CN220575592U - 一种硅片抛光机夹持装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片抛光机夹持装置。所述硅片抛光机夹持装置包括：箱体，所述箱体的顶部设置有工作台，所述工作台的表面开设有多个滑动槽，所述箱体内设置有平移机构，所述箱体一侧的表面开设通风口，所述箱体内设置有固定机构，所述箱体一侧的表面固定连接有操作器。通过平移机构，达到调节吸盘的目的，使得固定机构可以固定不同尺寸的硅片，也可以达到快速固定的效果，再通过固定机构，通过连接管将真空管和吸盘内的空气抽出，使得吸盘内为真空，从而将吸盘和硅片吸附在一起，达到夹持硅片的效果，且吸盘对硅片伤害小，便于对硅片进行加工的硅片抛光机夹持装置。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片抛光设备技术领域，尤其涉及一种硅片抛光机夹持装置。
背景技术
硅片是由单晶硅组成的片状物体，属于半导体，硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。
现有技术中，在对硅片加工时，需要对硅片夹持固定，由于硅片易碎，所以通过夹持机构夹持硅片时容易损坏硅片，不利于硅片的加工，故有待改进。
因此，有必要提供一种新的硅片抛光机夹持装置解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种通过平移机构，达到调节吸盘的目的，使得固定机构可以固定不同尺寸的硅片，也可以达到快速固定的效果，再通过固定机构，通过连接管将真空管和吸盘内的空气抽出，使得吸盘内为真空，从而将吸盘和硅片吸附在一起，达到夹持硅片的效果，且吸盘对硅片伤害小，便于对硅片进行加工的硅片抛光机夹持装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的硅片抛光机夹持装置包括：箱体，所述箱体的顶部设置有工作台，所述工作台的表面开设有多个滑动槽，所述箱体内设置有平移机构，所述箱体一侧的表面开设通风口，所述箱体内设置有固定机构，所述箱体一侧的表面固定连接有操作器，所述操作器的表面固定安装有显示屏，所述操作器的表面设置有多个按键开关，所述箱体的底部固定安装有多个支撑腿；所述平移机构包括有十字板、电机和主动锥齿，所述十字板与箱体的内壁固定连接，所述十字板的底部与电机固定连接，所述电机的输出轴穿过十字板与主动锥齿固定连接。
作为本实用新型的进一步方案，所述平移机构还包括有四个被动锥齿、四个螺杆和四个固定板，四个所述被动锥齿均与主动锥齿相啮合，四个被动锥齿分别与对应螺杆的一端固定连接，四个所述螺杆的另一端分别与对应箱体内壁的一侧固定连接，四个所述固定板的底部均与十字板的顶部固定连接，四个所述固定板分别与对应螺杆的表面转动连接。
作为本实用新型的进一步方案，所述平移机构还包括有八个L型板和四个支撑杆，八个所述L型板分别两两固定安装在十字板的表面，八个所述L型板分别两两与对应的支撑杆滑动连接，四个所述支撑杆分别与对应螺杆的表面螺纹连接，四个所述支撑杆分别与对应的滑动槽滑动连接。
作为本实用新型的进一步方案，所述固定机构包括有四个吸盘、四个真空管、四个固定块和四个限位槽，四个所述吸盘分别与对应支撑杆的顶部固定连接，四个所述真空管的一端穿过支撑杆分别与对应的吸盘相连通，四个所述固定块分别与对应支撑杆一侧的表面固定连接，所述固定块分别与对应真空管的表面固定连接，四个所述限位槽均开设在十字板的表面，四个所述限位槽分别与对应真空管的表面滑动连接。
作为本实用新型的进一步方案，所述固定机构还包括有连接器和四个连接管，所述连接器与箱体内壁的底侧固定连接，四个所述连接管的一端均与连接器的表面相连通，四个所述连接管的另一端分别与对应真空管的另一端相连通。
作为本实用新型的进一步方案，所述固定机构还包括有真空检测器和真空泵，所述真空检测器与连接器相连通，所述真空泵与箱体内壁的底侧固定连接，所述真空泵的抽气口与真空检测器相连通，所述真空泵的出气口与通风口相适配。
与相关技术相比较，本实用新型提供的硅片抛光机夹持装置具有如下有益效果：
1、本实用新型通过平移机构，启动电机，使主动锥齿带动被动锥齿转动，从而使螺杆转动，使支撑杆可以水平调节位置，从而达到调节吸盘的目的，使得固定机构可以固定不同尺寸的硅片，也可以达到快速固定的效果。
2、本实用新型通过固定机构，启动真空泵，通过连接管将真空管和吸盘内的空气抽出，使得吸盘内为真空，从而将吸盘和硅片吸附在一起，达到夹持硅片的效果，且吸盘对硅片伤害小，便于对硅片进行加工。
附图说明
为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1为本实用新型硅片抛光机夹持装置的立体结构示意图；
图2为本实用新型硅片抛光机夹持装置中立体剖视的结构连接示意图；
图3为本实用新型硅片抛光机夹持装置中平移机构的结构连接示意图。
图中：1、箱体；2、工作台；3、滑动槽；4、平移机构；401、十字板；402、电机；403、主动锥齿；404、被动锥齿；405、螺杆；406、固定板；407、L型板；408、支撑杆；5、通风口；6、固定机构；601、吸盘；602、真空管；603、固定块；604、限位槽；605、连接器；606、连接管；607、真空检测器；608、真空泵；7、操作器；8、显示屏；9、按键开关；10、支撑腿。
具体实施方式
请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型硅片抛光机夹持装置的立体结构示意图；图2为本实用新型硅片抛光机夹持装置中立体剖视的结构连接示意图；图3为本实用新型硅片抛光机夹持装置中平移机构的结构连接示意图。硅片抛光机夹持装置包括：箱体1，所述箱体1的顶部设置有工作台2，所述工作台2的表面开设有多个滑动槽3，所述箱体1内设置有平移机构4，所述箱体1一侧的表面开设通风口5，所述箱体1内设置有固定机构6，所述箱体1一侧的表面固定连接有操作器7，所述操作器7的表面固定安装有显示屏8，所述操作器7的表面设置有多个按键开关9，所述箱体1的底部固定安装有多个支撑腿10，所述平移机构4包括有十字板401、电机402和主动锥齿403，所述十字板401与箱体1的内壁固定连接，所述十字板401的底部与电机402固定连接，所述电机402的输出轴穿过十字板401与主动锥齿403固定连接。
如图1、图2和图3所示，所述平移机构4还包括有四个被动锥齿404、四个螺杆405和四个固定板406，四个所述被动锥齿404均与主动锥齿403相啮合，四个被动锥齿404分别与对应螺杆405的一端固定连接，四个所述螺杆405的另一端分别与对应箱体1内壁的一侧固定连接，四个所述固定板406的底部均与十字板401的顶部固定连接，四个所述固定板406分别与对应螺杆405的表面转动连接；所述平移机构4还包括有八个L型板407和四个支撑杆408，八个所述L型板407分别两两固定安装在十字板401的表面，八个所述L型板407分别两两与对应的支撑杆408滑动连接，四个所述支撑杆408分别与对应螺杆405的表面螺纹连接，四个所述支撑杆408分别与对应的滑动槽3滑动连接；
通过平移机构4，启动电机402，使主动锥齿403带动被动锥齿404转动，从而使螺杆405转动，使支撑杆408可以水平调节位置，从而达到调节吸盘601的目的，使得固定机构6可以固定不同尺寸的硅片，也可以达到快速固定的效果。
如图1、图2和图3所示，所述固定机构6包括有四个吸盘601、四个真空管602、四个固定块603和四个限位槽604，四个所述吸盘601分别与对应支撑杆408的顶部固定连接，四个所述真空管602的一端穿过支撑杆408分别与对应的吸盘601相连通，四个所述固定块603分别与对应支撑杆408一侧的表面固定连接，所述固定块603分别与对应真空管602的表面固定连接，四个所述限位槽604均开设在十字板401的表面，四个所述限位槽604分别与对应真空管602的表面滑动连接；所述固定机构6还包括有连接器605和四个连接管606，所述连接器605与箱体1内壁的底侧固定连接，四个所述连接管606的一端均与连接器605的表面相连通，四个所述连接管606的另一端分别与对应真空管602的另一端相连通；所述固定机构6还包括有连接器605和四个连接管606，所述连接器605与箱体1内壁的底侧固定连接，四个所述连接管606的一端均与连接器605的表面相连通，四个所述连接管606的另一端分别与对应真空管602的另一端相连通；所述固定机构6还包括有真空检测器607和真空泵608，所述真空检测器607与连接器605相连通，所述真空泵608与箱体1内壁的底侧固定连接，所述真空泵608的抽气口与真空检测器607相连通，所述真空泵608的出气口与通风口5相适配；
通过固定机构6，启动真空泵608，通过连接管606将真空管602和吸盘601内的空气抽出，使得吸盘601内为真空，从而将吸盘601和硅片吸附在一起，达到夹持硅片的效果，且吸盘601对硅片伤害小，便于对硅片进行加工。
本实用新型提供的硅片抛光机夹持装置的工作原理如下：
在需要对硅片进行加工时，首先通过平移机构4，启动电机402，使主动锥齿403带动被动锥齿404转动，从而使螺杆405转动，使支撑杆408可以水平调节位置，从而达到调节吸盘601的目的，使得固定机构6可以固定不同尺寸的硅片，也可以达到快速固定的效果；待调节到合适的位置，将待加工的硅片放置在吸盘601上，启动真空泵608，通过连接管606将真空管602和吸盘601内的空气抽出，使得吸盘601内为真空，从而将吸盘601和硅片吸附在一起，达到夹持硅片的效果，且吸盘601对硅片伤害小，便于对硅片进行加工，并且设置有真空检测器607，其结果可以显示在显示屏8上，通过实际数据检测到吸盘601、真空管602内部的气压为多少，可以更好的固定硅片，也可以根据硅片的不同，调节气压，便于夹持装置更好的使用。
需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电***及控制***等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电***及控制***的具体，申请文件的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现；
其中所使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，且本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
尽管已经表示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型或直接或间接运用，在其它相关的技术领域，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种硅片抛光机夹持装置，其特征在于：包括有箱体，所述箱体的顶部设置有工作台，所述工作台的表面开设有多个滑动槽，所述箱体内设置有平移机构，所述箱体一侧的表面开设通风口，所述箱体内设置有固定机构，所述箱体一侧的表面固定连接有操作器，所述操作器的表面固定安装有显示屏，所述操作器的表面设置有多个按键开关，所述箱体的底部固定安装有多个支撑腿；
所述平移机构包括有十字板、电机和主动锥齿，所述十字板与箱体的内壁固定连接，所述十字板的底部与电机固定连接，所述电机的输出轴穿过十字板与主动锥齿固定连接。
2.根据权利要求1所述的硅片抛光机夹持装置，其特征在于：所述平移机构还包括有四个被动锥齿、四个螺杆和四个固定板，四个所述被动锥齿均与主动锥齿相啮合，四个被动锥齿分别与对应螺杆的一端固定连接，四个所述螺杆的另一端分别与对应箱体内壁的一侧固定连接，四个所述固定板的底部均与十字板的顶部固定连接，四个所述固定板分别与对应螺杆的表面转动连接。
3.根据权利要求2所述的硅片抛光机夹持装置，其特征在于：所述平移机构还包括有八个L型板和四个支撑杆，八个所述L型板分别两两固定安装在十字板的表面，八个所述L型板分别两两与对应的支撑杆滑动连接，四个所述支撑杆分别与对应螺杆的表面螺纹连接，四个所述支撑杆分别与对应的滑动槽滑动连接。
4.根据权利要求3所述的硅片抛光机夹持装置，其特征在于：所述固定机构包括有四个吸盘、四个真空管、四个固定块和四个限位槽，四个所述吸盘分别与对应支撑杆的顶部固定连接，四个所述真空管的一端穿过支撑杆分别与对应的吸盘相连通，四个所述固定块分别与对应支撑杆一侧的表面固定连接，所述固定块分别与对应真空管的表面固定连接，四个所述限位槽均开设在十字板的表面，四个所述限位槽分别与对应真空管的表面滑动连接。
5.根据权利要求4所述的硅片抛光机夹持装置，其特征在于：所述固定机构还包括有连接器和四个连接管，所述连接器与箱体内壁的底侧固定连接，四个所述连接管的一端均与连接器的表面相连通，四个所述连接管的另一端分别与对应真空管的另一端相连通。
6.根据权利要求5所述的硅片抛光机夹持装置，其特征在于：所述固定机构还包括有真空检测器和真空泵，所述真空检测器与连接器相连通，所述真空泵与箱体内壁的底侧固定连接，所述真空泵的抽气口与真空检测器相连通，所述真空泵的出气口与通风口相适配。
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