CN220508382U - 一种用于ldi光路性能检测的多功能检测平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，包括大理石平台、平台运动***、传感器和光路；所述光路固定在大理石平台上，并对准安装在平台运动***上的传感器。通过调整平台运动***，能够模拟光路安装在LDI设备上时的工作距离，进而模拟光路在LDI设备的安装状态，进而对光路进行检测。在光路安装到LDI设备之前，先在大理石平台上进行检测和调整，由于没有其他设备和罩板的阻挡，操作员很容易就可以对光路进行测试和调整。

Description

一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台

技术领域

本实用新型涉及一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台。

背景技术

LDI，英文全称是Laser Direct Imaging，中文全称是激光直接成像技术，用于PCB工艺中的曝光工序，通过激光扫描的方法直接将图像在PCB上成像，能够产生更为精细的图像。光路是LDI中会使用到的重要的元器件，光路的焦面、倍率、能量大小、能量均匀性和光照均匀性和关系到激光通过光路后的成像质量。光路检测方法是：固定光路，令激光通过光路使其投影出图像，传感器接收图像并呈现在电脑中，通过对图像的面积、明暗等分析得出其焦面、倍率，照明均匀性。能量均匀性以及功率则是在固定高度下使用能量计测试其能量数据。

现有技术中，对光路进行调节和性能检测，往往需要在LDI设备上进行曝光，但由于设备上存在多个光路模组，不同光路的模组之间互相阻挡，同时光路模组周边还有罩板，导致光路模组周围空间十分狭窄，操作空间有限。此外，技术人员在LDI设备上调整光路时还需要攀爬到LDI设备上进行操作，因此光路的调整极不方便。因此提供一种检测平台，将光路在装上LDI设备之前就调节好参数并进行性能检测，从而尽量减少在LDI设备上进行二次调整，是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，来解决以上问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，包括大理石平台；

大理石平台的上部带有一凸出部，凸出部沿高度方向开设有安装通孔；凸出部围绕安装通孔的上表面设置有安装钣金；

安装通孔的正下方设置有平台运动***，平台运动***包括移动机构和设置在移动机构的上表面的负载板，负载板与安装钣金平行；移动机构用于带动负载板在水平和垂直方向上移动。

负载板的中心安装有传感器，平台运动***处于预设的初始位置时，传感器的中心与安装通孔的中心的投影重合；传感器与安装钣金间隔预设的第一高度；

还包括光路，光路通过环绕光路外周设置的若干安装法兰固定在安装钣金的上表面；光路输出端中心的投影与传感器的中心重合。

优选地，移动机构包括水平移动装置和垂直移动装置，垂直移动装置的上表面与水平移动装置相连，水平移动装置的上表面与负载板相连。

优选地，还包括能量计；能量计的检测头可拆卸设置在传感器的上表面；当检测能量均匀性和功率时，激光图像通过光路投射到检测头表面，检测头获取激光图像各点的能量，并显示在与检测头电连接的显示器中。

优选地，平台运动***和安装钣金之间还包括设备支架；

设备支架包括平行于负载板上表面设置的平板状安装台和用于支撑安装台的支撑脚；

设备支架通过支撑脚可拆卸安装于平台运动***的负载板的上表面；安装台的中央开设有避让孔，当负载板位于预设的初始位置时，传感器被完全覆盖在避让孔的投影范围内。

优选地，还包括大理石底部平台；

大理石底部平台的上表面与大理石平台和平台运动***的下表面固定连接。

优选地，大理石平台和大理石底部平台表面的高度起伏不大于.微米。

优选地，包括光调制器；光调制器的输出端与光路连接；光调制器与传感器之间间隔预设的第二高度。

优选地，包括第一垫片和第二垫片；第一垫片***光调制器与光路连接的缝隙中；第二垫片***光路的安装法兰与安装钣金的缝隙中。

优选地，还包括控制***；控制***分别与光路、传感器、光调制器和平台运动***电连接。

优选地，还包括工作台；工作台中央开设有用于安装大理石底部平台的安装槽。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：在光路安装到LDI设备之前，先安装在大理石平台上进行调整，由于没有其他设备和罩板的阻挡，操作员很容易就可以对光路进行测试和调整。传感器搭载在平台运动***运动上，能够在水平方向和垂直方向上调整传感器的位置，从而能够对光路投射出的图像的不同位置进行检测，也可以做到调整传感器与安装钣金的距离，从而能够适配不同种类、不同参数的光路。同时大理石平台的物理性质稳定性高于LDI设备的金属材质，加工精度也高于LDI设备，能够减少在调整光路时的误差，有利于减少进行二次调整的次数。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。

图1为本实用新型实施例提供的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台结构正视示意图；

图2为本实用新型实施例提供的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台结构轴侧示意图；

图3为本实用新型实施例提供的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台的平台运动***示意图；

图4为本实用新型实施例提供的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台的光路和光调制器的安装示意图。

图示说明：1—大理石平台；2—安装钣金；21—光路；22—光调制器；3—平台运动***；31—移动机构；32—负载板；33—设备支架；331—安装台；332—支撑脚；4—大理石底部平台；5—控制***；6—工作台。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实用新型实施例提供了一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，

一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，包括大理石平台1；

所述大理石平台1的上部带有一凸出部，所述凸出部沿高度方向开设有安装通孔；所述凸出部围绕所述安装通孔的上表面设置有安装钣金2；

所述安装通孔的正下方设置有平台运动***3，所述平台运动***3包括移动机构31和设置在移动机构31的上表面的负载板32，所述负载板32与所述安装钣金2平行；所述移动机构31用于带动所述负载板32在水平和垂直方向上移动。

所述负载板32的中心安装有传感器，所述平台运动***3处于预设的初始位置时，所述传感器的中心与所述安装通孔的中心的投影重合；所述传感器与所述安装钣金2间隔预设的第一高度；

还包括光路21，所述光路21通过环绕光路21外周设置的若干安装法兰固定在所述安装钣金2的上表面；所述光路21输出端中心的投影与所述传感器的中心重合。

所述移动机构31带动所述负载板32移动，从而使得所述负载板32与所述安装钣金2之间的距离可以调节，从而能够对应不同工作距离的光路21。

使用时，将待检测和调试的光路21固定在大理石平台上，调整平台运动***的水平位置和垂直位置到预设的初始位置，所述预设的初始位置还对应所述负载板32与所述安装钣金2间隔预设的第一高度，所述预设的第一高度对应所述光路21的工作距离，之后再调整所述平台运动***3，使所述光路21输出端中心的投影与所述传感器的中心重合。

所述光路21带有用于调节内部镜片和方棒角度的调节旋钮，从而能够改变所述光路21的工作状态，使得光路的焦面、倍率、光照均匀性发生变化。操作人员可通过所述传感器检测到数值和所述调节旋钮来调整所述光路21，使激光图像通过所述光路以后能够正好聚焦并投射到所述传感器的接收端上，从而使所述光路21达到理想的工作状态。

所述移动机构31包括水平移动装置和垂直移动装置，所述垂直移动装置的上表面与所述水平移动装置相连，所述水平移动装置的上表面与所述负载板32相连。所述垂直移动装置能够带动所述水平移动装置和负载板32在垂直方向上整体移动；所述水平移动装置则能够在此基础上带动所述负载板32在水平方向上移动，从而检测到所述激光图像在水平和垂直方向上不同位置的参数。

还包括能量计；所述能量计的检测头可拆卸设置在所述传感器的上表面；当检测能量均匀性和功率时，激光图像通过所述光路21投射到检测头表面，所述检测头获取所述激光图像各点的能量，并显示在与所述检测头电连接的显示器中。当不需要检测所述激光图像的能量时，可以将所述检测头从所述传感器的上表面取下，避免遮挡传感器从而对检测造成影响。

所述平台运动***3和所述安装钣金2之间还包括设备支架33；

所述设备支架33包括平行于所述负载板32上表面设置的平板状安装台331和用于支撑所述安装台331的支撑脚332；

所述设备支架33通过所述支撑脚332可拆卸安装于所述平台运动***3的负载板32的上表面；所述安装台331的中央开设有避让孔，当所述负载板位于预设的初始位置时，所述传感器被完全覆盖在所述避让孔的投影范围内。所述设备支架33可以允许操作人员根据需要加装不同的检测设备，从而对能够所述光路21进行更多种类的检测和试验。

还包括大理石底部平台4；

所述大理石底部平台4的上表面与所述大理石平台1和平台运动***3的下表面固定连接。

所述大理石平台1和所述大理石底部平台4表面的高度起伏不大于2.5微米。

包括光调制器22；所述光调制器22的输出端与所述光路21连接；所述光调制器22与所述传感器之间间隔预设的第二高度。所述预设的第二高度对应所述光调制器22的工作高度。

包括第一垫片和第二垫片；所述第一垫片***所述光调制器22与所述光路21连接的缝隙中；所述第二垫片***所述光路21的安装法兰与所述安装钣金2的缝隙中。由于平台运动***3运动精度有限，有时候并不总能正好使得传感器相对于光路21和光调制器处于理想的工作高度和工作距离上，而光路21的调节旋钮的调节精度也有限制，有时不能使得激光图像正好聚焦在传感器的输入端上，此时则需要直接对光路21和光调制器的安装位置进行微调。通过将所述第一垫片***所述光调制器22与所述光路21连接的缝隙中，能够微调所述光调制器22与所述传感器之间的高度差，使得所述光调制器22更贴近其工作高度和理想工作状态。通过所述第二垫片***所述光路21的安装法兰与所述安装钣金2的缝隙中，能够微调所述光路21与所述传感器之间的距离，使得所述光路22更贴近其工作距离和理想工作状态。

还包括控制***5；所述控制***5分别与所述光路21、传感器、所述光调制器22和所述平台运动***3电连接。

还包括工作台6；所述工作台6中央开设有用于安装所述大理石底部平台4的安装槽。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，包括大理石平台(1)；

所述大理石平台(1)的上部带有一凸出部，所述凸出部沿高度方向开设有安装通孔；所述凸出部围绕所述安装通孔的上表面设置有安装钣金(2)；

所述安装通孔的正下方设置有平台运动***(3)，所述平台运动***(3)包括移动机构(31)和设置在移动机构(31)的上表面的负载板(32)，所述负载板(32)与所述安装钣金(2)平行；所述移动机构(31)用于带动所述负载板(32)在水平和垂直方向上移动；

所述负载板(32)的中心安装有传感器，所述平台运动***(3)处于预设的初始位置时，所述传感器的中心与所述安装通孔的中心的投影重合；所述传感器与所述安装钣金(2)间隔预设的第一高度；

还包括光路(21)，所述光路(21)通过环绕光路(21)外周设置的若干安装法兰固定在所述安装钣金(2)的上表面；所述光路(21)输出端中心的投影与所述传感器的中心重合。

2.根据权利要求1所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，所述移动机构(31)包括水平移动装置和垂直移动装置，所述垂直移动装置的上表面与所述水平移动装置相连，所述水平移动装置的上表面与所述负载板(32)相连。

3.根据权利要求1所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，还包括能量计；所述能量计的检测头可拆卸设置在所述传感器的上表面；当检测能量均匀性和功率时，激光图像通过所述光路(21)投射到检测头表面，所述检测头获取所述激光图像各点的能量，并显示在与所述检测头电连接的显示器中。

4.根据权利要求2所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，所述平台运动***(3)和所述安装钣金(2)之间还包括设备支架(33)；

所述设备支架(33)包括平行于所述负载板(32)上表面设置的平板状安装台(331)和用于支撑所述安装台(331)的支撑脚(332)；

所述设备支架(33)通过所述支撑脚(332)可拆卸安装于所述平台运动***(3)的负载板(32)的上表面；所述安装台(331)的中央开设有避让孔，当所述负载板位于预设的初始位置时，所述传感器被完全覆盖在所述避让孔的投影范围内。

5.根据权利要求1所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，还包括大理石底部平台(4)；

所述大理石底部平台(4)的上表面与所述大理石平台(1)和平台运动***(3)的下表面固定连接。

6.根据权利要求5所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，所述大理石平台(1)和所述大理石底部平台(4)表面的高度起伏不大于2.5微米。

7.根据权利要求1所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，包括光调制器(22)；所述光调制器(22)的输出端与所述光路(21)连接；所述光调制器(22)与所述传感器之间间隔预设的第二高度。

8.根据权利要求7所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，包括第一垫片和第二垫片；所述第一垫片***所述光调制器(22)与所述光路(21)连接的缝隙中；所述第二垫片***所述光路(21)的安装法兰与所述安装钣金(2)的缝隙中。

9.根据权利要求8所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，还包括控制***(5)；所述控制***(5)分别与所述光路(21)、传感器、所述光调制器(22)和所述平台运动***(3)电连接。

10.根据权利要求5所述的用于LDI光路性能检测的多功能检测平台，其特征在于，还包括工作台(6)；所述工作台(6)中央开设有用于安装所述大理石底部平台(4)的安装槽。