CN219975518U - 气体稳压装置及气体质量流量调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种气体稳压装置及气体质量流量调节装置，涉及气体质量流量调节的技术领域。气体稳压装置包括阀体、阀芯和稳压线圈，阀体设置有阀腔以及稳压进气流道和稳压出气流道；阀芯包括稳压膜片，稳压膜片将阀腔分隔成相互独立的第一腔室和第二腔室，第一腔室能够与需稳压部件的进气流道连通；稳压进气流道、第二腔室和稳压出气流道依次连通，且稳压进气流道能够与需稳压部件的出气流道连通；阀芯还包括动磁体和阀针，动磁体和阀针固定连接且分设于第一腔室和第二腔室内，稳压线圈绕设于动磁体周围。该气体稳压装置，稳压范围广，适用场合多，且能够保证稳压精度，以及实现自动调节。

Description

气体稳压装置及气体质量流量调节装置

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量调节的技术领域，具体而言，涉及一种气体稳压装置及气体质量流量调节装置。

背景技术

锅炉给水加氧处理是超(超)临界机组最优的给水处理工况，能够解决给水、凝结水***流动加速腐蚀及其带来的一系列问题。但在此过程中，机组对于水汽***中的氧气含量，有着较高的要求，不但要求氧气含量低，而且对精度要求较高，难以把控。

现有技术中的氧气调节方式为：根据锅炉管道的工作压力或设计压力，通过减压阀将氧气压力调节至相应范围，并在减压阀和加氧点之间设置背压阀，以使减压阀进出口气体的压力差值保持稳定，从而提高减压阀的输出精度，进而提高加氧精度。

但是，背压阀依靠螺旋弹簧的弹性力进行压差调节，调节范围依赖于螺旋弹簧的物理性能，适用范围有限，而且，螺旋弹簧的弹性力难以控制，导致稳压精度低，通过旋拧与螺旋弹簧抵接的阀杆调节螺旋弹簧的压缩程度，以控制弹性力的大小，也无法实现自动稳压调节。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提供一种气体稳压装置，以解决现有技术中存在的背压阀的适用范围小、稳压精度低，导致加氧精度低的技术问题。

本实用新型提供的气体稳压装置，包括阀体、阀芯和稳压线圈，所述阀体设置有阀腔以及稳压进气流道和稳压出气流道；所述阀芯包括稳压膜片，所述稳压膜片将所述阀腔分隔成相互独立的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室能够与需稳压部件的进气流道连通；所述稳压进气流道、所述第二腔室和所述稳压出气流道依次连通，且所述稳压进气流道能够与所述需稳压部件的出气流道连通；所述阀芯还包括动磁体和阀针，所述动磁体和所述阀针固定连接且分设于所述第一腔室和所述第二腔室内，所述阀针能够封闭所述稳压出气流道；所述稳压线圈绕设于所述动磁体周围，用于驱动所述动磁体运动。

进一步地，所述气体稳压装置还包括数据处理器以及均与所述数据处理器连接的气源压力传感器和稳压压力传感器，所述气源压力传感器用于检测所述需稳压部件的进气流道内的气体压力，所述稳压压力传感器用于检测所述需稳压部件的出气流道内的气体压力；所述稳压线圈亦与所述数据处理器连接，所述数据处理器能够将所述气源压力传感器和所述稳压压力传感器测得的气体压力的差值与预设压差进行比对，并根据比对结果调节所述稳压线圈的通电电流。

进一步地，所述预设压差的范围为0.2～0.6Mpa，且所述预设压差与气体的标定流量正相关。

本实用新型提供的气体稳压装置，能够获得以下有益效果：

本实用新型提供的气体稳压装置，能够将待稳压部件进出口的气体压差稳定于预设压差，使用时，将第一腔室与待稳压部件的进气流道连通，第二腔室与待稳压部件的出气流道连通，通过调节稳压装置的稳压线圈的通电电流，能够调节作用于动磁体的电磁力，以使阀针打开稳压出气流道而出气，而且第一腔室内气体施加于稳压膜片的压力等于阀芯和第二腔室内气体两者施加于稳压膜片的作用力之和，从而使第一腔室和第二腔室内的气体压差为预设压差，且稳压膜片处于平衡状态，即达到使待稳压部件进出口气体压差稳定于预设压差的作用。

与传统的背压阀相比，本实用新型提供的气体稳压装置的电磁力的调节范围比背压阀中螺旋弹簧的弹性力的调节范围广，且通过调节稳压线圈的通电电流可以准确地调节电磁力的大小，即对电磁力的调节精度更高，使得对待稳压部件进出口气体压差的调节精度也更高，即稳压精度也更高，而且，本实用新型提供的气体稳压装置能够根据预设压差实现对通电电流的自动调节，省时省力。即，本实用新型提供的气体稳压装置，稳压范围广，所以适用场合多；无论气体压力大小、流量大小，均能保证稳压精度，从而能够保证待稳压部件的输出精度，应用于加氧场合，则能够提高加氧精度；而且，能够实现自动调节，省时省力。

本实用新型的第二个目的在于提供一种气体质量流量调节装置，以解决现有技术中存在的背压阀的适用范围小、稳压精度低，导致加氧精度低的技术问题。

本实用新型提供的气体质量流量调节装置，包括气体流道依次连通的电子调节阀和上述的气体稳压装置，还包括控制器，所述电子调节阀和所述气体稳压装置均与所述控制器连接，所述控制器能够根据设定质量流量控制所述电子调节阀动作，以及根据预设压差控制所述气体稳压装置动作。

进一步地，所述电子调节阀包括针型电动调节阀或者电磁调节阀。

进一步地，所述电子调节阀和所述气体稳压装置之间还设置有质量流量传感器，所述质量流量传感器的进气流道与所述电子调节阀的出气流道连通，所述质量流量传感器的出气流道与所述气体稳压装置的稳压进气流道连通，用于测量所述电子调节阀输出的气体的质量流量；所述质量流量传感器亦与所述控制器连接，所述控制器能够根据所述质量流量传感器的测量结果修正所述电子调节阀的动作，以使其输出的气体的质量流量在预设误差范围内。

进一步地，所述质量流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量或者采用科里奥利力原理测量气体的质量流量。

进一步地，所述气体质量流量调节装置还包括阀座以及罩设于所述阀座的壳体，所述电子调节阀、所述质量流量传感器和所述气体稳压装置三者均位于所述壳体内，所述阀座设置有三者所需的气体流道，三者共用所述阀座。

进一步地，所述壳体设置有数据接头，所述控制器亦设置于所述壳体内，并通过所述数据接头与外部进行数据交互。

本实用新型提供的气体质量流量调节装置，能够获得以下有益效果：

本实用新型提供的气体质量流量调节装置，通过设置上述的气体稳压装置，能够将电子调节阀进出口的气体压差稳定于预设压差，从而提高电子调节阀的输出精度。使用时，将第一腔室与电子调节阀的进气流道连通，第二腔室与电子调节阀的出气流道连通，通过调节稳压装置的稳压线圈的通电电流，能够调节作用于动磁体的电磁力，以使阀针打开稳压出气流道而出气，而且第一腔室内气体施加于稳压膜片的压力等于阀芯和第二腔室内气体两者施加于稳压膜片的作用力之和，从而使第一腔室和第二腔室内的气体压差为预设压差，且稳压膜片处于平衡状态，即达到使电子调节阀进出口气体压差稳定于预设压差的作用。

与使用传统的背压阀相比，本实用新型提供的气体质量流量调节装置使用上述的气体稳压装置，而该气体稳压装置的电磁力的调节范围比背压阀中螺旋弹簧的弹性力的调节范围广，且通过调节稳压线圈的通电电流可以准确地调节电磁力的大小，即对电磁力的调节精度更高，使得对电子调节阀进出口气体压差的调节精度也更高，即稳压精度也更高，从而能够提高电子调节阀的输出精度；而且，本实用新型提供的气体质量流量调节装置，由于气体稳压装置能够根据预设压差实现对通电电流的自动调节，使得电子调节阀也能够实现自动准确地调节，省时省力。即，本实用新型提供的气体质量流量调节装置，气体稳压装置的稳压范围广，使得电子调节阀的调节范围也增大；气体稳压装置的稳压精度高，能够保证电子调节阀的输出精度，应用于加氧场合，则能够提高加氧精度；气体稳压装置能够根据设定质量流量对应的预设压差实现自动调节，从而装置整体能够自动、准确地输出气体，省时省力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的气体稳压装置的剖面结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的气体质量流量调节装置的剖面结构示意图。

附图标记说明：

100-气体稳压装置；110-阀体；111-稳压进气流道；112-稳压出气流道；113-第一腔室；114-第二腔室；120-阀芯；121-稳压膜片；122-动磁体；123-阀针；130-稳压线圈；140-数据处理器；150-气源压力传感器；160-稳压压力传感器；170-导流管；181-第一密封圈；182-第二密封圈；183-密封件；

200-电子调节阀；

300-质量流量传感器；310-节流流道；320-测量流道；

400-控制器；

500-阀座；510-进气口；520-出气口；530-长螺栓；600-壳体；700-数据接头；810-第三密封圈；820-第四密封圈。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实施例提供一种气体稳压装置100，图1示出了该气体稳压装置100的剖面结构示意图，如图1所示，该气体稳压装置100包括阀体110、阀芯120和稳压线圈130，阀体110设置有阀腔以及稳压进气流道111和稳压出气流道112；阀芯120包括稳压膜片121，稳压膜片121将阀腔分隔成相互独立的第一腔室113和第二腔室114，第一腔室113能够与需稳压部件的进气流道连通；稳压进气流道111、第二腔室114和稳压出气流道112依次连通，且稳压进气流道111能够与需稳压部件的出气流道连通；阀芯120还包括动磁体122和阀针123，动磁体122和阀针123固定连接且分设于第一腔室113和第二腔室114内，阀针123能够封闭稳压出气流道112；稳压线圈130绕设于动磁体122周围，用于驱动动磁体122运动。

本实施例提供的气体稳压装置100，能够将待稳压部件进出口的气体压差稳定于预设压差，使用时，将第一腔室113与待稳压部件的进气流道连通，第二腔室114与待稳压部件的出气流道连通，通过调节稳压装置的稳压线圈130的通电电流，能够调节作用于动磁体122的电磁力，以使阀针123打开稳压出气流道112而出气，而且第一腔室113内气体施加于稳压膜片121的压力等于阀芯120和第二腔室114内气体两者施加于稳压膜片121的作用力之和，从而使第一腔室113和第二腔室114内的气体压差为预设压差，且稳压膜片121处于平衡状态，即达到使待稳压部件进出口气体压差稳定于预设压差的作用。

与传统的背压阀相比，本实施例提供的气体稳压装置100的电磁力的调节范围比背压阀中螺旋弹簧的弹性力的调节范围广，且通过调节稳压线圈130的通电电流可以准确地调节电磁力的大小，即对电磁力的调节精度更高，使得对待稳压部件进出口气体压差的调节精度也更高，即稳压精度也更高，而且，本实施例提供的气体稳压装置100能够根据预设压差实现对通电电流的自动调节，省时省力。即，本实施例提供的气体稳压装置100，稳压范围广，所以适用场合多；无论气体压力大小、流量大小，均能保证稳压精度，从而能够保证待稳压部件的输出精度，应用于加氧场合，则能够提高加氧精度；而且，能够实现自动调节，省时省力。

具体地，本实施例中，继续如图1所示，气体稳压装置100还包括数据处理器140以及均与数据处理器140连接的气源压力传感器150和稳压压力传感器160，气源压力传感器150用于检测需稳压部件的进气流道内的气体压力，稳压压力传感器160用于检测需稳压部件的出气流道内的气体压力；稳压线圈130亦与数据处理器140连接，数据处理器140能够将气源压力传感器150和稳压压力传感器160测得的气体压力的差值与预设压差进行比对，并根据比对结果调节稳压线圈130的通电电流。通过气源压力传感器150和稳压压力传感器160的测量结果，能够获得待稳压部件进出口气体的实际压差，从而能够修正电磁力的大小，以使实际压差与预设压差一致或在允许的误差范围内。

具体地，本实施例中，预设压差的范围为0.2～0.6Mpa，且预设压差与气体的标定流量正相关。即，气体的标定流量越大，则预设压差越大。

具体地，本实施例中，如图1所示，第一腔室113连通有导流管170，导流管170的另一端用于与待稳压部件的进气流道连通。

具体地，本实施例中，继续如图1所示，阀体110包括下阀体和上阀体，上阀体安装于下阀体，同时将稳压膜片121压固于下阀体；稳压膜片121朝向第二腔室114的一侧与下阀体之间设置有第一密封圈181，以保证第二腔室114的密封性；稳压膜片121的上侧与上阀体的组成部件之间设置有第二密封圈182，用于保证第一腔室113的密封性。

此外，继续如图1所示，阀针123远离动磁体122的一端设置有密封件183，阀针123通过密封件183与稳压出气流道112的进气口接触，以封闭稳压出气流道112。

本实施例还提供一种气体质量流量调节装置，如图2所示，该气体质量流量调节装置包括气体流道依次连通的电子调节阀200和上述的气体稳压装置100，还包括控制器400，电子调节阀200和气体稳压装置100均与控制器400连接，控制器400能够根据设定质量流量控制电子调节阀200动作，以及根据预设压差控制气体稳压装置100动作。

本实施例提供的气体质量流量调节装置，通过设置上述的气体稳压装置100，能够将电子调节阀200进出口的气体压差稳定于预设压差，从而提高电子调节阀200的输出精度。使用时，将第一腔室113与电子调节阀200的进气流道连通，第二腔室114与电子调节阀200的出气流道连通，通过调节稳压装置的稳压线圈130的通电电流，能够调节作用于动磁体122的电磁力，以使阀针123打开稳压出气流道112而出气，而且第一腔室113内气体施加于稳压膜片121的压力等于阀芯120和第二腔室114内气体两者施加于稳压膜片121的作用力之和，从而使第一腔室113和第二腔室114内的气体压差为预设压差，且稳压膜片121处于平衡状态，即达到使电子调节阀200进出口气体压差稳定于预设压差的作用。

与使用传统的背压阀相比，本实施例提供的气体质量流量调节装置使用上述的气体稳压装置100，而该气体稳压装置100的电磁力的调节范围比背压阀中螺旋弹簧的弹性力的调节范围广，且通过调节稳压线圈130的通电电流可以准确地调节电磁力的大小，即对电磁力的调节精度更高，使得对电子调节阀200进出口气体压差的调节精度也更高，即稳压精度也更高，从而能够提高电子调节阀200的输出精度；而且，本实施例提供的气体质量流量调节装置，由于气体稳压装置100能够根据预设压差实现对通电电流的自动调节，使得电子调节阀200也能够实现自动准确地调节，省时省力。即，本实施例提供的气体质量流量调节装置，气体稳压装置100的稳压范围广，使得电子调节阀200的调节范围也增大；气体稳压装置100的稳压精度高，能够保证电子调节阀200的输出精度，应用于加氧场合，则能够提高加氧精度；气体稳压装置100能够根据设定质量流量对应的预设压差实现自动调节，从而装置整体能够自动、准确地输出气体，省时省力。

具体地，本实施例中，控制器400集成有气体稳压装置100的数据处理器140的功能。

具体地，本实施例中，电子调节阀200采用针型电动调节阀。当然，在本申请的其他实施例中，电子调节阀200也可以采用电磁调节阀，只要控制器400能够根据设定质量流量控制电子调节阀200，以实现对气体质量流量的自动调节即可。

具体地，本实施例中，如图2所示，电子调节阀200和气体稳压装置100之间还设置有质量流量传感器300，质量流量传感器300的进气流道与电子调节阀200的出气流道连通，质量流量传感器300的出气流道与气体稳压装置100的稳压进气流道111连通，用于测量电子调节阀200输出的气体的质量流量；质量流量传感器300亦与控制器400连接，控制器400能够根据质量流量传感器300的测量结果修正电子调节阀200的动作，以使其输出的气体的质量流量在预设误差范围内。质量流量传感器300能够及时测得电子调节阀200实际输出气体的质量流量，从而能够进一步得到实际输出气体的质量，应用于加氧场合，即能够及时获得实际加氧量，相对于通过溶氧分析仪测得锅炉管道中的溶氧后再调节电子调节阀200，能够有效避免电子调节阀200的调节滞后，从而能够保证加氧精度。通常情况下，在加氧至少20min后才能够在锅炉管道中测得实际加氧量。

具体地，本实施例中，继续如图2所示，质量流量传感器300采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量。毛细管传热温差量热法原理：在毛细管上绕制两组热敏电阻丝，两组热敏电阻丝与两个精密电阻构成测量电桥，工作时给热敏电阻丝通电加热。当毛细管中无气体流动时，两组热敏电阻丝温度相同，电桥平衡，无信号输出，对应流量值为零；当毛细管中有气体流过时，处于上游的热敏电阻丝和处于下游的热敏电阻丝会发生不同的温度变化，从而使热敏电阻阻值也产生不同改变，测量电桥输出一个差值信号，此信号的大小与流过传感器的质量流量成正比。

具体地，在本申请的其他实施例中，质量流量传感器300也可以采用科里奥利力原理测量气体的质量流量。让被测量的流体通过一个转动或者振动中的测量管，流体在管道中的流动相当于直线运动，测量管的转动或振动会产生一个角速度，由于转动或振动是受到外加电磁场驱动的，有着固定的频率，因而流体在管道中受到的科里奥利力仅与其质量和运动速度有关，而质量和运动速度即流速的乘积就是需要测量的质量流量，因而通过测量流体在管道中受到的科里奥利力，也可以测量其质量流量。

具体地，本实施例中，如图2所示，质量流量传感器300的气体流道包括节流流道310和测量流道320，两者的进气口相互连通，两者的出气口也相互连通，即，气体进入质量流量传感器300的气体流道后，会分成两股，一股经过测量流道320，用于测量电子调节阀200输出气体的质量流量，另一股则经过节流流道310，最终，两股气流汇合后流出质量流量传感器300的流道。其中，节流流道310的直径先缩小、后增大，如此设置有助于阻挡气体，使气体成比例地分配至两个支流道内，从而保证质量流量测量的准确性。

具体地，本实施例中，气体质量流量调节装置还包括阀座500以及罩设于阀座500的壳体600，电子调节阀200、质量流量传感器300和气体稳压装置100三者均位于壳体600内，阀座500设置有三者所需的气体流道，三者共用阀座500；电子调节阀200的进气流道的进气口为整个气体质量流量调节装置的进气口510，气体稳压装置100的稳压出气流道112的出气口为整个气体质量流量调节装置的出气口520。

更具体地，本实施例中，如图2所示，阀座500由电子调节阀200的座体、质量流量传感器300的基座和气体稳压装置100的下阀体共同组成，质量流量传感器300的进气流道与电子调节阀200的出气流道连通，且密封有第三密封圈810；质量流量传感器300的出气流道与气体稳压装置100的稳压进气流道111连通，且密封有第四密封圈820。如此设置，便于分别对电子调节阀200、质量流量传感器300和气体稳压装置100三者的气体流道进行加工，也便于对三者分别进行检修或替换。

更具体地，本实施例中，如图2所示，电子调节阀200的座体、质量流量传感器300的基座和气体稳压装置100的下阀体通过长螺栓530依次固定连接。当然，在本申请的其他实施例中，固定形式不限于此，而是只要能够将三者的气体流道依次密封连通即可。

具体地，本实施例中，继续如图2所示，壳体600设置有数据接头700，控制器400亦设置于壳体600内，并通过数据接头700与外部进行数据交互。

更具体地，本实施例中，数据接头700为D型7针插座。当然，根据不同的数据交互需求，数据接头700的形式不限于此，使用者可以根据具体需求进行选择。

综上，本实施例提供的气体质量流量调节装置，可以应用于加氧场合，气体稳压装置100能够保证电子调节阀200的进出口具有稳定的氧气压差，使得电子调节阀200能够准确地调节氧气的质量流量，也能够保证加氧压力稳定，从而提高加氧精度；质量流量传感器300则能够及时测得电子调节阀200输出氧气的质量流量，从而能够得到实际加氧量，还能够为电子调节阀200提供反馈，以修正电子调节阀200实际输出氧气的质量流量，进一步提高加氧精度，即，本实施例提供的气体质量流量调节装置，电子调节阀200、质量流量传感器300和气体稳压装置100相互配合，使得输出的气体的质量流量精度大幅提高，且本实施例提供的气体质量流量调节装置，集调节、稳压、测量、修正等多种功能于一体，能够极大地减少加氧管道上设置的装置的数量。

当然，本实施例提供的气体质量流量调节装置，不限于应用于加氧场合，而是还可以应用于其他供气场合，且对气压大小以及气流大小等的限制比较小。

运用上述的气体质量流量调节装置，可以按照以下方法调节气体质量流量，具体包括以下步骤：

获取设定质量流量，并根据设定质量流量调节电子调节阀200的开度；

获取设定质量流量对应的电子调节阀200进出口的预设压差，以及电子调节阀200进出口气体压力的差值，并根据差值和预设压差控制气体稳压装置100的稳压线圈130的通电电流；

获取质量流量传感器300的测量结果，并根据测量结果修正电子调节阀200的开度。

该气体质量流量调节方法，运用上述的气体质量流量调节装置实施，所以能够获得上述气体质量流量调节装置的全部有益效果，不再赘述。

此外，该调节方法，还通过质量流量传感器300的测量结果修正电子调节阀200的开度，不仅能够进一步提高电子调节阀200的调节精度，应用于加氧场合，即能够进一步提高加氧精度；而且能够及时获得实际输出气体的质量并对电子调节阀200进行调节修正，应用于加氧场合，相对于通过溶氧分析仪对锅炉管道中的溶氧进行测量(通常加氧至少20min后才能测得)后再进行加氧量调节，能够有效避免调节滞后，从而能够保证加氧精度。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种气体稳压装置，其特征在于，包括阀体(110)、阀芯(120)和稳压线圈(130)，所述阀体(110)设置有阀腔以及稳压进气流道(111)和稳压出气流道(112)；所述阀芯(120)包括稳压膜片(121)，所述稳压膜片(121)将所述阀腔分隔成相互独立的第一腔室(113)和第二腔室(114)，所述第一腔室(113)能够与需稳压部件的进气流道连通；所述稳压进气流道(111)、所述第二腔室(114)和所述稳压出气流道(112)依次连通，且所述稳压进气流道(111)能够与所述需稳压部件的出气流道连通；

所述阀芯(120)还包括动磁体(122)和阀针(123)，所述动磁体(122)和所述阀针(123)固定连接且分设于所述第一腔室(113)和所述第二腔室(114)内，所述阀针(123)能够封闭所述稳压出气流道(112)；所述稳压线圈(130)绕设于所述动磁体(122)周围，用于驱动所述动磁体(122)运动。

2.根据权利要求1所述的气体稳压装置，其特征在于，所述气体稳压装置(100)还包括数据处理器(140)以及均与所述数据处理器(140)连接的气源压力传感器(150)和稳压压力传感器(160)，所述气源压力传感器(150)用于检测所述需稳压部件的进气流道内的气体压力，所述稳压压力传感器(160)用于检测所述需稳压部件的出气流道内的气体压力；

所述稳压线圈(130)亦与所述数据处理器(140)连接，所述数据处理器(140)能够将所述气源压力传感器(150)和所述稳压压力传感器(160)测得的气体压力的差值与预设压差进行比对，并根据比对结果调节所述稳压线圈(130)的通电电流。

3.根据权利要求2所述的气体稳压装置，其特征在于，所述预设压差的范围为0.2～0.6Mpa，且所述预设压差与气体的标定流量正相关。

4.一种气体质量流量调节装置，其特征在于，包括气体流道依次连通的电子调节阀(200)和权利要求1-3任一项所述的气体稳压装置(100)，还包括控制器(400)，所述电子调节阀(200)和所述气体稳压装置(100)均与所述控制器(400)连接，所述控制器(400)能够根据设定质量流量控制所述电子调节阀(200)动作，以及根据预设压差控制所述气体稳压装置(100)动作。

5.根据权利要求4所述的气体质量流量调节装置，其特征在于，所述电子调节阀(200)包括针型电动调节阀或者电磁调节阀。

6.根据权利要求4或5所述的气体质量流量调节装置，其特征在于，所述电子调节阀(200)和所述气体稳压装置(100)之间还设置有质量流量传感器(300)，所述质量流量传感器(300)的进气流道与所述电子调节阀(200)的出气流道连通，所述质量流量传感器(300)的出气流道与所述气体稳压装置(100)的稳压进气流道(111)连通，用于测量所述电子调节阀(200)输出的气体的质量流量；所述质量流量传感器(300)亦与所述控制器(400)连接，所述控制器(400)能够根据所述质量流量传感器(300)的测量结果修正所述电子调节阀(200)的动作，以使其输出的气体的质量流量在预设误差范围内。

7.根据权利要求6所述的气体质量流量调节装置，其特征在于，所述质量流量传感器(300)采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量或者采用科里奥利力原理测量气体的质量流量。

8.根据权利要求6所述的气体质量流量调节装置，其特征在于，所述气体质量流量调节装置还包括阀座(500)以及罩设于所述阀座(500)的壳体(600)，所述电子调节阀(200)、所述质量流量传感器(300)和所述气体稳压装置(100)三者均位于所述壳体(600)内，所述阀座(500)设置有三者所需的气体流道，三者共用所述阀座(500)。

9.根据权利要求8所述的气体质量流量调节装置，其特征在于，所述壳体(600)设置有数据接头(700)，所述控制器(400)亦设置于所述壳体(600)内，并通过所述数据接头(700)与外部进行数据交互。