CN220420549U - 一种石英舟扩散升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的一种石英舟扩散升降机构，包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；所述的输送机构包括输送机构安装架、输送辊、对硅片进行输送的输送带Ⅰ及对石英舟进行输送的输送带Ⅱ；所述的升降机构包括升降安装柱、水平位移动力机构、升降板、竖向位移动力机构、承载板和若干根吸附管；收储机构可对硅片及石英舟进行承载，并通过输送机构将硅片及石英舟输送至升降机构的正下方，由升降机构上的吸附管将收储盒Ⅰ上的硅片吸附并转移至收储盒Ⅱ上的石英舟上，完成硅片的自动取放，一定程度上的减少了取放硅片的劳动力，降低了人工工作量，提高了产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英舟扩散工艺设备技术领域，具体为一种石英舟扩散升降机构。
背景技术
目前，在对石英舟进行扩散作业时，首先将扩散用的硅片放置在石英舟上，再将负载好硅片的石英舟放置在扩散炉的扩散炉传送带上，再由扩散炉传送带将负载有硅片的石英舟送入扩散炉中进行扩散作业，此时扩散炉内石英舟上的硅片被加热，加热期间在硅片的表面形成氧化层，扩散作业后降温出炉，再将扩散后的硅片从石英舟内取出，再次放入未经扩散处理的硅片；但是在实际生产中，硅片或石英舟需要提前购置，在硅片及石英舟均运送到厂区后再进行进一步组装并进行扩散作业，这会导致工作台面上堆积满待安装的硅片或石英舟，排布混乱不易计数；并且一般是人工将硅片放入在石英内，该方法效率比较低；因此，提出一种在扩散工艺前，当石英舟或硅片未同时抵达厂区前，可对石英舟或硅片提前排布，并在石英舟或硅片均抵达厂区内后，仅对石英舟或硅片其中一种物品进行装载/归集即可，不仅避免工作台面肆意堆积硅片或石英舟，且可使得硅片自动装载在石英舟上的石英舟扩散升降机构。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种在扩散工艺前，当石英舟或硅片未同时抵达厂区前，可对石英舟或硅片提前排布，并在石英舟或硅片均抵达厂区内后，仅对石英舟或硅片其中一种物品进行装载/归集即可，不仅避免工作台面肆意堆积硅片或石英舟，且可使得硅片自动装载在石英舟上的石英舟扩散升降机构。
本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，一种石英舟扩散升降机构，包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；
所述的输送机构包括输送机构安装架、输送辊、对硅片进行输送的输送带Ⅰ及对石英舟进行输送的输送带Ⅱ；所述的输送机构安装架固定安装在柜体的顶面上；所述的输送辊转动安装在输送机构安装架上；所述的输送带Ⅰ和输送带Ⅱ安装在输送辊的外周面上；
所述的收储机构包括放置在输送带Ⅰ上的收储盒Ⅰ和放置在输送带Ⅱ上的收储盒Ⅱ；所述的收储盒Ⅰ上开设有用于容纳硅片的硅片容纳槽；所述的收储盒Ⅱ上开设有用于容纳石英舟的石英舟容纳槽；
在所述的输送带Ⅰ及输送带Ⅱ上安装有对收储盒Ⅰ和收储盒Ⅱ进行阻挡限位的限位组件；
所述的升降机构包括升降安装柱、水平位移动力机构、升降板、竖向位移动力机构、承载板和若干根吸附管；所述的升降安装柱固定安装在柜体的顶面上；所述的水平位移动力机构水平设置且其安装端安装在所述的升降安装柱的顶部侧壁上；所述的升降板固定安装在所述水平位移动力机构的伸缩端上；所述的竖向位移动力机构竖直设置且其安装端固定安装在升降板的顶面上；所述的承载板固定安装在竖向位移动力机构的伸缩端上；所述的吸附管竖直设置并固定在承载板上，所述的吸附管位于输送机构的正上方。
与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果是：
（1）收储机构可对硅片及石英舟进行承载，并通过输送机构将硅片及石英舟输送至升降机构的正下方，由升降机构上的吸附管将收储盒Ⅰ上的硅片吸附并转移至收储盒Ⅱ上的石英舟上，完成硅片的自动取放，一定程度上的减少了取放硅片的劳动力，降低了人工工作量，提高了产能；
（2）设置在输送带Ⅰ及输送带Ⅱ上的收储盒Ⅰ及收储盒Ⅱ的可对硅片或石英舟进行分别收储并集中排布，避免以往人工插片时将硅片或石英舟大量的堆积在工作台上，不仅导致物品排放不规整，不易清点数量，堆积的硅片或石英舟也会因挤压导致其表面产生不必要的划痕。
附图说明
图1为本实用新型取硅片前的主视结构示意图；
图2为本实用新型取硅片时的主视结构示意图；
图3为本实用新型取硅片后的主视结构示意图；
图4为本实用新型放硅片时的主视结构示意图；
图5为图4的主视结构示意图；
图6为输送带Ⅰ及输送带Ⅱ的俯视结构示意图。
图中：1、柜体；2、石英舟；3、硅片；4、输送机构安装架；5、输送辊；6、输送带Ⅰ；7、输送带Ⅱ；8、收储盒Ⅰ；9、收储盒Ⅱ；10、升降安装柱；11、水平位移动力机构；12、竖向位移动力机构；13、承载板；14、吸附管；15、长度限位条；16、宽度限位条；17、竖板；18、横板；19、滑块；20、开关门；21、支腿。
具体实施方式
以下参照附图，进一步描述本实用新型的具体技术方案，以便于本领域的技术人员进一步地理解本实用新型，而不构成对其权利的限制。
实施例1，参照图1-6，一种石英舟扩散升降机构，包括柜体1，柜体1形成为大致的方形柜体1，其尺寸规格根据使用需求可自行选择，在柜体1上设置有对石英舟2及硅片3进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片3转运至石英舟2上的升降机构；
所述的输送机构包括输送机构安装架4、输送辊5、对硅片3进行输送的输送带Ⅰ6及对石英舟2进行输送的输送带Ⅱ7；所述的输送机构安装架4固定安装在柜体1的顶面上，输送机构安装架4形成为大致的方形框架，其设计目的在于对输送辊5及输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7进行支撑；所述的输送辊5转动安装在输送机构安装架4上，输送辊5可由步进电机驱动旋转；所述的输送带Ⅰ6和输送带Ⅱ7安装在输送辊5的外周面上，输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7的长度/宽度根据使用需求可自行选择；
所述的收储机构包括放置在输送带Ⅰ6上的收储盒Ⅰ8和放置在输送带Ⅱ7上的收储盒Ⅱ9；所述的收储盒Ⅰ8上开设有用于容纳硅片3的硅片容纳槽，收储盒Ⅰ8形成为大致的方形盒体，硅片容纳槽形成为方形槽体；所述的收储盒Ⅱ9上开设有用于容纳石英舟2的石英舟容纳槽，收储盒Ⅱ9形成为大致的方形盒体，石英舟容纳槽形成为方形槽体；
在所述的输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7上安装有对收储盒Ⅰ8和收储盒Ⅱ9进行阻挡限位的限位组件；
所述的升降机构包括升降安装柱10、水平位移动力机构11、升降板、竖向位移动力机构12、承载板13和若干根吸附管14；所述的升降安装柱10固定安装在柜体1的顶面上，升降安装柱10形成为大致的圆柱状结构；所述的水平位移动力机构11水平设置且其安装端安装在所述的升降安装柱10的顶部侧壁上，水平位移动力机构11可为气缸/电缸/液压缸的一种并不局限于此；所述的升降板固定安装在所述水平位移动力机构11的伸缩端上；所述的竖向位移动力机构12竖直设置且其安装端固定安装在升降板的顶面上，竖向位移动力机构12可为气缸/电缸/液压缸的一种并不局限于此；所述的承载板13固定安装在竖向位移动力机构12的伸缩端上，承载板13形成为大致的方形板状结构；所述的吸附管14竖直设置并固定在承载板13上，所述的吸附管14位于输送机构的正上方，吸附管14可并排等距设置有多根，相邻两根吸附管14的间距等于相邻两个硅片容纳槽或相邻两个石英舟容纳槽的间距，该设计目的使得每次取放硅片3时每根吸附管14的正下方均正对一个硅片容纳槽或石英舟容纳槽。
实施例1中，在硅片3取放期间，驱动输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7移动的输送辊5可由步进电机驱动，每次输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7的输送距离均相同，且每次取放硅片3期间竖向位移动力机构12的伸缩端及水平位移动力机构11的伸缩端的伸缩距离均为额定距离，以此使得整个硅片3的取放/升降作业实现标准化，其结构设计合理，大大降低了以往人工取放硅片3期间工作台堆积满硅片3和石英舟2，造成工作台杂乱不整洁，不易清点数量等问题。
实施例2，实施例1所述的一种石英舟扩散升降机构，所述的限位组件包括若干组长度限位条和若干组宽度限位条；
每组所述的长度限位条均包括两条长度限位条15，长度限位条15形成为大致的方形条状结构，两条长度限位条15沿输送带Ⅰ6/输送带Ⅱ7的输送方向一前一后固定设置在输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7上，每组长度限位条15的两条长度限位条15的间距等于收储盒Ⅰ8/收储盒Ⅱ9的长度；
每组所述的宽度限位条均包括两条宽度限位条16，宽度限位条16形成为大致的方形条状结构，两条宽度限位条16沿输送带Ⅰ6/输送带Ⅱ7的输送方向一左一右固定设置在输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7上，每组宽度限位条16的两条宽度限位条16的间距等于收储盒Ⅰ8/收储盒Ⅱ9的宽度。
实施例2中，长度限位条15和宽度限位条16的设计目的在于对收储盒Ⅰ8或收储盒Ⅱ9进行限位，使得在取放硅片3作业前，只需要将承载硅片3或石英舟2的收储盒Ⅰ8或收储盒Ⅱ9放置在长度限位条15和宽度限位条16之间即可，不需要额外测量或对位，快捷方便。
实施例3，实施例1所述的一种石英舟扩散升降机构，所述的升降板由竖板17和横板18构成，竖板17和横板18均形成为大致的方形板状结构；
所述的竖板17竖直设置并固定在水平位移动力机构11的伸缩端上；
所述的横板18水平设置并垂直固定在竖板17的顶面上，所述的竖向位移动力机构12的安装端固定在横板18的顶面上，在所述的横板18上开设有若干个便于吸附管14穿过的通孔，通孔可为圆孔。
实施例4，实施例3所述的一种石英舟扩散升降机构，在所述的横板18的底面上固定设有滑块19，在所述的升降安装柱10的顶面上固定设有供所述滑块19移动所设的滑轨，滑块19和滑轨形成为大致的方形结构，其设计目的在于使得升降板与升降安装柱10滑动配合连接，其尺寸规格根据使用需求自行选择。
实施例5，实施例1所述的一种石英舟扩散升降机构，所述的输送带Ⅰ6和输送带Ⅱ7同步输送，输送带Ⅰ6和输送带Ⅱ7左右安装在输送辊5上。
实施例6，实施例1所述的一种石英舟扩散升降机构，所述的柜体1的立面侧壁上安装有开关门20。
实施例7，实施例1所述的一种石英舟扩散升降机构，所述的柜体1的底面四角上固定安装有若干个对柜体1进行支撑的支腿21。
该石英舟扩散升降机构使用时：首先将厂区内的硅片3或石英舟2提前放置在收储盒Ⅰ8及收储盒Ⅱ9内，再将收储盒Ⅰ8及收储盒Ⅱ9放置在输送带Ⅰ6或输送带Ⅱ7上，通过输送带Ⅰ6和输送带Ⅱ7将收储盒Ⅰ8及收储盒Ⅱ9输送至升降机构的正下方，通过外部电源驱动竖向位移动力机构12的伸缩端伸出，使得吸附管14下行并抵在收储盒Ⅰ8内的硅片3上表面上，通过外部真空***对吸附管14抽负压使得吸附管14将硅片3吸附在吸附管14上，再使得竖向位移动力机构12的伸缩端收缩，通过外部电源驱动水平位移动力机构11的伸缩端水平伸出，使得竖向位移动力机构12位于输送带Ⅱ7的正上方，此时竖向位移动力机构12的伸缩端伸出，使得硅片3抵达输送带Ⅱ7上的收储盒Ⅱ9内的石英舟2上，顺次使得竖向位移动力机构12的伸缩端收缩，并使得水平位移动力机构11的伸缩端收缩至初始状态，即可完成一批次硅片3的取放，同理对其他收储盒Ⅰ8上的硅片3进行取放在收储盒Ⅱ9内的石英舟2内即可；另外，在硅片3取放期间，驱动输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7移动的输送辊5可由步进电机驱动，每次输送带Ⅰ6及输送带Ⅱ7的输送距离均相同，且每次取放硅片3期间竖向位移动力机构12的伸缩端及水平位移动力机构11的伸缩端的伸缩距离均为额定距离，以此使得整个硅片3的取放/升降作业实现标准化，其结构设计合理，大大降低了以往人工取放硅片3期间工作台堆积满硅片3和石英舟2，造成工作台杂乱不整洁，不易清点数量等问题。
Claims (7)
1.一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；
所述的输送机构包括输送机构安装架、输送辊、对硅片进行输送的输送带Ⅰ及对石英舟进行输送的输送带Ⅱ；所述的输送机构安装架固定安装在柜体的顶面上；所述的输送辊转动安装在输送机构安装架上；所述的输送带Ⅰ和输送带Ⅱ安装在输送辊的外周面上；
所述的收储机构包括放置在输送带Ⅰ上的收储盒Ⅰ和放置在输送带Ⅱ上的收储盒Ⅱ；所述的收储盒Ⅰ上开设有用于容纳硅片的硅片容纳槽；所述的收储盒Ⅱ上开设有用于容纳石英舟的石英舟容纳槽；
在所述的输送带Ⅰ及输送带Ⅱ上安装有对收储盒Ⅰ和收储盒Ⅱ进行阻挡限位的限位组件；
所述的升降机构包括升降安装柱、水平位移动力机构、升降板、竖向位移动力机构、承载板和若干根吸附管；所述的升降安装柱固定安装在柜体的顶面上；所述的水平位移动力机构水平设置且其安装端安装在所述的升降安装柱的顶部侧壁上；所述的升降板固定安装在所述水平位移动力机构的伸缩端上；所述的竖向位移动力机构竖直设置且其安装端固定安装在升降板的顶面上；所述的承载板固定安装在竖向位移动力机构的伸缩端上；所述的吸附管竖直设置并固定在承载板上，所述的吸附管位于输送机构的正上方。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的限位组件包括若干组长度限位条和若干组宽度限位条；
每组所述的长度限位条均包括两条长度限位条，两条长度限位条沿输送带Ⅰ/输送带Ⅱ的输送方向一前一后固定设置在输送带Ⅰ及输送带Ⅱ上，每组长度限位条的两条长度限位条的间距等于收储盒Ⅰ/收储盒Ⅱ的长度；
每组所述的宽度限位条均包括两条宽度限位条，两条宽度限位条沿输送带Ⅰ/输送带Ⅱ的输送方向一左一右固定设置在输送带Ⅰ及输送带Ⅱ上，每组宽度限位条的两条宽度限位条的间距等于收储盒Ⅰ/收储盒Ⅱ的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的升降板由竖板和横板构成；
所述的竖板竖直设置并固定在水平位移动力机构的伸缩端上；
所述的横板水平设置并垂直固定在竖板的顶面上，所述的竖向位移动力机构的安装端固定在横板的顶面上，在所述的横板上开设有若干个便于吸附管穿过的通孔。
4.根据权利要求3所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：在所述的横板的底面上固定设有滑块，在所述的升降安装柱的顶面上固定设有供所述滑块移动所设的滑轨。
5.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的输送带Ⅰ和输送带Ⅱ同步输送，输送带Ⅰ和输送带Ⅱ左右安装在输送辊上。
6.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的柜体的立面侧壁上安装有开关门。
7.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的柜体的底面四角上固定安装有若干个对柜体进行支撑的支腿。
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