CN219390258U - 一种真空镀膜机的冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷却装置，包括外壳，所述外壳底部的左侧栓接有水箱，所述外壳的内腔安装有真空镀膜机腔体，所述外壳的内腔设置有循环水冷机构，通过水泵、冷却管和输水管的配合，通过向水箱内添加冷却水，将真空镀膜机腔体的热量吸收，对真空镀膜机腔体进行冷却，冷却液对输水管进行降温，降低输水管内冷却水的温度，通过冷风机、三通管、输气管、第一连通架和第二连通架的配合，将一部分冷气吹向真空镀膜机腔体，提高了对真空镀膜机腔体的冷却效果，将另一部分冷气吹向输水管和冷却液，对冷却液和输水管降温，从而对冷却水散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体的冷却效果。

Description

一种真空镀膜机的冷却装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机的冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

经检索，申请号CN201920443060.9公开了一种真空镀膜机冷却装置，让冷却水在导水管内形成循环进行水冷散热，同时抽风机让外机壳内部空气流动进行风冷散热，从而很好的提高了真空镀膜机的冷却效果，增加其使用寿命。

但该装置仍具有以下不足之处：虽然能够通过冷却水对真空镀膜机真空镀膜机腔体进行散热，但随着水的循环，冷却用水无法进行快速散热并再次利用，冷却效果会变差，影响真空镀膜机的冷却。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过向水箱内添加冷却水，将真空镀膜机腔体的热量吸收，对真空镀膜机腔体进行冷却，冷却液对输水管进行降温，降低输水管内冷却水的温度，将一部分冷气吹向真空镀膜机腔体，提高了对真空镀膜机腔体的冷却效果，将另一部分冷气吹向输水管和冷却液，对冷却液和输水管降温，从而对冷却水散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体的冷却效果，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机的冷却装置，包括外壳，所述外壳底部的左侧栓接有水箱，所述外壳的内腔安装有真空镀膜机腔体，所述外壳的内腔设置有循环水冷机构，所述外壳内腔的右侧设置有喷气组件，所述水箱内腔的顶部和底部均栓接有隔板，所述水箱的左侧从上至下依次连通有第一加水管和第一排水管，所述外壳底部的右侧栓接有底箱，所述底箱的右侧从上至下依次连通有第二加水管和第二排水管，所述底箱的内腔添加有冷却液。

优选的，所述循环水冷机构包括水泵、冷却管和输水管，所述水箱内腔底部的左侧栓接有水泵，所述水泵的进水口连通有进水管，且进水管的右端贯穿至隔板的右侧，所述水泵的出水口连通有出水管，且出水管远离水泵的一端连通有冷却管，所述冷却管远离进水管的一端贯穿水箱并连通有输水管，所述输水管远离冷却管的一端贯穿底箱并与水箱的右侧连通，所述冷却管安装在真空镀膜机腔体的表面。

优选的，所述喷气组件包括冷风机、三通管、输气管、第一连通架和第二连通架，所述外壳的右侧栓接有固定台，所述固定台顶部的左侧栓接有冷风机，所述冷风机的进风口连通有进气管，所述冷风机的出风口连通有出气管，且出气管的左端贯穿外壳并连通有三通管，所述三通管的顶端和底端均连通有输气管，所述输气管远离三通管的一端分别连通有第一连通架和第二连通架，所述第二连通架的顶部与底箱内腔的顶部栓接，所述第一连通架的右侧与外壳内腔的右侧栓接，所述第一连通架的左侧和第二连通架的底部均连通有若干喷头。

优选的，所述外壳内腔顶部的两侧均栓接有散热风扇。

优选的，所述外壳的顶部从左至右均依次开设有散热槽，所述外壳的顶部栓接有第一滤网。

优选的，所述固定台顶部的右侧栓接有框体，所述框体内腔的顶部和底部均栓接有第二滤网，所述框体的左侧与进气管的右端连通。

优选的，所述水箱内腔顶部和底部的右侧均栓接有过滤板。

优选的，所述底箱内腔的背面从左至右均依次栓接有固定件，且固定件的内腔与输水管的表面栓接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过水泵、冷却管和输水管的配合，通过向水箱内添加冷却水，将真空镀膜机腔体的热量吸收，对真空镀膜机腔体进行冷却，冷却液对输水管进行降温，降低输水管内冷却水的温度。

2、本实用新型提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过冷风机、三通管、输气管、第一连通架和第二连通架的配合，将一部分冷气吹向真空镀膜机腔体，提高了对真空镀膜机腔体的冷却效果，将另一部分冷气吹向输水管和冷却液，对冷却液和输水管降温，从而对冷却水散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体的冷却效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的整体结构剖视图；

图3为本实用新型的框体结构剖视图；

图4为本实用新型的图2所示A处结构放大图。

图中标号：1、外壳；2、水箱；3、真空镀膜机腔体；4、循环水冷机构；41、水泵；42、冷却管；43、输水管；5、喷气组件；51、冷风机；52、三通管；53、输气管；54、第一连通架；55、第二连通架；6、底箱；7、固定台；8、散热风扇；9、第一滤网；10、框体；11、第二滤网；12、过滤板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1～4所示的一种真空镀膜机的冷却装置，包括外壳1，外壳1底部的左侧栓接有水箱2，外壳1的内腔安装有真空镀膜机腔体3，外壳1的内腔设置有循环水冷机构4，外壳1内腔的右侧设置有喷气组件5，水箱2内腔的顶部和底部均栓接有隔板，水箱2的左侧从上至下依次连通有第一加水管和第一排水管，外壳1底部的右侧栓接有底箱6，底箱6的右侧从上至下依次连通有第二加水管和第二排水管，底箱6的内腔添加有冷却液。

循环水冷机构4包括水泵41、冷却管42和输水管43，水箱2内腔底部的左侧栓接有水泵41，水泵41的进水口连通有进水管，且进水管的右端贯穿至隔板的右侧，水泵41的出水口连通有出水管，且出水管远离水泵41的一端连通有冷却管42，冷却管42远离进水管的一端贯穿水箱2并连通有输水管43，输水管43远离冷却管42的一端贯穿底箱6并与水箱2的右侧连通，冷却管42安装在真空镀膜机腔体3的表面，使用时，使用者开启水泵41，水泵41将水箱2内的冷却水输送至冷却管42内，冷却管42内流动的冷却水将真空镀膜机腔体3的热量吸收，随后冷却水输送至输水管43，此时冷却液对输水管43进行冷却降温，从而对输水管43内流动的冷却水进行降温散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体3的冷却效果，输水管43将冷却水输送回水箱2，对冷却水循环使用。

喷气组件5包括冷风机51、三通管52、输气管53、第一连通架54和第二连通架55，外壳1的右侧栓接有固定台7，固定台7顶部的左侧栓接有冷风机51，冷风机51的进风口连通有进气管，冷风机51的出风口连通有出气管，且出气管的左端贯穿外壳1并连通有三通管52，三通管52的顶端和底端均连通有输气管53，输气管53远离三通管52的一端分别连通有第一连通架54和第二连通架55，第二连通架55的顶部与底箱6内腔的顶部栓接，第一连通架54的右侧与外壳1内腔的右侧栓接，第一连通架54的左侧和第二连通架55的底部均连通有若干喷头，使用者开启冷风机51，冷风机51将冷气输送至三通管52，三通管52将冷气输送至两个输气管53，输气管53将冷气输送至第一连通架54和第二连通架55，第一连通架54通过喷头将冷气喷向真空镀膜机腔体3，对真空镀膜机腔体3进行冷却，第二连通架55将冷气喷向冷却液和输气管53，对输气管53进一步降温，进一步提高了冷却水对真空镀膜机腔体3的冷却效果。

外壳1内腔顶部的两侧均栓接有散热风扇8，使用时，使用者开启散热风扇8，对真空镀膜机腔体3进行风冷散热。

外壳1的顶部从左至右均依次开设有散热槽，外壳1的顶部栓接有第一滤网9，对外壳1内进行通风，提高了外壳1内部的散热效果，并阻挡灰尘进入外壳1。

固定台7顶部的右侧栓接有框体10，框体10内腔的顶部和底部均栓接有第二滤网11，框体10的左侧与进气管的右端连通，阻挡灰尘，避免灰尘被冷风机51进行输送。

水箱2内腔顶部和底部的右侧均栓接有过滤板12，对循环的冷却水进行过滤，去除水中的杂质。

底箱6内腔的背面从左至右均依次栓接有固定件，且固定件的内腔与输水管43的表面栓接，对输水管43固定，提高了输水管43的稳定性，避免输水管43晃动。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：包括外壳(1)，所述外壳(1)底部的左侧栓接有水箱(2)，所述外壳(1)的内腔安装有真空镀膜机腔体(3)，所述外壳(1)的内腔设置有循环水冷机构(4)，所述外壳(1)内腔的右侧设置有喷气组件(5)，所述水箱(2)内腔的顶部和底部均栓接有隔板，所述水箱(2)的左侧从上至下依次连通有第一加水管和第一排水管，所述外壳(1)底部的右侧栓接有底箱(6)，所述底箱(6)的右侧从上至下依次连通有第二加水管和第二排水管，所述底箱(6)的内腔添加有冷却液。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述循环水冷机构(4)包括水泵(41)、冷却管(42)和输水管(43)，所述水箱(2)内腔底部的左侧栓接有水泵(41)，所述水泵(41)的进水口连通有进水管，且进水管的右端贯穿至隔板的右侧，所述水泵(41)的出水口连通有出水管，且出水管远离水泵(41)的一端连通有冷却管(42)，所述冷却管(42)远离进水管的一端贯穿水箱(2)并连通有输水管(43)，所述输水管(43)远离冷却管(42)的一端贯穿底箱(6)并与水箱(2)的右侧连通，所述冷却管(42)安装在真空镀膜机腔体(3)的表面。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述喷气组件(5)包括冷风机(51)、三通管(52)、输气管(53)、第一连通架(54)和第二连通架(55)，所述外壳(1)的右侧栓接有固定台(7)，所述固定台(7)顶部的左侧栓接有冷风机(51)，所述冷风机(51)的进风口连通有进气管，所述冷风机(51)的出风口连通有出气管，且出气管的左端贯穿外壳(1)并连通有三通管(52)，所述三通管(52)的顶端和底端均连通有输气管(53)，所述输气管(53)远离三通管(52)的一端分别连通有第一连通架(54)和第二连通架(55)，所述第二连通架(55)的顶部与底箱(6)内腔的顶部栓接，所述第一连通架(54)的右侧与外壳(1)内腔的右侧栓接，所述第一连通架(54)的左侧和第二连通架(55)的底部均连通有若干喷头。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述外壳(1)内腔顶部的两侧均栓接有散热风扇(8)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述外壳(1)的顶部从左至右均依次开设有散热槽，所述外壳(1)的顶部栓接有第一滤网(9)。

6.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述固定台(7)顶部的右侧栓接有框体(10)，所述框体(10)内腔的顶部和底部均栓接有第二滤网(11)，所述框体(10)的左侧与进气管的右端连通。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述水箱(2)内腔顶部和底部的右侧均栓接有过滤板(12)。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述底箱(6)内腔的背面从左至右均依次栓接有固定件，且固定件的内腔与输水管(43)的表面栓接。