CN219551718U - 一种半导体设备电气柜的温度监控装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种半导体设备电气柜的温度监控装置，涉及电气柜技术领域。一种半导体设备电气柜的温度监控装置，包括设备电气柜；温感探头，设置于设备电气柜中用于检测设备电气柜内的温度并输出温度检测信号；温度监控器，包括信号收发模块、处理模块和显示模块，信号收发模块分别与所述处理模块、所述显示模块通信连接；温感探头的信号输出端与所述温度监控器的信号收发模块通信连接；声光报警装置。通过在半导体设备电气柜内部设置温度感应探头实时采集温度数据以实时监控，以及使声光报警装置进行超温警示，从而及早发现并解决隐患，保证设备、产品和人员安全，减少损失。

Description

一种半导体设备电气柜的温度监控装置

技术领域

本实用新型涉及电气柜技术领域，特别涉及一种半导体设备电气柜的温度监控装置。

背景技术

半导体设备都配有电气柜，通过电源柜与各种电力半导体设备，在具有导电性介于良导电体与绝缘体之间特性的电力半导体设备，能够对电力进行产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换作用。电气柜内部设置多种类和规格的电气开关用于设备各机构的运行，各电气开关均定义了最大可承受电流、电压或温度，在通电运行过程中超过其设定值时跳闸，而在长期24小时不间断通电运行过程中，电气开关触点或接线柱会出现轻微氧化，从而造成接触电阻增加，电流增大，温度升高，严重时会引起开关或接线柱烧毁，存在安全隐患。

半导体设备的电力维护中，往往使用红外扫描仪每月或每季度手动进行电柜温度扫描，排查和记录电气开关的温度变化。但这种方式适用于发现缓慢发生温度变化的隐患，而对于触点或接线柱在短时间内快速升温的隐患只能通过电气开关跳闸或VESDA(VERYEARLY SMOKE DETECTION APPARATUS，吸气式或采样式烟雾探测器)报警的方式发现，实际上部分电气开关发生跳闸前，其开关触点或接线柱已发生氧化、烧蚀痕迹，如能够及时发现此异常变化并做出故障处置，可防止跳闸发生，从而减少对设备、产品等造成的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备电气柜的温度监控装置，以消除设备电气柜内温度快速升温带来的安全隐患。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种半导体设备电气柜的温度监控装置，包括：

设备电气柜；

温感探头，设置于所述设备电气柜中用于检测所述设备电气柜内的温度并输出温度检测信号；

温度监控器，包括信号收发模块、处理模块和显示模块，所述信号收发模块分别与所述处理模块、所述显示模块通信连接；所述温感探头的信号输出端与所述温度监控器的信号收发模块通信连接；

声光报警装置，所述声光报警装置与所述温度监控器的信号收发模块通信连接。

优选地，所述温感探头为热敏电阻制成的温感探头。

优选地，所述热敏电阻的测量温度范围为-50℃～200℃。

优选地，所述温感探头的数量为一个或多个。

优选地，所述设备电气柜的内壁上设置有大电流开关，所述温感探头设置于靠近所述大电流开关的所述内壁上；和/或，所述温感探头设置于所述设备电气柜中变压器的外壁上，和/或，所述温感探头设置于所述设备电气柜的热排风口处。

优选地，还包括电源，所述电源的电力输出端设置有转接的电源插座，所述温度监控器电连接所述电源插座。

优选地，所述信号收发模块、所述处理模块和所述显示模块分别与所述电源插座电连接。

优选地，所述声光报警装置包括蜂鸣器以及警示灯，所述蜂鸣器和所述警示灯分别与所述温度监控器的信号收发模块的通信连接。

优选地，所述信号收发模块还通信连接有远程服务器。

优选地，所述信号收发模块和所述远程服务器之间通过网线相连。

本实用新型通过在半导体设备电气柜内部设置温度感应探头实时采集温度数据，例如在电气柜的大电流开关、变压器、热排风口等处设置温感探头，温感探头将获取的数据传输给电柜外部的温度监控器中，温度监控器显示获取的温度数据以实时监控，温度监控器还在温度超出预设的温度报警范围时控制声光报警装置发出声光报警，进行超温警示，温度监控器还能够通过SECS协议经网线传输到远程中控机或FDC***，实现远程实时监控，从而及早发现并解决隐患，保证设备、产品和人员安全，减少损失。

附图说明

图1是本实用新型提供的一种实施例的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的半导体设备电气柜的温度监控装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

发明人研究发现对于半导体设备电气柜一般采用定期巡查或是采用烟雾报警的方式，来预防电气柜中温度升高带来的安全问题，但是上述两种方法存在缺陷，即电气开关的触点或接线柱出现问题，会在短时间内快速升温，难以及时察觉。

基此，本实用新型的核心思想在于，通过在设备电气柜的高温区域，例如在大电流开关处、变压器上、热排风口处设置温感探头，并通过温度监控器获取温感探头的温度检测信号并显示实时数据，并进行监控和报警，从而消除安全隐患，减少损失。

具体的，请参考图1，其为本实用新型实施例的示意图。如图1所示，一种半导体设备电气柜的温度监控装置，包括：设备电气柜；温感探头，设置于设备电气柜中用于检测设备电气柜内的温度并输出温度检测信号；温度监控器，包括信号收发模块、处理模块和显示模块，信号收发模块分别与处理模块、显示模块通信连接；温感探头的信号输出端与温度监控器的信号收发模块通信连接；声光报警装置，声光报警装置与温度监控器的信号收发模块通信连接。

在一种实施方式中，温度监控器中还预先设置温度报警范围，当获取的温度数据超出温度报警范围时会向声光报警装置和远程监控器输出报警信号，温度监控器可同时采集4路温度数据，并可独立输出报警信号。

具体的，温度监控器通过信号收发模块来接收温感探头输出的温度检测信号、发送温度数据和报警信号，信号收发模块将温度数据发送到显示模块以显示实时温度数据，便于监控，信号收发模块会同步将温度数据发送到处理模块，其中，在处理模块中预先设置有温度报警范围，处理模块收到温度数据后会与预先存储的温度报警范围进行比较，在温度数据超出预先设置温度报警范围时向信号收发模块反馈信号，然后信号收发模块输出报警信号到声光报警装置，报警信号可以是脉冲信号或高电平信号，声光报警装置接收到报警信号时进行声光报警。

其中，温感探头为热敏电阻制成的温感探头，热敏电阻的测量温度范围为-50℃～200℃。选取设备电气柜中的高温区域安装热敏电阻(精度为±0.1℃)探头采集高温区域的温度数据，并将温度检测信号传输到温度监控器的信号收发模块，显示模块设置有显示屏，在显示屏上实时显示高温区域的温度变化。

具体的，温感探头的数量为一个或多个，设备电气柜的内壁上设置有大电流开关，温感探头设置于靠近大电流开关的内壁上；和/或，温感探头设置于设备电气柜中变压器的外壁上，和/或，温感探头设置于设备电气柜的热排风口处。

需要注意的是，温度探头的数量为一个或多个，温度探头在设备电气柜中位置不同，每个温度探头的温度报警范围根据实际操作情况设置，处理模块中对每个温度探头设置对应的温度报警范围。

在一种实施方式中，通过对设备电气柜中各个区域的历史温度数据进行分析，设备电气柜中大电流开关、变压器、热排风口区域的温度相对较高，也就是需要进行实时温度监测的高温区域，在上述区域设置温感探头以及时反映设备电气柜内的温度变化。

具体的，声光报警装置包括蜂鸣器以及警示灯，蜂鸣器和警示灯分别与温度监控器的信号收发模块的通信连接。

在温度数据超出预先设置温度报警范围时向信号收发模块反馈信号，然后信号收发模块输出报警信号到声光报警装置，报警信号可以是脉冲信号或高电平信号，声光报警装置接收到报警信号时进行声光报警，即使蜂鸣器发出声音，警示灯发出红光进行警示。

具体的，信号收发模块还通信连接有远程服务器，其中，信号收发模块和远程服务器之间通过网线相连。

温度监控器中的信号收发模块可通过SECS(SEMI Equipment CommunicationStandard，半导体设备通讯标准接口)以太网将温度数据和报警信号发送给远程服务器，温度监控器通过网线把实时温度数据传输到远程服务器，监控人员可实现远程实时监控，从而及早发现并解决隐患，保证设备、产品和人员安全，减少损失。在一种实施方式中，远程服务器具有声光报警装置，当远程服务器接收到报警信号时，声光报警装置会进行声光报警。

其中，远程服务器可以具体的是半导体设备的远程中控机或FDC***(FaultDetection&Classification，机台失效分析***)，温度监控器的信号收发模块将温度数据通过SECS协议经网线传输到远程中控机或FDC***，当远程服务器为远程中控机时，远程中控机可以通过SECS以太网设置温度监控器中处理模块的温度报警范围，对温度报警范围进行定义。作为补充地，温度监控器中的信号收发模块可以将温度数据通过SECS协议经网线发送到FDC***，通过FDC***实时监控温度数据，***化的方式取代人员监控机台制程中之状态，进行及时拦阻，避免造成损失，并于异常发生时进行差异分析，提供使用者快速进行异常排除。

具体的，还包括电源，电源的电力输出端设置有转接的电源插座，温度监控器电连接电源插座，电源向温度监控器中的各个模块供电，在一种实施方式中，信号收发模块、处理模块和显示模块分别与电源插座电连接。

综上可见，在本实用新型实施例提供的半导体设备电气柜的温度监控装置中，通过在设备电气柜中存在温度安全隐患的区域设置温感探头，来自动且不间断地实时采集温度数据，并通过温度监控器显示获取的温度数据以实时监控，并在超出预设的温度报警范围时向声光报警装置发出警报进行警示，从而便于及时发现并消除安全隐患，保证设备、产品和人员安全，减少损失。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (4)

1.一种半导体设备电气柜的温度监控装置，其特征在于，包括：

设备电气柜；

温感探头，设置于所述设备电气柜中用于检测所述设备电气柜内的温度并输出温度检测信号，所述温感探头为热敏电阻制成的温感探头，且所述热敏电阻的测量温度范围为-50℃～200℃，所述温感探头的数量为多个，其中，所述设备电气柜的内壁上设置有大电流开关，所述温感探头分别设置于：靠近所述大电流开关的所述内壁上、所述设备电气柜中变压器的外壁上、所述设备电气柜的热排风口处；

温度监控器，包括信号收发模块、处理模块和显示模块，所述信号收发模块分别与所述处理模块、所述显示模块通信连接；所述温感探头的信号输出端与所述温度监控器的信号收发模块通信连接，所述信号收发模块还通信连接有远程服务器，所述远程服务器为所述半导体设备的远程中控机或FDC***；

声光报警装置，所述声光报警装置与所述温度监控器的信号收发模块通信连接，所述声光报警装置包括蜂鸣器以及警示灯，所述蜂鸣器和所述警示灯分别与所述温度监控器的信号收发模块的通信连接。

2.如权利要求1所述的半导体设备电气柜的温度监控装置，其特征在于，还包括电源，所述电源的电力输出端设置有转接的电源插座，所述温度监控器电连接所述电源插座。

3.如权利要求2所述的半导体设备电气柜的温度监控装置，其特征在于，所述信号收发模块、所述处理模块和所述显示模块分别与所述电源插座电连接。

4.如权利要求1所述的半导体设备电气柜的温度监控装置，其特征在于，所述信号收发模块和所述远程服务器之间通过网线相连。