CN220856554U - 镂空夹具及检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别是涉及一种镂空夹具及检测设备。镂空夹具支撑件、夹紧件以及驱动件，支撑件呈环状且内部具有空腔，空腔的轴向上靠近夹紧件的一端设置有第一开口，驱动件布置在支撑件的径向外侧，夹紧件包括与驱动件相连的压板以及连接在压板的靠近支撑件的轴线一侧的缓冲板，缓冲板的远离压板的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第一弧面；缓冲板与支撑件的环绕第一开口的轴向一侧端面间隔；驱动件能够驱动夹紧件沿支撑件的轴向向靠近支撑件的方向运动，以使缓冲板能够与支撑件配合夹紧待测式件。本实用新型的镂空夹具，可以在保证待测工件被稳定夹持的前提下，实现产品的背面镂空，避免待测工件的背面被接触。

Description

镂空夹具及检测设备

技术领域

本实用新型属于晶圆检测技术领域，特别是涉及一种镂空夹具及检测设备。

背景技术

晶圆夹具是晶圆加工和检测的功能件之一，晶圆夹具的好坏直接影响工件加工和检测的精度、良品率。

现有的晶圆夹具，大多是利用真空气体，通过在晶圆的背面吸附实现对晶圆的夹持，这种晶圆夹持方式是以大气压为作用力，在吸盘与晶圆之间形成密闭容积内，通过真空源抽出一定量的气体分子来使压力降低，使吸盘的内外形成压力差，在这个压力差的作用下把晶圆吸附。但这种晶圆夹具所需的吸附面积大，无法使晶圆的背面镂空，从而无法满足背面不能触碰工件的加工和检测要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有的晶圆夹具所需的吸附面积大，存在无法使晶圆的背面镂空的问题，提供一种镂空夹具及检测设备。

为解决上述技术问题，一方面，本实用新型实施例提供了一种镂空夹具，包括支撑件、夹紧件以及驱动件，所述支撑件呈环状且内部具有空腔，所述空腔的轴向上靠近所述夹紧件的一端设置有第一开口，所述驱动件布置在所述支撑件的径向外侧，所述夹紧件包括与所述驱动件相连的压板以及连接在所述压板的靠近所述支撑件的轴线一侧的缓冲板，所述缓冲板的远离所述压板的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第一弧面；所述缓冲板与支撑件的环绕所述第一开口的轴向一侧端面间隔；

所述驱动件能够驱动所述夹紧件沿所述支撑件的轴向向靠近所述支撑件的方向运动，以使所述缓冲板能够与支撑件配合夹紧待测式件。

可选地，所述支撑件设有所述第一开口的一端设有用于取放待测工件的开口槽，所述开口槽与所述空腔连通。在本实施例中，这样可以便于对晶圆的取放。在放置或取出晶圆时，外接的搬运件的一部分通过开口槽伸入至空腔中，这样可以更好的夹持住晶圆。当然，开口槽不与空腔连通时也可以取放晶圆，开口槽不与空腔连通的结构也在本实施例的保护范围之中。

可选地，镂空夹具还包括底座，所述支撑件远离所述第一开口一端与所述底座相连，所述底座上设有用于定位的安装孔。在本实施例中，底座的设置可以方便对支撑件的定位安装。

可选地，所述空腔远离所述第一开口的一端设有第二开口，所述第一开口、空腔、第二开口形成圆柱形通道，所述安装孔与所述通道连通，且所述圆柱形通道的轴线与所述支撑件的轴线重合。在本实施例中，支撑件为与晶圆相匹配的圆柱形结构，晶圆的边缘部分放置在支撑件上，晶圆的背部的大部分区域位于圆柱形通道中。

可选地，所述夹紧件的数量为多个，多个所述夹紧件环绕所述支撑件的外部均匀分布。这样可以更稳定的夹持住晶圆，在本实施例中，夹紧件的数量优选为两个，两个夹紧件关于支撑件的轴线对称设置在支撑件或者底座上。对应的，本实施例中驱动件也为两个。

可选地，所述支撑件远离所述第一开口的一端设有用于安装管道或线路的通槽，所述通槽与所述空腔连通。在本实施例中，通槽可以起到避让作用，通槽的设置可以便于一些外接的管道、线束的安装与拆卸。

可选地，所述驱动件包括升降气缸、升降电机中的至少一种。例如，当驱动件为升降气缸时，升降气缸的缸体安装在支撑件或者底座上，夹紧件安装在升降气缸的伸缩杆上。

可选地，所述缓冲板的靠近所述压板的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第二弧面，所述第二弧面的弧度与所述支撑件的外周面的弧度相同。在本实施例中，第一弧面形成的圆周面与晶圆的一部分横截圆面重合，，同时，本实施例中的第二弧面的弧度与晶圆上某一位置处的外周面的弧度是相同的，这样可以使夹紧件以与晶圆较小的接触面积完成对晶圆更稳定的夹持。同时缓冲板的设置可以避免夹紧件在夹持晶圆时对晶圆造成伤害。

可选地，所述支撑件的外部设有用于检测待测工件位置的状态检测件以及用于限定所述驱动件位置的限位块。状态检测件的设置可以检测晶圆的位置是否出现偏差，其中，状态检测件可以为光电传感器。同时，限位块设置在驱动件的下方，限位块的设置可以避免驱动件过渡移动，进而可以防止夹紧件与支撑件损坏晶圆。

根据本实施例的镂空结构，在放置晶圆时，使晶圆的边缘位置位于支撑件上，并使晶圆的背面中心部分通过第一开口伸入至空腔中。接着驱动件驱动夹紧件向着支撑件的方向移动，进而可以使夹紧件与支撑件形成的夹紧结构夹持住晶圆(待测试件)的边缘部分，实现对晶圆的夹持。在本实施例中，通过夹紧结构持住晶圆的边缘，通过与晶圆的小面积接触便可以实现对晶圆的夹持。同时，在本实施例中，使晶圆的背面中心部分位于空腔中不被接触，进而可以使晶圆的背面实现镂空，避免影响到晶圆的良品率。此外，本实施例中通过设置第一弧面，相对于传统的方形，可以在保证晶圆被稳定夹持的前提下，减少夹紧件与晶圆的接触面积，进而可以进一步避免夹紧件对晶圆良品率的影响。优选地，在本实施例中，缓冲板为与待测试件相匹配的弧形件。

另一方面，本实用新型实施例提供了一种检测设备，包括上述的镂空夹具。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的镂空夹具的第一视角的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例提供的镂空夹具的第二视角的结构示意图；

图3是图2沿A-A线剖开的结构示意图。

说明书中的附图标记如下：

1、支撑件；2、夹紧件；3、驱动件；4、空腔；5、第一弧面；6、夹紧结构；7、开口槽；8、底座；9、安装孔；10、通槽；11、状态检测件；12、限位块；13、第一开口；14、第二弧面；21、压板；22、缓冲板。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1至图3所示，本实用新型一实施例提供了一种镂空夹具，包括支撑件1、夹紧件2以及驱动件3，支撑件1呈环状且内部具有空腔4，空腔4的轴向上靠近夹紧件1的一端设置有第一开口13，驱动件3布置在支撑件1的径向外侧，夹紧件2包括与驱动件3相连的压板21以及连接在压板21的靠近支撑件1的轴线一侧的缓冲板22，所述缓冲板的远离压板21的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第一弧面5；缓冲板22与支撑件1的环绕第一开口的轴向一侧端面间隔；

驱动件3能够驱动夹紧件2沿支撑件1的轴向向靠近支撑件1的方向运动，以使缓冲板22能够与支撑件1配合夹紧待测式件。

在一实施例中，支撑件1设有第一开口13的一端设有用于取放待测工件的开口槽7，开口槽7与空腔4连通。在本实施例中，这样可以便于对晶圆的取放。在放置或取出晶圆时，外接的搬运件的一部分通过开口槽7伸入至空腔4中，这样可以更好的夹持住晶圆。当然，开口槽7不与空腔4连通时也可以取放晶圆，开口槽7不与空腔4连通的结构也在本实施例的保护范围之中。

在一实施例中，镂空夹具还包括底座8，支撑件1远离夹紧件2的一端与底座8相连，底座8上设有用于定位的安装孔9。在本实施例中，底座8的设置可以方便对支撑件1的定位安装。

在一实施例中，空腔4远离第一开口13的一端设有第二开口，第一开口13、空腔4、第二开口形成圆柱形通道，安装孔9与通道连通；支撑件1为圆柱形，圆柱形通道的轴线与支撑件1的轴线重合。在本实施例中，支撑件1为与晶圆相匹配的圆柱形结构，晶圆的边缘部分放置在支撑件1上，晶圆的背部的大部分区域位于圆柱形通道中。

在一实施例中，夹紧件2的数量为多个，多个夹紧件2环绕支撑件1的外部均匀分布。这样可以更稳定的夹持住晶圆，在本实施例中，夹紧件2的数量优选为两个，两个夹紧件2关于支撑件1的轴线对称设置在支撑件1或者底座8上。对应的，本实施例中驱动件3也为两个。

在一实施例中，支撑件1远离第一开口13的一端设有用于安装管道或线路的通槽10，通槽10与空腔4连通。在本实施例中，通槽10可以起到避让作用，通槽10的设置可以便于一些外接的管道、线束的安装与拆卸。

在一实施例中，驱动件3包括升降气缸、升降电机中的至少一种。例如，当驱动件3为升降气缸时，升降气缸的缸体安装在支撑件1或者底座8上，夹紧件2安装在升降气缸的伸缩杆上。

在一实施例中，缓冲板22的靠近压板21的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第二弧面14，第二弧面14的弧度与支撑件1的外周面的弧度相同。在本实施例中，第一弧面5形成的圆周面与晶圆的一部分横截圆面重合，同时本实施例中的第二弧面14的弧度与晶圆上某一位置处的外周面的弧度是相同的，这样可以使夹紧件2以与晶圆较小的接触面积完成对晶圆更稳定的夹持。同时缓冲板22的设置可以避免夹紧件2在夹持晶圆时对晶圆造成伤害。

在一实施例中，支撑件1的外部设有用于检测待测工件位置的状态检测件11以及用于限定驱动件3位置的限位块12。状态检测件11的设置可以检测晶圆的位置是否出现偏差，其中，状态检测件11可以为光电传感器。同时，限位块12设置在驱动件3的下方，限位块12的设置可以避免驱动件3过渡移动，进而可以防止夹紧件2与支撑件1损坏晶圆。

根据本实施例的镂空结构，在放置晶圆时，使晶圆的边缘位置位于支撑件1上，并使晶圆的背面中心部分通过第一开口13伸入至空腔4中。接着驱动件3驱动夹紧件2向着支撑件1的方向移动，进而可以使夹紧件2与支撑件1形成的夹紧结构6夹持住晶圆的边缘部分，实现对晶圆的夹持。在本实施例中，通过夹紧结构6持住晶圆的边缘，通过与晶圆的小面积接触便可以实现对晶圆的夹持。同时，在本实施例中，使晶圆的背面中心部分位于空腔4中不被接触，进而可以使晶圆的背面实现镂空，进而可以避免影响到晶圆的良品率。此外，本实施例中的第一弧面5相对于传统的方形，可以在保证晶圆被稳定夹持的前提下，减少夹紧件2与晶圆的接触面积，进而可以进一步避免夹紧件2对晶圆良品率的影响。在本实施例中，缓冲板22为与待测试件相匹配的弧形件。

另外，本实用新型一实施例提供了一种检测设备，包括上述实施例的镂空夹具。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种镂空夹具，其特征在于，包括支撑件、夹紧件以及驱动件，所述支撑件呈环状且内部具有空腔，所述空腔的轴向上靠近所述夹紧件的一端设置有第一开口，所述驱动件布置在所述支撑件的径向外侧，所述夹紧件包括与所述驱动件相连的压板以及连接在所述压板的靠近所述支撑件的轴线一侧的缓冲板，所述缓冲板的远离所述压板的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第一弧面；所述缓冲板与支撑件的环绕所述第一开口的轴向一侧端面间隔；

所述驱动件能够驱动所述夹紧件沿所述支撑件的轴向向靠近所述支撑件的方向运动，以使所述缓冲板能够与支撑件配合夹紧待测式件。

2.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，所述支撑件设有所述第一开口的一端设有用于取放待测工件的开口槽，所述开口槽与所述空腔连通。

3.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，还包括底座，所述支撑件远离所述第一开口的一端与所述底座相连，所述底座上设有用于定位的安装孔。

4.根据权利要求3所述的镂空夹具，其特征在于，所述空腔远离所述第一开口的一端设有第二开口，所述第一开口、空腔、第二开口形成圆柱形通道，所述安装孔与所述通道连通，且所述圆柱形通道的轴线与所述支撑件的轴线重合。

5.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，所述夹紧件的数量为多个，多个所述夹紧件环绕所述支撑件的外部均匀分布。

6.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，所述支撑件远离所述第一开口的一端设有用于安装管道或线路的通槽，所述通槽与所述空腔连通。

7.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，所述驱动件包括升降气缸、升降电机中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，所述缓冲板的靠近所述压板的一侧表面为与待测工件的外周面相匹配的第二弧面，所述第二弧面的弧度与所述支撑件的外周面的弧度相同。

9.根据权利要求1所述的镂空夹具，其特征在于，所述支撑件的外部设有用于检测待测工件位置的状态检测件以及用于限定所述驱动件位置的限位块。

10.一种检测设备，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的镂空夹具。