CN220398854U - 一种moems器件自动测量机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种MOEMS器件自动测量机构，包括机箱和连接在其顶部与其垂直设置的立座，所述机箱的顶部安装有Y轴模组，Y轴模组的输出端连接有与其垂直设置的X轴模组。本实用新型利用X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和转台模组相互配合对MOEMS器件座上的MOEMS器件进行移动和旋转，使MOEMS器件和PSD模块按照预定位置进行对位，以满足测量要求；PSD模块利用光学原理，对MOEMS的振镜偏转角度进行测量，将测量的光学信号转换为电信号，满足***自动测试要求；旋转机构a和旋转机构b可自由偏转角度，模拟振镜偏转，同时让角度传感器辅助得出偏转角度，从而对各角度的电信号进行参数标定，满足后续测量要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及测量仪器技术领域，尤其涉及一种MOEMS器件自动测量机构。
背景技术
PSD是一种能够连续监测光点位置的非分割型光电转换元件，目前常利用PSD位置传感器测试振动信号。它是一种模拟器件，具有响应时间快，***电路简单，分辨率高以及不受入射光束和焦点偏离的影响等特点。以测量石英摆片的振动为例。石英摆片是加速度计的核心敏感元件，它广泛应用于航天、航空、航海等各种飞行器舰船的惯性导航、遥控、遥测***中，因此对石英加速度计的性能提出了很高的要求，而石英摆片的各项参数，如几何尺寸、挠性刚度、摆动频率与振幅、扭动频率与振幅等都将对加速度计的性能产生影响。因此，实现对石英摆片各项参数的综合测试，是我们面临的新问题。基于PSD传感器的诸多优点，在了解其检测原理之后特设计一套检测***以满足我们的测量要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MOEMS器件自动测量机构。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种MOEMS器件自动测量机构，包括机箱和连接在其顶部与其垂直设置的立座，所述机箱的顶部安装有Y轴模组，Y轴模组的输出端连接有与其垂直设置的X轴模组，X轴模组的输出端安装有转台模组，转台模组的输出端连接有MOEMS器件座；
立座侧壁安装有竖直设置的Z轴模组，Z轴模组的输出端连接有旋转机构b，旋转机构b的输出端连接有旋转机构a，旋转机构a的输出端安装有PSD模块。
优选地，所述PSD模块包括安装板和连接在其顶部的盖板，盖板和安装板之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器和PSD传感器，安装板的底部设有透光口。
优选地，所述旋转机构a包括底座和连接座，底座和连接座通过弧形限位结构滑动相连，连接座靠近底座的一侧安装有月牙板，底座上转动连接有蜗杆，月牙板上设有与蜗杆相对于的螺纹，底座的侧壁安装有止动机构，连接座与PSD模块相连。
优选地，所述弧形限位结构包括分别与底座和连接座相连的弧形滑轨，弧形滑轨相对的一侧均设有滚槽，滚槽内设置有若干滚珠，滚珠通过保持架相连。
优选地，所述止动机构包括安装在底座侧壁的侧板，侧板上设有弧形滑口，弧形滑口内设置有紧固螺钉。
优选地，所述PSD模块上分别安装有角度传感器和距离传感器。
优选地，所述Y轴模组、X轴模组和Z轴模组均采用滚珠丝杠结构。
优选地，所述转台模组、Y轴模组、X轴模组和Z轴模组均采用伺服驱动。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和转台模组相互配合对MOEMS器件座上的MOEMS器件进行移动和旋转，使MOEMS器件和PSD模块按照预定位置进行对位，以满足测量要求；
2、PSD模块利用光学原理，对MOEMS的振镜偏转角度进行测量，将测量的光学信号转换为电信号，满足***自动测试要求；
3、旋转机构a和旋转机构b可自由偏转角度，模拟振镜偏转，同时让角度传感器辅助得出偏转角度，从而对各角度的电信号进行参数标定，满足后续测量要求。
附图说明
为了更具体直观地说明本实用新型实施例或者现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简要介绍。
图1为本实用新型一种MOEMS器件自动测量机构的结构示意图一；
图2为本实用新型一种MOEMS器件自动测量机构的结构示意图二；
图3为本实用新型一种MOEMS器件自动测量机构的旋转机构a结构示意图一；
图4为本实用新型一种MOEMS器件自动测量机构的旋转机构a结构示意图二；
图5为本实用新型一种MOEMS器件自动测量机构的PSD模块结构示意图一；
图6为本实用新型一种MOEMS器件自动测量机构的PSD模块结构示意图二。
图中：机箱1、Y轴模组2、X轴模组3、转台模组4、MOEMS器件座5、Z轴模组6、旋转机构a7、底座71、月牙板72、连接座73、螺纹74、蜗杆75、侧板76、紧固螺钉77、弧形滑轨78、滚珠79、PSD模块8、盖板81、安装板82、激光器83、PSD传感器84、透光口85、角度传感器9、距离传感器10、旋转机构b11。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-6，一种MOEMS器件自动测量机构，包括机箱1和连接在其顶部与其垂直设置的立座，机箱1的顶部安装有Y轴模组2，Y轴模组2的输出端连接有与其垂直设置的X轴模组3，X轴模组3的输出端安装有转台模组4，转台模组4的输出端连接有MOEMS器件座5；
立座侧壁安装有竖直设置的Z轴模组6，Z轴模组6的输出端连接有旋转机构b11，旋转机构b11的输出端连接有旋转机构a7，旋转机构a7的输出端安装有PSD模块8。
X轴模组3、Y轴模组2、Z轴模组6和转台模组4相互配合对MOEMS器件座5上的MOEMS器件进行移动和旋转，使MOEMS器件和PSD模块8按照预定位置进行对位，以满足测量要求。
MOEMS器件座5用于给MOEMS器件供电及加载各种激励信号。
本实施方案中，PSD模块8包括安装板82和连接在其顶部的盖板81，盖板81和安装板82之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器83和PSD传感器84，安装板82的底部设有透光口85。
PSD模块8利用光学原理，对MOEMS的振镜偏转角度进行测量，将测量的光学信号转换为电信号，满足***自动测试要求，激光器83产生入射光线照射到MOEMS器件的振镜上，并反射光线至PSD传感器84，通过入射角和反射角来测定振镜偏转角度。
本实施方案中，旋转机构a7包括底座71和连接座73，底座71和连接座73通过弧形限位结构滑动相连，连接座73靠近底座71的一侧安装有月牙板72，底座71上转动连接有蜗杆75，月牙板72上设有与蜗杆75相对于的螺纹74，底座71的侧壁安装有止动机构，连接座73与PSD模块8相连。
旋转机构b11用于调节PSD模块8在平行X轴平面内的角度，旋转机构a7用于调节PSD模块8在平行Y轴平面内的角度，通过旋转蜗杆75，蜗杆75与月牙板72上的螺纹74啮合，带动连接座73相对底座71旋转，实现角度的调节。
可自由偏转角度，模拟振镜偏转，同时让角度传感器辅助得出偏转角度，从而对各角度的电信号进行参数标定，满足后续测量要求。
本实施方案中，弧形限位结构包括分别与底座71和连接座73相连的弧形滑轨78，弧形滑轨78相对的一侧均设有滚槽，滚槽内设置有若干滚珠79，滚珠79通过保持架相连，保证底座71和连接座73相对滑动的稳定性，同时减小二者之间的摩擦。
本实施方案中，止动机构包括安装在底座71侧壁的侧板76，侧板76上设有弧形滑口，弧形滑口内设置有紧固螺钉77，角度调整完后，通过旋转紧固螺钉77，底座71和连接座73保持相对禁止。
本实施方案中，PSD模块8上分别安装有角度传感器9和距离传感器10，Y轴模组2、X轴模组3和Z轴模组6均采用滚珠丝杠结构，转台模组4、Y轴模组2、X轴模组3和Z轴模组6均采用伺服驱动。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种MOEMS器件自动测量机构，包括机箱(1)和连接在其顶部与其垂直设置的立座，其特征在于，所述机箱(1)的顶部安装有Y轴模组(2)，Y轴模组(2)的输出端连接有与其垂直设置的X轴模组(3)，X轴模组(3)的输出端安装有转台模组(4)，转台模组(4)的输出端连接有MOEMS器件座(5)；
立座侧壁安装有竖直设置的Z轴模组(6)，Z轴模组(6)的输出端连接有旋转机构b(11)，旋转机构b(11)的输出端连接有旋转机构a(7)，旋转机构a(7)的输出端安装有PSD模块(8)。
2.根据权利要求1所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述PSD模块(8)包括安装板(82)和连接在其顶部的盖板(81)，盖板(81)和安装板(82)之间形成腔体结构，腔体的内壁分别安装有倾斜设置激光器(83)和PSD传感器(84)，安装板(82)的底部设有透光口(85)。
3.根据权利要求2所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述旋转机构a(7)包括底座(71)和连接座(73)，底座(71)和连接座(73)通过弧形限位结构滑动相连，连接座(73)靠近底座(71)的一侧安装有月牙板(72)，底座(71)上转动连接有蜗杆(75)，月牙板(72)上设有与蜗杆(75)相对于的螺纹(74)，底座(71)的侧壁安装有止动机构，连接座(73)与PSD模块(8)相连。
4.根据权利要求3所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述弧形限位结构包括分别与底座(71)和连接座(73)相连的弧形滑轨(78)，弧形滑轨(78)相对的一侧均设有滚槽，滚槽内设置有若干滚珠(79)，滚珠(79)通过保持架相连。
5.根据权利要求4所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述止动机构包括安装在底座(71)侧壁的侧板(76)，侧板(76)上设有弧形滑口，弧形滑口内设置有紧固螺钉(77)。
6.根据权利要求5所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述PSD模块(8)上分别安装有角度传感器(9)和距离传感器(10)。
7.根据权利要求6所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述Y轴模组(2)、X轴模组(3)和Z轴模组(6)均采用滚珠丝杠结构。
8.根据权利要求7所述的一种MOEMS器件自动测量机构，其特征在于，所述转台模组(4)、Y轴模组(2)、X轴模组(3)和Z轴模组(6)均采用伺服驱动。
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