CN219309596U - 腔室净化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种腔室净化装置，腔室净化装置包括第一吹扫机构、第二吹扫机构、抽真空机构和惰性气体输送机构，所述第一吹扫机构与腔室通过管路相连通，所述第二吹扫机构与所述腔室通过管路连通，所述抽真空机构与所述腔室相连通，所述惰性气体输送机构与所述第一吹扫机构和第二吹扫机构通过管路相连接。本实用新型提供的腔室净化装置具备腔室净化效果好的优点。

Description

腔室净化装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种腔室净化装置。

背景技术

相关技术中半导体工艺设备的排气管与工艺腔室连接，吹扫管路与排气管连接，用于向排气管内通入大量的吹扫气体，以对工艺腔室内排出的特殊气体进行稀释，并且通过排气管排放至厂务排气，而仅仅稀释不能对腔室起到净化的作用，效果不佳。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种腔室净化装置，该腔室净化装置具有腔室净化效果好的优点。

根据本实用新型实施例的腔室净化装置，腔室净化装置包括第一吹扫机构、第二吹扫机构、抽真空机构和惰性气体输送机构，所述第一吹扫机构与腔室通过管路相连通，所述第二吹扫机构与所述腔室通过管路连通，所述抽真空机构与所述腔室相连通，所述惰性气体输送机构与所述第一吹扫机构和第二吹扫机构通过管路相连接。

根据本实用新型实施例的腔室净化装置具有腔室净化效果好的优点。

在一些实施例中，所述腔室包括反应腔、传送区和装载腔，所述传送区的两端分别与所述反应腔和所述装载腔连通。

在一些实施例中，抽真空机构包括涡旋泵和第一隔膜阀，所述涡旋泵的一端与所述传送区通过管路相连通，所述涡旋泵的另一端通过管路与所述装载腔连通,所述第一隔膜阀设置在所述涡旋泵与所述装载腔之间的管路上。

在一些实施例中，所述抽真空机构还包括离子泵和分子泵，所述离子泵、分子泵和所述涡旋泵分别与所述装载腔相连通。

在一些实施例中，所述装载腔的一路管路出口与大气相连通。

在一些实施例中，腔室净化装置还包括真空度监测机构，所述真空度监测机构与所述装载腔相连通，所述真空度监测机构与所述抽真空机构的第一隔膜阀相连接。

在一些实施例中，所述第一吹扫机构设有第一流量控制装置，所述第二吹扫机构设有第二流量控制装置，所述第一流量控制装置包括第一流量控制器和第一针阀，所述第二流量控制装置包括第二流量控制器和第二针阀。

在一些实施例中，腔室净化装置还包括检测装置，所述检测装置检测所述腔室的开闭，并与所述第二吹扫机构电连接。

在一些实施例中，腔室净化装置还包括压力调节器，所述压力调节器与所述惰性气体输送机构相连接。

在一些实施例中，所述惰性气体输送机构与所述压力调节器之间的管路上设有第二隔膜阀。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例中腔室净化装置的管路示意图。

附图标记：1、惰性气体输送机构；2、涡旋泵；3、第一隔膜阀；4、第二隔膜阀；5、第一流量控制器；6、第一针阀；7、第二流量控制器；8、第二针阀；9、反应腔；10、传送区；11、装载腔；12、压力调节器。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

根据本实用新型实施例的腔室净化装置，如图1所示，腔室净化装置包括第一吹扫机构、第二吹扫机构、抽真空机构和惰性气体输送机构1，第一吹扫机构与腔室通过管路相连通，第二吹扫机构与腔室通过管路连通，抽真空机构与腔室相连通，惰性气体输送机构1与第一吹扫机构和第二吹扫机构通过管路相连接。第一吹扫机构常开向腔室内持续输入惰性气体维持惰性气氛，降低腔室内氧含量避免氢气与氧气混合产生***的危险，第二吹扫机构向装载腔11内吹扫能够降低腔室开启进入的空气的影响，第二吹扫机构向腔内吹扫将空气排出起到净化腔室的作用。抽真空机构将腔室内抽成负压并排出腔室内空气，第一吹扫机构提供惰性气体使腔室压力平衡。管路中各路连接管路均采用耐蚀性更好的316材质，并对表面做电化学抛光处理，表面光洁要求在0.25-0.4um。

根据本实用新型实施例的腔室净化装置具有的腔室净化效果好的优点。

在一些实施例中，如图1所示，腔室包括反应腔9、传送区10和装载腔11，传送区10的两端分别与反应腔9和装载腔11连通。

具体地，腔室的装载腔11可以开启和关闭以进入和取出碳化硅基片，碳化硅在反应腔9处进行外延生长。

在一些实施例中，如图1所示，抽真空机构包括涡旋泵2和第一隔膜阀3，涡旋泵2的一端与传送区10通过管路相连通，涡旋泵2的另一端通过管路与装载腔11连通,第一隔膜阀3设置在涡旋泵2与装载腔11之间的管路上。

具体地，涡旋泵2可以是干式涡旋泵2，干式涡旋泵2与腔室的传送区10相连通，第一隔膜阀3设置在涡旋泵2与装载腔11之间的管路上能够阻断干式涡旋泵2对装载腔11内气体的抽取。隔膜阀的组成简单，通过阀门的流体只会与阀体和隔膜接触。由于组成部件很少，发生物料泄漏或是周边空气进入***的概率都很低，不会有污染物进入***。

在一些实施例中，抽真空机构还包括离子泵和分子泵，离子泵、分子泵和涡旋泵2分别与装载腔11相连通。

具体地，设置离子泵和分子泵能够逐级对腔室内的气体进行抽真空，提高腔室内真空度，确保腔室内残余气体的排出。

在一些实施例中，如图1所示，装载腔11的一路管路出口与大气相连通。

具体地，装载腔11通过管路连通大气用来排放气体，能够迅速排出装载腔11内的气体。装载腔11内可以设置排气装置如排气风机等，先通过排气风机通过管路向大气排放气体，后启动抽真空机构的涡旋泵2等进行抽真空能够提高排气效率降低能耗。

在一些实施例中，腔室净化装置还包括真空度监测机构，真空度监测机构与装载腔11相连通，真空度监测机构与抽真空机构的第一隔膜阀3相连接。

具体地，设置真空度监测机构能够实时监测装载腔11的真空度，真空度监测机构与抽真空机构的第一隔膜阀3相连接以控制第一隔膜阀3的启闭，监测到真空度达到预设真空度后关闭抽真空机构的第一隔膜阀3，停止抽真空作业，并向装载腔11内输送惰性气体，惰性气体可以是Ar、氮气等。真空度监测机构包括电阻规和电离规。

在一些实施例中，如图1所示，第一吹扫机构设有第一流量控制装置，第二吹扫机构设有第二流量控制装置，第一流量控制装置包括第一流量控制器5和第一针阀6，第二流量控制装置包括第二流量控制器7和第二针阀8。

具体地，第一流量控制装置和第二流量控制装置均为流量控制器。流量控制器可以是电磁流量控制器。设置第一针阀6和第二针阀8分别对两个流量控制器进行控制，第一针阀6和第二针阀8常闭，当流量控制器损坏时，通过第一针阀6或者第二针阀8对应调节第一吹扫机构或者第二吹扫机构的流量。第一吹扫机构和第二吹扫机构的管路上还设置隔膜阀用来控制管路的开启和关闭。

在一些实施例中，腔室净化装置还包括检测装置，检测装置检测腔室的开闭，并与第二吹扫机构电连接。

具体地，检测装置可以是磁性开关，腔室具有开启位置和关闭位置，磁性开关设置在开启位置，腔室开启触发磁性开关，磁性开关向第二吹扫机构发送信号，第二吹扫机构启动向装载腔11内吹扫惰性气体迅速降低空气含量保证设备安全。

在一些实施例中，如图1所示，腔室净化装置还包括压力调节器12，压力调节器12与惰性气体输送机构1相连接。

具体地，压力调节器12用来调节腔室和管路压力，保证腔室的压力平衡。

在一些实施例中，如图1所示，惰性气体输送机构1与压力调节器12之间的管路上设有第二隔膜阀4。

具体地，第二隔膜阀4设置在惰性气体输送机构1与压力调节器12之间起到总开关的作用控制惰性气体的输出和停止，能够及时控制关闭惰性气体输出。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种腔室净化装置，其特征在于，包括：第一吹扫机构，所述第一吹扫机构与腔室通过管路相连通；

第二吹扫机构，所述第二吹扫机构与所述腔室通过管路连通；

抽真空机构，所述抽真空机构与所述腔室相连通；

惰性气体输送机构(1)，所述惰性气体输送机构(1)与所述第一吹扫机构和第二吹扫机构通过管路相连接。

2.根据权利要求1所述的腔室净化装置，其特征在于，所述腔室包括反应腔(9)、传送区(10)和装载腔(11)，所述传送区(10)的两端分别与所述反应腔(9)和所述装载腔(11)连通。

3.根据权利要求2所述的腔室净化装置，其特征在于，抽真空机构包括涡旋泵(2)和第一隔膜阀(3)，所述涡旋泵(2)的一端与所述传送区(10)通过管路相连通，所述涡旋泵(2)的另一端通过管路与所述装载腔(11)连通,所述第一隔膜阀(3)设置在所述涡旋泵(2)与所述装载腔(11)之间的管路上。

4.根据权利要求3所述的腔室净化装置，其特征在于，所述抽真空机构还包括离子泵和分子泵，所述离子泵、分子泵和所述涡旋泵(2)分别与所述装载腔(11)相连通。

5.根据权利要求2所述的腔室净化装置，其特征在于，所述装载腔(11)的一路管路出口与大气相连通。

6.根据权利要求2所述的腔室净化装置，其特征在于，还包括真空度监测机构，所述真空度监测机构与所述装载腔(11)相连通，所述真空度监测机构与所述抽真空机构的第一隔膜阀(3)相连接。

7.根据权利要求1所述的腔室净化装置，其特征在于，所述第一吹扫机构设有第一流量控制装置，所述第二吹扫机构设有第二流量控制装置，所述第一流量控制装置包括第一流量控制器(5)和第一针阀(6)，所述第二流量控制装置包括第二流量控制器(7)和第二针阀(8)。

8.根据权利要求1所述的腔室净化装置，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置检测所述腔室的开闭，并与所述第二吹扫机构电连接。

9.根据权利要求1所述的腔室净化装置，其特征在于，还包括压力调节器(12)，所述压力调节器(12)与所述惰性气体输送机构(1)相连接。

10.根据权利要求9所述的腔室净化装置，其特征在于，所述惰性气体输送机构(1)与所述压力调节器(12)之间的管路上设有第二隔膜阀(4)。

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