CN220579372U - 一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于平面靶使用领域，具体的说是一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，包括连杆；所述连杆的顶部固接有固定座，所述固定座顶部设置有固定组件，所述固定组件固接在固定座的顶部，所述固定组件包括固定板，所述固定板的底部设置有软垫和连接板，所述软垫顶部对称粘接在固定板的底部，所述固定板通过软垫粘接在连接板的顶部，所述连接板的侧壁设置有支撑柱和扭簧，所述支撑柱和扭簧均设置有若干组，且所述支撑柱的侧壁对称固接在连接板的侧壁，所述扭簧的一端转动连接有弧形杆，通过对固定板进行更换工作，这种装置使平面靶在进行更换时更简便，避免需要进行多次操作的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及平面靶使用领域，具体是一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶。
背景技术
镀膜行业在大规模生产过程中需要使用到平面靶，平面靶以结构简单，通用性强，膜层均匀性和重复性好的优势，在镀膜生产中得到大规模应用，但是却有着利用率低下的缺点。以镀膜行业常见Ag靶为例一般消耗到一定千瓦时后，镀膜溅射磁控溅射作用下在磁场(辉光)分布区域会形成条状凹坑，使靶体变薄；当刻蚀深度到达靶材厚度极限时将无法使用，需要更换靶材，依照生产经验平面靶利用率一般在20-30％左右，当平面靶使用完毕必须开腔换靶。
现有的平面靶在使用时，通常都是需要开腔使平面靶的侧壁暴露出来，实现对平面靶的更换工作，但通过开腔方式进行更换时，操作较为繁琐，因此，针对上述问题提出一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶。
实用新型内容
为了弥补现有技术的不足，解决现有技术中存在的问题，本实用新型提出一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，包括连杆；所述连杆的顶部固接有固定座，所述固定座顶部设置有固定组件，所述固定组件固接在固定座的顶部，所述固定组件包括固定板，所述固定板的底部设置有软垫和连接板，所述软垫顶部对称粘接在固定板的底部，所述固定板通过软垫粘接在连接板的顶部，所述连接板的侧壁设置有支撑柱和扭簧，所述支撑柱和扭簧均设置有若干组，且所述支撑柱的侧壁对称固接在连接板的侧壁，所述扭簧的一端转动连接有弧形杆，所述弧形杆的侧壁通过扭簧转动连接在支撑柱。
优选的，所述固定座的顶部设置有凹槽和限位板，所述凹槽对称开设在固定座的顶部，所述限位板设置有若干组，且所述限位板的底部滑动连接在凹槽的内部。
优选的，所述固定座的顶部设置有弹簧，所述弹簧设置有若干组，且所述弹簧一端固接在固定座的顶部，所述连接板转动连接在限位板的内部。
优选的，所述限位板的侧壁设置有活动杆，所述活动杆设置有若干组，所述活动杆一端固接在限位板的侧壁。
优选的，所述固定座的侧壁设置有卡环，所述卡环侧壁固接在活动杆的另一端，所述卡环通过活动杆转动连接在固定座的侧壁。
优选的，所述连接板的顶部设置有防护罩，所述防护罩底部对称嵌入在连接板的顶部。
本实用新型的有益之处在于：
1.本实用新型通过拉动弧形杆，使弧形杆进行转动，利用弧形杆和扭簧之间的转动连接，使弧形杆带动扭簧进行转动，利用扭簧和支撑柱之间的转动连接，使弧形杆转动时带动扭簧进行转动，使多组弧形杆远离固定板的侧壁，通过拉动固定板，使固定板的底部和软垫之间进行分离工作，通过针对固定板进行更换工作，实现固定板的使用效果；
2.本实用新型通过转动卡环，使卡环在固定座的侧壁进行转动，利用卡环和活动杆之间的固定连接，使卡环转动时带动活动杆进行转动，通过活动杆和限位板之间的固定连接，使活动杆带动限位板同步进行转动，实现对连接板的固定效果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型的固定座结构示意图；
图2为本实用新型的固定板局部结构示意图；
图3为本实用新型的限位板结构示意图；
图4为本实用新型的连接板局部结构示意图；
图5为本实用新型的防护罩结构示意图。
图中：1、连杆；2、固定座；3、卡环；41、固定板；42、弧形杆；43、支撑柱；44、连接板；45、扭簧；46、软垫；5、限位板；6、活动杆；7、凹槽；8、弹簧；9、防护罩。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1－图5所示，一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，包括连杆1；所述连杆1的顶部固接有固定座2，所述固定座2顶部设置有固定组件，所述固定组件固接在固定座2的顶部；
所述固定组件包括固定板41，所述固定板41的底部设置有软垫46和连接板44，所述软垫46顶部对称粘接在固定板41的底部，所述固定板41通过软垫46粘接在连接板44的顶部，所述连接板44的侧壁设置有支撑柱43和扭簧45，所述支撑柱43和扭簧45均设置有若干组，且所述支撑柱43的侧壁对称固接在连接板44的侧壁，所述扭簧45的一端转动连接有弧形杆42，所述弧形杆42的侧壁通过扭簧45转动连接在支撑柱43；
工作时，现有的平面靶在使用时，通常都是需要开腔使平面靶的侧壁暴露出来，实现对平面靶的更换工作，但通过开腔方式进行更换时，操作较为繁琐，通过拉动弧形杆42，使弧形杆42进行转动，利用弧形杆42和扭簧45之间的转动连接，使弧形杆42带动扭簧45进行转动，利用扭簧45和支撑柱43之间的转动连接，使弧形杆42转动时带动扭簧45进行转动，使多组弧形杆42远离固定板41的侧壁，通过拉动固定板41，使固定板41的底部和软垫46之间进行分离工作，通过针对固定板41进行更换工作，实现固定板41的使用效果。
进一步的，如图3所示，所述固定座2的顶部设置有凹槽7和限位板5，所述凹槽7对称开设在固定座2的顶部，所述限位板5设置有若干组，且所述限位板5的底部滑动连接在凹槽7的内部；
工作时，利用限位板5和固定座2之间的滑动连接，使限位板5在凹槽7的内部进行移动，通过凹槽7和固定座2之间的配合使用，实现对限位板5的限制效果。
进一步的，如图3所示，所述固定座2的顶部设置有弹簧8，所述弹簧8设置有若干组，且所述弹簧8一端固接在固定座2的顶部，所述连接板44转动连接在限位板5的内部；
工作时，通过连接板44的底部接触到固定座2顶部的弹簧8，通过连接板44向下移动时对弹簧8形成压缩效果，利用弹簧8反向作用力，使弹簧8推动连接板44向上进行移动，通过限位板5实现对连接板44的限制工作，实现对连接板44的固定效果。
进一步的，如图3所示，所述限位板5的侧壁设置有活动杆6，所述活动杆6设置有若干组，所述活动杆6一端固接在限位板5的侧壁；
工作时，通过活动杆6和限位板5之间的固定连接，使活动杆6带动限位板5同步进行转动。
进一步的，如图1所示，所述固定座2的侧壁设置有卡环3，所述卡环3侧壁固接在活动杆6的另一端，所述卡环3通过活动杆6转动连接在固定座2的侧壁；
工作时，通过转动卡环3，使卡环3在固定座2的侧壁进行转动，利用卡环3和活动杆6之间的固定连接，使卡环3转动时带动活动杆6进行转动。
进一步的，如图5所示，所述连接板44的顶部设置有防护罩9，所述防护罩9底部对称嵌入在连接板44的顶部；
工作时，利用防护罩9和连接板44之间的卡接，使防护罩9灵活固定在连接板44的顶部，通过防护罩9和连接板44的配合，实现对连接板44的防护工作。
工作原理：现有的平面靶在使用时，通常都是需要开腔使平面靶的侧壁暴露出来，实现对平面靶的更换工作，但通过开腔方式进行更换时，操作较为繁琐，通过拉动弧形杆42，使弧形杆42进行转动，利用弧形杆42和扭簧45之间的转动连接，使弧形杆42带动扭簧45进行转动，利用扭簧45和支撑柱43之间的转动连接，使弧形杆42转动时带动扭簧45进行转动，使多组弧形杆42远离固定板41的侧壁，通过拉动固定板41，使固定板41的底部和软垫46之间进行分离工作，通过针对固定板41进行更换工作，实现固定板41的使用效果，通过推动固定板41，使固定板41的底部接触到软垫46的顶部，通过软垫46和固定板41之间的粘接，使固定板41固定在软垫46的侧壁，通过扭簧45的反向作用力，使扭簧45进行转动，利用扭簧45和弧形杆42之间的转动连接，使扭簧45转动时带动弧形杆42进行转动，利用弧形杆42转动后接触到固定板41的侧壁，通过弧形杆42和软垫46的配合使用，实现对固定板41的固定工作，通过转动卡环3，使卡环3在固定座2的侧壁进行转动，利用卡环3和活动杆6之间的固定连接，使卡环3转动时带动活动杆6进行转动，通过活动杆6和限位板5之间的固定连接，使活动杆6带动限位板5同步进行转动，通过推动连接板44，使连接板44的底部嵌入在限位板5的内部，利用连接板44和限位板5之间的卡接，实现对连接板44的限制效果，同时连接板44的底部接触到固定座2顶部的弹簧8，通过连接板44向下移动时对弹簧8形成压缩效果，利用弹簧8反向作用力，使弹簧8推动连接板44向上进行移动，通过限位板5实现对连接板44的限制工作，实现对连接板44的固定效果，这种装置使平面靶在进行更换时更简便，避免需要进行多次操作的情况。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
Claims (6)
1.一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，包括连杆(1)；所述连杆(1)的顶部固接有固定座(2)，所述固定座(2)顶部设置有固定组件，所述固定组件固接在固定座(2)的顶部，其特征在于；
所述固定组件包括固定板(41)，所述固定板(41)的底部设置有软垫(46)和连接板(44)，所述软垫(46)顶部对称粘接在固定板(41)的底部，所述固定板(41)通过软垫(46)粘接在连接板(44)的顶部，所述连接板(44)的侧壁设置有支撑柱(43)和扭簧(45)，所述支撑柱(43)和扭簧(45)均设置有若干组，且所述支撑柱(43)的侧壁对称固接在连接板(44)的侧壁，所述扭簧(45)的一端转动连接有弧形杆(42)，所述弧形杆(42)的侧壁通过扭簧(45)转动连接在支撑柱(43)。
2.根据权利要求1所述的一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，其特征在于：所述固定座(2)的顶部设置有凹槽(7)和限位板(5)，所述凹槽(7)对称开设在固定座(2)的顶部，所述限位板(5)设置有若干组，且所述限位板(5)的底部滑动连接在凹槽(7)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，其特征在于：所述固定座(2)的顶部设置有弹簧(8)，所述弹簧(8)设置有若干组，且所述弹簧(8)一端固接在固定座(2)的顶部，所述连接板(44)转动连接在限位板(5)的内部。
4.根据权利要求3所述的一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，其特征在于：所述限位板(5)的侧壁设置有活动杆(6)，所述活动杆(6)设置有若干组，所述活动杆(6)一端固接在限位板(5)的侧壁。
5.根据权利要求4所述的一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，其特征在于：所述固定座(2)的侧壁设置有卡环(3)，所述卡环(3)侧壁固接在活动杆(6)的另一端，所述卡环(3)通过活动杆(6)转动连接在固定座(2)的侧壁。
6.根据权利要求5所述的一种便于更换的镀膜磁控溅射平面靶，其特征在于：所述连接板(44)的顶部设置有防护罩(9)，所述防护罩(9)底部对称嵌入在连接板(44)的顶部。
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