CN220401979U - 加热组件和薄膜沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加热组件和薄膜沉积设备，由于工作加热丝和备用加热丝能够独立通电运行，因此在平时工作加热丝通电运行正常工作状态下，工作加热丝来为薄膜沉积工艺提供热量，若是工作加热丝因短路等因素发生烧断，则可以控制备用加热丝通电运行，使得加热组件由正常工作状态切换至备用工作状态，以通过备用加热丝继续提供热量，避免薄膜沉积工艺中断，从而保证加热过程的连续性和稳定性，在薄膜沉积工艺做完之后再更换加热丝即可，避免设备损坏，减少了停机时间和维修成本。

Description

加热组件和薄膜沉积设备

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，尤其是涉及一种加热组件和薄膜沉积设备。

背景技术

薄膜沉积技术是一种将物质沉积在基底表面形成薄膜的工艺方法，常用于制备各种材料的薄膜，它在电子器件、光学器件、纳米材料等领域具有广泛的应用，通过控沉积过程中的条件和参数，可以获得具有不同性质和功能的薄膜材料。

通过薄膜沉积技术可以在晶圆等基底上形成薄膜或涂层，该薄膜或者涂层来阻挡外界环境对晶圆的侵害，稳定晶圆的性能。

在薄膜沉积的过程中，需要加热丝来提供热量，但是在沉积过程中可能会出现加热丝烧断的现象，加热功能丧失，导致对薄膜沉积工艺产生影响，从而难以保证薄膜质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热组件和薄膜沉积设备，可以避免薄膜沉积工艺中断，保证加热的连续性和稳定性。

第一方面，本实用新型提供一种加热组件，包括能够独立通电运行的工作加热丝和备用加热丝，所述加热组件包括正常工作状态和备用工作状态，在所述正常工作状态下，所述工作加热丝通电运行，若是所述工作加热丝出现烧断，则所述备用加热丝通电运行，以切换至所述备用工作状态。

在可选的实施方式中，所述工作加热丝和所述备用加热丝两者的形状相适配，以呈并列布置。

在可选的实施方式中，所述工作加热丝包括第一环形部以及夹角连接于所述第一环形部的第一通电部，所述备用加热丝包括第二环形部以及夹角连接于所述第二环形部的第二通电部，所述第一环形部环绕于所述第二环形部外或所述第二环形部环绕于所述第一环形部外，所述第一通电部和所述第二通电部呈环形间隔分布。

在可选的实施方式中，所述第一环形部和所述第二环形部均呈圆环形。

在可选的实施方式中，所述第一通电部和所述第二通电部在所述第一环形部的径向上相对。

在可选的实施方式中，所述加热组件还包括导热绝缘件，所述导热绝缘件具有相互独立的两道安装通道，所述工作加热丝和所述备用加热丝分别穿设于一道所述安装通道内。

在可选的实施方式中，所述加热组件还包括检测件，所述检测件用于检测所述工作加热丝是否烧断。

在可选的实施方式中，所述检测件包括温度传感器，所述温度传感器靠近所述工作加热丝设置。

在可选的实施方式中，所述检测件包括电流表，所述电流表与所述工作加热丝串联。

第二方面，本实用新型提供一种薄膜沉积设备，包括前述实施方式任一项所述的加热组件。

本实用新型实施例的有益效果包括：

由于工作加热丝和备用加热丝能够独立通电运行，因此在平时工作加热丝通电运行正常工作状态下，工作加热丝来为薄膜沉积工艺提供热量，若是工作加热丝因短路等因素发生烧断，则可以控制备用加热丝通电运行，使得加热组件由正常工作状态切换至备用工作状态，以通过备用加热丝继续提供热量，避免薄膜沉积工艺中断，从而保证加热过程的连续性和稳定性，在薄膜沉积工艺做完之后再更换加热丝即可，避免设备损坏，减少了停机时间和维修成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例加热组件的示意图。

图标：10-工作加热丝；11-第一环形部；12-第一通电部；20-备用加热丝；21-第二环形部；22-第二通电部；30-导热绝缘件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在薄膜沉积的过程中，需要加热丝来提供热量，现有的加热丝一般采用单圈结构，缺乏保护机制，在沉积过程中可能会出现加热丝烧断的现象，此时可能会导致设备加热功能丧失和设备损坏的问题，导致对薄膜沉积工艺产生影响，从而难以保证薄膜质量。

为了改善上述问题，发明人经研究提出了以下实施例进行改善，下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

请参考图1，本实用新型实施例公开了一种加热组件，包括能够独立通电运行的工作加热丝10和备用加热丝20，加热组件包括正常工作状态和备用工作状态，在正常工作状态下，工作加热丝10通电运行，若是工作加热丝10出现烧断，则备用加热丝20通电运行，以切换至备用工作状态。

在本实施例中，由于工作加热丝10和备用加热丝20能够独立通电运行，因此在平时工作加热丝10通电运行正常工作状态下，工作加热丝10来为薄膜沉积工艺提供热量，若是工作加热丝10因短路等因素发生烧断，则可以控制备用加热丝20通电运行，使得加热组件由正常工作状态切换至备用工作状态，以通过备用加热丝20继续提供热量，避免薄膜沉积工艺中断，从而保证加热过程的连续性和稳定性，在薄膜沉积工艺做完之后再更换加热丝即可，避免设备损坏，减少了停机时间和维修成本。

在本实施例中，工作加热丝10和备用加热丝20两者的形状相适配，以呈并列布置，这样可以使得备用加热丝20通电运行时产生的热场与工作加热丝10通电运行时产生的热场基本相同，从而避免由于热场分布不同而影响薄膜沉积工艺的正常进行。

具体来说，工作加热丝10包括第一环形部11以及夹角连接于第一环形部11的第一通电部12，备用加热丝20包括第二环形部21以及夹角连接于第二环形部21的第二通电部22，第一环形部11环绕于第二环形部21外，第一环形部11和第二环形部21均呈圆环形。从而构成双圈结构，而第一通电部12和第二通电部22呈环形间隔分布，第一通电部12和第二通电部22则用于连接电源，以通过第一通电部12来使得第一环形部11产生热量，通过第二通电部22来使第二环形部21产生热量。

其中，需要注意的是，第一通电部12和第二通电部22可以是并联至一个电源，也可以是各自连接一个电源，只要保证第一通电部12和第二通电部22不是串联即可；也可以是第二环形部21环绕于第一环形部11外。

第一通电部12和第二通电部22在第一环形部11的径向上相对，从而使得第一通电部12和第二通电部22之间有足够大的距离，便于引线。

可以理解的是，第一通电部12由于需要连接到电源的正负极，因此数量为两个，一个第一通电部12作为正极接线端，另一个第一通电部12则作为负极接线端，相应第一环形部11为开环，两个第一通电部12分别连接在第一环形部11的两端。同理，第二通电部22也为两个，一个第二通电部22作为正极接线端，另一个第二通电部22则作为负极接线端。

在本实施例中，加热组件还包括导热绝缘件30，导热绝缘件30具有相互独立的两道安装通道，工作加热丝10和备用加热丝20分别穿设于一道安装通道内，通过导热绝缘件30可以使得工作加热丝10和备用加热丝20之间绝缘，同时保护工作加热丝10和绝缘加热丝。

此外，为了方便控制备用加热丝20通电运行的启用时机，因此在本实施例中，加热组件还包括检测件，检测件用于检测工作加热丝10是否烧断。

具体来说，检测件可以是温度传感器，温度传感器靠近工作加热丝10设置，从而通过温度传感器检测加热丝附近的温度，若是温度发生下降，则说明工作加热丝10烧断。

检测件还可以是电流表，电流表与工作加热丝10串联，若是电流表的输出的数据为零，则说明工作加热丝10烧断。

此外，本实施例还公开了一种薄膜沉积设备，其包括上述实施例的加热组件。

综上，本实施例公开了一种加热组件和薄膜沉积设备，由于工作加热丝10和备用加热丝20能够独立通电运行，因此在平时工作加热丝10通电运行正常工作状态下，工作加热丝10来为薄膜沉积工艺提供热量，若是工作加热丝10因短路等因素发生烧断，则可以控制备用加热丝20通电运行，使得加热组件由正常工作状态切换至备用工作状态，以通过备用加热丝20继续提供热量，避免薄膜沉积工艺中断，从而保证加热过程的连续性和稳定性，在薄膜沉积工艺做完之后再更换加热丝即可，避免设备损坏，减少了停机时间和维修成本。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种加热组件，其特征在于，包括能够独立通电运行的工作加热丝(10)和备用加热丝(20)，所述加热组件包括正常工作状态和备用工作状态，在所述正常工作状态下，所述工作加热丝(10)通电运行，若是所述工作加热丝(10)出现烧断，则所述备用加热丝(20)通电运行，以切换至所述备用工作状态。

2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述工作加热丝(10)和所述备用加热丝(20)两者的形状相适配，以呈并列布置。

3.根据权利要求2所述的加热组件，其特征在于，所述工作加热丝(10)包括第一环形部(11)以及夹角连接于所述第一环形部(11)的第一通电部(12)，所述备用加热丝(20)包括第二环形部(21)以及夹角连接于所述第二环形部(21)的第二通电部(22)，所述第一环形部(11)环绕于所述第二环形部(21)外或所述第二环形部(21)环绕于所述第一环形部(11)外，所述第一通电部(12)和所述第二通电部(22)呈环形间隔分布。

4.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，所述第一环形部(11)和所述第二环形部(21)均呈圆环形。

5.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，所述第一通电部(12)和所述第二通电部(22)在所述第一环形部(11)的径向上相对。

6.根据权利要求2所述的加热组件，其特征在于，所述加热组件还包括导热绝缘件(30)，所述导热绝缘件(30)具有相互独立的两道安装通道，所述工作加热丝(10)和所述备用加热丝(20)分别穿设于一道所述安装通道内。

7.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述加热组件还包括检测件，所述检测件用于检测所述工作加热丝(10)是否烧断。

8.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述检测件包括温度传感器，所述温度传感器靠近所述工作加热丝(10)设置。

9.根据权利要求7所述的加热组件，其特征在于，所述检测件包括电流表，所述电流表与所述工作加热丝(10)串联。

10.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的加热组件。