CN221134492U - 一种红外传感器光刻装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种红外传感器光刻装置，属于光刻技术领域，包括安装了红外传感器的可移动的光刻头以及固定装置，所述固定装置包括可升降的移动板、安装板以及中心对称设置的N个压板，且所述安装板和移动板上分别开设有N个呈放射状分布的第一滑槽和第二滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有滑杆，且所述滑杆通过第二滑槽贯穿移动板并与压板固定连接，本实用新型设置了固定装置，可以通过固定装置来固定不同大小的、不同厚度的物料，而且可以将不同大小厚度的物料的加工面始终放置在同一水平面，在固定了物料的同时，也保证了激光定位的准确性。
Description
技术领域
本实用新型属于光刻技术领域，具体涉及一种红外传感器光刻装置。
背景技术
安装了红外传感器的光刻装置是一种激光加工的仪器，首先通过红外传感器进行定位，再通过光刻头对物体进行激光雕刻，是一种精度较高的加工方式，目前的光刻装置在加工物料时，常常不对物料进行固定，虽然光刻过程中所产生的物料震动较小，但小幅度的震动也会使得物料产生轻微的移动，或者上下晃动，导致光刻过程中产生毛边或者光刻位置偏离等情况，对于光刻这种精密度要求高的设备来说，会影响到物料光刻后的效果，另外，在激光对物料进行雕刻时，会产生一些物料高温灼烧产生的气体，部分气体会对操作人员的身体造成损坏，影响身体健康。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种红外传感器光刻装置，以解决现有的光刻物料固定和光刻产生有害气体的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种红外传感器光刻装置，包括安装了红外传感器的可移动的光刻头以及固定装置，所述固定装置包括可升降的移动板、安装板以及中心对称设置的N个压板，且所述安装板和移动板上分别开设有N个呈放射状分布的第一滑槽和第二滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有滑杆，且所述滑杆通过第二滑槽贯穿移动板并与压板固定连接。
优选的，所述安装板的顶部转动连接有转盘，且转盘上开设有N个弧形滑槽，N个所述滑杆分别与N个弧形滑槽滑动连接。
一种红外传感器光刻装置，还包括箱体、空气净化装置以及固定连接在箱体内部的工作台，所述安装板固定连接在工作台上。
优选的，所述工作台的内部固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的活动端贯穿安装板和转盘并与移动板的底部固定连接。
优选的，所述第一电动推杆上套设有圆筒套和第一齿轮，且圆筒套的顶部与转盘的底部固定连接，所述圆筒套的底部与第一齿轮固定连接。
优选的，所述工作台的内部固定连接有电机，且电机的输出端固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合。
优选的，所述工作台上安装有直线电机导轨，且直线电机导轨内滑动连接有直线电机滑块，所述直线电机滑块的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的顶部一侧固定连接有第二电动推杆，且第二电动推杆的活动端与光刻头固定连接。
优选的，所述空气净化装置包括循环管道，以及通过循环管道依次连接的空气过滤器、抽风机，所述循环管道的进气口和出气口均固定连接在箱体上并与箱体的内部相连通。
本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：
(1)本实用新型设置了固定装置，可以通过固定装置来固定不同大小的、不同厚度的物料，而且可以将不同大小厚度的物料的加工面始终放置在同一水平面，在固定了物料的同时，也保证了激光定位的准确性。
(2)本实用新型设置了空气净化装置，使得在光刻加工过程中所产生的有害气体，可以通过空气净化装置过滤掉有害气体，防止有害气体排出到空气之中，保护环境的同时也保护了操作人员的身体健康。
附图说明
图1为本实用新型的剖视图；
图2为本实用新型的固定装置的结构示意图；
图3为本实用新型的图1中A处放大图；
图4为本实用新型转盘的仰视图；
图中：1、箱体；2、工作台；3、直线电机导轨；4、直线电机滑块；5、第二电动推杆；6、光刻头；7、循环管道；8、抽风机；9、空气过滤器；10、第一电动推杆；11、安装板；12、第一滑槽；13、转盘；14、第二齿轮；15、第一齿轮；16、弧形滑槽；17、滑杆；18、压板；19、移动板；20、第二滑槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4所示，本实用新型提供如下技术方案：一种红外传感器光刻装置，包括箱体1、空气净化装置、可移动的安装了红外传感器的光刻头6以及固定连接在箱体1内部的工作台2，工作台2上安装有固定装置。
通过上述结构，在具体执行物料的光刻时，将箱体1打开，把需要光刻加工的物料通过固定装置固定在工作台2上，关闭箱体1，并打开空气净化装置，再打开光刻头6，通过红外传感器探测距离感应位置，对物料进行光刻，加工结束，关闭光刻头6和空气净化装置，再打开箱体1和固定装置并取下加工完成的物料。
请参阅图1，工作台2上安装有直线电机导轨3，且直线电机导轨3内滑动连接有直线电机滑块4，直线电机滑块4的顶部固定连接有固定杆，固定杆的顶部一侧固定连接有第二电动推杆5，且第二电动推杆5的活动端与光刻头6固定连接。通过直线电机滑块4在直线电机导轨3上滑动配合第二电动推杆5，使得光刻头6可以移动到固定装置上方的任意位置，从而实现对物料任意位置的加工。
请参阅图1-图4所示，固定装置包括固定连接在工作台2上的安装板11、可升降的移动板19以及中心对称设置的N个压板18，且安装板11和移动板19上分别开设有N个呈放射状分布的第一滑槽12和第二滑槽20，第一滑槽12的内部滑动连接有滑杆17，且滑杆17通过第二滑槽20贯穿移动板19并与压板18固定连接，安装板11的顶部转动连接有转盘13，且转盘13上开设有N个弧形滑槽16，N个滑杆17分别与N个弧形滑槽16滑动连接，工作台2的内部固定连接有第一电动推杆10和电机，第一电动推杆10的活动端贯穿安装板11和转盘13并与移动板19的底部固定连接，且第一电动推杆10上套设有圆筒套和第一齿轮15，圆筒套的顶部与转盘13的底部固定连接，且圆筒套的底部与第一齿轮15固定连接，电机的输出端固定连接有第二齿轮14，且第二齿轮14与第一齿轮15相啮合。
通过上述结构，在具体执行物料的固定时，首先将物料放置到移动板19的顶部，启动电机带动第二齿轮14旋转，第二齿轮14再带动第一齿轮15旋转，进而带动转盘13旋转，因为滑杆17滑动连接在第一滑槽12和弧形滑槽16的内部，因为转盘13的转动，所以弧形滑槽16也开始旋转，带动滑杆17在第一滑槽12的内部进行移动，当N个滑杆17均抵住物料边缘后，启动第一电动推杆10将移动板19上升，并且使得移动板19和压板18共同挤压夹紧物料，从而实现对不同大小、不同厚度的物料进行固定，取下物料时，启动第一电动推杆10下降，再启动电机反向转动，同理滑杆17滑动，并退出对物料边缘的固定，从而可以取下物料。
请参阅图1，空气净化装置包括循环管道7，以及通过循环管道7依次连接的空气过滤器9、抽风机8，循环管道7的进气口和出气口均固定连接在箱体1上并与箱体1的内部相连通。
通过上述结构，在具体执行光刻空气净化时，在进行光刻的过程中，通过抽风机8对物料上方的空气进行抽取，有害气体沿着循环管道7通过空气过滤器9，进行有害物质的过滤吸附，从循环管道7再排入箱体1的内部，加工过程中不断地循环，吸附加工过程中不断产生的有害气体。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种红外传感器光刻装置，其特征在于：包括安装了红外传感器的可移动的光刻头(6)以及固定装置，所述固定装置包括可升降的移动板(19)、安装板(11)以及中心对称设置的N个压板(18)，且所述安装板(11)和移动板(19)上分别开设有N个呈放射状分布的第一滑槽(12)和第二滑槽(20)，所述第一滑槽(12)的内部滑动连接有滑杆(17)，且所述滑杆(17)通过第二滑槽(20)贯穿移动板(19)并与压板(18)固定连接。
2.根据权利要求1所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：所述安装板(11)的顶部转动连接有转盘(13)，且转盘(13)上开设有N个弧形滑槽(16)，N个所述滑杆(17)分别与N个弧形滑槽(16)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：还包括箱体(1)、空气净化装置以及固定连接在箱体(1)内部的工作台(2)，所述安装板(11)固定连接在工作台(2)上。
4.根据权利要求3所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：所述工作台(2)的内部固定连接有第一电动推杆(10)，所述第一电动推杆(10)的活动端贯穿安装板(11)和转盘(13)并与移动板(19)的底部固定连接。
5.根据权利要求4所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：所述第一电动推杆(10)上套设有圆筒套和第一齿轮(15)，且圆筒套的顶部与转盘(13)的底部固定连接，所述圆筒套的底部与第一齿轮(15)固定连接。
6.根据权利要求5所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：所述工作台(2)的内部固定连接有电机，且电机的输出端固定连接有第二齿轮(14)，所述第二齿轮(14)与第一齿轮(15)相啮合。
7.根据权利要求3所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：所述工作台(2)上安装有直线电机导轨(3)，且直线电机导轨(3)内滑动连接有直线电机滑块(4)，所述直线电机滑块(4)的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的顶部一侧固定连接有第二电动推杆(5)，且第二电动推杆(5)的活动端与光刻头(6)固定连接。
8.根据权利要求3所述的红外传感器光刻装置，其特征在于：所述空气净化装置包括循环管道(7)，以及通过循环管道(7)依次连接的空气过滤器(9)、抽风机(8)，所述循环管道(7)的进气口和出气口均固定连接在箱体(1)上并与箱体(1)的内部相连通。
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