CN219200825U - 一种便携式设备节流阀检测仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于节流阀生产技术领域，具体涉及一种便携式设备节流阀检测仪，包括壳体和驱动装置，所述壳体包括握把，所述握把的顶部设置有套筒，所述壳体上安装有显示装置；所述驱动装置固定设置在套筒的内腔中，所述驱动装置的活动端连接有压杆，所述压杆的后端半径大于前端半径，所述压杆的前端安装有压力传感器，所述套筒上设有限制压杆活动长度的限位机构，本实用新型该装置结构简单，易于操作，造型合理，方便携带。

Description

一种便携式设备节流阀检测仪

技术领域

本实用新型属于节流阀生产技术领域，具体涉及一种便携式设备节流阀检测仪。

背景技术

在半导体器件制造过程中，通常需要将待处理的晶圆放置在半导体处理设备具有的处理腔室内。并通过节流阀向抽真空后的处理腔室内输送工艺气体。在工艺气体和处理腔室内的相应气体的作用下，完成对晶圆的处理，半导体节流阀应用在半导体设备上，是控制腔室透过对节流阀开合角度来控制腔室压力大小，在维修半导体节流阀时，必须要有精准的数据来确定维修过后的节流阀能达到半导体制程需要。

目前，吸气节流阀在装配时，需要安装弹簧和多个弹簧机构。但是，市面上没有检测装置用于对吸气节流阀在装配时是否有无漏装弹簧和多个弹簧机构，只能在后续使用过程中才能判断是否有无漏装弹簧和多个弹簧机构，成本高。为此有关人员进行了一些列研究例如图1所示的申请号为CN202122145004.7的中国专利公开了一种吸气节流阀检测装置，其包括固定组件、驱动机构、滑动组件和压力传感器，所述驱动机构连接于所述滑动组件的顶部并用于驱动所述滑动组件在所述固定组件上下移动，所述压力传感器连接于所述滑动组件的底部并用于对吸气节流阀内施加作用力，以检测所述吸气节流阀内是否具有弹簧和多个弹簧机构。

然而，以上现有技术中的节流阀检测装置结构较为冗杂，不便携带，不方便使用，检测效率较低，为此我们进行了改进设计，提供了一种便携式设备节流阀检测仪。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型提供了一种便携式设备节流阀检测仪，用以解决上述现有技术中的节流阀检测装置结构较为冗杂，不便携带，不方便使用，检测效率较低的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

一种便携式设备节流阀检测仪，包括壳体和驱动装置，所述壳体包括握把，所述握把的顶部设置有套筒，所述壳体上安装有显示装置；

所述驱动装置固定设置在套筒的内腔中，所述驱动装置的活动端连接有压杆，所述压杆的后端半径大于前端半径，所述压杆的前端安装有压力传感器，所述套筒上设有限制压杆活动长度的限位机构；

所述限位机构包括连接柱和限位圈，所述限位圈通过连接柱和套筒连接，所述压杆活动设置在限位圈中。

进一步地，所述显示装置包括嵌设在套筒表面的显示屏以及位于握把内部的微处理器，所述微处理器和压力传感器连接。

进一步地，所述驱动装置包括电动推杆以及设置在握把上的开关和指示灯。

进一步地，所述握把的底部设置有和内部蓄电池连通的充电座。

进一步地，所述握把的壳体上设置有散热孔。

本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

1.通过设置***式的壳体，并将装有压力传感器的驱动装置安装在壳体，并装配有显示装置，在使用时可以单手持握该检测仪，通过控制开关运行电动推杆带动压杆伸缩活动，和待检测的吸气节流阀的原件接触，实时检测接触的压力数据，进而通过判断是否安装了弹簧机构；

2.该装置结构简单，易于操作，造型合理，方便携带。

附图说明

图1为现有技术一种吸气节流阀检测装置(CN202122145004.7)的结构示意图；

图2为本实用新型一种便携式设备节流阀检测仪实施例的立体结构示意图(视角一)；

图3为本实用新型一种便携式设备节流阀检测仪实施例的立体结构示意图(视角二)；

图4为本实用新型一种便携式设备节流阀检测仪实施例的立体结构示意图(视角三)；

说明书附图中的附图标记包括：

壳体1、驱动装置2、限位机构3、压力传感器4；

握把11、充电座12、开关13、套筒14、显示装置15、指示灯16；

电动推杆21、压杆22、连接柱31、限位圈32。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

如图2-4所示，本实用新型。具体来说，一种便携式设备节流阀检测仪，包括壳体1和驱动装置2，壳体1包括握把11，握把11的顶部设置有套筒14，壳体1上安装有显示装置15；驱动装置2固定设置在套筒14的内腔中，驱动装置2的活动端连接有压杆22，压杆22的后端半径大于前端半径，压杆22的前端安装有压力传感器4，套筒14上设有限制压杆22活动长度的限位机构3；限位机构3包括连接柱31和限位圈32，限位圈32通过连接柱31和套筒14连接，压杆22活动设置在限位圈32中。

显示装置15包括嵌设在套筒14表面的显示屏以及位于握把11内部的微处理器，微处理器和压力传感器4连接。驱动装置2包括电动推杆21以及设置在握把11上的开关13和指示灯16。握把11的底部设置有和内部蓄电池连通的充电座12。握把11的壳体上设置有散热孔。

在使用时可以单手持握该检测仪，通过控制开关13运行电动推杆21带动压杆22伸缩活动，和待检测的吸气节流阀的原件接触，实时检测接触的压力数据，如果安装有弹簧机构压杆22的压力传感器4的压力数据是会有变化，压力传感器4的数据通过微处理器处理通过显示屏转换显示出来，进而帮助检测人员判断是否安装了弹簧机构，通过设置限位机构3，防止压杆22过多移动，以免损坏检测原件。

以上的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前实用新型所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。

Claims (5)

1.一种便携式设备节流阀检测仪，包括壳体(1)和驱动装置(2)，其特征在于：所述壳体(1)包括握把(11)，所述握把(11)的顶部设置有套筒(14)，所述壳体(1)上安装有显示装置(15)；

所述驱动装置(2)固定设置在套筒(14)的内腔中，所述驱动装置(2)的活动端连接有压杆(22)，所述压杆(22)的后端半径大于前端半径，所述压杆(22)的前端安装有压力传感器(4)，所述套筒(14)上设有限制压杆(22)活动长度的限位机构(3)；

所述限位机构(3)包括连接柱(31)和限位圈(32)，所述限位圈(32)通过连接柱(31)和套筒(14)连接，所述压杆(22)活动设置在限位圈(32)中。

2.如权利要求1所述的一种便携式设备节流阀检测仪，其特征在于：所述显示装置(15)包括嵌设在套筒(14)表面的显示屏以及位于握把(11)内部的微处理器，所述微处理器和压力传感器(4)连接。

3.如权利要求2所述的一种便携式设备节流阀检测仪，其特征在于：所述驱动装置(2)包括电动推杆(21)以及设置在握把(11)上的开关(13)和指示灯(16)。

4.如权利要求3所述的一种便携式设备节流阀检测仪，其特征在于：所述握把(11)的底部设置有和内部蓄电池连通的充电座(12)。

5.如权利要求4所述的一种便携式设备节流阀检测仪，其特征在于：所述握把(11)的壳体上设置有散热孔。

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