CN220774280U - 离子注入机的水管导向装置以及离子注入机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机，所述装置包括：固定件，所述固定件与所述离子注入机的机身上的轴筒固定连接；固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。上述技术方案通过在机身上设置离子注入机水管导向装置，所述外壳体借助轴承可转动地设置在固定轴外侧，机身的运动会带动水管的移动，可转动的外壳体与水管相接触，将摩擦力转换成滚动摩擦，极大程度降低了水管的损耗。

Description

离子注入机的水管导向装置以及离子注入机

技术领域

本申请涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机。

背景技术

随着半导体技术的迅速发展，集成电路的制造工艺逐渐复杂，离子注入技术在此过程中扮演了关键角色。离子注入是对半导体表面近区域进行掺杂的手段，其核心目的是通过改变载流子浓度和导电类型来达到改变半导体的电性能。传统的离子注入机主要由离子源、分析磁场、加速/减速***、聚焦和扫描***以及工艺腔等主要部件组成。

在离子注入过程中，需要把晶圆精确地放置在注入位置。为此，传送机械臂(比如Scara Arm)，负责将晶圆传送到靶盘，并带动靶盘进行上下移动，确保晶圆表面得到均匀的离子注入。然而，离子注入至晶圆过程中会产生大量的热量，这会导致晶圆过热，从而影响到注入效果和晶圆质量。

为了解决这个问题，注入机靶盘通常装备有液体冷却***。液体冷却***的水管通常被安置在传送机械臂内部。但是，随着传送机械臂的持续移动，这些水管可能会频繁地弯曲和摩擦，导致它们磨损从而减少使用寿命。

因此，为了确保离子注入的高效和稳定，同时延长相关部件的使用寿命，开发一种离子注入机水管导向装置已成为业界亟待解决的技术问题。

发明内容

本申请所要解决的技术问题是提供一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机，其在通过对水管的导向确保离子注入的稳定和高效的同时，能降低离子注入机水管的损耗。

为了解决上述问题，本申请提供了一种离子注入机的水管导向装置，所述水管导向装置包括：固定件、所述固定件与所述离子注入机的机身上的轴筒固定连接；固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。

优选的，所述轴承选自滚珠轴承、滚针轴承、以及滑动轴承中的其中之一。

优选的，所述轴承包含第一轴承和第二轴承，所述第一轴承套设在所述固定轴远离所述机身的一端，所述第二轴承套设在所述固定轴靠近所述机身的一端。

优选的，所述外壳体的外表面为光滑表面。

优选的，所述固定轴的材质为金属。

优选的，所述外壳体的材质为特氟龙。

为了解决上述问题，本申请提供了一种离子注入机，包括机身、以及设置在机身上的水管导向装置，其中，所述水管导向装置包括：固定件，所述固定件与所述机身固定连接；固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。

优选的，所述离子注入机的机身包括：一通孔；轴筒，所述轴筒设在所述通孔外侧，所述水管导向装置通过所述固定件固定在所述轴筒的内侧面上，所述固定轴的轴线与所述轴筒的轴线相平行，且所述轴筒与所述通孔同轴，所述轴筒为中空的圆柱状结构，所述轴筒上在所述水管导向装置侧的位置处设有缺口。

优选的，所述水管从所述通孔引出，并沿着所述外壳体的外侧面绕行至从所述缺口处后穿出所述轴筒，且缠绕在所述轴筒的外侧面上。

上述技术方案通过在机身的轴筒上设置离子注入机的水管导向装置，水管导向装置的所述外壳体借助所述轴承可转动地设置在所述固定轴外侧，所述机身的运动会带动所述水管的移动，可转动的外壳体与水管相接触，将摩擦力转换成滚动摩擦，极大程度降低了水管的损耗，保证了水管的使用寿命和效率。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对本申请的具体实施方式中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些具体实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请具体实施方式所提供的离子注入机的水管导向装置的结构示意图；

图2是本申请具体实施方式所提供的离子注入机的水管导向装置的剖面示意图；

图3是本申请具体实施方式所提供的安装有水管导向装置的离子注入机的结构示意图。

主要组件符号说明：

1、水管导向装置；11、固定件；111、第一固定件；112、第二固定件；12、固定轴；13、轴承；131、第一轴承；132、第二轴承；14、外壳体；2、机身；21、通孔；22、轴筒；221、缺口；3、水管。

具体实施方式

下面将结合本申请具体实施方式中的附图，对本申请具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的具体实施方式仅仅是本申请一部分具体实施方式，而不是全部的具体实施方式。基于本申请中的具体实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他具体实施方式，都属于本申请保护的范围。

为了解决现有技术中的问题，本实用新型的具体实施方式提供一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机，其在通过对水管的导向确保离子注入的稳定和高效的同时，能降低离子注入机水管的损耗。

下面对本申请具体实施方式所提供的一种离子注入机的水管导向装置进行介绍。

图1是本申请具体实施方式所提供的离子注入机的水管导向装置的结构示意图。下面请参阅图1，所述水管导向装置1包括：固定件11、固定轴12、轴承13、以及外壳体14。所述固定件11与离子注入机的机身上的轴筒固定连接。所述固定轴12的端面与所述固定件11相连。至少一所述轴承13套设固定在所述固定轴12外侧。所述外壳体14套设固定在所述轴承13外侧且与所述固定轴12共轴线，所述外壳体14能够通过所述轴承13相对于所述固定轴12绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体14用于承托从离子注入机中引出的水管。

上述技术方案通过设置水管导向装置1，所述外壳体14借助轴承13可转动地设置在固定轴12外侧，离子注入机的运动会带动从离子注入机中引出的水管的移动，可转动的外壳体14与水管相接触，将摩擦力转换成滚动摩擦，极大程度降低了水管的损耗，保证了水管的使用寿命和效率。

所述轴承13选自滚珠轴承、滚针轴承以及滑动轴承中的其中之一。在本具体实施方式中，所述轴承13是滚珠轴承。所述轴承13套设在所述固定轴12的任意位置上。

图2是本申请具体实施方式所提供的离子注入机的水管导向装置的剖面示意图。请参阅图2，在本具体实施方式中，所述轴承13包含第一轴承131和第二轴承132。所述第一轴承131套设在所述固定轴12远离所述机身的一端，所述第二轴承132套设在所述固定轴12靠近所述机身的一端，这种对称的布置有助于提高所述固定轴12的稳定性。第一轴承131和第二轴承132均为滚珠轴承，分别位于固定轴12两端，用以支撑外壳体14。这种设计在考虑经济性的同时，还考虑了重心的平衡，从而保证了当机身移动时，在水管的摩擦力下，外壳体14还能稳定地绕着固定轴12转动。

下面请继续参阅图2，所述外壳体14的外表面为光滑表面，有助于减少摩擦。在本具体实施方式中，所述外壳体14是中空的圆柱体。在本实用新型其他具体实施方式中，所述外壳体14还可以是中空的椭圆柱体，或者所述外壳体14的剖面是圆角矩形。

进一步地，所述固定轴12的材质为金属，如钢或铝合金。这些材质相对于塑料或其他低强度的材质，具有更好的强度、刚度和耐用性，确保了设备的长时间稳定运行。

进一步地，所述外壳体14的材质为特氟龙。特氟龙有出色的耐磨性、耐化学性和热稳定性，且特氟龙的摩擦系数较低有助于减小摩擦和提高耐磨性。

在本具体实施方式中，所述固定件11包含第一固定件111和第二固定件112。其中所述第一固定件111设在所述固定轴12远离所述机身的端面上，所述第二固定件112设在所述固定轴12靠近所述机身的端面上。此设计使得固定轴12能够在两个不同的点上与机身进行固定，从而分散了因外部力或水管运动引起的任何应力，从而确保了更好的稳定性。

基于同一发明构思，本申请一具体实施方式还提供了一种离子注入机。

图3是本申请具体实施方式所提供的安装有上述水管导向装置的离子注入机的结构示意图。请参阅图3，本具体实施方式所述的离子注入机，包括机身2、以及设置在机身2上的水管导向装置。其中，所述水管导向装置包括：固定件11、固定轴12、至少一轴承13以及外壳体14。所述固定件11与所述机身2固定连接。所述固定轴12的端面与所述固定件11相连。所述轴承13套设固定在所述固定轴12外侧。所述外壳体14套设固定在所述轴承13外侧且与所述固定轴12共轴线，所述外壳体14能够通过所述轴承13相对于所述固定轴12绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体14用于承托从所述离子注入机中引出的水管3。

进一步地，所述机身2包括：一通孔21；轴筒22，所述轴筒22设在所述通孔21外侧，所述水管导向装置1通过所述固定件11固定在所述轴筒22的内侧面上，所述固定轴12的轴线与所述轴筒22的轴线相平行，且所述轴筒22与所述通孔21同轴，所述轴筒22为中空的圆柱状结构，所述轴筒22上在所述水管导向装置1侧的位置处设有所述缺口221。

在本具体实施方式中，所述固定件11包含第一固定件111和第二固定件112(可参考图2)。其中所述第一固定件111设在所述固定轴12远离所述机身2的端面上，所述第二固定件112设在所述固定轴12靠近所述机身2的端面上。此设计使得固定轴12能够在两个不同的点上与机身2进行固定，从而分散了因外部力或水管3运动引起的任何应力，从而确保了更好的稳定性。

在本具体实施方式中，所述固定件11为板状结构。所述固定件11靠近固定轴12的侧面上且靠近所述轴筒22的一端与所述轴筒22的端面相贴合，且用螺纹连接。将所述固定件11与所述轴筒22相固定。所述固定件11靠近固定轴12的侧面上且远离所述轴筒22的一端与所述固定轴12的端面相贴合，且用螺纹连接的方式与所述固定轴12固定连接。所述设计确保固定件11与轴筒22以及固定轴12之间的稳固连接，从而为水管导向装置1提供良好的结构支撑。

所述外壳体14的端面与所述固定轴12的端面不相平齐，以使所述外壳体14的端面与所述固定件11的侧面之间留有空隙。当水管3通过摩擦力带动外壳体14转动时，因为外壳体14的端面与所述固定件11的侧面之间留有空隙，因此不会在外壳体14和固定件11之间产生摩擦力。如此便可以提高所述离子注入机水管导向装置1转动的稳定性。

请继续参阅图3，在本具体实施方式中，从所述通孔21引出水管3，通过设置所述水管导向装置1，使得所述水管3不直接缠绕在所述轴筒22的外侧面上，避免了所述水管3的弯折破损。所述水管3沿着所述外壳体14的外侧面从下向上绕行至从所述缺口221处后穿出所述轴筒22，从而缠绕在所述轴筒22的外侧面上。所述外壳体14光滑的外表面引导水管3从通孔21轴向向外平稳过渡顺利缠绕在所述轴筒22上，借助所述外壳体14光滑的外表面完成了转向，确保所述水管3从内到外的流畅转向和固定。

通过在所述机身2的轴筒22上设置水管导向装置1，所述外壳体14借助所述轴承13可转动地设置在固定轴12的外侧。所述机身2的运动会带动所述水管3的移动，可转动的外壳体14与所述水管3相接触，将摩擦力转换成滚动摩擦，从而极大程度地降低了所述水管3的损耗，保证了水管3的使用寿命和效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第二和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，有语句“还包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

本说明书中的各个具体实施方式均采用相关的方式描述，各个具体实施方式之间相同相似的部分互相参见即可，每个具体实施方式重点说明的都是与其他具体实施方式的不同之处。尤其，对于具体实施方式而言，由于其基本相似于具体实施方式，所以描述的比较简单，相关之处参见具体实施方式的部分说明即可。

以上所述仅是本申请的优选实施方式，并非用于限定本申请的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种离子注入机的水管导向装置，其特征在于，包括：

固定件，所述固定件与所述离子注入机的机身上的轴筒固定连接；

固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；

至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及

外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。

2.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述轴承选自滚珠轴承、滚针轴承、以及滑动轴承中的其中之一。

3.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述轴承包含第一轴承和第二轴承，所述第一轴承套设在所述固定轴远离所述机身的一端，所述第二轴承套设在所述固定轴靠近所述机身的一端。

4.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述外壳体的外表面为光滑表面。

5.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述固定轴的材质为金属。

6.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述外壳体的材质为特氟龙。

7.一种离子注入机，其特征在于，包括机身、以及设置在机身上的水管导向装置，其中，所述水管导向装置包括：

固定件，所述固定件与所述离子注入机的机身固定连接；

固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；

至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及

外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。

8.根据权利要求7所述的离子注入机，其特征在于，所述离子注入机的机身进一步包括：

一通孔；

轴筒，所述轴筒设在所述通孔外侧，所述水管导向装置通过所述固定件固定在所述轴筒的内侧面上，所述固定轴的轴线与所述轴筒的轴线相平行，且所述轴筒与所述通孔同轴，所述轴筒为中空的圆柱状结构，所述轴筒上在所述水管导向装置侧的位置处设有缺口。

9.根据权利要求8所述的离子注入机，其特征在于，所述水管从所述通孔引出，并沿着所述外壳体的外侧面绕行至从所述缺口处后穿出所述轴筒，且

缠绕在所述轴筒的外侧面上。