CN219552831U

CN219552831U - 供应管路和刻蚀设备

Info

Publication number: CN219552831U
Application number: CN202223308200.2U
Authority: CN
Inventors: 李淳东; 刘杰; 邹威; 胡永红; 陈税; 石云天; 张灿; 程婉君
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chongqing BOE Display Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chongqing BOE Display Technology Co Ltd
Priority date: 2022-12-09
Filing date: 2022-12-09
Publication date: 2023-08-18
Anticipated expiration: 2032-12-09

Abstract

本实用新型公开了一种供应管路和刻蚀设备，供应管路包括：主管路，主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个第一出口沿主管路的长度方向间隔分布；多个支管，每个支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个第二进口沿支管的长度方向间隔分布，多个第二出口沿支管的长度方向间隔分布；多个第一连接管，支管上的每个第二进口分别通过一个第一连接管与对应的第一出口连通。在供应管路中，主管路中的液体通过多个第二进口进入支管中，支管中不同位置的压力相近，从多个第二出口流出的液体压力相近，可以使从支管的第二出口流出的液体更均匀。在刻蚀过程中，通过该供液管路供应刻蚀液可以使刻蚀液供应均匀，使刻蚀更均匀，提高刻蚀效果。

Description

供应管路和刻蚀设备

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种供应管路和刻蚀设备。

背景技术

OLED面板由于其功耗低，对比度好，分辨率高，响应速度快和可弯曲的优良特性，在日常生活中得到广泛的应用。因此，在OLED面板生产加工技术领域，提高面板发光的均一性和面板的分辨率具有重要的产业价值。阳极湿法刻蚀属于OLED面板生产加工中的重要一环，其原理是利用合适的化学药液与阳极发生化学反应，将未被光刻胶保护的阳极区域溶解刻蚀，最终得到一定规律排列的阳极图案。

湿法刻蚀按照设备种类划分可以分为两类，一类是利用浸泡方式进行刻蚀的槽式刻蚀，另一类是通过喷嘴喷洒进行刻蚀的喷淋刻蚀。而在实际OLED面板生产加工技术领域，阳极湿法刻蚀常采用喷淋的方式进行刻蚀，供液管路中的管路采用不同点位并连的方式向喷嘴提供药液，药液供应的均匀性影响刻蚀的均一性。在湿法刻蚀过程中，供液管路的喷嘴喷洒出的药液不均匀，导致刻蚀不均匀，影响刻蚀效果。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种供应管路和刻蚀设备，用以解决在湿法刻蚀过程中供液管路的药液供应不均匀，导致刻蚀不均匀的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种供应管路，包括：

主管路，所述主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向间隔分布；

多个支管，每个所述支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向间隔分布，多个所述第二出口沿所述支管的长度方向间隔分布；

多个第一连接管，所述支管上的每个所述第二进口分别通过一个所述第一连接管与对应的所述第一出口连通。

可选地，同一个所述支管上连接的第一连接管与同一个所述第一出口连通。

可选地，所述支管上位于相邻所述第二进口之间的区域设有所述第二出口。可选地，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布；和/或

多个所述第二出口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布。

可选地，所述第一连接管的数量为n，第i个第一连接管的长度为L_i，第i个第一连接管的内径为D_i，第j个第一连接管的长度为L_j，第j个第一连接管的内径为D_j，L_i与L_j的比值等于D_i与D_j的比值，其中，i,j＝1,2,3,...,n。

可选地，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

可选地，所述主管路上具有多个所述第一进口，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向间隔分布。

可选地，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

可选地，所述主管路上位于相邻所述第一进口之间的区域设有所述第一出口。

可选地，所述供应管路还包括：

多个第二连接管，每个所述第二连接管的一端分别和一个所述第一进口连通。

可选地，所述第二连接管的数量为m，第a个第二连接管的长度为L_a，第a个第二连接管的内径为D_a，第b个第二连接管的长度为L_b，第b个第二连接管的内径为D_b，L_a与L_b的比值等于D_a与D_b的比值，其中，a,b＝1,2,3,...,m。

可选地，所述供应管路还包括：

连接头，所述连接头上具有连接口，所述连接口与所述第二连接管的另一端连通。

可选地，所述供应管路还包括：

流出管，每个所述第二出口分别与对应的一个所述流出管连通。

可选地，多个所述支管的材质相同；和/或

多个所述第一连接管的材质相同。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种刻蚀设备，包括：

上述实施例中所述的供应管路。

在本实用新型实施例的供应管路中，所述主管路上具有第一进口与多个第一出口，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向间隔分布，每个所述支管上具有多个第二进口和多个第二出口，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向间隔分布，多个所述第二出口沿所述支管的长度方向间隔分布，所述支管上的每个所述第二进口分别通过一个所述第一连接管与对应的所述第一出口连通。在供应管路中，每个所述支管上具有多个第二进口，所述支管上的每个所述第二进口分别通过一个所述第一连接管与对应的所述第一出口连通，主管路中的液体通过多个第二进口进入支管中，支管中不同位置的压力相近，减少支管中不同部位的压力差别，支管上多个所述第二出口位置的液体压力相近，从多个所述第二出口流出的液体压力相近，可以使从支管的第二出口流出的液体流量更均匀。在湿法刻蚀过程中，通过本实用新型中的供液管路来供应刻蚀液可以使刻蚀液供应均匀，使刻蚀更均匀，提高刻蚀效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例中供应管路的一个结构示意图；

图2为第二连接管与连接头连接的一个示意图；

图3为每个支管通过一个连接管连接主管路的示意图；

图4为不同点位并联连接的三喷嘴喷洒供液管路模型；

图5为流程求解程序流程图；

图6为相同位点并联连接的三喷嘴喷洒供液管路模型。

附图标记

主管路10；

支管20；

第一连接管30；

第二连接管40；

连接头50；

流出管60。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

下面结合附图1至图6所示，通过具体的实施例及其应用场景对本实用新型实施例提供的供应管路和刻蚀设备进行详细地说明。

如图1所示，本实用新型实施例的供应管路，包括：主管路10、多个支管20与多个第一连接管30，其中，主管路10上具有第一进口与多个第一出口，第一进口的尺寸可以大于第一出口的尺寸，第一进口的数量可以为一个或多个，在第一进口的数量为多个的情况下，多个第一进口可以沿主管路10的长度方向间隔分布。多个第一出口沿主管路10的长度方向间隔分布，相邻第一出口的间隔距离可以相同或不同，具体的间隔距离可以根据实际选择。每个支管20上可以具有多个第二进口和多个第二出口，多个第二进口沿支管20的长度方向间隔分布，多个第二出口沿支管20的长度方向间隔分布，相邻第二进口的间隔距离可以相同或不同，相邻第二出口的间隔距离可以相同或不同，具体的间隔距离可以根据实际选择。第一进口、第一出口、第二进口和第二出口的具体数量可以根据实际选择，比如，第一进口的数量可以为17个，第一出口的数量可以为16个，第二进口的数量可以为8个，第二出口的数量可以为7个。第一进口、第一出口、第二进口和第二出口的形状、尺寸可以根据实际选择，比如，第一进口、第一出口、第二进口和第二出口的形状可以圆形、椭圆形、多边形等。多个第一出口的形状、尺寸可以相同，比如，第一出口可以为圆形。多个第二进口的形状、尺寸可以相同，比如，第二进口可以为圆形。多个第二出口的形状、尺寸可以相同，比如，第二出口可以为圆形。

支管20上的每个第二进口分别通过一个第一连接管30与对应的第一出口连通，通过第一连接管30使得主管路10中的液体可以流入支管20，支管20中的液体通过第二出口流出，通过多个第一连接管30为支管20上的第二进口进行供应液体，可以使得支管20中的液体的压力相近，减小支管20不同位置的压力差别，以使支管20中流出的液体更加均匀。

主管路10的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，主管路10的材质可以为不锈钢。支管20的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，支管20的材质可以为不锈钢。第一连接管30的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，第一连接管30的材质可以为塑料软管或金属软管，第一连接管30可以为聚氯乙烯(PVC)材料，主管路10、支管20与第一连接管30的具体材质可以根据实际选择。多个支管20的材质可以相同，多个支管20的管径和长度可以不相同，多个第一连接管30的材质可以相同，多个第一连接管30的管径和长度可以不相同。第一连接管30的材质可以相同，第一连接管30的长度可以不同，第一连接管30的长度越大，管径越大，可以减小不同第一连接管30之间的压降差别，使得经过不同第一连接管30流入支管20的液体的压降相接近，以使支管20中不同位置的液体压力相近，减小支管20不同位置的压力差别，使支管20中流出的液体更加均匀。

在本实用新型实施例的供应管路中，每个支管20上具有多个第二进口，支管20上的每个第二进口分别通过一个第一连接管30与对应的第一出口连通，主管路10中的液体通过多个第二进口进入支管20中，通过多个第一连接管30为支管20上的第二进口进行供应液体，支管20中不同位置的压力相近，减少支管20中不同部位的压力差别，支管20上多个第二出口位置的液体压力相近，从多个第二出口流出的液体流量相近，以使从支管20的第二出口流出的液体流量更均匀。在湿法刻蚀过程中，通过本实用新型中的供液管路来供应刻蚀液可以使刻蚀液供应均匀，可以保证每个第二出口喷洒的流量一致，使刻蚀更均匀，提高刻蚀效果。

在一些实施例中，如图1所示，同一个支管20上连接的第一连接管30与同一个第一出口连通，可以使得主管路10中流出的液体以相同的压力流入同一个支管20上连接的第一连接管30中，使得经过不同第一连接管30流入支管20中的液体的压降相接近。同一个支管20上连接的第一连接管30可以通过连接头上的连接口与同一个第一出口连通，连接口位置的液体压力相同，通过连接头可以使得进入第一连接管30中的液体的压力相同。连接头上的连接口的数量可以根据实际情况进行增加或减少，连接头上的连接口处第一连接管30的连接口可以均匀分布，当第一连接管30数量较多时可选择变径的管路作为接口。

在另一些实施例中，支管20上位于相邻第二进口之间的区域设有第二出口。支管20上相邻第二进口可以关于位于该相邻第二进口之间的第二出口对称，以使得从支管20的第二出口流出的液体流量更均匀。

可选地，多个第二进口可以沿支管20的长度方向均匀间隔分布，以使主管路10中流出的液体流入支管20中后的压力相接近，使得支管20中的液体的压力相接近，减小支管20中不同位置的液体压力差别。

可选地，多个第二出口可以沿支管20的长度方向均匀间隔分布。支管20上多个第二出口位置的液体压力相近，从多个第二出口流出的液体流量相近，多个第二出口沿支管20的长度方向均匀间隔分布，可以使从支管20的第二出口流出的液体流量更均匀。

在本实用新型的实施例中，第一连接管30的数量可以为n，第一连接管30的数量可以为8个，第i个第一连接管的长度为L_i，第i个第一连接管的内径为D_i，第j个第一连接管的长度为L_j，第j个第一连接管的内径为D_j，L_i与L_j的比值等于D_i与D_j的比值，其中，i,j＝1,2,3,...,n。第i个第一连接管与第j个第一连接管的材质可以相同，第i个第一连接管与第j个第一连接管的内壁的摩擦系数可以相同，第i个第一连接管与第j个第一连接管的长度可以不同。第一连接管30的长度越大，管径越大，可以减小不同第一连接管30之间的压降差别，使得经过不同第一连接管30流入支管20的液体的压降相接近，以使支管20中不同位置的液体压力相近，减小支管20中不同位置的压力差别，使支管20中流出的液体流量更加均匀。

可选地，多个第一出口可以沿主管路10的长度方向均匀间隔分布，可以使从主管路10的第一出口流出的液体的压力相接近，使进入不同第一连接管30中的液体的压力相接近，让支管20中不同位置的液体压力相近，使支管20中流出的液体流量更加均匀。

在一些实施例中，主管路10上具有多个第一进口，多个第一进口可以沿主管路10的长度方向间隔分布，相邻第一进口的间隔距离可以相同或不同，具体的间隔距离可以根据实际选择。通过多个第一进口从不提供的位置为主管路10供应液体，可以使得主管路10上不同位置中的液体压力相接近，减小主管路10上不同位置中的液体压力差别。

可选地，多个第一进口可以沿主管路10的长度方向均匀间隔分布，相邻第一进口的间隔距离相同，可以使得主管路10上不同位置中的液体压力更接近，减小主管路10上不同位置中的液体压力差别。

在一些实施例中，主管路10上位于相邻第一进口之间的区域可以设有第一出口。主管路10上相邻第一进口可以关于位于该相邻第一进口之间的第一出口对称，以使得从主管路10的第一出口流出的液体流量更均匀。

可选地，如图1所示，供应管路还可以包括：多个第二连接管40，每个第二连接管40的一端分别和一个第一进口连通，通过第二连接管40可以为主管路10供应液体。

多个第二连接管40的材质可以相同，多个第二连接管40的管径和长度可以不相同。第二连接管40的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，第二连接管40的材质可以为塑料软管或金属软管，第二连接管40可以为聚氯乙烯(PVC)材料。第二连接管40的材质可以相同，第二连接管40的长度可以不同，第二连接管40的长度越大，管径越大，可以减小不同第二连接管40之间的压降差别，使得经过不同第二连接管40流入主管路10的液体的压降相接近，以使主管路10中不同位置的液体压力相近，减小主管路10不同位置的压力差别，使支管20中流出的液体更加均匀。通过多个第二连接管40为主管路10进行供应液体，主管路10中不同位置的压力相近，减少主管路10中不同部位的压力差别，主管路10上多个第一出口位置的液体压力相近，从多个第一出口流出的液体压力相近，以使从支管20的第二出口流出的液体流量更均匀。

在本实用新型的实施例中，第二连接管40的数量为m，第二连接管40的数量可以为17个，第a个第二连接管的长度为L_a，第a个第二连接管的内径为D_a，第b个第二连接管的长度为L_b，第b个第二连接管的内径为D_b，L_a与L_b的比值等于D_a与D_b的比值，其中，a,b＝1,2,3,...,m。第a个第二连接管与第b个第二连接管的材质可以相同，第a个第二连接管与第b个第二连接管的内壁的摩擦系数可以相同，第a个第二连接管与第b个第二连接管的长度可以不同。第二连接管的长度越大，管径越大，可以减小不同第二连接管之间的压降差别，使得经过不同第二连接管流入主管路10的液体的压降相接近，以使主管路10中不同位置的液体压力相近，减小主管路10中不同位置的压力差别，使主管路10中流出的液体流量更加均匀。

可选地，如图1和图2所示，供应管路还可以包括：连接头50，连接头50上可以具有连接口，连接口与第二连接管40的另一端可以连通，连接口位置的液体压力相同，通过连接头50可以使得进入第二连接管40中的液体的压力相同。连接头50上的连接口的数量可以根据实际情况进行增加或减少，连接头50上的连接口处第二连接管40的连接口可以均匀分布，当第二连接管40数量较多时可选择变径的管路作为接口。

可选地，如图1所示，供应管路还可以包括：流出管60，每个第二出口分别与对应的一个流出管60连通。每个支管20上的流出管60的数量可以为7个，流出管60的内径与第二出口的口径可以相同，流出管60与第二出口的轴线可以共线。不同流出管60的材质可以相同，多个流出管60的管径和长度可以不相同。流出管60的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，流出管60的材质可以为塑料或金属。流出管60的材质可以相同，流出管60的长度可以相同，使得经过不同流出管60流出的液体的压降相接近，使流出的液体流量更加均匀。

在一些实施例中，多个支管20的材质可以相同。支管20的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，支管20的材质可以为塑料或金属，使得不同支管20的摩擦系数相同。

可选地，多个第一连接管30的材质相同。第一连接管30的材质可以为金属、塑料或玻璃，比如，第一连接管30可以为塑料软管或金属软管，使得不同第一连接管30的摩擦系数相同。

如图3所示，主管路1与每个支管3之间分别通过一个连接管2连通，在支管3上具有7个喷嘴4。基于图3中供液管路的连接方式，可以构建如图4所示的三喷嘴喷洒供液管路模型，a表示真实管路，b表示虚拟管路，c表示喷嘴，该模型采用不同点位并连的方式，并且通过增加虚拟节点和虚拟分支的方法将有源汇的管网转化为无源汇的管网。根据图论知识，在三喷嘴管路模型中选择管段u4、u5、u6、u7、u8、u9、u10作为树枝管段，根据先树枝再链支的顺序可得基本关联矩阵A＝[-1 1 0 1 0 0 0 0 0 0；0 -1 1 0 1 0 0 0 0 0；0 0 -1 001 0 0 0 0；0 0 0 -1 0 0 1 0 0 0；0 0 0 0 -1 0 0 1 0 0；0 0 0 0 0 -1 0 0 1 0；0 00 0 00-1-1-1 1]，其中树枝矩阵A_t＝[1 0 0 0 0 0 0；0 1 0 0 0 0 0；0 0 1 0 0 0 0；-10 01 0 0 0；0 -1 0 0 1 0 0；0 0 -1 0 0 1 0；0 0 0 -1-1 -1 1]，链支矩阵A_l＝[-1 10；0-1 1；0 0 -1；0 0 0；0 0 0；0 0 0；0 0 0]，回路矩阵B＝[1 0 0 1 0 0 1 1 0 0；-110-1 1 0 0 0 1 0；0-1 1 0-1 1 0 0 0 1]。

为了模拟真实的生产过程，三喷嘴喷洒供液管路模型中各管段的管长和管径接近真实情况，按照树枝和链支的顺序，管长l＝[0.02 0.02 0.02 1 1 1 3 3 1 1]，管径D＝[0.005 0.005 0.005 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05]，单位为m(米)。然后由海曾-威廉公式：

计算出沿程水头损失系数S＝[st；sl]＝[1.5e⁵ 1.5e⁵ 1.5e⁵ 0 0 0 306 306102102]，其中粗糙系数C_W取900，管段u7、u8和u9由于实际可看作管径趋于无穷大，因此，沿程水头损失系数为0。然后根据管网节点连续性方程和基尔霍夫压降定律建立如下数学模型：

其中，由于节点处未发生泄露且无其它支路，所以节点流量列向量Q为零向量，由于u10管段含有一个泵，其它管路无泵，基于模型确定各管段水泵扬程列向量为D＝[0 0 00 0 0 0.0004 0 0 0]。△P表示压差，△H表示扬程差，由于喷嘴高度一致，可忽略位能的影响，因此，Z可视为零列向量。最后利用迭代求解的原理和MATLAB软件，按照如图5中的程序框图计算可以得到各喷嘴的流量结果。

在管段流量计算精度ε定位1e^-14m³/s情况下，通过27次迭代求解得到u4、u5和u6三个喷嘴的流量依次为1.563L/min、1.5612L/min和1.5606L/min。因此，当两个喷嘴距离相差1m时，最大可能存在0.0018L/min的流量差异。而实际生产过程中随着面板的面积越来越大，供液管路的管长设计也越来越长，随着管长的增长，必然存在2个喷嘴之间的距离越来越大，流量差异也就越大，喷嘴流量差异造成刻蚀不均。

本实用新型中的供液管路连接方式，如图1所示，该方式不同于不同点位并连的供液方式，而是采用相同点位并连的供液方式。具体情况如下：药液通过连接头的接口顺着17根软管(第二连接管)同时向主管路10的1-17个第一进口进行供液，然后，主管路10的16个第一出口通过连接头的接口分别通过8根软管(第一连接管)同时向支管上的7个出水管供液，由于各软管的长度不一致，在总接口处每个软管的接口直径也不一致，软管的直径D和长度l满足下列等式：

当各软管的直径和长度满足公式(1-3)时，建立如图6所示的三喷嘴喷洒供液管路模型，a表示真实管路，b表示虚拟管路，c表示喷嘴，利用图论知识、管网节点连续性方程和基尔霍夫压降定律建立(1-2)所示的数学模型，然后利用MATLAB软件根据图5的程序框图，可以得到：采用相同点位并连的供液方式下，各喷嘴(流出管)的流量完全相同；通过控制软管的口径，可以保证连接同一总接口的软管的沿程水头损失相同。通过本实用新型中的供液管路供应刻蚀液可以使刻蚀液流量供应均匀。

本实用新型实施例的刻蚀设备，包括：上述实施例中所述的供应管路。具有上述实施例中所述的供应管路的刻蚀设备，在湿法刻蚀过程中，通过本实用新型中的供液管路供应刻蚀液可以使刻蚀液供应均匀，使刻蚀更均匀，提高刻蚀效果。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本实用新型的保护之内。

Claims

1.一种供应管路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，同一个所述支管上连接的第一连接管与同一个所述第一出口连通。

3.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，

所述支管上位于相邻所述第二进口之间的区域设有所述第二出口。

4.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，多个所述第二进口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布；和/或

多个所述第二出口沿所述支管的长度方向均匀间隔分布。

5.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，所述第一连接管的数量为n，第i个第一连接管的长度为L_i，第i个第一连接管的内径为D_i，第j个第一连接管的长度为L_j，第j个第一连接管的内径为D_j，L_i与L_j的比值等于D_i与D_j的比值，其中，i,j＝1,2,3,...,n。

6.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，多个所述第一出口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

7.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，所述主管路上具有多个所述第一进口，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向间隔分布。

8.根据权利要求7所述的供应管路，其特征在于，多个所述第一进口沿所述主管路的长度方向均匀间隔分布。

9.根据权利要求7所述的供应管路，其特征在于，所述主管路上位于相邻所述第一进口之间的区域设有所述第一出口。

10.根据权利要求7所述的供应管路，其特征在于，还包括：

11.根据权利要求10所述的供应管路，其特征在于，所述第二连接管的数量为m，第a个第二连接管的长度为L_a，第a个第二连接管的内径为D_a，第b个第二连接管的长度为L_b，第b个第二连接管的内径为D_b，L_a与L_b的比值等于D_a与D_b的比值，其中，a,b＝1,2,3,...,m。

12.根据权利要求10所述的供应管路，其特征在于，还包括：

13.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，还包括：

14.根据权利要求1所述的供应管路，其特征在于，多个所述支管的材质相同；和/或

多个所述第一连接管的材质相同。

15.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：

权利要求1-14中任一项所述的供应管路。