CN219239819U - 一种阳极盒及具有其的镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了本实施例提供一种阳极盒及具有其的镀膜装置，阳极盒包括：基架、阳极组件和接线结构。其中，阳极组件包括沿着垂直于进膜方向设置在基架内的一个第一阳极件和至少一个第二阳极件，第一阳极件被两列电镀夹具的对称轴线整体贯穿；第二阳极件与对称轴线不接触；接线结构设置在阳极组件上，且适于和电源连接，以将电流导向阳极组件和上；接线结构包括第一接线件和第二接线件，第一接线件沿着对称轴线设置在第一阳极件上；第二接线件安装在第二阳极件靠近第一接线件的一侧。本实施例中的电流会流经整个阳极组件，使得阳极组件上的材料的消耗更加均匀，在更换阳极盒的时候不会造成材料的浪费。

Description

一种阳极盒及具有其的镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及铜膜电镀技术领域，具体涉及一种阳极盒及具有其的镀膜装置。

背景技术

钛阳极是由贵金属铱盐涂敷于钛基材经高温烧结而成的，广泛用于电镀、电解等湿法冶金行业，至今已有40年的历史，相对于传统的镀铂电极在碱性镀铜工艺而言，钛阳极有镀铂电极无法比拟的优点：如电流高效率高，有优良抗菌腐蚀性能；电极使用寿命长：可以承受更高的电流密度；催化活性高，钛阳极是在碱性电镀铜电解液中有更好的电化学稳定性，具有优异的电解活性和耐久性。

目前的分区阳极中阳极钛网的接线，一个阳极盒中分成两列区域，每列区域中分布五片阳极钛网。例如中国专利文献CN115491741A的一种阳极盒及电镀装置，阳极盒包括：阳极板，具有沿横向依次设置的多块小极板，每块所述小极板分别适于与电源连通；相邻两块所述小极板之间，在沿待镀膜产品的移动方向上，具有至少部分交错布置；本发明的阳极盒，沿横向依次设置多块小极板，并且相邻两块小极板之间，在沿待镀膜产品的移动方向上，具有至少部分交错布置，使用时，每块所述小极板分别与电源连通，从而减小了采用整块阳极板时在横向上产生的电位差，使电镀效果更加均匀良好。

上述的阳极盒每片阳极钛网均设置一块折弯的钛片作为阳极的接线端，钛片将对应的钛网分成两个部分。其向靠近钛网从靠近电镀夹具一侧的钛网表面向电镀夹具进行电传导的时间要比从远离电镀夹具一侧的电传导时间短、电阻小。而电流总会挑最近的路径去传导，导致靠近电镀夹具一侧的电势大于远离电镀夹具一侧的电势，从而导致靠近电镀夹具一侧的氧化钇涂层消耗比远离电镀夹具一侧的涂层消耗快，即靠近电镀夹具一侧的涂层消耗完远离电镀夹具一侧还有大量涂层没利用，造成材料浪费。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服靠近电镀夹具一侧的涂层消耗完远离电镀夹具一侧还有大量涂层没利用，造成材料浪费的缺陷。

为此，本实用新型提供一种阳极盒及具有其的镀膜装置，包括：

基架，适于设置在两列电镀夹具之间；

阳极组件，包括沿着垂直于进膜方向设置在所述基架内的一个第一阳极件和至少一个第二阳极件，所述第一阳极件被两列电镀夹具的对称轴线整体贯穿；所述第二阳极件与所述对称轴线不接触；

接线结构，设置在所述阳极组件上、且适于和电源连接以将电流导向所述阳极组件上；

其中，所述接线结构包括第一接线件和第二接线件，所述第一接线件沿着所述对称轴线设置在所述第一阳极件上；所述第二接线件安装在所述第二阳极件靠近所述第一接线件的一侧边。

可选地，上述的还包括绝缘件，

所述绝缘件设置在相邻所述第一阳极件与所述第二阳极件之间；

或，

所述绝缘件设置在相邻所述第一阳极件与所述第二阳极件之间、且设置在相邻的两个所述第二阳极件之间。

可选地，上述的还包括过滤件，所述过滤件与所述基架相连；所述过滤件与所述基架共同围合成放置腔，所述放置腔具有开口端；所述阳极组件、第一接线件和第二接线件安装在所述放置腔内部；

还包括排气件，所述排气件安装在所述基架远离所述放置腔的一侧，所述排气件上开设有若干个排气孔；

还包括连接结构，所述连接结构与所述基架相连，所述连接结构还适于与镀膜装置相连。

可选地，上述的阳极组件为至少一个，所述阳极组件沿着进膜方向并列设置在所述基架内，相邻所述阳极组件设置有隔离件。

可选地，上述的相邻所述第一阳极件与所述第二阳极件沿着进膜方向在基架上的投影至少部分重合；

或，

相邻所述第一阳极件与所述第二阳极件沿着进膜方向在基架上的投影至少部分重合和相邻两个所述第二阳极件沿着进膜方向在基架上的投影至少部分重合。

一种阳极盒，包括：

基架，适于设置在两列电镀夹具之间；

阳极组件，包括至少两个沿着垂直于进膜方向设置在所述基架内的第三阳极件，所述第三阳极件被两列电镀夹具的对称轴线部分贯穿；

接线结构，设置在所述阳极组件上、且适于和电源连接以将电流导向所述阳极组件上；

所述接线结构包括第三接线件，所述第三接线件安装在所述阳极组件靠近所述对称轴线的一侧边。

可选地，上述的还包括第四阳极件和第四接线件；

所述第四阳极件沿着垂直于进膜方向设置在所述第三阳极件远离所述对称轴线的一侧，所述第四接线件设置在所述第四阳极件靠近所述对称轴线的一侧。

可选地，上述的还包括绝缘件，

所述绝缘件设置在相邻的两个所述第三阳极件之间；

或，

所述绝缘件设置在相邻的两个所述第三阳极件之间、且设置在相邻的第三阳极件和第四阳极件之间。

可选地，上述的还包括过滤件，所述过滤件与所述基架相连；所述过滤件与所述基架共同围合成放置腔，所述放置腔具有开口端；所述阳极组件、第三接线件和第四接线件安装在所述放置腔内部；

还包括排气件，所述排气件安装在所述基架远离所述放置腔的一侧，所述排气件上开设有若干个排气孔；

还包括连接结构，所述连接结构与所述基架相连，所述连接结构还适于与镀膜装置相连。

可选的，上述的阳极组件为至少一个，所述阳极组件沿着进膜方向并列设置在所述基架内，相邻所述阳极组件设置有隔离件。

可选的，上述的相邻所述第三阳极件与所述第四阳极件沿着进膜方向在基架上的投影至少部分重合；

或，

相邻所述第三阳极件与所述第四阳极件沿着进膜方向在基架上的投影至少部分重合和相邻两个所述第三阳极件沿着进膜方向在基架上的投影至少部分重合。

一种镀膜装置，包括：电镀夹具以及上述的阳极盒。

本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：

1.本实施例提供一种阳极盒，包括：基架、阳极组件和接线结构。其中，基架适于设置在两列电镀夹具之间；阳极组件包括沿着垂直于进膜方向设置在基架内的一个第一阳极件和至少一个第二阳极件，第一阳极件被两列电镀夹具的对称轴线整体贯穿；第二阳极件与对称轴线不接触；接线结构设置在阳极组件上、且适于和电源连接，以将电流导向阳极组件上；接线结构包括第一接线件和第二接线件，第一接线件沿着对称轴线设置在第一阳极件上；第二接线件安装在第二阳极件靠近第一接线件的一侧边。

此结构通过设置第一阳极件和第二阳极件，第一阳极件只有一个、且位于两个电镀夹具的对称轴线L1上，第一阳极件被对称轴线L1整体贯穿，第二阳极件至少有一个，沿着垂直于进膜方向设置在基架内，第二阳极件分别位于第一阳极件的两侧，接线结构固定在阳极组件上，一端和电源连接，以将电流导向阳极件上；接线结构包括第一接线件和第二接线件，第一接线件沿着对称轴线L1固定第一阳极件上；第二接线件安装在第二阳极件靠近第一接线件的一侧边；在电镀的过程中，第一接线件和第二接线件作为正极，电镀夹具作为负极，电流方向为从第一接线件或第二接线件，流经第一阳极件或第二阳极件，再流经铜膜，最终流向电镀夹具，完成电镀过程。在此过程中，本实施例中的电流会流经整个第一阳极件或者第二阳极件，由于电流有着流经最短路径的特性，第一阳极件会向M和N两个电镀夹具侧进行双向电流传导，其电流会覆盖整个第一阳极件，此时第一阳极件上的电流数值相同，电势也相同；而对于第二接线件，靠近M电镀夹具的第二接线件会朝着M电镀夹具的侧进行电传导，靠近N电镀夹具的第二接线件会朝着N电镀夹具的侧进行电传导，且由于第二接线件安装在第二阳极件靠近第一接线件的一侧，其向距离相对较近的M电镀夹具侧或者N电镀夹具侧进行电传导的过程中，也会覆盖整个第二阳极件，此时第二阳极件上的电流数值相同，电势也相同；使得每个阳极件上的材料的消耗更加均匀，在更换阳极盒的时候不会造成材料的浪费。

2.在本实施例中，还包括绝缘件，绝缘件设置在相邻第一阳极件与第二阳极件之间；或，所述绝缘件设置在相邻所述第一阳极件与所述第二阳极件之间、且设置在相邻的两个所述第二阳极件之间。

此结构通过设置绝缘件，绝缘件具体为一个绝缘板，所述绝缘件设置在相邻所述第一阳极件与所述第二阳极件之间、且设置在相邻的两个所述第二阳极件之间，隔离第一阳极件和第二阳极件，或者隔离相邻的第一阳极件和第二阳极件，防止第一阳极件上的电流和第二阳极件的电流互相之间产生接触紊乱或相邻的第二阳极件之间的电流产生接触紊乱，保证电镀效果；

绝缘件设置在相邻第一阳极件与第二阳极件之间，隔离第一阳极件和第二阳极件，防止第一阳极件上的电流和第二阳极件的电流互相之间产生接触紊乱之间的电流产生接触紊乱，保证电镀效果。

3.本实施例提供一种阳极盒，包括基架、阳极组件和接线结构。其中，基架适于设置在两列电镀夹具之间；阳极组件沿着垂直于进膜方向设置在基架内；阳极组件包括至少两个第三阳极件，第三阳极件被两列电镀夹具的对称轴线部分贯穿；接线结构，设置在阳极组件上，且适于和电源连接，以将电流导向阳极件上；接线结构包括第三接线件，第三接线件安装在第三阳极件靠近对称轴线的一侧边。

此结构通过设置第三阳极件，第三阳极件被两列电镀夹具的对称轴线L2部分贯穿，第三阳极件至少有两个，第三阳极件沿着直于进膜方向设置在基架内，接线结构固定在阳极组件上，一端和电源连接以将电流导向阳极组件上；接线结构包括第三接线件，第三接线件安装在第三阳极件靠近对称轴线L2的一侧；在电镀的过程中，第三接线件作为正极，电镀夹具作为负极，电流方向为从第三接线件，流经第三阳极件，再流经铜膜，最终流向电镀夹具，完成电镀过程。在此过程中，由于电流有着流经最短路径的特性，对于第三接线件，靠近M电镀夹具的第三接线件会朝着M电镀夹具的侧进行电传导，靠近N电镀夹具的第三接线件会朝着N电镀夹具的侧进行电传导，且由于第三接线件安装在第三阳极件靠近第三接线件的一侧，其向距离相对较近的电镀夹具侧进行电传导的过程中，也会覆盖整个第三阳极件，此时第三阳极件上的电流数值相同，电势也相同；而对于第三阳极件，被对称轴线L2部分穿过，第三阳极件被对称轴线L2分为两部分，这两部分分别向距离近的电镀夹具进行电传导；本实施例中的电流会流经一大部分第三阳极件，没有电流通过的地方相比于现有技术大大减小，使得每个第三阳极件上的材料的消耗更加均匀，在更换阳极盒的时候不会造成材料的浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例1中提供的阳极盒的结构示意图；

图2为本实施例1中提供的排气件的结构示意图；

图3为本实施例1中提供的阳极盒的俯视图；

图4为本实施例2中提供的阳极盒的俯视图；

附图标记说明：

1－基架；

2－阳极组件；21－第一阳极件；22－第二阳极件；23－第三阳极件；24－第四阳极件；

3－接线结构；31－第一接线件；32－第二接线件；33－第三接线件；34－第四接线件；

4－绝缘件；

5－过滤件；

6－排气件；61－排气孔；

7－隔离件；

8－连接结构。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种阳极盒，如图1至图3所示，包括：基架1、阳极组件2和接线结构3。其中，基架1适于设置在两列电镀夹具之间；阳极组件2包括沿着垂直于进膜方向设置在基架1内的一个第一阳极件21和至少一个第二阳极件22，第一阳极件21被两列电镀夹具的对称轴线L1整体贯穿；第二阳极件22与对称轴线L1不接触；接线结构3设置在阳极组件2上、且适于和电源连接，以将电流导向阳极组件2上；接线结构3包括第一接线件31和第二接线件32，第一接线件31沿着对称轴线L1设置在第一阳极件21上；第二接线件32安装在第二阳极件22靠近第一接线件31的一侧边。

如图1所示，包括一个第一阳极件21和四个第二阳极件22，此结构通过设置第一阳极件21和第二阳极件22，第一阳极件21只有一个、且位于两个电镀夹具的对称轴线L1上，第一阳极件21被对称轴线L1整体贯穿，第二阳极件22至少有一个，沿着垂直于进膜方向设置在基架1内，第二阳极件22分别位于第一阳极件21的两侧，接线结构3固定在阳极组件2上，一端和电源连接，以将电流导向阳极组件2上；接线结构3包括第一接线件31和第二接线件32，第一接线件31沿着对称轴线L1固定第一阳极件21上；第二接线件32安装在第二阳极件22靠近第一接线件31的一侧边；在电镀的过程中，第一接线件31和第二接线件32作为正极，电镀夹具作为负极，电流方向为从第一接线件31或第二接线件32，流经第一阳极件21或第二阳极件22，再流经铜膜，最终流向电镀夹具，完成电镀过程。在此过程中，本实施例中的电流会流经整个第一阳极件21或者第二阳极件22，由于电流有着流经最短路径的特性，第一阳极件21会向M和N两个电镀夹具侧进行双向电流传导，其电流会覆盖整个第一阳极件21，此时第一阳极件21上的电流数值相同，电势也相同；而对于第二接线件32，靠近M电镀夹具的第二接线件32会朝着M电镀夹具的侧进行电传导，靠近N电镀夹具的第二接线件32会朝着N电镀夹具的侧进行电传导，且由于第二接线件32安装在第二阳极件22靠近第一接线件31的一侧，其向距离相对较近的M电镀夹具侧或者N电镀夹具侧进行电传导的过程中，也会覆盖整个第二阳极件22，此时第二阳极件22上的电流数值相同，电势也相同；使得每个阳极件上的材料的消耗更加均匀，在更换阳极盒的时候不会造成材料的浪费。

在本实施例中，如图1所示，还包括绝缘件4，绝缘件4设置在相邻第一阳极件21与第二阳极件22之间；或，绝缘件4设置在相邻第一阳极件21与第二阳极件22之间、且设置在相邻的两个第二阳极件22之间。

此结构通过设置绝缘件4，绝缘件4具体为一个绝缘板，绝缘件4设置在相邻第一阳极件21与第二阳极件22之间、且设置在相邻的两个第二阳极件22之间，隔离第一阳极件21和第二阳极件22，或者隔离相邻的第一阳极件21和第二阳极件22，防止第一阳极件21上的电流和第二阳极件22的电流互相之间产生接触紊乱或相邻的第二阳极件22之间的电流产生接触紊乱，保证电镀效果；

绝缘件4设置在相邻第一阳极件21与第二阳极件22之间，隔离第一阳极件21和第二阳极件22，防止第一阳极件21上的电流和第二阳极件22的电流互相之间产生接触紊乱之间的电流产生接触紊乱，保证电镀效果。

在本实施例中，如图2所示，还包括过滤件5，过滤件5与基架1相连，过滤件5与基架1共同围合成放置腔，放置腔具有开口端；阳极组件2、第一接线件31和第二接线件32安装在放置腔内部。

此结构通过设置过滤件5，过滤件5与基架1相连，过滤件5与基架1共同围合成放置腔，阳极组件2、第一接线件31和第二接线件32安装在放置腔内部，在安装的过程中阳极组件2、第一接线件31和第二接线件32起到支撑作用，对方便阳极组件2、第一接线件31和第二接线的安装；且过滤件5将电镀过程中产生的大气泡切割分为小气泡，小气泡更容易向外排出，放置气泡滞留在电镀区域内形成抗镀区。

在本实施例中，如图2所示，还包括排气件6，排气件6安装在基架1远离放置腔的一侧，排气件6上开设有若干个排气孔61。

此结构通过设置排气件6，并且在排气件6上开设有若干个排气孔61，排气孔61用于让小气泡通过，小气泡通过排气孔61排出电镀区域，防止形成抗镀区。

在本实施例中，如图1和图3所示，阳极组件2为至少一个，阳极组件2沿着进膜方向并列设置在基架1内，相邻阳极组件2设置有隔离件7。

此结构通过设置并列设置的阳极组件2，阳极组件可以为1个或者多个，且沿着进膜方向并列设置在基架1内，增大铜膜电镀的时间，使得电镀效果更好，相邻阳极组件2设置有隔离件7，防止不同的阳极组件2之间产生电流互相串流，导致紊乱。

在本实施例中，如图1所示，还包括连接结构8，连接结构8与基架1相连，连接结构8还适于与镀膜装置相连。

此结构通过设置连接结构8，将阳极盒固定在镀膜装置上，防止在进膜的过程中，阳极盒产生晃动和偏移，造成镀膜产生缺陷。

本实施例中，上述的相邻第一阳极件21与第二阳极件22沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合；或，相邻第一阳极件21与第二阳极件22沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合和相邻两个第二阳极件22沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合。

此结构通过设置相邻第一阳极件21与第二阳极件22沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合；使得铜膜在经过第一阳极件21和第二阳极件22的邻接位置时，始终会经过两个阳极件，在进膜的过程中，能够充分对铜膜进行电镀，防止电镀不完整的问题出现；

通过设置相邻第一阳极件21与第二阳极件22沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合和相邻两个第二阳极件22沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合；使得铜膜在经过第一阳极件21和第二阳极件22的邻接位置或者经过相邻的两个第二阳极件22的邻接位置时，始终会经过两个阳极件，在进膜的过程中，能够充分对铜膜进行电镀，防止电镀不完整的问题出现。

实施例2

本实施例提供一种阳极盒，如图4所示，包括基架1、阳极组件2和接线结构3。其中，基架1适于设置在两列电镀夹具之间；阳极组件2沿着垂直于进膜方向设置在基架1内；阳极组件2包括至少两个第三阳极件23，第三阳极件23被两列电镀夹具的对称轴线L2部分贯穿；接线结构3，设置在阳极组件2上，且适于和电源连接，以将电流导向阳极组件2上；接线结构3包括第三接线件33，第三接线件33安装在第三阳极件23靠近对称轴线L2的一侧边。

此结构通过设置第三阳极件23，第三阳极件23被两列电镀夹具的对称轴线L2部分贯穿，第三阳极件23至少有两个，第三阳极件23沿着直于进膜方向设置在基架1内，接线结构3固定在阳极组件2上，一端和电源连接以将电流导向阳极组件2上；接线结构3包括第三接线件33，第三接线件33安装在第三阳极件23靠近对称轴线L2的一侧；在电镀的过程中，第三接线件33作为正极，电镀夹具作为负极，电流方向为从第三接线件33，流经第三阳极件23，再流经铜膜，最终流向电镀夹具，完成电镀过程。在此过程中，由于电流有着流经最短路径的特性，对于第三接线件33，靠近M电镀夹具的第三接线件33会朝着M电镀夹具的侧进行电传导，靠近N电镀夹具的第三接线件33会朝着N电镀夹具的侧进行电传导，且由于第三接线件33安装在第三阳极件23靠近第三接线件33的一侧，其向距离相对较近的电镀夹具侧进行电传导的过程中，也会覆盖整个第三阳极件23，此时第三阳极件23上的电流数值相同，电势也相同；而对于第三阳极件23，被对称轴线L2部分穿过，第三阳极件23被对称轴线L2分为两部分，这两部分分别向距离近的电镀夹具进行电传导；本实施例中的电流会流经一大部分第三阳极件23，没有电流通过的地方相比于现有技术大大减小，使得每个第三阳极件23上的材料的消耗更加均匀，在更换阳极盒的时候不会造成材料的浪费。

在本实施例中，如图4所示，还包括第四阳极件24和第四接线件34；第四阳极件24沿着垂直于进膜方向设置在第三阳极件23远离对称轴线L2的一侧，第四接线件34设置在第四阳极件24靠近对称轴线L2的一侧。

如图4所示，包括两个第三阳极件23和两个第四阳极件24，此结构通过设置第四阳极件24和第四接线件34，第四阳极件24沿着垂直于进膜方向设置在第三阳极件23远离对称轴线L2的一侧，第四接线件34设置在第四阳极件24靠近对称轴线L2的一侧，对于第四接线件34，第四接线件34会朝着距离相对较近的电镀夹具侧进行电传导，且由于第四接线件34安装在第四阳极件24靠近对称轴线L2的一侧，其向距离相对较近的电镀夹具侧进行电传导的过程中，也会覆盖整个第四阳极件24，此时第四阳极件24上的电流数值相同，电势也相同。

在本实施例中，如图1所示，还包括绝缘件4，绝缘件4设置在相邻的两个第三阳极件23之间；或，绝缘件4设置在相邻的两个第三阳极件23之间、且设置在相邻的第三阳极件23和第四阳极件24之间。

此结构通过设置绝缘件4，绝缘件4具体为一个绝缘板，绝缘件4设置相邻的两个第三阳极件23之间、且设置在相邻的第三阳极件23和第四阳极件24之间，隔离第三阳极件23和第四阳极件24，或者隔离相邻的两个第三阳极件23，防止第三阳极件23上的电流和第四阳极件24的电流互相之间产生接触紊乱或相邻的第三阳极件23之间的电流产生接触紊乱，保证电镀效果；

绝缘件4设置在相邻的两个第三阳极件23之间，隔离相邻的两个第三阳极件23之间的电流，防止相邻的两个第三阳极件23上的电流互相之间产生接触紊乱之间的电流产生接触紊乱，保证电镀效果。

本实施例中的过滤件5、排气件6、连接结构8和阳极组件2与实施例1中的结构相同，此处不再过多赘述。

在本实施例中，如图4所示，相邻第三阳极件23与第四阳极件24沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合；或，相邻第三阳极件23与第四阳极件24沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合和相邻两个第三阳极件23沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合。

通过设置相邻第三阳极件23与第四阳极件24沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合和相邻两个第三阳极件23沿着进膜方向在基架1上的投影至少部分重合；使得铜膜在经过第三阳极件23和第四阳极件24的邻接位置或者经过相邻的两个第三阳极件23的邻接位置时，始终会经过两个阳极件，在进膜的过程中，能够充分对铜膜进行电镀，防止电镀不完整的问题出现。

实施例3

本实施例提供一种镀膜装置，包括上述的阳极盒，阳极盒被设置在镀膜装置上，根据不同的工作环境，在阳极盒上设置不同数量的阳极组件2，阳极组件2上的第一阳极件21和第二阳极件22的总数或第三阳极件23和第四阳极件24的总数，本实施例提供的分别为5个和4个，也可以是2个、3个、4个或者更多。总数越多其涂层消耗更均匀，在更换阳极盒的时候不会造成材料的浪费。

本实施例中提供的阳极盒的工作过程如下：

在电镀的过程中，第一接线件31和第二接线件32作为正极，电镀夹具作为负极，电流方向为从第一接线件31或第二接线件32，流经第一阳极件21或第二阳极件22，再流经铜膜，最终流向电镀夹具，完成电镀过程。在此过程中，由于电流有着流经最短路径的特性，第一阳极件21会向两个电镀夹具侧进行双向电流传导，其电流会覆盖整个第一阳极件21，此时第一阳极件21上的电流数值相同，电势也相同；而对于第二接线件32，第二接线件32会朝着距离相对较近的电镀夹具侧进行电传导，且由于第二接线件32安装在第二阳极件22靠近第一接线件31的一侧，其向距离相对较近的电镀夹具侧进行电传导的过程中，也会覆盖整个第二阳极件22，此时第二阳极件22上的电流数值相同，电势也相同。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (12)

1.一种阳极盒，其特征在于，包括：

基架(1)，适于设置在两列电镀夹具之间；

阳极组件(2)，包括沿着垂直于进膜方向设置在所述基架(1)内的一个第一阳极件(21)和至少一个第二阳极件(22)，所述第一阳极件(21)被两列电镀夹具的对称轴线整体贯穿；所述第二阳极件(22)与所述对称轴线不接触；

接线结构(3)，设置在所述阳极组件(2)上、且适于和电源连接以将电流导向所述阳极组件(2)上；

其中，所述接线结构(3)包括第一接线件(31)和第二接线件(32)，所述第一接线件(31)沿着所述对称轴线设置在所述第一阳极件(21)上；所述第二接线件(32)安装在所述第二阳极件(22)靠近所述第一接线件(31)的一侧边。

2.根据权利要求1所述的阳极盒，其特征在于，

还包括绝缘件(4)，

所述绝缘件(4)设置在相邻所述第一阳极件(21)与所述第二阳极件(22)之间；

或，

所述绝缘件(4)设置在相邻所述第一阳极件(21)与所述第二阳极件(22)之间、且设置在相邻的两个所述第二阳极件(22)之间。

3.根据权利要求1所述的阳极盒，其特征在于，

还包括过滤件(5)，所述过滤件(5)与所述基架(1)相连；所述过滤件(5)与所述基架(1)共同围合成放置腔，所述放置腔具有开口端；所述阳极组件(2)、第一接线件(31)和第二接线件(32)安装在所述放置腔内部；

还包括排气件(6)，所述排气件(6)安装在所述基架(1)远离所述放置腔的一侧，所述排气件(6)上开设有若干个排气孔(61)；

还包括连接结构(8)，所述连接结构(8)与所述基架(1)相连，所述连接结构(8)还适于与镀膜装置相连。

4.根据权利要求1所述的阳极盒，其特征在于，所述阳极组件(2)为至少一个，所述阳极组件(2)沿着进膜方向并列设置在所述基架(1)内，相邻所述阳极组件(2)设置有隔离件(7)。

5.根据权利要求1所述的阳极盒，其特征在于，相邻所述第一阳极件(21)与所述第二阳极件(22)沿着进膜方向在基架(1)上的投影至少部分重合；

或，

相邻所述第一阳极件(21)与所述第二阳极件(22)沿着进膜方向在基架(1)上的投影至少部分重合和相邻两个所述第二阳极件(22)沿着进膜方向在基架(1)上的投影至少部分重合。

6.一种阳极盒，其特征在于，包括：

基架(1)，适于设置在两列电镀夹具之间；

阳极组件(2)，包括至少两个沿着垂直于进膜方向设置在所述基架(1)内的第三阳极件(23)，所述第三阳极件(23)被两列电镀夹具的对称轴线部分贯穿；

接线结构(3)，设置在所述阳极组件(2)上、且适于和电源连接以将电流导向所述阳极组件(2)上；

所述接线结构(3)包括第三接线件(33)，所述第三接线件(33)安装在所述阳极组件(2)靠近所述对称轴线的一侧边。

7.根据权利要求6所述的阳极盒，其特征在于，还包括第四阳极件(24)和第四接线件(34)；

所述第四阳极件(24)沿着垂直于进膜方向设置在所述第三阳极件(23)远离所述对称轴线的一侧，所述第四接线件(34)设置在所述第四阳极件(24)靠近所述对称轴线的一侧。

8.根据权利要求7所述的阳极盒，其特征在于，

还包括绝缘件(4)，

所述绝缘件(4)设置在相邻的两个所述第三阳极件(23)之间；

或，

所述绝缘件(4)设置在相邻的两个所述第三阳极件(23)之间、且设置在相邻的第三阳极件(23)和第四阳极件(24)之间。

9.根据权利要求7所述的阳极盒，其特征在于，

还包括过滤件(5)，所述过滤件(5)与所述基架(1)相连；所述过滤件(5)与所述基架(1)共同围合成放置腔，所述放置腔具有开口端；所述阳极组件(2)、第三接线件(33)和第四接线件(34)安装在所述放置腔内部；

还包括排气件(6)，所述排气件(6)安装在所述基架(1)远离所述放置腔的一侧，所述排气件(6)上开设有若干个排气孔(61)；

还包括连接结构(8)，所述连接结构(8)与所述基架(1)相连，所述连接结构(8)还适于与镀膜装置相连。

10.根据权利要求7所述的阳极盒，其特征在于，所述阳极组件(2)为至少一个，所述阳极组件(2)沿着进膜方向并列设置在所述基架(1)内，相邻所述阳极组件(2)设置有隔离件(7)。

11.根据权利要求7所述的阳极盒，其特征在于，相邻所述第三阳极件(23)与所述第四阳极件(24)沿着进膜方向在基架(1)上的投影至少部分重合；

或，

相邻所述第三阳极件(23)与所述第四阳极件(24)沿着进膜方向在基架(1)上的投影至少部分重合和相邻两个所述第三阳极件(23)沿着进膜方向在基架(1)上的投影至少部分重合。

12.一种镀膜装置，其特征在于，包括：电镀夹具以及权利要求1-5和权利要求6-11中任一项所述的阳极盒。

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