CN220750786U - 一种用于热场管式炉的新结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体的加工设备领域，具体为一种用于热场管式炉的新结构，包括炉丝网组件和炉胆组件，炉丝网组件嵌设在炉胆组件内部，炉丝网组件包括炉丝网和炉丝网固定环，通过炉丝网组件嵌设在炉胆组件固定连接，炉丝网组件包括炉丝网和炉丝网固定环，炉丝网嵌设在炉胆组件内部，炉丝网一端外侧开设有螺纹结构，并与炉丝网固定环连接，炉丝网固定环内侧开设有螺纹结构，炉丝网固定环与炉丝网一端通过螺纹固定连接采用炉丝网单独悬挂的方式，不仅减轻了炉胆重量，也减少了组装成形的工作量，使得生产的难度降低，大大提高了生产的效率，当部分组件损坏时可以进行更换，使得该装置的使用成本降低，炉丝网组件可以拆卸，使得该装置便于清理。

Description

一种用于热场管式炉的新结构

技术领域

本实用新型涉及半导体的加工设备领域，具体为一种用于热场管式炉的新结构。

背景技术

在化工、实验、分析等领域经常会用到管式炉，现有的热场管式加热炉炉丝网与炉胆是通过模具组装一体成形。

普通管式炉具有以下缺点：不便于清理维护，当部分炉丝网损坏时需要更换整个管式炉，这就使得该管式炉的使用成本增加，变相的使生产成本增加，并且该种通过模具组装一体成形的方式，组装时间较长，从而降低了生产效率，增加了工作人员的劳动强度，炉丝网和炉胆一体成型使得炉丝网整体较重，不便于移动，不便于生产工作。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于热场管式炉的新结构，其目的在于解决上述问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种用于热场管式炉的新结构，包括炉丝网组件和炉胆组件，所述炉丝网组件嵌设在炉胆组件内部，所述炉丝网组件包括炉丝网和炉丝网固定环，所述炉丝网嵌设在炉胆组件内腔中，所述炉丝网一端外侧开设有螺纹结构，所述炉胆组件套接在炉丝网上，所述炉丝网另一端与炉胆组件另一端抵接。

进一步的，所述炉丝网固定环内侧开设有螺纹结构，所述炉丝网固定环与炉丝网一端通过螺纹固定连接。

进一步的，所述炉丝网另一端边缘半径大于炉丝网内腔的半径，所述炉丝网另一端开设有若干个弧形限位块。

进一步的，所述炉胆组件一端开设有若干个弧形限位孔，所述弧形限位块嵌设在弧形限位孔内。

进一步的，所述炉胆组件包括炉胆和若干个冷却水管，若干个所述冷却水管均与炉胆固定连接。

进一步的，所述炉丝网一端外侧边缘的半径等于炉胆组件的外壁半径，所述冷却水管一端与炉丝网一端外侧边缘半径等于炉胆组件的外壁半径抵接。

进一步的，所述炉胆外壁和内壁之间贯穿有若干个圆孔，所述圆孔半径与冷却水管外壁半径相同，所述冷却水管固定安装在圆孔内。

进一步的，所述冷却水管另一端与炉丝网固定环抵接，所述圆孔开设在弧形限位孔之间。

进一步的，所述炉胆外壁和内壁之间开设有若干个扇形真空腔。

更进一步的，所述扇形真空腔开设在弧形限位孔下方，所述扇形真空腔大于弧形限位孔，所述扇形真空腔位于炉胆两端之间，所述扇形真空腔位于相邻两个圆孔之间。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型的一种用于热场管式炉的新结构，通过设置炉丝网组件嵌设在炉胆组件固定连接，炉丝网组件包括炉丝网和炉丝网固定环，炉丝网嵌设在炉胆组件内部，炉丝网一端外侧开设有螺纹结构，炉丝网固定环内侧开设有螺纹结构，炉丝网固定环与炉丝网一端通过螺纹固定连接采用炉丝网单独悬挂的方式，不仅减轻了炉胆重量，也减少了组装成形的工作量，使得生产的难度降低，大大提高了生产的效率，当部分组件损坏时可以进行更换，使得该装置的使用成本降低，炉丝网组件可以拆卸，使得该装置便于清理。

附图说明

图1为本实用新型的整体立体结构示意图；

图2为本实用新型的炉丝网组件整体立体结构示意图；

图3为本实用新型的炉胆组件整体立体结构分解示意图；

图4为本实用新型的炉胆组件整体立体结构示意图；

图5为本实用新型的炉胆组件整体立体结构分解示意图；

图6为本实用新型的炉胆截面图；

附图中，各标号所代表的零部件列表如下：

1、炉丝网组件；11、炉丝网；111、弧形限位块；12、炉丝网固定环；

2、炉胆组件；21、弧形限位孔；22、炉胆；221、扇形真空腔；23、冷却水管。

具体实施方式

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。

参照1-3所示，一种用于热场管式炉的新结构，包括炉丝网组件1和炉胆组件2，所述炉丝网组件1嵌设在炉胆组件2内部，所述炉丝网组件1包括炉丝网11和炉丝网固定环12，所述炉丝网11嵌设在炉胆组件2内腔中，所述炉丝网11一端外侧开设有螺纹结构，所述炉胆组件2套接在炉丝网11上，所述炉丝网11另一端与炉胆组件2另一端抵接。

设置炉丝网组件1嵌设在炉胆组件2固定连接，炉丝网组件1包括炉丝网11和炉丝网固定环12，炉丝网11嵌设在炉胆组件2内部，炉丝网11一端外侧开设有螺纹结构，炉丝网固定环12内侧开设有螺纹结构，炉丝网固定环12与炉丝网11一端通过螺纹固定连接采用炉丝网11单独悬挂的方式，通过转动炉丝网固定环12然后将炉丝网11从另一端取出即可不仅减轻了炉胆22重量，也减少了组装成形的工作量，便于清理。

需要说明的是，炉丝网11包括丝网部和螺纹连接部，丝网部的端部固定连接螺纹连接部，螺纹连接部设有螺纹结构，可以与炉丝网固定环12螺纹连接。

安装过程：先将炉丝网11***到炉胆22内腔中然后将冷却水管23***到炉胆22外壁和内壁之间的圆孔中，之后将炉丝网固定环12通过螺纹拧紧在炉丝网11另一端。

拆卸过程：先拧下炉丝网固定环12然后将炉丝网11从炉胆22内腔中取出之后拆下冷却水管23。

1、炉丝网11和炉胆22可拆卸，在使用不当或是使用时间过长时会导致部分炉丝网11损坏情况下，可以拆下损坏的炉丝网11进行更换。

2、相比较于传统的管式炉本装置组装时间较短，并且较为简单，本方案是先将炉丝网11***到炉胆22内腔中然后将冷却水管23***到炉胆22外壁和内壁之间的圆孔中，之后将炉丝网固定环12通过螺纹拧紧在炉丝网11另一端即可。

3、相比较于炉丝网11和炉胆一体成型使得炉丝网11整体较重，不便于移动,本方案炉丝网11和炉胆22可以分开便于移动。

所述炉丝网固定环12内侧开设有螺纹结构，所述炉丝网固定环12与炉丝网11一端通过螺纹固定连接。

设置炉丝网固定环12内侧开设有螺纹结构，所述炉丝网固定环12与炉丝网11一端通过螺纹固定连接，当炉丝网11损坏时可拧下炉丝网固定环12然后拿下炉丝网11并进行更换，大大节约了使用成本，使得该装置得到充分的利用。

炉丝网11另一端边缘半径大于炉丝网11内腔的半径，所述炉丝网11另一端开设有若干个弧形限位块111。

设置炉丝网11另一端边缘半径大于炉丝网11内腔的半径，所述炉丝网11另一端开设有若干个弧形限位块111使得炉丝网11更好的与炉胆组件2固定连接。参照图4所示，所述炉胆组件2一端开设有若干个弧形限位孔21，所述弧形限位块111嵌设在弧形限位孔21内。

在一些实施例中，弧形限位块111可以是2个、3个、4个、5个、6个等，可以根据实际需求选择设置合适数量的弧形限位块111。同样的，弧形限位孔21的数量可以是2个、3个、4个、5个、6个等，可以根据实际需求选择设置合适数量的弧形限位孔21，只要弧形限位孔21的数量与弧形限位块111的数量相对应即可。

设置炉丝网11另一端开设有六个弧形限位块111，炉胆组件2一端开设有六个弧形限位孔21，弧形限位块111嵌设在弧形限位孔21内使得炉丝网11的位置更加稳定，从而使得该管式炉的使用安全性更高。

参照图5所示，所述炉胆组件2包括炉胆22和若干个冷却水管23，若干个所述冷却水管23均与炉胆22固定连接。

在一些实施例中，冷却水管23的数量可以是2个、3个、4个、5个、6个等，可以根据实际需求选择设置合适的冷却水管23数量。

设置六个冷却水管23均与炉胆22固定连接，当烧结完成后水可以从冷却水管23一端进入到冷却水管23内部，从冷却水管23的另一端流出，从而使得管式炉降温效率更高。

所述炉丝网11一端外侧边缘的半径等于炉胆组件2的外壁半径，所述冷却水管23一端与炉丝网11一端外侧边缘半径等于炉胆组件2的外壁半径抵接。

设置炉丝网11一端外侧边缘的半径等于炉胆组件2的外壁半径，冷却水管23一端与炉丝网11一端外侧边缘半径等于炉胆组件2的外壁半径抵接使得炉丝网11能够一段能够固定的更加牢固，避免降温时漏水情况的发生，使得降温效果更明显。

所述炉胆22外壁和内壁之间贯穿有若干个圆孔，所述圆孔半径与冷却水管23外壁半径相同，所述冷却水管23固定安装在圆孔内。

设置炉胆22外壁和内壁之间贯穿有若干个圆孔，所述圆孔半径与冷却水管23外壁半径相同，所述冷却水管23固定安装在圆孔内使得冷却水管23能够更好地固定在圆孔内，以防冷却水管23晃动情况的发生。

在一些实施例中，圆孔的数量可以是2个、3个、4个、5个、6个等，可以根据实际需求选择设置合适的圆孔数量。

设置炉胆22外壁和内壁之间贯穿有六个圆孔，圆孔半径与冷却水管23外壁半径相同，冷却水管23固定安装在圆孔内使得冷却水管23与炉胆22连接的更加紧密，使得炉胆22的降温效率更高。

所述冷却水管23另一端与炉丝网固定环12抵接，所述圆孔开设在弧形限位孔21间。

设置冷却水管23另一端与炉丝网固定环12抵接，所述圆孔开设在弧形限位孔21间，使得冷却水管23固定的更加牢固，便于安装。

参照图6所示，所述炉胆22外壁和内壁之间开设有若干个扇形真空腔221。

设置炉胆22外壁和内壁之间开设有六个扇形真空腔221，使得炉胆22的保温隔热能力得以增加，从而增加了管式炉的加热效率使得管式炉的工作效率更高。

在一些实施例中，扇形真空腔221的数量可以是2个、3个、4个、5个、6个等，可以根据实际需求选择设置合适的扇形真空腔221数量。

所述扇形真空腔221开设在弧形限位孔21下方，所述扇形真空腔221大于弧形限位孔21，所述扇形真空腔221位于炉胆22两端之间，所述扇形真空腔221位于相邻两个圆孔之间。

设置扇形真空腔221开设在弧形限位孔21下方，扇形真空腔221大于弧形限位孔21，扇形真空腔221位于炉胆22两端之间，便于该装置的组装，扇形真空腔221位于相邻两个圆孔之间使得该装置的保温效果更好，当需要降温处理时降温更直接，效果更好。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：包括炉丝网组件(1)和炉胆组件(2)，所述炉丝网组件(1)嵌设在所述炉胆组件(2)内部，所述炉丝网组件(1)包括炉丝网(11)和炉丝网固定环(12)，所述炉丝网(11)嵌设在所述炉胆组件(2)内腔中，所述炉丝网(11)一端外侧开设有螺纹结构，并与所述炉丝网固定环(12)连接，所述炉胆组件(2)套接在所述炉丝网(11)上，所述炉丝网(11)另一端与所述炉胆组件(2)另一端抵接。

2.根据权利要求1所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉丝网固定环(12)内侧开设有螺纹结构，所述炉丝网固定环(12)与所述炉丝网(11)一端通过螺纹固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉丝网(11)另一端边缘半径大于所述炉丝网(11)内腔的半径，所述炉丝网(11)另一端开设有若干个弧形限位块(111)。

4.根据权利要求3所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉胆组件(2)一端开设有若干个弧形限位孔(21)，所述弧形限位块(111)嵌设在所述弧形限位孔(21)内。

5.根据权利要求4所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉胆组件(2)包括炉胆(22)和若干个冷却水管(23)，若干个所述冷却水管(23)均与所述炉胆(22)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉丝网(11)一端外侧边缘的半径等于所述炉胆组件(2)的外壁半径，所述冷却水管(23)一端与所述炉丝网(11)一端外侧边缘半径等于所述炉胆组件(2)的外壁半径抵接。

7.根据权利要求5所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉胆(22)外壁和内壁之间贯穿有若干个圆孔，所述圆孔半径与所述冷却水管(23)外壁半径相同，所述冷却水管(23)固定安装在所述圆孔内。

8.根据权利要求7所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述冷却水管(23)另一端与所述炉丝网固定环(12)抵接，所述圆孔开设在所述弧形限位孔(21)之间。

9.根据权利要求7所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述炉胆(22)外壁和内壁之间开设有若干个扇形真空腔(221)。

10.根据权利要求9所述的一种用于热场管式炉的新结构，其特征在于：所述扇形真空腔(221)开设在所述弧形限位孔(21)下方，所述扇形真空腔(221)大于所述弧形限位孔(21)，所述扇形真空腔(221)位于所述炉胆(22)两端之间，所述扇形真空腔(221)位于相邻两个所述圆孔之间。