CN221056521U - 一种用于晶圆测试的夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种用于晶圆测试的夹具，涉及晶圆测试技术领域。本实用新型中多个连接杆沿盖板的周向间隔开布置，且贯穿热沉和PCB板，连接杆的顶部与盖板连接，连接杆的底部设有位于贯穿孔内的装配件。多个卡接组件与热沉连接，卡接组件具有位于热沉的贯穿孔内的至少一个卡勾。连接杆设置成在受力下转动至装配件与卡勾卡接时与卡接组件连接，从而将热沉、PCB板和盖板连接，在转动至装配件与卡勾分离时与卡接组件脱离，从而允许热沉与PCB板分离。上述技术方案通过卡接组件与连接杆的配合，不仅能够实现热沉、PCB板和盖板的连接，并且两者的连接点位于热沉的贯穿孔内，不会暴露在外面，所以不会影响夹具的美观性，并且能够使得夹具平稳放置。

Description

一种用于晶圆测试的夹具

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试技术领域，特别是涉及一种用于晶圆测试的夹具。

背景技术

现有技术中，晶圆测试装置中需要通过连接部件将热沉、PCB板和夹具连接，一般情况下，将热沉、PCB板和夹具连接之后连接部件会暴露在外面，不仅会影响晶圆测试装置的美观性，还会导致夹具不能平稳放置，影响夹具放置的稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的是要提供一种用于晶圆测试的夹具，解决现有技术中夹具放置不稳的技术问题。

根据本实用新型的目的，本实用新型提供了一种用于晶圆测试的夹具，包括：

由下至上依次布置的热沉、PCB板和盖板，所述热沉与所述PCB板之间限定有用于放置晶圆的密封腔，所述热沉具有贯穿孔；

多个连接杆，沿所述盖板的周向间隔开布置，且贯穿所述热沉和所述PCB板，所述连接杆的顶部与所述盖板连接，所述连接杆的底部设有位于所述贯穿孔内的装配件；

多个卡接组件，与所述热沉连接，每个所述卡接组件与一个所述连接杆对应布置，所述卡接组件具有位于所述贯穿孔内的至少一个卡勾；

所述连接杆设置成在在受力下转动至所述装配件与所述卡勾卡接时与所述卡接组件连接，从而将所述热沉、所述PCB板和所述盖板连接，在转动至所述装配件与所述卡勾分离时与所述卡接组件脱离，从而允许所述热沉与所述PCB板分离。

可选地，所述装配件的顶部设有至少一个凸台，每个所述凸台与一个所述卡勾对应布置，所述装配件设置成在所述连接杆转动至所述凸台的上表面与所述卡勾抵接时与所述卡勾连接。

可选地，所述凸台的上表面呈一斜面。

可选地，所述卡接组件具有沿第一方向相对布置的两个卡勾，所述装配件位于两个所述卡勾之间，且具有两个相对布置的所述凸台，所述连接杆设置成转动至所述装配件的两个所述凸台沿所述第一方向布置时与对应的所述卡勾卡接，转动至所述装配件的两个所述凸台沿垂直于所述第一方向布置时与对应的所述卡勾分离。

可选地，两个所述凸台分别设置在所述连接杆的相对的两侧，两个所述凸台的斜面的倾斜方向相反。

可选地，所述连接杆的顶部设有螺栓孔，以通过扳手***所述螺栓孔中转动所述连接杆。

可选地，所述装配件套设在所述连接杆上，所述连接杆的底部设有至少一个第一安装孔，所述装配件上设有至少一个与所述第一安装孔配合的第二安装孔，以通过螺栓穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔将所述连接杆和所述装配件连接。

可选地，所述第一安装孔和所述第二安装孔的数量均为两个，两个所述第一安装孔沿所述连接杆的延伸方向间隔开布置。

可选地，所述卡接组件还包括：

安装板，所述卡勾由所述安装板朝向上方延伸形成。

可选地，所述安装板上设有至少一个第三安装孔，所述热沉上设有至少一个与所述第三安装孔配合的第四安装孔，以通过螺栓穿过所述第三安装孔和所述第四安装孔将所述卡接组件与所述热沉连接。

本实用新型中多个连接杆沿盖板的周向间隔开布置，且贯穿热沉和PCB板，连接杆的顶部与盖板连接，连接杆的底部设有位于贯穿孔内的装配件。多个卡接组件与热沉连接，每个卡接组件与一个连接杆对应布置，卡接组件具有位于热沉的贯穿孔内的至少一个卡勾。连接杆设置成在受力下转动至装配件与卡勾卡接时与卡接组件连接，从而将热沉、PCB板和盖板连接，在转动至装配件与卡勾分离时与卡接组件脱离，从而允许热沉与PCB板分离。上述技术方案通过卡接组件与连接杆的配合，不仅能够实现热沉、PCB板和盖板的连接，并且两者的连接点位于热沉的贯穿孔内，不会暴露在外面，所以不会影响夹具的美观性，并且能够使得夹具平稳放置。

进一步地，本实用新型中装配件的顶部设有至少一个凸台，每个凸台与一个卡勾对应布置，装配件设置成在连接杆转动至凸台的上表面与卡勾抵接时与卡勾连接。凸台的上表面呈一斜面，从而可以在连接杆的转动过程中沿着斜面逐渐转动至与卡接组件的卡勾卡接的位置处，有一个缓冲的过程，便于操作。

根据下文结合附图对本实用新型具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的用于晶圆测试的夹具的示意性结构图；

图2是图1所示夹具的示意性剖视图；

图3是图2中A处的示意性放大图；

图4是图1所示夹具中连接杆与卡接组件的示意性连接图；

图5是图1所示夹具中装配件的示意性结构图；

图6是图1所示夹具中卡接组件的示意性结构图。

附图标记：

100-用于晶圆测试的夹具，10-PCB板，20-盖板，40-热沉，31-连接杆，32-装配件，33-卡接组件，311-螺栓孔，331-卡勾，332-安装板，333-第三安装孔，321-第二安装孔，322-凸台，323-斜面，

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征，也即包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。当某个特征“包括或者包含”某个或某些其涵盖的特征时，除非另外特别地描述，这指示不排除其它特征和可以进一步包括其它特征。

除非另有明确的规定和限定，术语“连接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。本领域的普通技术人员，应该可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有限定，本实施例的描述中所使用的全部术语(包含技术术语与科学术语)具有与本申请所属的技术领域的普通技术人员所通常理解的相同含义。

图1是根据本实用新型一个实施例的用于晶圆测试的夹具100的示意性结构图，图2是图1所示夹具100的示意性剖视图，图3是图2中A处的示意性放大图，图4是图1所示夹具100中连接杆31与卡接组件33的示意性连接图，图5是图1所示夹具100中装配件32的示意性结构图，图6是图1所示夹具100中卡接组件33的示意性结构图。如图1至图6所示，在该实施例中，用于晶圆测试的夹具100包括由下至上依次布置的热沉40、PCB板10和盖板20，热沉40与PCB板10之间限定有用于放置晶圆的密封腔，热沉40具有贯穿孔。夹具100还包括多个连接杆31和多个卡接组件33，多个连接杆31沿盖板20的周向间隔开布置，且贯穿热沉40和PCB板10，连接杆31的顶部与盖板20连接，连接杆31的底部设有位于贯穿孔内的装配件32。多个卡接组件33与热沉40连接，每个卡接组件33与一个连接杆31对应布置，卡接组件33具有位于贯穿孔内的至少一个卡勾331。连接杆31设置成在受力下转动至装配件32与卡勾331卡接时与卡接组件33连接，从而将热沉40、PCB板10和盖板20连接，在转动至装配件32与卡勾331分离时与卡接组件33脱离，从而允许热沉40与PCB板10分离。这里，连接杆31可以通过扳手进行转动，卡接组件33的卡勾331由下至上穿进热沉40的贯穿孔内。

该实施例通过卡接组件33与连接杆31的配合，不仅能够实现热沉40、PCB板10和盖板20的连接，并且两者的连接点位于热沉40的贯穿孔内，不会暴露在外面，所以不会影响夹具100的美观性，并且能够使得夹具100平稳放置。

在该实施例中，盖板20和热沉40均呈圆盘状，多个连接杆31沿盖板20的周向间隔开布置，多个卡接组件33沿热沉40的周向间隔开布置，从而可以确保盖板20与PCB板10和热沉40连接的稳定性。在一个优选的实施例中，多个连接杆31沿盖板20的周向等间距布置。

在该实施例中，装配件32的顶部设有至少一个凸台322，每个凸台322与一个卡勾331对应布置，装配件32设置成在连接杆31转动至凸台322的上表面与卡勾331抵接时与卡勾331连接。也就是说，装配件32是跟随连接杆31转动的。在一个优选的实施例中，参见图5，凸台322的上表面呈一斜面323，从而可以在连接杆31的转动过程中沿着斜面323逐渐转动至与卡接组件33的卡勾331卡接的位置处，便于操作。若不设置成斜面323可能会出现装配件32与卡勾331对不准，装配件32进入不了卡勾331内，无法与卡勾331卡接的情况，需要多次调整连接杆31与卡接组件33的相对布置。相当于在装配件32转动的过程中，斜面323的低处首先进入到卡勾331的钩部处，随着继续转动，斜面323的高度越高，直至斜面323与卡勾331抵接，停止转动，实现了连接件与卡接组件33的连接，从而实现了热沉40与PCB板10和盖板20的连接。

在该实施例中，卡接组件33具有沿第一方向相对布置的两个卡勾331，装配件32位于两个卡勾331之间，且具有两个相对布置的凸台322，连接杆31设置成转动至装配件32的两个凸台322沿第一方向布置时与对应的卡勾331卡接，转动至装配件32的两个凸台322沿垂直于第一方向布置时与对应的卡勾331分离。这里，第一方向为图3中的左右方向。也就是说，当装配件32转动至两个凸台322的布置方向与卡接组件33的两个卡勾331的布置方向一致时，装配件32与卡接组件33处于卡接状态，当装配件32转动至两个凸台322的布置方向与卡接组件33的两个卡勾331的布置方向垂直时，装配件32与卡接组件33处于解锁状态，热沉40和卡接组件33可以一起从下方取出。这里，连接杆31在安装完成后，其顶部是不凸出于盖板20的表面的，可以进一步提高美观性。

在该实施例中，装配件32的延伸长度大于两个卡勾331之间的距离，装配件32的宽度小于两个卡勾331之间的距离，从而通过装配件32的转动实现连接杆31与卡接组件33的连接或分离。

在该实施例中，两个凸台322分别设置在连接杆31的相对的两侧，两个凸台322的斜面323的倾斜方向相反，从而可以使得装配件32在沿着一个方向转动时使得两个凸台322能够分别与卡勾331卡接。

在该实施例中，连接杆31的顶部设有螺栓孔311，以通过扳手***螺栓孔311中转动连接杆31。这里，为了确保连接杆31在转动过程中是否与卡接组件33的卡勾331是否卡接或分离，通过转动连接杆31的扭矩值可以进行确认，可以通过有扭力扳手，或者用自动打螺丝机，都有扭力值设定的，设定固定的扭力值就可以实现对连接杆31转动角度的控制。

在该实施例中，装配件32套设在连接杆31上，连接杆31的底部设有至少一个第一安装孔，装配件32上设有至少一个与第一安装孔配合的第二安装孔321，以通过螺栓穿过第一安装孔和第二安装孔321将连接杆31和装配件32连接。

在该实施例中，第一安装孔和第二安装孔321的数量均为两个，两个第一安装孔沿连接杆31的延伸方向间隔开布置。这里，第一安装孔和第二安装孔321的数量可以根据装配件32的高度进行具体设定。在其他实施例中，第一安装孔的第二安装孔321的数量还可以设置成1个或3个等。

在该实施例中，卡接组件33还包括安装板332，卡勾331由安装板332朝向上方延伸形成。

在该实施例中，安装板332上设有至少一个第三安装孔333，热沉40上设有至少一个与第三安装孔333配合的第四安装孔，以通过螺栓穿过第三安装孔333和第四安装孔将卡接组件33与热沉40连接。这里，当连接杆31与卡接组件33分离时，直接将热沉40从底部拆下即可，不需要将卡接组件33与热沉40分离。

在该实施例中，第三安装孔333和第四安装孔的数量均两个，两个第三安装孔333分别布置在两个卡勾331的左右两侧。

该实施例通过连接杆31自身的转动，从而实现与卡接组件33的解锁和锁止，从而实现热沉40、PCB板10和盖板20的解锁和锁止，操作比较方便，且容易实现，使用寿命较长，若其中一个连接杆31或卡接组件33损坏时，可以直接替换损坏的那一个，不需要整体更换，可以节省成本。

至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本实用新型的多个示例性实施例，但是，在不脱离本实用新型精神和范围的情况下，仍可根据本实用新型公开的内容直接确定或推导出符合本实用新型原理的许多其他变型或修改。因此，本实用新型的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

Claims (10)

1.一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于，包括：

由下至上依次布置的热沉、PCB板和盖板，所述热沉与所述PCB板之间限定有用于放置晶圆的密封腔，所述热沉具有贯穿孔；

多个连接杆，沿所述盖板的周向间隔开布置，且贯穿所述热沉和所述PCB板，所述连接杆的顶部与所述盖板连接，所述连接杆的底部设有位于所述贯穿孔内的装配件；

多个卡接组件，与所述热沉连接，每个所述卡接组件与一个所述连接杆对应布置，所述卡接组件具有位于所述贯穿孔内的至少一个卡勾；

所述连接杆设置成在受力下转动至所述装配件与所述卡勾卡接时与所述卡接组件连接，从而将所述热沉、所述PCB板和所述盖板连接，在转动至所述装配件与所述卡勾分离时与所述卡接组件脱离，从而允许所述热沉与所述PCB板分离。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，

所述装配件的顶部设有至少一个凸台，每个所述凸台与一个所述卡勾对应布置，所述装配件设置成在所述连接杆转动至所述凸台的上表面与所述卡勾抵接时与所述卡勾连接。

3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，

所述凸台的上表面呈一斜面。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，

所述卡接组件具有沿第一方向相对布置的两个卡勾，所述装配件位于两个所述卡勾之间，且具有两个相对布置的所述凸台，所述连接杆设置成转动至所述装配件的两个所述凸台沿所述第一方向布置时与对应的所述卡勾卡接，转动至所述装配件的两个所述凸台沿垂直于所述第一方向布置时与对应的所述卡勾分离。

5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，

两个所述凸台分别设置在所述连接杆的相对的两侧，两个所述凸台的斜面的倾斜方向相反。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的夹具，其特征在于，

所述连接杆的顶部设有螺栓孔，以通过扳手***所述螺栓孔中转动所述连接杆。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的夹具，其特征在于，

所述装配件套设在所述连接杆上，所述连接杆的底部设有至少一个第一安装孔，所述装配件上设有至少一个与所述第一安装孔配合的第二安装孔，以通过螺栓穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔将所述连接杆和所述装配件连接。

8.根据权利要求7所述的夹具，其特征在于，

所述第一安装孔和所述第二安装孔的数量均为两个，两个所述第一安装孔沿所述连接杆的延伸方向间隔开布置。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的夹具，其特征在于，所述卡接组件还包括：

安装板，所述卡勾由所述安装板朝向上方延伸形成。

10.根据权利要求9所述的夹具，其特征在于，

所述安装板上设有至少一个第三安装孔，所述热沉上设有至少一个与所述第三安装孔配合的第四安装孔，以通过螺栓穿过所述第三安装孔和所述第四安装孔将所述卡接组件与所述热沉连接。