CN220548132U - 抛光液自动供液*** - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 122
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 73
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 69
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 53
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 claims description 10
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010808 liquid waste Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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Abstract
本申请公开了一种抛光液自动供液***，包括：存储罐，存储罐用于存储抛光液；供液单元，供液单元将存储罐内的抛光液输送至设备；溢流管路，溢流管路与存储罐连接且将存储罐内过多的抛光液排放；回收单元，回收单元将设备用过的抛光液以及溢流管路排放的抛光液进行收集过滤后回至储存罐内形成循环；控温单元，控温单元用于调节储存罐内抛光液的温度；供水管路，供水单元向存储罐供水且用于管路清洗；PH值调节单元，PH值调节单元控制存储罐内抛光液的PH值。该通过各单元及管路配合实现循环供液，解决人工配液时间长、劳动强度高、效率低且配液浓度存在偏差导致产品质量不稳定的问题，减少抛光液浪费，降低产品成本。
Description
技术领域
本申请涉及半导体生产领域，特别是一种抛光液自动供液***。
背景技术
目前，用于平坦化集成电路层的制造制程是化学机械抛光。化学机械抛光制程将化学去除与机械抛光相结合。化学机械抛光制程对晶圆抛光以及从晶圆上去除材料，并可用于平坦化多材料表面，在进行抛光的过程中，需要加入抛光液对抛光面进行缓和。
现有技术中，将抛光液放置在罐体内进行存储，再由管道与各机构配合进行输送，在罐体内存放的过程中，抛光液容易产生沉淀，从而影响抛光液的使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种抛光液自动供液***，以克服现有技术中的不足。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
本申请实施例公开了一种抛光液自动供液***，其特征在于，包括：
存储罐，所述存储罐用于存储抛光液；
供液单元，所述供液单元将所述存储罐内的抛光液输送至设备；
溢流管路，所述溢流管路与所述存储罐连接且将所述存储罐内过多的抛光液排放；
回收单元，所述回收单元将设备用过的抛光液以及所述溢流管路排放的抛光液进行收集过滤后回至所述存储罐内形成循环；
控温单元，所述控温单元用于调节所述存储罐内抛光液的温度；
供水管路，所述供水管路向所述存储罐供水且用于管路清洗；
PH值调节单元，所述PH值调节单元控制存储罐内抛光液的PH值。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述供液单元包括供液管路以及依次设置在供液管路上的供液泵、阻尼器、供液过滤器和流量计，所述供液管路连接存储罐和设备，所述供液过滤器两侧的供液管路上均设有供液控制阀，所述供液过滤器的介质进出口与供液管路连接，所述供液过滤器的排气口通过第一排气管路与存储罐连接，所述供液过滤器的排液口通过第一排液管路与溢流管路连接，所述供液管路上设有与两个供液控制阀及供液过滤器并联的第一控制阀，所述第一排气管路上设有第二控制阀，所述第一排液管路上设有第三控制阀。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述供液管路上设有与供水管路连接的第一清洗管路，所述第一清洗管路上设有第四控制阀。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述流量计与供液控制阀之间的供液管路上设有与存储罐连接的回流管路。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述回收单元包括回收桶、回收泵、回收过滤器和回收管路，所述回收管路连接回收桶和存储罐，所述回收泵和回收过滤器依次设置在回收管路上，所述回收过滤器的介质进出口与回收管路连接，所述回收过滤器的排气口通过第二排气管路与存储罐连接，所述回收过滤器的排液口通过第二排液管路与溢流管路连接，所述回收过滤器两侧的回收管路上均设有回收控制阀，所述回收管路上设有与两个回收控制阀及回收过滤器并联的第五控制阀，所述第二排气管路上设有第六控制阀，所述第二排液管路上设有第七控制阀。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述回收管路上设有与供水管路连接的第二清洗管路，所述第二清洗管路上设有第八控制阀。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述回收桶上设有与溢流管路连通的第三排液管。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述控温单元包括冷水机和冷热交换管，所述冷热交换管的两端与冷水机连接，所述冷热交换管设置在存储罐内。
优选的，在上述的一种抛光液自动供液***中，所述PH值调节单元包括碱性溶液存储桶、调节泵、第三排气管路、调节管路和PH值传感器，所述PH值传感器设置在存储罐内，所述调节管路连接碱性溶液存储桶和存储罐，所述调节泵设置在调节管路上，所述第三排气管路连接碱性溶液存储桶和存储罐，所述调节管路上设有第九控制阀。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
通过各单元及管路配合实现循环供液且调节抛光液状态，解决人工配液时间长、劳动强度高、效率低且配液浓度存在偏差导致产品质量不稳定的问题，减少抛光液浪费，降低产品成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。
图1所示为本实用新型具体实施例中抛光液自动供液***的管路图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参图1所示，本实施例中的抛光液自动供液***，包括：存储罐1，存储罐1用于存储抛光液；供液单元2，供液单元2将存储罐1内的抛光液输送至设备3；溢流管路4，溢流管路4与存储罐1连接且将存储罐1内过多的抛光液排放；回收单元5，回收单元5将设备3用过的抛光液以及溢流管路4排放的抛光液进行收集过滤后回至存储罐1内形成循环；控温单元6，控温单元6用于调节存储罐1内抛光液的温度；供水管路7，供水管路7向存储罐1供水且用于管路清洗；PH值调节单元8，PH值调节单元8控制存储罐1内抛光液的PH值。
进一步的，供液单元2包括供液管路201以及依次设置在供液管路201上的供液泵202、阻尼器203、供液过滤器204和流量计205，供液管路201连接存储罐1和设备3，供液过滤器204两侧的供液管路201上均设有供液控制阀206，供液过滤器204的介质进出口与供液管路201连接，供液过滤器204的排气口通过第一排气管路207与存储罐1连接，供液过滤器204的排液口通过第一排液管路208与溢流管路4连接，供液管路201上设有与两个供液控制阀206及供液过滤器204并联的第一控制阀209，第一排气管路207上设有第二控制阀210，第一排液管路208上设有第三控制阀211。通过流量计进行精确供液，并且通过设置过滤器进行过滤，确保供液质量，并且通过一对供液控制阀及第一控制阀开关配合，即一对供液控制阀关闭且第一控制阀开启，即可实现对供液过滤器短路，从而可以对供液过滤器的滤芯进行更换，反之则正常进行过滤供液，维护可不间断循环，效果更佳。
进一步的，供液管路201上设有与供水管路7连接的第一清洗管路212，第一清洗管路212上设有第四控制阀213。通过清洗管路可以对供液管路及与供液管路连接的管路进行清洗。
进一步的，流量计205与供液控制阀206之间的供液管路201上设有与存储罐1连接的回流管路214，回流管路214上设有回流控制阀215，回流管路201上设有与溢流管路4连通的第四排液管路216，第四排液管路216上设有第十控制阀217。通过回流控制阀控制回流管路以及第十控制阀控制第四排液管路来配合流量计，控制流量，保护管路。
进一步的，回收单元5包括回收桶501、回收泵502、回收过滤器503和回收管路504，回收管路504连接回收桶501和存储罐1，回收泵502和回收过滤器503依次设置在回收管路504上，回收过滤器503的介质进出口与回收管路504连接，回收过滤器503的排气口通过第二排气管路505与存储罐1连接，回收过滤器503的排液口通过第二排液管路506与溢流管路4连接，回收过滤器503两侧的回收管路504上均设有回收控制阀507，回收管路504上设有与两个回收控制阀507及回收过滤器503并联的第五控制阀508，第二排气管路505上设有第六控制阀509，第二排液管路506上设有第七控制阀510。回收桶回收溢流及设备用过的抛光液经回收过滤器进行过滤，依次达到循环，避免抛光液的浪费，减少成本，同时类比供液控制器及控制阀的配合，实现回收管路短路进行回收过滤器滤芯的更换，维护可不间断循环，效果更佳。
进一步的，回收管路504上设有与供水管路7连接的第二清洗管路511，第二清洗管路511上设有第八控制阀512。通过清洗管路可以对回收管路及与回收管路连接的管路进行清洗。
进一步的，回收桶501上设有与溢流管路4连通的第三排液管513，通过第三排液管避免回收桶溢流，起到保护效果，循环效果更佳。
进一步的，控温单元6包括冷水机601和冷热交换管602，冷热交换管602的两端与冷水机601连接，冷热交换管602设置在存储罐1内。冷热交换实现抛光液恒温，使得抛光液处于最佳状态，使用效果更佳。
进一步的，PH值调节单元8包括碱性溶液存储桶801、调节泵802、第三排气管路803、调节管路804和PH值传感器805，PH值传感器805设置在存储罐1内，调节管路804连接碱性溶液存储桶801和存储罐1，调节泵802设置在调节管路804上，第三排气管路803连接碱性溶液存储桶801和存储罐1，调节管路804上设有第九控制阀806。通过对存储罐内加入碱性溶液来实现PH值调节，确保抛光液的使用效果，且利用第三排气管对存储罐内的气体排出，减小存储罐内的压力。
在该技术方案中，通过各单元及管路配合实现循环供液且调节抛光液状态，解决人工配液时间长、劳动强度高、效率低且配液浓度存在偏差导致产品质量不稳定的问题，减少抛光液浪费，降低产品成本。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (9)
1.一种抛光液自动供液***，其特征在于，包括：
存储罐，所述存储罐用于存储抛光液；
供液单元，所述供液单元将所述存储罐内的抛光液输送至设备；
溢流管路，所述溢流管路与所述存储罐连接且将所述存储罐内过多的抛光液排放；
回收单元，所述回收单元将设备用过的抛光液以及所述溢流管路排放的抛光液进行收集过滤后回至所述存储罐内形成循环；
控温单元，所述控温单元用于调节所述存储罐内抛光液的温度；
供水管路，所述供水管路向所述存储罐供水且用于管路清洗；
PH值调节单元，所述PH值调节单元控制存储罐内抛光液的PH值。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述供液单元包括供液管路以及依次设置在供液管路上的供液泵、阻尼器、供液过滤器和流量计，所述供液管路连接存储罐和设备，所述供液过滤器两侧的供液管路上均设有供液控制阀，所述供液过滤器的介质进出口与供液管路连接，所述供液过滤器的排气口通过第一排气管路与存储罐连接，所述供液过滤器的排液口通过第一排液管路与溢流管路连接，所述供液管路上设有与两个供液控制阀及供液过滤器并联的第一控制阀，所述第一排气管路上设有第二控制阀，所述第一排液管路上设有第三控制阀。
3.根据权利要求2所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述供液管路上设有与供水管路连接的第一清洗管路，所述第一清洗管路上设有第四控制阀。
4.根据权利要求2所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述流量计与供液控制阀之间的供液管路上设有与存储罐连接的回流管路。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述回收单元包括回收桶、回收泵、回收过滤器和回收管路，所述回收管路连接回收桶和存储罐，所述回收泵和回收过滤器依次设置在回收管路上，所述回收过滤器的介质进出口与回收管路连接，所述回收过滤器的排气口通过第二排气管路与存储罐连接，所述回收过滤器的排液口通过第二排液管路与溢流管路连接，所述回收过滤器两侧的回收管路上均设有回收控制阀，所述回收管路上设有与两个回收控制阀及回收过滤器并联的第五控制阀，所述第二排气管路上设有第六控制阀，所述第二排液管路上设有第七控制阀。
6.根据权利要求5所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述回收管路上设有与供水管路连接的第二清洗管路，所述第二清洗管路上设有第八控制阀。
7.根据权利要求5所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述回收桶上设有与溢流管路连通的第三排液管。
8.根据权利要求1所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述控温单元包括冷水机和冷热交换管，所述冷热交换管的两端与冷水机连接，所述冷热交换管设置在存储罐内。
9.根据权利要求1所述的一种抛光液自动供液***，其特征在于：所述PH值调节单元包括碱性溶液存储桶、调节泵、第三排气管路、调节管路和PH值传感器，所述PH值传感器设置在存储罐内，所述调节管路连接碱性溶液存储桶和存储罐，所述调节泵设置在调节管路上，所述第三排气管路连接碱性溶液存储桶和存储罐，所述调节管路上设有第九控制阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321516266.2U CN220548132U (zh) | 2023-06-14 | 2023-06-14 | 抛光液自动供液*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321516266.2U CN220548132U (zh) | 2023-06-14 | 2023-06-14 | 抛光液自动供液*** |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220548132U true CN220548132U (zh) | 2024-03-01 |
Family
ID=90008250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321516266.2U Active CN220548132U (zh) | 2023-06-14 | 2023-06-14 | 抛光液自动供液*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220548132U (zh) |
-
2023
- 2023-06-14 CN CN202321516266.2U patent/CN220548132U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |