CN220041784U - 测量基板翘曲的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了测量基板翘曲的装置，其中，测量基板翘曲的装置包括：透明测试盒，透明测试盒内形成有空腔，空腔的至少一侧面的中间竖直标注有标识刻度；多个固定件，多个固定件均匀固定在透明测试盒的底部的边缘处，以将基板的边缘固定在透明测试盒的底部的边缘处。通过上述结构，本实用新型直接通过透明测试盒侧壁的标识刻度读取基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值，即可确定基板的翘曲度。

Description

测量基板翘曲的装置

技术领域

本实用新型应用于基板的翘曲测量的技术领域，尤其是测量基板翘曲的装置。

背景技术

芯片模封后由于半导体和基板的材料热膨胀系数不同和产品叠构差异，整条基板会产生翘曲应力，翘曲应力大小对产品本身和后面工序生产影响很大，超过一定的限度会导致后面工序无法生产或者是产品因翘曲引起功能失效。

现在封装厂往往通过人工利用量尺量测翘曲凹面与水平面高度来判断翘曲应力大小，但由于产品厚度不同，同样的高度翘曲应力大小是不同的，所以翘曲凹面与水平面高度之间的距离并不能反应实际翘曲应力。这种量测方法是不准确并且操作过程复杂。

因此，目前亟需一种新的翘曲测量的方法。

实用新型内容

本实用新型提供了测量基板翘曲的装置，以解决基板翘曲测量不准确并且操作过程复杂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种测量基板翘曲的装置，包括：透明测试盒，所述透明测试盒内形成有空腔，所述空腔的至少一侧面的中间竖直标注有标识刻度；多个固定件，多个所述固定件均匀固定在所述透明测试盒的底部的边缘处，以将基板的边缘固定在所述透明测试盒的底部的边缘处。

其中，所述测量基板翘曲的装置还包括激光发射器；激光发射器固定在所述空腔上的一侧面上，且与所述标识刻度相对设置。

其中，所述激光发射器的发射口呈线型，且竖直安装在所述空腔上的一侧面上，所述发射口与所述标识刻度的高度重叠。

其中，所述测量基板翘曲的装置还包括测量板；所述测量板可滑动安装在所述空腔的内壁上，与所述透明测试盒的底部平行设置；所述测量板在所述透明测试盒的底部的投影大小与所述透明测试盒的底部的投影大小相同，使得所述测量板靠近所述标识刻度的一侧与所述标识刻度接触。

其中，所述测量板通过滑轨可滑动安装在所述空腔的内壁上。

其中，所述测量板与动力装置连接，以接收所述动力装置的动力通过滑轨在所述空腔的内壁上滑动；所述测量板靠近所述透明测试盒的底部的一侧设置有压力传感器，所述压力传感器与所述动力装置通信连接，以所述压力传感器检测到所述测量板触碰到所述基板时，通知所述动力装置停止动力输出，以悬停所述测量板。

其中，所述固定件包括粘结层，所述粘结层的一侧粘结固定在所述透明测试盒的底部的边缘处，所述粘结层远离所述底部的一侧用于粘结固定所述基板的边缘。

其中，所述固定件包括夹持件，所述夹持件的底座固定在所述透明测试盒的底部的边缘处，所述夹持件的夹持部用于固定所述基板的边缘。

其中，所述固定件包括弹力绑带，所述弹力绑带的相对两端固定在对应的所述透明测试盒的底部的相对两侧，所述弹力绑带的中间端用于固定所述基板的相对两端边缘。

其中，所述透明测试盒包括透明亚克力盒或透明玻璃盒。

本实用新型的有益效果是；区别于现有技术的情况，本实用新型通过直接将基板利用固定件固定在透明测试盒的底部，且基板的翘曲的那侧朝上放置，若基板翘曲则会呈现高低差，因此，可以直接通过透明测试盒侧壁的标识刻度读取基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值，即可确定基板的翘曲度，快速的得到产品是否超过翘曲标准，进而确定产品的可靠性。无需人工手工测量，步骤简单，测量结果可靠。

附图说明

图1是本实用新型提供的测量基板翘曲的装置一实施例的结构示意图；

图2是本实用新型提供的测量基板翘曲的装置另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

请参阅图1，图1是本实用新型提供的测量基板翘曲的装置一实施例的结构示意图。

本实施例的测量基板翘曲的装置100的结构具体包括：透明测试盒110以及多个固定件120。

其中，透明测试盒110内形成有空腔111，空腔111的至少一侧面的中间，竖直标注有标识刻度112。透明测试盒110的透明设置是为了方便读取标识刻度112上的刻度，提高刻度读取的准确性以及可靠性。

空腔111的一侧面、相对两侧面、相邻两侧面、三侧面或四侧面的各侧面中间，可以竖直标注有标识刻度112，在一个具体的应用场景中，空腔111的一侧长边的中间竖直标注有标识刻度112，从而可以通过该侧长边读取基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值。在另一个具体的应用场景中，空腔111的一侧长边以及相邻的一侧短边的中间竖直标注有标识刻度112，从而可以通过该侧长边以及该侧短边读取基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值，从而通过两侧的数据进行相互复核、相互纠正，以提高刻度读取的准确性。

其中，空腔111侧面上的标识刻度112可以标识在盒内或盒外，在此不做限定。

其中，标识刻度112的具体刻度值可以基于基板的常规翘曲情况进行对应范围设置，例如标识刻度112的刻度可以具体包括：1mm、2mm、3mm、4mm、5mm、6mm、7mm、8mm等。在其他实施例中，标识刻度112的刻度还可以包括其他单位或数值的刻度，在此不做限定。

多个固定件120均匀固定在透明测试盒110的底部的边缘处，以将基板的边缘固定在透明测试盒110的底部的边缘处。将固定件120设置在透明测试盒110的底部的边缘以对应固定基板的边缘，从而在固定基板的同时，防止固定件120对基板中间的翘曲度产生影响，提高翘曲测量的准确性与可靠性。

其中，当将基板固定在透明测试盒110的底部时，基板的翘曲的那侧朝上放置，其中，当基板翘曲时，其翘曲最高点在基板中心。则可以直接通过标识刻度112测量得到基板翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值，规避基板厚度对翘曲应力的影响，从而得到基板的翘曲度以及实际翘曲应力。

空腔111的尺寸较大于基板的尺寸，以便于基板取放。其中，透明测试盒110可以设置可活动侧，以通过打开可活动侧放置基板。透明测试盒110也可以不设置某个不承担任何功能的侧面，以直接取放基板。基板的取放方式，在此不做限定。

透明测试盒110及其空腔111的形状可以对应相同。在一个具体的应用场景中，当基板为方形时，透明测试盒110也可以为方形，以对应放置，便于标识刻度112的对应测量。在另一个具体的应用场景中，当基板为圆形时，透明测试盒110也可以为圆形，以对应放置，便于标识刻度112的对应测量。

通过上述结构，本实施例的测量基板翘曲的装置通过直接将基板利用固定件固定在透明测试盒的底部，且基板的翘曲的那侧朝上放置，若基板翘曲则会呈现高低差，因此，可以直接通过透明测试盒侧壁的标识刻度读取基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值，即可确定基板的翘曲度，快速的得到产品是否超过翘曲标准，进而确定产品的可靠性。无需人工手工测量，步骤简单，测量结果可靠。

在其他实施例中，测量基板翘曲的装置100还包括激光发射器130。激光发射器130固定在空腔111上的一侧面上，且与标识刻度112相对设置，从而使得激光发射器130能够对着空腔111内的基板发射激光，部分激光经过基板遮挡后照射在标识刻度112上，使得激光边缘即表征基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的高度，从而能够进一步提高基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心在标识刻度112上的刻度值的可视性，提高辨认标识刻度112上的刻度值的准确性以及可靠性。

其中，激光发射器130发射出的激光可以带有颜色，例如：红、橙、黄、绿、蓝、靛或紫等颜色，以进一步提高刻度值的可视性，具体可以基于实际情况进行选择，在此不做限定。

当激光发射器130与基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心之间存在倾斜角度时，可以基于多次实验，调整标识刻度112的具体刻度，使其与激光角度对应，进而准确地得到翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值。

在其他实施例中，激光发射器130的发射口呈线型，且竖直安装在空腔111上的一侧面上，发射口与标识刻度112的高度重叠，从而使得激光发射器130的发射口能够垂直发射出面型激光，使得每束经基板遮挡的激光均与基板垂直，进而与标识刻度112垂直，不存在倾斜角度，以在不调整标识刻度112的情况下，通过照射在标识刻度112上的激光直接准确得出翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的刻度值。

在其他实施例中，固定件120包括粘结层，粘结层的一侧粘结固定在透明测试盒110的底部的边缘处，粘结层远离底部的一侧用于粘结固定基板的边缘。

在一个具体的应用场景中，当固定件120包括粘结层时，粘结层可以整个环绕透明测试盒110的底部的边缘设置，以环绕粘结基板的边缘；粘结层也可以分为多个粘结点，均匀地分布在透明测试盒110的底部的边缘处，以环绕粘结基板的边缘；当透明测试盒110为规则图形时，粘结层还可以分布在透明测试盒110的底部的各个角点处，以环绕粘结基板的边缘。粘结层的具体设置，在此不做限定。

在其他实施例中，固定件120包括夹持件，夹持件的底座固定在透明测试盒110的底部的边缘处，夹持件的夹持部用于固定基板的边缘。

当基板被夹持件夹持时，若其高度因被夹持件夹持而上升，则标识刻度112的具体刻度也对应上升，以保持标识刻度112的准确性与可靠性。

夹持件可以通过螺纹夹持、弹性夹持、夹板夹持等夹持方式中的一种。其中，选取某种夹持方式时，同一测量基板翘曲的装置100内的夹持方式相同，以使得各夹持件的抬高高度均相同。避免基板被夹持时倾斜，影响测量准确性的情况发生。

在其他实施例中，固定件120包括弹力绑带，弹力绑带的相对两端固定在对应的透明测试盒110的底部的相对两侧，弹力绑带的中间端用于固定基板的相对两端边缘，以将基板的相对两端套设在弹力绑带中，进行固定。

在其他实施例中，透明测试盒110包括透明亚克力盒或透明玻璃盒，以便于观察标识刻度112的的具体刻度。

请参阅图2，图2是本实用新型提供的测量基板翘曲的装置另一实施例的结构示意图。

本实施例的测量基板翘曲的装置200的透明测试盒210、多个固定件220、标识刻度112等设置均与前述任一实施例的测量基板翘曲的装置100中的对应结构相同，在此不再赘述。

本实施例的测量基板翘曲的装置200还包括测量板230；测量板230可滑动安装在空腔211的内壁上，与透明测试盒210的底部平行设置；使得测量板230能够通过在空腔211的内壁上滑动以接触基板的翘曲凸面的中心。从而使得测量板230靠近基板的一侧能够表征基板的翘曲凸面的中心的高度。

测量板230在透明测试盒210的底部的投影大小与透明测试盒210的底部的投影大小相同，使得测量板230靠近标识刻度212的一侧与标识刻度212接触，且能够与基板上任一最高点均接触，防止错漏最高点，进而当测量板230接触基板的翘曲凸面的中心时，测量板230靠近基板的一侧在标识刻度212上对应的刻度，即为基板的翘曲凸面的最高点的高度，进而进一步提高标识刻度212的刻度值的可视性，提高辨认标识刻度212上的刻度值的准确性以及可靠性。而及翘曲凹面的最高点可以直接读取标识刻度212上对应的刻度进行获取。

在其他实施例中，测量板230通过滑轨可滑动安装在空腔211的内壁上。

在其他实施例中，测量板230与动力装置(图未示)连接，以接收动力装置的动力通过滑轨在空腔211的内壁上滑动。动力装置包括电动机、气缸等动力装置。其中，当动力装置不输出动力时，测量板230相对于空腔211静止。

测量板230靠近透明测试盒210的底部的一侧设置有压力传感器(图未示)，压力传感器与动力装置通信连接，以压力传感器检测到测量板230触碰到基板时，通知动力装置停止动力输出，以悬停测量板230，进而防止测量板230压迫基板，影响基板的翘曲凸面以及翘曲凹面的中心的高度。

通过上述结构，本实施例的测量基板翘曲的装置通过测量板以及压力传感器的设置，提高标识刻度的刻度值的可视性，进一步提高辨认标识刻度上的刻度值的准确性以及可靠性。

以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述测量基板翘曲的装置包括：

透明测试盒，所述透明测试盒内形成有空腔，所述空腔的至少一侧面的中间竖直标注有标识刻度；

多个固定件，多个所述固定件均匀固定在所述透明测试盒的底部的边缘处，以将基板的边缘固定在所述透明测试盒的底部的边缘处。

2.根据权利要求1所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述测量基板翘曲的装置还包括激光发射器；

激光发射器固定在所述空腔上的一侧面上，且与所述标识刻度相对设置。

3.根据权利要求2所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述激光发射器的发射口呈线型，且竖直安装在所述空腔上的一侧面上，所述发射口与所述标识刻度的高度重叠。

4.根据权利要求1所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述测量基板翘曲的装置还包括测量板；

所述测量板可滑动安装在所述空腔的内壁上，与所述透明测试盒的底部平行设置；

所述测量板在所述透明测试盒的底部的投影大小与所述透明测试盒的底部的投影大小相同，使得所述测量板靠近所述标识刻度的一侧与所述标识刻度接触。

5.根据权利要求4所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述测量板通过滑轨可滑动安装在所述空腔的内壁上。

6.根据权利要求5所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述测量板与动力装置连接，以接收所述动力装置的动力通过滑轨在所述空腔的内壁上滑动；

所述测量板靠近所述透明测试盒的底部的一侧设置有压力传感器，所述压力传感器与所述动力装置通信连接，以所述压力传感器检测到所述测量板触碰到所述基板时，通知所述动力装置停止动力输出，以悬停所述测量板。

7.根据权利要求1所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述固定件包括粘结层，所述粘结层的一侧粘结固定在所述透明测试盒的底部的边缘处，所述粘结层远离所述底部的一侧用于粘结固定所述基板的边缘。

8.根据权利要求1所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述固定件包括夹持件，所述夹持件的底座固定在所述透明测试盒的底部的边缘处，所述夹持件的夹持部用于固定所述基板的边缘。

9.根据权利要求1所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述固定件包括弹力绑带，所述弹力绑带的相对两端固定在对应的所述透明测试盒的底部的相对两侧，所述弹力绑带的中间端用于固定所述基板的相对两端边缘。

10.根据权利要求1所述的测量基板翘曲的装置，其特征在于，所述透明测试盒包括透明亚克力盒或透明玻璃盒。