本申请第一方面，提供了一种晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置包括：支撑结构、翻转机构、第一套夹持机构和第二套夹持机构；其中，所述翻转机构转动连接在所述支撑结构上，所述翻转机构用于在第一状态和第二状态之间转动；所述第一套夹持机构和第二套夹持机构层叠设置，每套夹持机构用于夹持一个晶圆；所述翻转机构在所述第一状态和所述第二状态之间转动时，能够带动所述第一套夹持机构和第二套夹持机构所夹持的晶圆翻转。

在本申请的一个实施例中，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构用于夹持晶圆的边缘位置。

在本申请的一个实施例中，所述支撑结构包括框体结构，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构均设置在所述框体结构内，所述翻转机构转动连接在所述框体结构的侧壁上。

在本申请的一个实施例中，所述翻转机构包括：两个连接结构、第一驱动装置；其中，所述两个连接结构分别转动连接在所述框体结构相对的两个侧壁上，且所述两个连接结构的转轴呈同轴线分布；所述第一套夹持机构和所述第二套夹持机构位于所述两个连接结构之间，且均设置在所述两个连接结构上；所述第一驱动装置用于驱动所述两个连接结构相对所述框体结构转动。

在本申请的一个实施例中，所述两个连接结构的转轴位于所述第一套夹持机构所夹持的晶圆、和所述第二套夹持机构所夹持的晶圆之间。

在本申请的一个实施例中，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构中的每套夹持机构包括：设置在两个所述连接结构上的至少四个夹臂对；其中，每套夹持机构在每个连接结构上均设置有至少两个所述夹臂对，每个夹臂对中的一个夹臂为固定夹臂，另一个夹臂为活动夹臂。

在本申请的一个实施例中，每个所述固定夹臂固定连接在对应连接结构上。

在本申请的一个实施例中，所述第一套夹持机构中的所述活动夹臂固定连接在第一滑动结构上，且所述第一滑动结构滑动连接在所述连接结构上；所述第二套夹持机构中的所述活动夹臂固定连接在第二滑动结构上，所述第二滑动结构滑动连接在所述连接结构上，且所述第一滑动结构和第二滑动结构相对所述连接结构的滑动方向相同。

在本申请的一个实施例中，所述晶圆翻转装置还包括：两个第二驱动装置，与所述第一滑动结构和第二滑动结构分别对应；每个第二驱动装置用于驱动对应的所述滑动结构在所述连接结构上滑动，以使对应的活动夹臂靠近或远离同一夹臂对中的固定夹臂。

在本申请的一个实施例中，同一套夹持机构中的所有夹臂在同一高度处环形分布，且所述第一套夹持机构中所有夹臂围成的环形，与所述第二套夹持机构中所有夹臂围成的环形层叠；其中，每个夹臂对中的两个夹臂用于夹持晶圆的边缘，且每个夹臂对中位于所述晶圆下方的夹臂能够支撑所述晶圆。

根据本申请实施例提供的晶圆翻转装置，通过在一套翻转机构上设置两套用于夹持晶圆的夹持机构，两套夹持机构之间层叠设置，且翻转机构在第一状态和第二状态之间转动时，能够带动第一套夹持机构和第二套夹持机构所夹持的晶圆同时翻转。在应用时，可以将两片晶圆放置到本申请实施例示出的晶圆翻转装置中提前进行翻转，从而不同工艺或同一工艺之间的晶圆加工设备直接从晶圆翻转装置中取出已经完成翻转的晶圆即可，无需等待晶圆的翻转，从而减少晶圆加工设备等待晶圆翻转的时间，提高晶圆加工设备的利用率及加工效率，提高产线产能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例提供的晶圆翻转装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的晶圆翻转装置的剖视结构示意图；

图3为本实用新型一实施例提供的晶圆翻转装置的局部剖视结构示意图；

图4为本实用新型一实施例提供的夹臂对中位于晶圆下方的夹臂对晶圆进行支撑的局部结构示意图；

图5为本实用新型一实施例提供的第一套夹持机构翻转前的局部结构示意图；

图6为本实用新型一实施例提供的第一套夹持机构翻转后的局部结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的晶圆翻转装置应用过程中的流程框图。

附图标记：

10-支撑结构21-连接结构22-第一驱动装置

23-转轴31-第一套夹持机构311-第一滑动结构

32-第二套夹持机构321-第二滑动结构33-固定夹臂

34-活动夹臂35-第二驱动装置40-晶圆

具体实施方式

为了使得本实用新型的目的、技术方案和优点更为明显，下面将参照附图详细描述根据本实用新型的示例实施例。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是本实用新型的全部实施例，应理解，本实用新型不受这里描述的示例实施例的限制。基于本实用新型中描述的本实用新型实施例，本领域技术人员在没有付出创造性劳动的情况下所得到的所有其它实施例都应落入本实用新型的保护范围之内。

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

应当理解的是，本实用新型能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本实用新型的范围完全地传递给本领域技术人员。

为了彻底理解本实用新型，将在下列的描述中提出详细的结构，以便阐释本实用新型提出的技术方案。本实用新型的可选实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本实用新型还可以具有其他实施方式。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

本申请实施例提供了一种晶圆翻转装置，参考图1、图2及图3，该晶圆翻转装置包括：支撑结构10、翻转机构、第一套夹持机构31和第二套夹持机构32；其中，翻转机构转动连接在支撑结构10上，翻转机构用于在第一状态和第二状态之间转动；第一套夹持机构31和第二套夹持机构32层叠设置，每套夹持机构用于夹持一个晶圆40；翻转机构在第一状态和第二状态之间转动时，能够带动第一套夹持机构31和第二套夹持机构32所夹持的晶圆40翻转。

在上述的方案中，通过在一套翻转机构上设置两套用于夹持晶圆40的夹持机构，两套夹持机构之间层叠设置，且翻转机构在第一状态和第二状态之间转动时，能够带动第一套夹持机构31和第二套夹持机构32所夹持的晶圆40同时翻转。在应用时，可以将两片晶圆40放置到本申请实施例示出的晶圆翻转装置中提前进行翻转，从而不同工艺或同一工艺之间的晶圆加工设备直接从晶圆翻转装置中取出已经完成翻转的晶圆40即可，无需等待晶圆40的翻转，从而减少晶圆加工设备等待晶圆40翻转的时间，提高晶圆加工设备的利用率及加工效率，提高产线产能。下面结合附图对上述各个结构进行详细的介绍。

在设置支撑结构10时，作为支撑夹持机构和翻转机构的载体，可以采用诸如但不限于框体结构、台体结构等做完支撑结构10。支撑结构10的材料可以为诸如但不限于金属材料、塑料材料等。如图1示例性的示出一种结构，采用框体结构作为支撑结构10，框体结构包含四个壁板，围成一个框体结构。

在设置翻转机构时，参考图1及图2，翻转机构转动连接在支撑结构10上，翻转机构用于在第一状态和第二状态之间转动，从而带动两套夹持机构所夹持的晶圆40进行翻转。其中的第一状态和第二状态可以均为使两套夹持机构分别夹持的晶圆40处于水平状态时翻转机构所处的状态。具体的，第一状态可以为夹持机构夹持的晶圆40处于翻转前且水平放置的状态，第二状态可以为夹持机构夹持的晶圆40处于翻转后且水平放置的状态。翻转机构在从第一状态转动到第二状态或从第二状态转到第一状态的过程中，能够带动每套夹持机构所夹持的晶圆40翻转180°，从而实现晶圆40正面朝上或背面朝上的翻转。

在转动连接翻转机构和支撑结构10时，可以采用多种方式实现。示例性的，参考图2及图3，翻转机构可以通过转轴23转动连接在支撑结构10上。示例性的，在支撑结构10为框体结构时，翻转机构可以通过两个转轴23转动连接在框体结构的两个侧壁上，且该两个转轴23同轴分布，从而提高翻转机构与支撑结构10转动连接的稳定可靠性。

在设置两套夹持机构时，参考图1、图2及图3，第一套夹持机构31和第二套夹持机构32分别用于夹持一个晶圆40。具体实现时，可以采用多种方式实现。示例性的，第一套夹持机构31和第二套夹持机构32中的每套夹持机构用于夹持晶圆40的边缘位置，以防止夹持机构对晶圆40的中心微电路结构区域造成损伤。且第一套夹持机构31和第二套夹持机构32之间层叠设置，从而使两套夹持机构所夹持的晶圆40相互之间层叠分布，从而在翻转机构转动到第一状态或第二状态时，每套夹持机构所夹持的晶圆40均处于水平状态，提高翻转机构位于稳态时对晶圆40进行支撑的稳定可靠性。

在将两套夹持机构设置在翻转机构上时，可以采用多种方式实现。示例性的，在支撑结构10为框体结构时，参考图1、图2及图3，第一套夹持机构31和第二套夹持机构32可以均设置在框体结构内，此时，翻转机构转动连接在框体结构的侧壁上，两套夹持机构中的至少部分结构与翻转机构固定连接，从而在翻转机构相对框体结构转动时，能够带动两套夹持转动，从而实现对每套夹持机构所夹持晶圆40的翻转。

示例性的，参考图1、图2及图3，翻转机构可以包括：两个连接结构21，两个连接结构21分别转动连接在框体结构相对的两个侧壁上，且两个连接结构21的转轴23呈同轴线分布，从而使翻转机构相对框体结构同轴翻转。当然，在更优的实施方式中，两个连接结构21之间可以通过上下两个横梁分别连接，从而提高翻转机构的稳定可靠性。此时，可以将第一套夹持机构31和第二套夹持机构32设置在两个连接结构21之间，且均设置在两个连接结构21上，从而两个连接结构21相对框体结构转动时，能够带动两套夹持机构转动，从而实现对每套夹持机构所夹持晶圆40的翻转。

在更优的实施方式中，参考图1及图2，该翻转机构还可以包含第一驱动装置22，第一驱动装置22用于驱动两个连接结构21相对框体结构转动，从而提高自动化程度。在设置第一驱动装置22时，第一驱动装置22可以采用诸如但不限于驱动电机，驱动电机的输出轴与翻转机构上的转轴23之间固定连接，从而能够带动转轴23和两个连接结构21相对框体结构转动。且驱动电机还具有锁定功能，在驱动电机将翻转机构转动到第一状态或第二状态时，在停止驱动时，可以利用驱动电机自带的锁定功能，防止翻转机构在外力干扰作用下翻转，从而对晶圆40造成损坏。示例性的，驱动电机和连接结构21的转轴23之间可以增加一个减速器，提高驱动扭矩，同时降低转动速度，提高转动的稳定性。

在实现两套夹持机构之间的层叠设置时，在更优的实施方式中，参考图1、图2及图3，可以使两个连接结构21的转轴23位于第一套夹持机构31所夹持的晶圆40、和第二套夹持机构32所夹持的晶圆40之间。即两套夹持机构中的一套夹持机构设置在连接结构21的转轴23上方一侧，另一套夹持机构设置在连接结构21的转轴23下方一侧，从而在两套转动机构在被连接结构21带动转动时，能够减少两套夹持机构所夹持晶圆40扫过的区域空间大小，从而能够节省晶圆40翻转所需的空间，减小框体结构的大小尺寸。在更优的实施方式中，可以使两个连接结构21的转轴23距离第一套夹持机构31所夹持的晶圆40、和第二套夹持机构32所夹持的晶圆40之间的间距相等，即两套夹持机构沿转轴23所在的平面对称分布，从而能够进一步的减小两套夹持机构在翻转时扫过的区域空间尺寸，进一步节省晶圆40翻转所需的空间，减小框体结构的大小尺寸。

示例性的，在翻转晶圆40过程中，参考图1、图2及图3，可以使翻转机构的转轴23延伸线始终与晶圆40的表面相对，并将晶圆40表面分割为对称的第一区域和第二区域。在晶圆40的转动过程中，晶圆40始终与翻转机构的转轴23延伸线之间位置相对，且翻转机构的转轴23延伸线在晶圆40表面的垂直投影线能够始终将晶圆40表面分割为对称的第一区域和第二区域，即翻转机构的转轴23延伸线始终与晶圆40的其中一个直径位置相对，且等间距分布。从而能够进一步的减小两套夹持机构在翻转时扫过的区域空间尺寸，进一步节省晶圆40翻转所需的空间，减小框体结构的大小尺寸。且采用该设置方式，可以根据晶圆40的直径、以及两套夹持机构所夹持晶圆40的间距即可确定框体结构的大小尺寸，防止晶圆40在转动过程中触碰到框体结构，导致晶圆40被破坏。

在设置两套夹持机构中的每套夹持机构时，可以采用任意类型的夹持机构。参考图1、图2及图3，每套夹持机构可以通过夹晶圆40边缘位置对晶圆40进行夹持，具体实现时，可以通过夹臂对的方式实现对晶圆40边缘位置处的夹持。

示例性的，参考图1、图2及图3，第一套夹持机构31和第二套夹持机构32中的每套夹持机构可以包括：设置在两个连接结构21上的至少四个夹臂对，其中，每套夹持机构在每个连接结构21上可以均设置有至少两个夹臂对，从而使每套夹持机构在两个连接结构21上设置的夹臂对的数量尽量相同或相差不大，提高对晶圆40夹持的稳定性。示例性的，每套夹持机构中可以包含有六个夹臂对，每套夹持机构可以在每个连接结构21上设置三个夹臂对。

由于存在两套夹持机构和两个连接结构21，所以在一些实施例中，可以使两套夹持机构中夹臂对的个数相等，每个连接结构21上设置的夹臂对的个数与一套夹持结构中夹臂对的个数相等。例如，在两套夹持机构的每套夹持机构中可以包含有四个夹臂对，每套夹持机构可以在每个连接结构21上设置两个夹臂对，从而使每个连接结构21上设置有四个夹臂对。

在设置每个夹臂对时，参考图3、图4、图5及图6，每个夹臂对中包含有两个夹臂，其中一个夹臂夹持在晶圆40的上表面，另一个夹臂夹持在晶圆40的下表面，从而实现对晶圆40边缘的夹持。每个夹臂的材料可以采用诸如但不限于橡胶、塑料等的柔性材料，防止对晶圆40表面造成损伤。

示例性的，参考图3、图4、图5及图6，每个夹臂对中的一个夹臂可以为固定夹臂33，另一个夹臂可以为活动夹臂34。其中，固定夹臂33在夹持晶圆40过程中，相对晶圆40不发生移动。示例性的，每个固定夹臂33可以固定连接在对应连接结构21上，即每个固定夹臂33由于固定连接在对应的连接结构21上，从而在夹持或松开对晶圆40的夹持过程中，固定夹臂33都是静止不动的。而在连接结构21转动时，能够通过固定夹臂33带动晶圆40转动。活动夹臂34指的是在对晶圆40进行夹持或松开夹持的过程中，需要有至少一个夹臂能够上下活动，从而才能够实现对晶圆40的夹持或松开夹持，而活动夹臂34就是在晶圆40夹持或松开夹持过程中能够活动的夹臂。

在设置活动夹臂34时，可以采用多种方式。示例性的，参考图1、图2、图3、图5及图6，可以使第一套夹持机构31中的活动夹臂34固定连接在第一滑动结构311上，且第一滑动结构311滑动连接在连接结构21上。第二套夹持机构32中的活动夹臂34固定连接在第二滑动结构321上，第二滑动结构321滑动连接在连接结构21上，且第一滑动结构311和第二滑动结构321相对连接结构21的滑动方向相同。即两套夹持机构中每套夹持机构的活动夹臂34均固定在一个滑动结构上，而该滑动结构能够相对连接结构21滑动。从而在对晶圆40进行夹持时，可以通过带动对应的滑动结构相对连接结构21滑动，以使同一夹臂对中的活动夹臂34靠近固定夹臂33，从而实现对晶圆40的夹持。在对晶圆40松开夹持时，可以通过带动对应的滑动结构相对连接结构21滑动，以使同一夹臂对中的活动夹臂34向远离固定夹臂33方向滑动，实现对晶圆40的松开夹持。

如图4所示出的是固定夹臂33对晶圆40进行支撑，而活动夹臂34远离固定夹臂33之后的状态，在此状态下，可以将晶圆40从晶圆翻转装置中取出，或者在有夹持机构没有夹持晶圆40时，可以向晶圆翻转装置的夹持机构中放置晶圆40。如图5所示出的是活动夹臂34向靠近固定夹臂33方向移动以夹持晶圆40之后的状态，此时的翻转机构处于第一状态，固定夹臂33位于下侧，活动夹臂34位于上侧。图6示出的是在图5的基础上，翻转机构从第一状态转动到第二状态之后第一套夹持机构31夹持晶圆40的状态，可以看出此时固定夹臂33位于上侧，而活动夹臂34位于下侧，正好与图5的相反，说明晶圆40及第一套夹持机构31被翻转了180°。

示例性的，参考图2及图3，晶圆翻转装置还可以包括：两个第二驱动装置35，与第一滑动结构311和第二滑动结构321分别对应。每个第二驱动装置35用于驱动对应的滑动结构在连接结构21上滑动，以使对应的活动夹臂34靠近或远离同一夹臂对中的固定夹臂33，以提高晶圆翻转装置的自动化程度。在设置每个第二驱动装置35时，每个驱动装置可以包含气缸，通过气缸的伸缩杆带动对应的滑动结构在连接结构21上滑动。同时还利用气缸的限位功能，在夹持晶圆40之后，可以保持当前的夹持状态不动，之后由翻转机构带动晶圆40翻转，实现对晶圆40的翻转。当然，需要注意的是，第二驱动装置35的设置方式除了上述示出的气缸方式之外，还可以采用其他的方式，例如，还可以采用具有传动机构的直线电机等。

示例性的，每套夹持机构中的所有夹臂可以在同一高度处环形分布，以将晶圆40夹持在所有的夹臂之间，实现对晶圆40稳定可靠的夹持。在一些实施例中，还可以使第一套夹持机构31中所有夹臂围成的环形，与第二套夹持机构32中所有夹臂围成的环形层叠，从而实现上下两套夹持机构的层叠设置。其中，每个夹臂对中的两个夹臂用于夹持晶圆40的边缘，且每个夹臂对中位于晶圆40下方的夹臂能够支撑晶圆40，从而在翻转机构翻转到第一状态或第二状态时，能够对晶圆40进行稳定可靠的支撑。

另外，需要注意的是，上述仅示例性的示出设置每套夹持机构的一种方式，除此之外，还可以采用其他的方式。且上述仅示例性的示出设置夹臂对的一种方式，除此之外，还可以采用其他的设置方式。例如，每个夹臂对中的两个夹臂可以均为活动夹臂34。

在应用时，参考图7，晶圆盒中的所有晶圆40均为正面朝上，之后通过机械手臂从晶圆盒中取出晶圆40，并放置到晶圆翻转装置中，此时的晶圆40仍然是正面朝上。在经过晶圆翻转装置的翻转之后，晶圆40的正面朝下，之后将翻转后的晶圆40放置到加工腔中进行加工。加工之后，机械手臂从加工腔中取出晶圆40，并仍然是正面朝下的方式放置到晶圆翻转装置中，经过晶圆翻转装置的翻转之后，晶圆40重新恢复到正面朝上，之后通过机械手臂从晶圆翻转装置中取出翻转后的晶圆40并放置到晶圆盒中即可。在上述的过程中，晶圆翻转装置可以作为晶圆盒和加工腔之间的缓存装置，起到临时翻转转用的作用。

示例性的，在将上述任意一种的晶圆翻转装置应用到晶圆加工设备时，该晶圆加工设备上可以设置有机械手臂，该机械手臂用于将晶圆40放置在第一套夹持机构31或第二套夹持机构32上，或从第一套夹持机构31或第二套夹持机构32上拿取晶圆40。该晶圆加工设备具体可以为诸如但不限于晶圆淀积设备、晶圆刻蚀设备或晶圆清洗设备等。其中的晶圆翻转装置可以设置在靠近机械手臂的位置，从而便于机械手臂拿取或放置晶圆40。

在上述示出的各种实施方式中，通过在一套翻转机构上设置两套用于夹持晶圆40的夹持机构，两套夹持机构之间层叠设置，且翻转机构在第一状态和第二状态之间转动时，能够带动第一套夹持机构31和第二套夹持机构32所夹持的晶圆40同时翻转。在应用时，可以将两片晶圆40放置到本申请实施例示出的晶圆翻转装置中提前进行翻转，从而不同工艺或同一工艺之间的晶圆加工设备直接从晶圆翻转装置中取出已经完成翻转的晶圆40即可，无需等待晶圆40的翻转，从而减少晶圆加工设备等待晶圆40翻转的时间，提高晶圆加工设备的利用率及加工效率，提高产线产能。

本实用新型已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本实用新型限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本实用新型并不局限于上述实施例，根据本实用新型的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本实用新型所要求保护的范围以内。本实用新型的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。

Claims (10)

1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：

支撑结构；

翻转机构，转动连接在所述支撑结构上，用于在第一状态和第二状态之间转动；

第一套夹持机构和第二套夹持机构，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构层叠设置，每套夹持机构用于夹持一个晶圆；

其中，所述翻转机构在所述第一状态和所述第二状态之间转动时，能够带动所述第一套夹持机构和第二套夹持机构所夹持的晶圆翻转。

2.如权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构用于夹持晶圆的边缘位置。

3.如权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述支撑结构包括框体结构，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构均设置在所述框体结构内，所述翻转机构转动连接在所述框体结构的侧壁上。

4.如权利要求3所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述翻转机构包括：

两个连接结构，分别转动连接在所述框体结构相对的两个侧壁上，且所述两个连接结构的转轴呈同轴线分布；所述第一套夹持机构和所述第二套夹持机构位于所述两个连接结构之间，且均设置在所述两个连接结构上；

第一驱动装置，用于驱动所述两个连接结构相对所述框体结构转动。

5.如权利要求4所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述两个连接结构的转轴位于所述第一套夹持机构所夹持的晶圆、和所述第二套夹持机构所夹持的晶圆之间。

6.如权利要求4所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述第一套夹持机构和第二套夹持机构中的每套夹持机构包括：设置在两个所述连接结构上的至少四个夹臂对；

其中，每套夹持机构在每个连接结构上均设置有至少两个所述夹臂对，每个夹臂对中的一个夹臂为固定夹臂，另一个夹臂为活动夹臂。

7.如权利要求6所述的晶圆翻转装置，其特征在于，每个所述固定夹臂固定连接在对应连接结构上。

8.如权利要求6所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述第一套夹持机构中的所述活动夹臂固定连接在第一滑动结构上，且所述第一滑动结构滑动连接在所述连接结构上；

所述第二套夹持机构中的所述活动夹臂固定连接在第二滑动结构上，所述第二滑动结构滑动连接在所述连接结构上，且所述第一滑动结构和第二滑动结构相对所述连接结构的滑动方向相同。

9.如权利要求8所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述晶圆翻转装置还包括：两个第二驱动装置，与所述第一滑动结构和第二滑动结构分别对应；每个第二驱动装置用于驱动对应的所述滑动结构在所述连接结构上滑动，以使对应的活动夹臂靠近或远离同一夹臂对中的固定夹臂。

10.如权利要求6-8中任一项所述的晶圆翻转装置，其特征在于，

同一套夹持机构中的所有夹臂在同一高度处环形分布，且所述第一套夹持机构中所有夹臂围成的环形，与所述第二套夹持机构中所有夹臂围成的环形层叠；

其中，每个夹臂对中的两个夹臂用于夹持晶圆的边缘，且每个夹臂对中位于所述晶圆下方的夹臂能够支撑所述晶圆。