CN219641864U - 一种可定位晶圆测试探针台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可定位晶圆测试探针台，涉及晶圆测试探针台结构技术领域，为解决现有的晶圆测试探针台在对晶圆进行放置时，并未对晶圆进行定位，从而使晶圆在进行检测的时候可能发生移动的问题。所述安装底座的上方安装有竖向支撑杆，所述竖向支撑杆的上端设置有安装座，所述安装座的上端设置有滑动安装杆，所述滑动安装杆的一端安装有横向安装杆，所述安装座的上方安装有安装装置，所述安装底座的上方安装有移动装置一，所述移动装置一的上方安装有移动装置架二，所述移动装置架二的上方安装有放置探针台，所述放置探针台的上端设置有探针放置座，所述探针放置座的内部设置有限位放置室，所述放置探针台的下端设置有连接座。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆测试探针台结构技术领域，具体为一种可定位晶圆测试探针台。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后渗入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，晶圆测试探针台是一种用于生物学领域的电子测量仪器，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，可以对晶圆在进行封装前进行检测，从而避免损坏的晶圆封装，造成不必要的损失，以及损坏的晶圆不能很好的进行使用。
中国专利申请公布好CN114113962A，申请公布日2022年03月01日，一种具有防偏移的晶圆测试探针台，本发明提供一种测试精准、操作简单方便的具有防偏移的晶圆测试探针台，一种具有防偏移的晶圆测试探针台，包括有支撑架、连接框、电动滑轨、放置盘、滑杆、固定架、测试器、限位机构和保护机构，连接框底部前后对称设有支撑架，连接框内部前壁与后壁均设有电动滑轨，两个电动滑轨之间滑动式设有放置盘，连接框顶部左侧设有滑杆，滑杆上滑动式设有固定架，固定架右侧设有测试器，放置盘上设有限位机构，连接框右侧设有保护机构。在限位块与第一连接弹簧配合作用下可将晶圆卡住，防止使用者在使用探针测试晶粒时晶圆出现位移，影响测试工作。
但是现有的晶圆测试探针台在对晶圆进行放置时，并未对晶圆进行定位，从而使晶圆在进行检测的时候可能发生移动，从而影响晶圆的检测效果，因此市场上急需一种可定位晶圆测试探针台来解决这些问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可定位晶圆测试探针台，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆测试探针台在对晶圆进行放置时，并未对晶圆进行定位，从而使晶圆在进行检测的时候可能发生移动，从而影响晶圆的检测效果的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可定位晶圆测试探针台，包括安装底座，所述安装底座的下方安装有支撑座，所述安装底座的上方安装有竖向支撑杆，所述竖向支撑杆的上端设置有安装座，所述安装座的上端设置有滑动安装杆，所述滑动安装杆的一端安装有横向安装杆，所述横向安装杆的两端均设置有滑动座，所述横向安装杆的一侧安装有观察装置，所述安装座的上方安装有安装装置，所述安装底座的上方安装有移动装置一，所述移动装置一的上方安装有移动装置架二，所述移动装置架二的上方安装有放置探针台，所述放置探针台的上端设置有探针放置座，所述探针放置座的内部设置有限位放置室，所述放置探针台的下端设置有连接座。
优选的，所述滑动安装杆设置有两个，两个所述滑动安装杆关于安装座的垂直中心线相对称，所述滑动安装杆的一端穿过滑动座并延伸至滑动座的外部，所述滑动安装杆与滑动座之间通过紧固旋钮固定连接。
优选的，所述观察装置的一端设置有移动座，所述移动座与横向安装杆之间通过紧固装置安装固定，所述观察装置的上端设置有观察口，所述观察装置的下端设置有观察座。
优选的，所述安装装置设置有两个，所述安装装置的一端安装有探针架，所述探针架的一端安装有检测探针。
优选的，所述移动装置架二的下端设置有固定脚，所述固定脚与移动装置一之间通过固定螺钉固定连接，所述放置探针台的下端设置有安装脚，所述安装脚与移动装置架二之间通过安装螺钉固定连接。
优选的，所述限位放置室下端的内部设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有抽气孔，所述限位放置室的四周设置有拿取槽，所述抽气孔与连接座相连通。
优选的，所述移动装置一的一侧安装有抽气装置箱，所述抽气装置箱与连接座之间通过抽气管固定连接，所述抽气管的一端与连接座之间通过紧固螺丝固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种可定位晶圆测试探针台，通过将晶圆放置进探针放置座设置的限位放置室的内部，这样能够对晶圆四周进行限位，然后通过打开抽气装置箱，使抽气管进行抽气，这样使探针放置座内部设置的抽气孔进行吸气，从而对放置的晶圆进行定位，从而避免晶圆在进行测试的时候出现移动，从而影响晶圆的测试效果，然后通过安装的检测探针对晶圆进行测试，通过安装的移动装置一和移动装置架二能够使晶圆能够方便的进行多方位移动，从而使晶圆能够更方便的进行检测。
附图说明
图1为本实用新型的整体主视图；
图2为本实用新型的探针放置座俯视图；
图3为本实用新型的图1的A区局部放大图；
图4为本实用新型的图1的B区局部放大图。
图中：1、安装底座；2、支撑座；3、竖向支撑杆；4、安装座；5、滑动安装杆；6、横向安装杆；7、滑动座；8、紧固旋钮；9、观察装置；901、移动座；902、观察座；903、观察口；904、紧固装置；10、安装装置；11、探针架；12、检测探针；13、移动装置一；14、移动装置架二；1401、固定脚；15、固定螺钉；16、放置探针台；1601、安装脚；1602、连接座；17、安装螺钉；18、探针放置座；1801、限位放置室；1802、凹槽；1803、抽气孔；1804、拿取槽；19、抽气管；20、抽气装置箱；21、紧固螺丝。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种可定位晶圆测试探针台，包括安装底座1，安装底座1的下方安装有支撑座2，安装底座1的上方安装有竖向支撑杆3，竖向支撑杆3的上端设置有安装座4，安装座4的上端设置有滑动安装杆5，滑动安装杆5的一端安装有横向安装杆6，横向安装杆6的两端均设置有滑动座7，横向安装杆6的一侧安装有观察装置9，安装座4的上方安装有安装装置10，安装底座1的上方安装有移动装置一13，移动装置一13的上方安装有移动装置架二14，移动装置架二14的上方安装有放置探针台16，放置探针台16的上端设置有探针放置座18，探针放置座18的内部设置有限位放置室1801，放置探针台16的下端设置有连接座1602。
请参阅图1和图3，滑动安装杆5设置有两个，两个滑动安装杆5关于安装座4的垂直中心线相对称，滑动安装杆5的一端穿过滑动座7并延伸至滑动座7的外部，滑动安装杆5与滑动座7之间通过紧固旋钮8固定连接，通过设置的滑动安装杆5使滑动座7能够沿着滑动安装杆5的方向竖直进行移动，这样能够方便的对安装的观察装置9的高度进行调节。
请参阅图1，观察装置9的一端设置有移动座901，移动座901与横向安装杆6之间通过紧固装置904安装固定，观察装置9的上端设置有观察口903，观察装置9的下端设置有观察座902，可以方便的对观察装置9的位置进行调节，通过转动紧固装置904能够方便的对调节好的观察装置9进行安装固定。
请参阅图1，安装装置10设置有两个，安装装置10的一端安装有探针架11，探针架11的一端安装有检测探针12，通过安装有检测探针12能够方便的对放置的晶圆进行测试。
请参阅图1，移动装置架二14的下端设置有固定脚1401，固定脚1401与移动装置一13之间通过固定螺钉15固定连接，放置探针台16的下端设置有安装脚1601，安装脚1601与移动装置架二14之间通过安装螺钉17固定连接，可以方便的对移动装置架二14与移动装置一13之间进行在固定，可以方便的对放置探针台16与移动装置架二14之间进行安装固定，这样能够方便的对放置探针台16的位置进行调节。
请参阅图2，限位放置室1801下端的内部设置有凹槽1802，凹槽1802的内部设置有抽气孔1803，限位放置室1801的四周设置有拿取槽1804，抽气孔1803与连接座1602相连通，通过设置的抽气孔1803进行抽气，能够方便的对放置的晶圆进行吸附固定，通过设置的拿取槽1804可以方便的对放置在限位放置室1801内部的晶圆进行拿取。
请参阅图1和图4，移动装置一13的一侧安装有抽气装置箱20，抽气装置箱20与连接座1602之间通过抽气管19固定连接，抽气管19的一端与连接座1602之间通过紧固螺丝21固定连接，可以方便的对抽气装置箱20与连接座1602之间进行连接，通过抽气管19进行抽气，能够使抽气孔1803吸气，从而对放置的晶圆进行吸附固定。
工作原理：使用时，通过将晶圆放置进探针放置座18设置的限位放置室1801的内部，这样能够对晶圆四周进行限位，然后通过打开抽气装置箱20，使抽气管19进行抽气，这样使探针放置座18内部设置的抽气孔1803进行吸气，从而对放置的晶圆进行定位，从而避免晶圆在进行测试的时候出现移动，从而影响晶圆的测试效果，然后通过安装的检测探针12对晶圆进行测试，通过安装的移动装置一13和移动装置架二14能够使晶圆能够方便的进行多方位移动，从而使晶圆能够更方便的进行检测。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.一种可定位晶圆测试探针台，包括安装底座(1)，其特征在于：所述安装底座(1)的下方安装有支撑座(2)，所述安装底座(1)的上方安装有竖向支撑杆(3)，所述竖向支撑杆(3)的上端设置有安装座(4)，所述安装座(4)的上端设置有滑动安装杆(5)，所述滑动安装杆(5)的一端安装有横向安装杆(6)，所述横向安装杆(6)的两端均设置有滑动座(7)，所述横向安装杆(6)的一侧安装有观察装置(9)，所述安装座(4)的上方安装有安装装置(10)，所述安装底座(1)的上方安装有移动装置一(13)，所述移动装置一(13)的上方安装有移动装置架二(14)，所述移动装置架二(14)的上方安装有放置探针台(16)，所述放置探针台(16)的上端设置有探针放置座(18)，所述探针放置座(18)的内部设置有限位放置室(1801)，所述放置探针台(16)的下端设置有连接座(1602)。
2.根据权利要求1所述的一种可定位晶圆测试探针台，其特征在于：所述滑动安装杆(5)设置有两个，两个所述滑动安装杆(5)关于安装座(4)的垂直中心线相对称，所述滑动安装杆(5)的一端穿过滑动座(7)并延伸至滑动座(7)的外部，所述滑动安装杆(5)与滑动座(7)之间通过紧固旋钮(8)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种可定位晶圆测试探针台，其特征在于：所述观察装置(9)的一端设置有移动座(901)，所述移动座(901)与横向安装杆(6)之间通过紧固装置(904)安装固定，所述观察装置(9)的上端设置有观察口(903)，所述观察装置(9)的下端设置有观察座(902)。
4.根据权利要求1所述的一种可定位晶圆测试探针台，其特征在于：所述安装装置(10)设置有两个，所述安装装置(10)的一端安装有探针架(11)，所述探针架(11)的一端安装有检测探针(12)。
5.根据权利要求1所述的一种可定位晶圆测试探针台，其特征在于：所述移动装置架二(14)的下端设置有固定脚(1401)，所述固定脚(1401)与移动装置一(13)之间通过固定螺钉(15)固定连接，所述放置探针台(16)的下端设置有安装脚(1601)，所述安装脚(1601)与移动装置架二(14)之间通过安装螺钉(17)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种可定位晶圆测试探针台，其特征在于：所述限位放置室(1801)下端的内部设置有凹槽(1802)，所述凹槽(1802)的内部设置有抽气孔(1803)，所述限位放置室(1801)的四周设置有拿取槽(1804)，所述抽气孔(1803)与连接座(1602)相连通。
7.根据权利要求1所述的一种可定位晶圆测试探针台，其特征在于：所述移动装置一(13)的一侧安装有抽气装置箱(20)，所述抽气装置箱(20)与连接座(1602)之间通过抽气管(19)固定连接，所述抽气管(19)的一端与连接座(1602)之间通过紧固螺丝(21)固定连接。
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