CN219841062U - 一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置 - Google Patents
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Abstract
一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置，包括：堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具；堵头接头的上部与所述自动压力控制阀的阀门固定连接；堵头接头的下部的开口处通过盖板盖住，并通过夹具将所述堵头接头的下部和所述盖板夹紧；堵头接头的下部和盖板之间还设有中心环，中心环的***套设密封圈。本实用新型的堵头装置设计为可拆分结构，包括：堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具，使用时，无需拆卸堵头接头，只需将夹具松开，拿下盖板即可，拆卸方便简洁，对阀门本体无损伤。自动压力控制阀门保养清洁以及更换时，可拆卸盖板进行放气泄压处理，可重复使用多次，对阀门本体无影响。
Description
技术领域
本实用新型液晶面板干蚀刻机的技术领域，具体是指一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置。
背景技术
液晶面板干蚀刻机工作原理是：在低压环境下，将工艺气体等离子化(Plasma)并和基板表面的膜层加以化学性的蚀刻及离子轰击，达到膜层去除，以实现蚀刻的目的。
由真空泵、涡轮分子泵、真空压力计及自动压力控制(APC)阀门组成的密闭腔体实现干蚀刻所需的真空环境。通过调节APC阀门开口度，达到控压的目的。
自动压力控制(APC)阀门保养清洁以及更换时，APC内有真空负压残留，需拆卸堵头进行泄压放气处理。原样式如图1所示，堵头1直接通过螺纹安装在APC阀体上，这种装配方式经多次拆卸后会导致阀门本体上螺丝滑牙，导致APC阀体本体螺纹损坏，无法锁紧及密封，使APC阀体无法使用。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种拆卸方便简洁、对阀门本体无损伤的干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置。
本实用新型是这样实现的：
一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置，包括：堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具；
所述堵头接头的上部与所述自动压力控制阀的阀门固定连接；
所述堵头接头的下部的开口处通过所述盖板盖住，并通过所述夹具将所述堵头接头的下部和所述盖板夹紧；
所述堵头接头的下部和所述盖板之间还设有所述中心环，所述中心环的***套设所述密封圈。
进一步地，所述盖板的中心具有与所述堵头接头的下部的开口相匹配的圆形凹槽；所述中心环的下部置于所述盖板中心的圆形凹槽内，所述中心环的上部伸入所述堵头接头的下部的开口内。
进一步地，所述中心环的材质与所述堵头接头和所述盖板的材质相同，均为钢材质。
本实用新型的优点在于：本实用新型的堵头装置设计为可拆分结构，包括：堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具，使用时，无需拆卸堵头接头，只需将夹具松开，拿下盖板即可，拆卸方便简洁，对阀门本体无损伤。自动压力控制(APC)阀门保养清洁以及更换时，可拆卸盖板进行放气泄压处理，可重复使用多次，对阀门本体无影响。
附图说明
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。
图1是现有技术中直接安装在自动压力控制阀体的堵头结构示意图。
图2是是本实用新型装配后的截面示意图。
图3是本实用新型中的堵头接头的结构示意图。
图4是本实用新型中的中心环和密封圈配合结构示意图。
图5是本实用新型中的盖板的结构示意图。
图6是本实用新型中的夹具结构示意图。
具体实施方式
如图2至图6所示，一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置，包括：堵头接头1、中心环2、密封圈3、盖板4、夹具5；堵头接头1的上部与自动压力控制阀的阀门固定连接，堵头接头1的下部的开口处通过盖板4盖住，并通过夹具5将堵头接头1的下部和盖板4夹紧，堵头接头1的下部和盖板3之间还设有中心环2，所述密封圈3紧配环绕于所述中心环2的***；所述盖板4的中心具有与所述堵头接头1的下部的开口相匹配的圆形凹槽41；所述中心环2的下部置于所述盖板4中心的圆形凹槽41内，所述中心环2的上部伸入所述堵头接头1的下部的开口内。
所述中心环2的材质与所述堵头接头1和所述盖板3的材质相同，均为钢材质。
需要拆下时，无需拆卸堵头接头1，只需将夹具5松开，拿下盖板3即可，拆卸方便简洁，对阀门本体无损伤。自动压力控制(APC)阀门保养清洁以及更换时，可拆卸盖板进行放气泄压处理，可重复使用多次，对阀门本体无影响。
上述实施例和图式并非限定本实用新型的形态和式样，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。
Claims (3)
1.一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置，其特征在于：包括：堵头接头、中心环、密封圈、盖板、夹具；
所述堵头接头的上部与所述自动压力控制阀的阀门固定连接；
所述堵头接头的下部的开口处通过所述盖板盖住，并通过所述夹具将所述堵头接头的下部和所述盖板夹紧；
所述堵头接头的下部和所述盖板之间还设有所述中心环，所述中心环的***套设所述密封圈。
2.如权利要求1所述的一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置，其特征在于：所述盖板的中心具有与所述堵头接头的下部的开口相匹配的圆形凹槽；所述中心环的下部置于所述盖板中心的圆形凹槽内，所述中心环的上部伸入所述堵头接头的下部的开口内。
3.如权利要求2所述的一种干蚀刻机自动压力控制阀的堵头装置，其特征在于：所述中心环的材质与所述堵头接头和所述盖板的材质相同，均为钢材质。
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