CN219925664U - 抛光设备的抛头和抛光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抛光设备的抛头和抛光设备，抛光设备的抛头包括：安装板；抛头总成；气动控制组件，气动控制组件包括进气口、吸真空口、通大气口和出气口，进气口，吸真空口和通大气口中的一个选择性地与出气口选择性地相连通，出气口与抛头总成相连通。由此，在进气口与出气口相连通时，气动控制组件可以向抛头总成加压，并且压力较高，在吸真空口与出气口相连通时，气动控制组件控制抛头总成真空吸附料片，在通大气口和出气口相连通时，可实现排气，这样不仅可以提供高压，而且可以提升气动控制组件的稳定性和对抛头总成控制的可靠性，气动控制组件对抛头总成的控制切换更加迅速，响应速度较快，可以提升抛光设备的抛头的性能。

Description

抛光设备的抛头和抛光设备

技术领域

本实用新型涉及抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备的抛头和抛光设备。

背景技术

SiC（碳化硅）是优秀的第三代半导体材料，主要应用在大功率应用上，具有高硬度，难腐蚀，易碎的特点。CMP（化学机械抛光）是SiC衬底加工最后的工序，用于获得无缺陷的表面。

而现有压力控制***正常工作的压力较低，无法产生高压，不适合SiC的应用，并且现有的压力控制***的稳定性较差，需要经常维修更换，压力控制***结构比较复杂，成本较高，对抛头的控制比较单一，并且响应速度较慢。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种抛光设备的抛头，该抛光设备的抛头的可靠性较好。

本实用新型进一步地提出了一种抛光设备。

为了实现上述目的，根据本实用新型的实施例提出了一种抛光设备的抛头，包括：安装板；抛头总成，所述抛头总成设置于所述安装板的下侧；气动控制组件，所述气动控制组件设置于安装板的上侧且包括进气口、吸真空口、通大气口和出气口，所述进气口，所述吸真空口和所述通大气口中的一个选择性地与所述出气口选择性地相连通，所述出气口与所述抛头总成相连通。

由此，在进气口与出气口相连通时，气动控制组件可以向抛头总成加压，并且压力较高，在吸真空口与出气口相连通时，气动控制组件可以控制抛头总成真空吸附料片，在通大气口和出气口相连通时，可实现气动控制组件的排气，这样不仅可以提供高压，而且可以提升气动控制组件的稳定性和对抛头总成控制的可靠性，气动控制组件对抛头总成的控制切换更加迅速，响应速度较快，可以提升抛光设备的抛头的性能。

根据本实用新型的一些实施例，所述气动控制组件包括第一二通阀、第二二通阀和第三二通阀，所述第一二通阀具有第一进口和第一出口，所述第二二通阀具有第二进口和第二出口，所述第三二通阀具有第三进口和第三出口；

所述第一进口与所述进气口相连通，所述第一出口和所述第二进口中的一个选择性地与所述第一进口相连通，所述第一出口与所述通大气口相连通，所述第二进口和所述第二出口选择性地相连通，所述第三进口和所述第二出口相连通，所述第二出口和所述出气口相连通，所述第三出口与所述第三进口选择性地相连通，所述第三出口与所述吸真空口相连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述气动控制组件包括比例阀，所述比例阀连通在所述进气口和所述第一进口之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述抛光设备的抛头还包括压力传感器和控制器，所述压力传感器设置于所述气动控制组件内，以用于检测所述气动控制组件内部的气压，所述控制器与所述气动控制组件电连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述气动控制组件为多个，多个所述气动控制组件在所述安装板的上侧间隔设置，所述抛头总成上设置有压力区，所述压力区与所述出气口相连通，所述压力区为多个，多个所述压力区与多个所述气动控制组件一一对应。

根据本实用新型的一些实施例，所述抛光设备的抛头还包括数据传输模块，所述数据传输模块设置于所述安装板，所述数据传输模块与多个所述气动控制组件电连接，所述数据传输模块与所述控制器电连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述抛头总成包括驱动件和抛头件，所述驱动件的上端设置于所述安装板的下侧，所述抛头件设置于所述驱动件的下端且与所述驱动件传动连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动件内设置有气流通道，所述气流通道连通在所述出气口和所述抛头总成之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动件包括驱动电机和驱动轴，所述驱动电机和所述安装板的下侧相连，所述驱动轴与所述驱动电机传动连接，所述抛头件与所述驱动轴相连。

根据本实用新型实施例的抛光设备，包括以上所述的抛光设备的抛头。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的抛光设备的抛头的示意图。

图2是根据本实用新型实施例的气动控制组件的示意图。

图3是根据本实用新型实施例的气动控制组件的示意图。

附图标记：

100、抛头；

10、安装板；11、旋转接头；

20、抛头总成；21、驱动件；211、驱动电机；212、驱动轴；22、抛头件；

30、气动控制组件；31、进气口；32、吸真空口；33、通大气口；34、出气口；35、第一二通阀；351、第一进口；352、第一出口；36、第二二通阀；361、第二进口；362、第二出口；37、第三二通阀；371、第三进口；372、第三出口；38、比例阀；39、压力传感器；40、数据传输模块。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本实用新型的实施例。

下面参考图1-图3描述根据本实用新型实施例的抛光设备的抛头100，该抛光设备的抛头可以应用于抛光设备。

结合图1-图3所示，根据本实用新型实施例的的抛光设备的抛头100可以主要包括：安装板10、抛头总成20和气动控制组件30，其中，将抛头总成20设置于安装板10的下侧，气动控制组件30设置于安装板10的上侧，并且气动控制组件30包括进气口31、吸真空口32、通大气口33和出气口34，进气口31、吸真空口32和通大气口33中的一个选择性地与出气口34相连通，出气口34与抛头总成20相连通。

具体地，在抛头总成20需要吸附料台上的料片至抛光盘时，可以先将进气口31和通大气口33关闭，使吸真空口32与出气口34相连通，抛头总成20上通过吸真空口32对出气口34吸真空，从而可以使料片吸附至抛头总成20上，这样不仅可以提升抛头总成20对料片吸附的稳定性和可靠性，而且抛头总成20对料片的吸附更加简单快捷，这样可以提升抛头100设备的抛头100的性能。

在气动控制组件30对抛头总成20施加压力，并且使抛头总成20对抛光盘上的料片进行抛光时，可以将吸真空口32和通大气口33关闭，并且将进气口31和出气口34相连通，通过向进气口31中施加预设压力的氮气，并且使氮气通过出气口34进入抛头总成20中，从而使抛头总成20在预设的压力下对料片进行抛光。

在抛光设备的抛头100对料片完成抛光后，可以将吸真空口32关闭，并且可以使出气口34与通大气口33相连通，从而可以使气动控制组件30内的压力与外界保持一致，从而防止气动控制组件30继续对抛头总成20施加压力。

如此设置，不仅可以使气动控制组件30对抛头总成20的控制更加可靠，而且气动控制组件30的结构简单，在对抛头总成20进行控制时的切换更加方便直接，并且不易出现故障，响应速度较快，可以优化气动控制组件30的结构设计，从而可以提升抛光设备的抛头100的结构可靠性。

进一步地，将抛头总成20设置于安装板10的下侧，将气动控制组件30设置于安装板10的上侧，这样可以减少两者连通所需的管道的长度，并且可以增加响应速度，从而可以进一步地提升抛光设备的抛头100的结构可靠性。

由此，在进气口31与出气口34相连通时，气动控制组件30可以向抛头总成20加压，在吸真空口32与出气口34相连通时，气动控制组件30可以控制抛头总成20真空吸附料片，在出气口34和通大气口33相连通时，可实现气动控制组件30的排气，这样不仅可以提升气动控制组件30的稳定性和对抛头总成20控制的可靠性，而且气动控制组件30的结构简单，气动控制组件30对抛头总成20的控制切换更加迅速，响应速度较快，可以提升抛光设备的抛头100的性能。

结合图2和图3所示，气动控制组件30包括第一二通阀35、第二二通阀36和第三二通阀37，第一二通阀35具有第一进口351和第一出口352，第二二通阀36具有第二进口361和第二出口362，第三二通阀37具有第三进口371和第三出口372，第一进口351与进气口31相连通，第一出口352和第二进口361中的一个选择性地与第一进口351相连通，第一出口352与通大气口33相连通，第二进口361和第二出口362选择性地相连通，第三进口371和第二出口362相连通，第二出口362和出气口34相连通，第三出口372与第三进口371选择性地相连通，第三出口372与吸真空口32相连通。

具体地，在气动控制组件30控制抛头总成20吸附料片时，可以关闭第一进口351，打开第三出口372、第三进口371和出气口34，并且使吸真空口32，第三出口372、第三进口371和出气口34依次连通，通过吸真空口32吸真空，可以控制抛头总成20吸附料片，吸附过程简单直接，并且快速稳定，气动控制组件30的可靠性较高。

在气动控制组件30向抛头总成20施加压力，从而使抛头总成20预设压力下对料片进行抛光时，可以关闭第一二通阀35的第一出口352，并且开启第二二通阀36的第二进口361，并且使第二进口361与第一进口351相连通，开启第二出口362，并且使第二出口362与第二进口361相连通，关闭第三出口372，开启第三进口371，并且使第二出口362与出气口34相连通，从而使从第一进口351进入的氮气流向第二出口362，并且从第二出口362流向出气口34。

在抛头总成20抛光结束后，需要使气动控制组件30通大气，从而使气动控制组件30中的压力与外界压力达到一致，在此情况下，可以开启第一进口351和第一出口352，关闭进气口31，控制第一进口351与第一出口352相连通，并且使第一出口352和通大气口33相连通，如此设置，响应速度较快，可以提升气动控制组件30的性能。

结合图1-图3所示，气动控制组件30可以主要包括比例阀38，比例阀38连通在进气口31和第一进口351之间，以输出预设压力。具体地，通过将比例阀38连通在进气口31和第一进口351之间，在氮气通过进气口31进入比例阀38后，比例阀38可以调整氮气的压力至预设值，并且将压力为预设值的氮气输出至第一进口351，这样不仅可以为抛头总成20提供预设压力的氮气，并且稳定性较好，响应速度较快，可以提升气动控制组件30的结构可靠性。需要说明的是，比例阀38可以输出15PSI以上的压力。

结合图1和图2所示，抛光设备的抛头100还可以主要包括压力传感器39和控制器，压力传感器39设置于气动控制组件30内，以用于检测气动控制组件30内部的气压，控制器与气动控制组件30电连接。具体地，通过将压力传感器39设置于气动控制组件30内，压力传感器39可以实时地检测气动控制组件30内部的气压，并且将将检测到的结果实时地反馈至控制器中，将控制器与气动控制组件30电连接，控制器可以根据压力传感器39所检测到的压力结果选择性地控制气动控制组件30内的部件进行相应的调整，以使气动控制组件30持续地保证稳定地正常工作，这样可以进一步地提升抛光设备的抛头100的结构可靠性。

结合图1所示，气动控制组件30为多个，多个气动控制组件30在安装板10的上侧间隔设置，抛头总成20上设置有压力区，压力区与出气口34相连通，压力区为多个，多个压力区与多个气动控制组件30一一对应。具体地，通过在安装板10的上侧间隔设置多个气动控制组件30，并且使多个气动控制组件30与抛头总成20上的多个压力区一一对应设置，多个气动控制组件30可以根据抛头总成20上多个压力区的不同需求选择性地工作，从而可以使多个气动控制组件30更能满足抛头总成20的需求，避免气动控制组件30对抛头总成20的控制不到位，或者避免多个气动控制组件30中的部分对抛头总成20上的某些压力区作出不必要的控制，这样可以提升气动控制组件30的结构可靠性。

结合图1所示，抛光设备的抛头100还可以主要包括数据传输模块40，数据传输模块40设置于安装板10，数据传输模块40与多个气动控制组件30电连接，数据传输模块40与控制器电连接。具体地，通过将数据传输模块40设置于安装板10，并且使数据传输模块40与气动控制组件30电连接，数据传输模块40可以将气动控制组件30上的第一二通阀35、第二二通阀36、第三二通阀37和比例阀38的数值和状态信息均传输至控制器，并且使控制器控制第一二通阀35、第二二通阀36、第三二通阀37和比例阀38作出相应的动作调整，这样可以进一步地提升气动控制组件30工作的稳定性和可靠性，从而可以提升抛光设备的抛头100的结构可靠性。

结合图1所示，抛头总成20可以主要包括驱动件21和抛头件22，驱动件21的上端设置于安装板10的下侧，抛头件22设置于驱动件21的下端，并且抛头件22与驱动件21传动连接。具体地，将驱动件21设置于安装板10的下侧，将抛头件22设置于驱动件21的下端，并且使驱动件21和抛头件22传动连接，驱动件21可以选择性地控制抛头件22转动，从而使抛头件22对料片进行抛光，这样可以使抛头总成20的结构更加紧凑。

进一步地，驱动件21内设置有气流通道，气流通道连通在出气口34和抛头总成20之间。具体地，通过在驱动件21内设置气流通道，并且使气流通道连通在出气口34和抛头总成20之间，如此设置，可以在保证驱动件21对抛头件22的驱动稳定可靠的前提下，使出气口34和抛头总成20之间的连通稳定顺畅，可以充分利用驱动件21内部的空间，无需使气流通道占用抛头总成20外部的空间，可以提升空间利用率，可以减小抛头总成20的体积。另外，这样还可以使驱动件21对气流通道气动保护的作用，从而可以进一步地提升气流通道导通气体的顺畅性和稳定性，以及可以提升气流通道的使用寿命。

进一步地，安装板10的上侧设置有旋转接头11，气流通道至少部分地设置于旋转接头11内，旋转接头11与气动控制组件30相对应连通，并且可以跟随抛头件22的转动而转动，从而可以在保证驱动件21对抛头件22的驱动稳定的前提下，使气流通道对气动控制组件30和抛头总成20的连通更加稳定。

结合图1所示，驱动件21包括驱动电机211和驱动轴212，驱动电机211和安装板10的下侧相连，驱动轴212与驱动电机211传动连接，抛头件22与驱动轴212相连。具体地，将驱动电机211设置于安装板10的下侧，并且将驱动轴212连接在驱动电机211和抛头件22之间，使驱动件21驱动驱动轴212转动，从而使驱动轴212带动抛头件22转动，这样不仅可以使抛头总成20的结构更加紧凑，而且还可以提升驱动件21对抛头件22驱动的稳定性。

进一步地，将气流通道设置于驱动电机211和驱动轴212内，可以进一步地减小气流通道的长度，从而可以进一步地提升抛头总成20的响应速度。

根据本实用新型实施例的抛光设备可以主要包括上述的抛光设备的抛头100，将上述抛光设备的抛头100设置于抛光设备，不仅可以提升抛光设备对料片抛光的可靠性和稳定性，而且抛光设备的响应速度更快，可以提升抛光设备的性能。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种抛光设备的抛头，其特征在于，包括：

安装板；

抛头总成，所述抛头总成设置于所述安装板的下侧；

气动控制组件，所述气动控制组件设置于安装板的上侧且包括进气口、吸真空口、通大气口和出气口，所述进气口，所述吸真空口和所述通大气口中的一个选择性地与所述出气口选择性地相连通，所述出气口与所述抛头总成相连通。

2.根据权利要求1所述的抛光设备的抛头，其特征在于，所述气动控制组件包括第一二通阀、第二二通阀和第三二通阀，所述第一二通阀具有第一进口和第一出口，所述第二二通阀具有第二进口和第二出口，所述第三二通阀具有第三进口和第三出口；

所述第一进口与所述进气口相连通，所述第一出口和所述第二进口中的一个选择性地与所述第一进口相连通，所述第一出口与所述通大气口相连通，所述第二进口和所述第二出口选择性地相连通，所述第三进口和所述第二出口相连通，所述第二出口和所述出气口相连通，所述第三出口与所述第三进口选择性地相连通，所述第三出口与所述吸真空口相连通。

3.根据权利要求2所述的抛光设备的抛头，其特征在于，所述气动控制组件包括比例阀，所述比例阀连通在所述进气口和所述第一进口之间，以输出预设压力。

4.根据权利要求2所述的抛光设备的抛头，其特征在于，还包括压力传感器和控制器，所述压力传感器设置于所述气动控制组件内，以用于检测所述气动控制组件内部的气压，所述控制器与所述气动控制组件电连接。

5.根据权利要求4所述的抛光设备的抛头，其特征在于，所述气动控制组件为多个，多个所述气动控制组件在所述安装板的上侧间隔设置，所述抛头总成上设置有压力区，所述压力区与所述出气口相连通，所述压力区为多个，多个所述压力区与多个所述气动控制组件一一对应。

6.根据权利要求5所述的抛光设备的抛头，其特征在于，还包括数据传输模块，所述数据传输模块设置于所述安装板，所述数据传输模块与多个所述气动控制组件电连接，所述数据传输模块与所述控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的抛光设备的抛头，其特征在于，所述抛头总成包括驱动件和抛头件，所述驱动件的上端设置于所述安装板的下侧，所述抛头件设置于所述驱动件的下端且与所述驱动件传动连接。

8.根据权利要求7所述的抛光设备的抛头，其特征在于，所述驱动件内设置有气流通道，所述气流通道连通在所述出气口和所述抛头总成之间。

9.根据权利要求8所述的抛光设备的抛头，其特征在于，所述驱动件包括驱动电机和驱动轴，所述驱动电机和所述安装板的下侧相连，所述驱动轴与所述驱动电机传动连接，所述抛头件与所述驱动轴相连。

10.一种抛光设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的抛光设备的抛头。