CN220658542U - 一种半导体加工用清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体加工用清洁装置，包括箱体，所述箱体下端连接有水箱，所述箱体下端连接有阀门，所述阀门伸入水箱内部，所述箱体前侧外壁安装有水泵，所述水泵两端均连接有导水管，所述导水管远离水泵的一端分别延伸至箱体和水箱内部，所述箱体内部连接滤筒，所述箱体左右两侧分别连接有第一电机和驱动机构，所述第一电机输出端贯穿箱体外壁与滤筒连接。本实用新型通过驱动机构运作，便于带动半导体在滤筒内部转动，配合第一电机带动滤筒本身转到，有效提高对半导体的清洗效率，且打开阀门，将水导入至水箱内部过滤沉淀，利用水泵便于将水箱内水导入至箱体内部，便于水资源循环利用，实现节能环保的目的。

Description

一种半导体加工用清洁装置

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体加工用清洁装置。

背景技术

半导体是指一般情况下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体现在在集成电路、电子元件、发电、照明等多个领域都有着广泛应用，而半导体在加工的过程中，需要对其进行清理再进行后续的加工步骤，但是现有的半导体加工用清洁装置在使用中仍存在一些缺陷，在进行清洁时清洁液不能快速将半导体上的杂物去除，且不能方便的导入或取出半导体，也不能快速的使半导体脱离清洁液内部，所以现在需要一种新型的半导体加工用清洁装置来解决以上的不足。

例如申请号为202222050583.1的专利，本实用新型公开了一种半导体加工用清洁装置，包括支撑架和清洁槽，所述支撑架的顶端固定连接有清洁槽，所述清洁槽的内部设置有清洗罐，所述清洁槽一侧的底端固定连接有导液阀管。该半导体加工用清洁装置通过设置有驱动电机、升降板、清洗罐、弧形网格板和连接杆，在进行清洁时，将半导体放入清洗罐的内部，再启动一侧的驱动电机带动连接杆转动，连接杆转动的同时带动清洗罐转动，清洗罐转动的同时带动内部的半导体运动并不断的进入清洁槽内部的清洁液内，清洁液从弧形网格板进入清洗罐的内部对内部的半导体进行冲刷，从而快速的清洗清洁，实现了可以快速的对半导体清洁，解决的是清洁效率低的问题。

然而现有技术存在一些问题：对半导体清洗后，清洗的水进行排出，及其浪费水资源，因此我们提出一种半导体加工用清洁装置。

实用新型内容

针对上述技术存在的问题，本实用新型提供了一种半导体加工用清洁装置，本实用新型通过驱动机构运作，便于带动半导体在滤筒内部转动，配合第一电机带动滤筒本身转到，有效提高对半导体的清洗效率，且清洗完成时，打开阀门，将水导入至水箱内部过滤沉淀，利用水泵便于将水箱内部沉淀后的水导入至箱体内部，便于水资源循环利用，实现节能环保的目的，解决了对半导体清洗后，清洗的水进行排出，及其浪费水资源的问题。

本实用新型是这样实现的，一种半导体加工用清洁装置，包括箱体，所述箱体下端连接有水箱，所述箱体下端连接有阀门，所述阀门伸入水箱内部，所述箱体前侧外壁安装有水泵，所述水泵两端均连接有导水管，所述导水管远离水泵的一端分别延伸至箱体和水箱内部，所述箱体内部连接滤筒，所述滤筒外壁设有多个筒门，所述箱体左右两侧分别连接有第一电机和驱动机构，所述驱动机构贯穿箱体外壁延伸至滤筒内部，所述第一电机输出端贯穿箱体外壁与滤筒连接。

作为本实用新型优选的，所述箱体下端内壁设有便于导水用的弧形槽。

作为本实用新型优选的，所述水箱左侧连接有排水管，所述水箱内壁连接有滤网。

作为本实用新型优选的，所述驱动机构包括连接在箱体外壁的第二电机，所述第二电机输出端连接有转轴，所述转轴贯穿箱体外壁延伸至滤筒内部，所述转轴位于滤筒内部的外壁连接有多个联轴器，所述联轴器外壁连接有多个搅拌轴。

作为本实用新型优选的，所述搅拌轴外壁套设有防护套筒，所述防护套筒具体为一种橡胶材质制成。

作为本实用新型优选的，所述箱体上端面设有安装槽，所述安装槽的右侧设有多个相连通的限位孔。

作为本实用新型优选的，所述安装槽的右侧内壁连接有限位板，所述限位板与箱体内壁一体成型，且位于限位孔的下端。

作为本实用新型优选的，所述安装槽内部连接有相契合的箱门，所述箱门的右侧连接有与限位板相配合的固定板。

作为本实用新型优选的，所述固定板右侧外壁设有向内凹进的台阶孔，所述台阶孔内壁连接有伸缩块，所述伸缩块位于台阶孔内部的一端连接有弹簧，所述伸缩块延伸至台阶孔外部的一端与限位孔契合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置的弧形槽，打开阀门，便于将水导入至水箱内部，利用滤网对残渣进行过滤，便于对水资源进行沉淀至水箱内部，方便下次使用时，利用水泵将水导入至箱体内部，实现水资源循环利用，达到节能环保的目的；

2、本实用新型通过启动第二电机，带动转轴，转轴带动联轴器，联轴器带动搅拌轴，便于带动半导体在滤筒内部转动，配合第一电机带动滤筒本身转动，有效提高对半导体的清洗效率和效果，且利用搅拌轴上套设的防护套筒，启动对半导体的保护作用，避免带动半导体转动的同时，造成损坏；

3、本实用新型通过打开箱门和筒门，便于将半导体放入至滤筒内部，关闭筒门和箱门，箱门上的固定板与限位板接触，使得伸缩块受力的影响下带动弹簧向台阶孔内部收缩，当台阶孔与限位孔对应时，弹簧回弹，带动伸缩块伸入至限位孔内部，进行限位固定，便于箱门打开或者关闭，方便取放半导体。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的剖视示意图；

图3是本实用新型实施例提供的图2中a区放大示意图；

图4是本实用新型实施例提供的驱动机构正视示意图。

图中：1、箱体；2、驱动机构；3、水箱；4、水泵；5、滤筒；11、箱门；12、第一电机；13、弧形槽；14、阀门；15、限位孔；16、安装槽；17、限位板；111、台阶孔；112、弹簧；113、伸缩块；114、固定板；21、第二电机；22、转轴；23、联轴器；24、搅拌轴；25、防护套筒；31、滤网；32、排水管；41、导水管；51、筒门。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1所示，本实用新型实施例提供的一种半导体加工用清洁装置，包括箱体1，所述箱体1下端连接有水箱3，所述箱体1下端连接有阀门14，所述阀门14伸入水箱3内部，所述箱体1前侧外壁安装有水泵4，所述水泵4两端均连接有导水管41，所述导水管41远离水泵4的一端分别延伸至箱体1和水箱3内部，所述箱体1内部连接滤筒5，所述滤筒5外壁设有多个筒门51，所述箱体1左右两侧分别连接有第一电机12和驱动机构2，所述驱动机构2贯穿箱体1外壁延伸至滤筒5内部，所述第一电机12输出端贯穿箱体1外壁与滤筒5连接。本实用新型通过驱动机构2运作，便于带动半导体在滤筒5内部转动，配合第一电机12带动滤筒5本身转到，有效提高对半导体的清洗效率，且清洗完成时，打开阀门14，将水导入至水箱3内部过滤沉淀，利用水泵4便于将水箱3内部沉淀后的水导入至箱体1内部，便于水资源循环利用，实现节能环保的目的。

如图2所示，所述箱体1下端内壁设有便于导水用的弧形槽13，所述水箱3左侧连接有排水管32，所述水箱3内壁连接有滤网31；通过设置的弧形槽13，打开阀门14，便于将水导入至水箱3内部，利用滤网31对残渣进行过滤，便于对水资源进行沉淀至水箱3内部，方便下次使用时，利用水泵4将水导入至箱体1内部，实现水资源循环利用，达到节能环保的目的。

如图4所示，所述驱动机构2包括连接在箱体1外壁的第二电机21，所述第二电机21输出端连接有转轴22，所述转轴22贯穿箱体1外壁延伸至滤筒5内部，所述转轴22位于滤筒5内部的外壁连接有多个联轴器23，所述联轴器23外壁连接有多个搅拌轴24，所述搅拌轴24外壁套设有防护套筒25，所述防护套筒25具体为一种橡胶材质制成；通过启动第二电机21，带动转轴22，转轴22带动联轴器23，联轴器23带动搅拌轴24，便于带动半导体在滤筒5内部转动，配合第一电机12带动滤筒5本身转动，有效提高对半导体的清洗效率和效果，且利用搅拌轴24上套设的防护套筒25，启动对半导体的保护作用，避免带动半导体转动的同时，造成损坏。

如图3所示，所述箱体1上端面设有安装槽16，所述安装槽16的右侧设有多个相连通的限位孔15，所述安装槽16的右侧内壁连接有限位板17，所述限位板17与箱体1内壁一体成型，且位于限位孔15的下端，所述安装槽16内部连接有相契合的箱门11，所述箱门11的右侧连接有与限位板17相配合的固定板114，所述固定板114右侧外壁设有向内凹进的台阶孔111，所述台阶孔111内壁连接有伸缩块113，所述伸缩块113位于台阶孔111内部的一端连接有弹簧112，所述伸缩块113延伸至台阶孔111外部的一端与限位孔15契合；通过打开箱门11和筒门51，便于将半导体放入至滤筒5内部，关闭筒门51和箱门11，箱门11上的固定板114与限位板17接触，使得伸缩块113受力的影响下带动弹簧112向台阶孔111内部收缩，当台阶孔111与限位孔15对应时，弹簧112回弹，带动伸缩块113伸入至限位孔15内部，进行限位固定，便于箱门11打开或者关闭，方便取放半导体。

本实用新型的工作原理：

在使用时，首先打开箱门11和筒门51，便于将半导体放入至滤筒5内部，关闭筒门51和箱门11，动第二电机21，带动转轴22，转轴22带动联轴器23，联轴器23带动搅拌轴24，便于带动半导体在滤筒5内部转动，配合第一电机12带动滤筒5本身转动，有效提高对半导体的清洗效率和效果，通过设置的弧形槽13，打开阀门14，便于将水导入至水箱3内部，利用滤网31对残渣进行过滤，便于对水资源进行沉淀至水箱3内部，方便下次使用时，利用水泵4将水导入至箱体1内部，实现水资源循环利用，达到节能环保的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种半导体加工用清洁装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)下端连接有水箱(3)，所述箱体(1)下端连接有阀门(14)，所述阀门(14)伸入水箱(3)内部，所述箱体(1)前侧外壁安装有水泵(4)，所述水泵(4)两端均连接有导水管(41)，所述导水管(41)远离水泵(4)的一端分别延伸至箱体(1)和水箱(3)内部，所述箱体(1)内部连接滤筒(5)，所述滤筒(5)外壁设有多个筒门(51)，所述箱体(1)左右两侧分别连接有第一电机(12)和驱动机构(2)，所述驱动机构(2)贯穿箱体(1)外壁延伸至滤筒(5)内部，所述第一电机(12)输出端贯穿箱体(1)外壁与滤筒(5)连接。

2.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述箱体(1)下端内壁设有便于导水用的弧形槽(13)。

3.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述水箱(3)左侧连接有排水管(32)，所述水箱(3)内壁连接有滤网(31)。

4.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括连接在箱体(1)外壁的第二电机(21)，所述第二电机(21)输出端连接有转轴(22)，所述转轴(22)贯穿箱体(1)外壁延伸至滤筒(5)内部，所述转轴(22)位于滤筒(5)内部的外壁连接有多个联轴器(23)，所述联轴器(23)外壁连接有多个搅拌轴(24)。

5.如权利要求4所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述搅拌轴(24)外壁套设有防护套筒(25)，所述防护套筒(25)具体为一种橡胶材质制成。

6.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述箱体(1)上端面设有安装槽(16)，所述安装槽(16)的右侧设有多个相连通的限位孔(15)。

7.如权利要求6所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述安装槽(16)的右侧内壁连接有限位板(17)，所述限位板(17)与箱体(1)内壁一体成型，且位于限位孔(15)的下端。

8.如权利要求7所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述安装槽(16)内部连接有相契合的箱门(11)，所述箱门(11)的右侧连接有与限位板(17)相配合的固定板(114)。

9.如权利要求8所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述固定板(114)右侧外壁设有向内凹进的台阶孔(111)，所述台阶孔(111)内壁连接有伸缩块(113)，所述伸缩块(113)位于台阶孔(111)内部的一端连接有弹簧(112)，所述伸缩块(113)延伸至台阶孔(111)外部的一端与限位孔(15)契合。