CN219065898U

CN219065898U - 一种光学设备及其激发光路

Info

Publication number: CN219065898U
Application number: CN202320847070.5U
Authority: CN
Inventors: 任祺君
Original assignee: Suzhou Sicui Acoustooptic Micro Nano Technology Research Institute Co ltd
Current assignee: Suzhou Sicui Acoustooptic Micro Nano Technology Research Institute Co ltd
Priority date: 2023-04-17
Filing date: 2023-04-17
Publication date: 2023-05-23
Anticipated expiration: 2033-04-17

Abstract

本实用新型提供了一种光学设备及其激发光路，该光学设备的激发光路包括：一第一子光路，其能够接受来自第一光源的激光，所述第一子光路包括沿着光传播方向上依次设置的一偏振片，一二分之一波片和一第一振镜模块；一第二子光路，其能够接受来自第二光源的激光，所述第一子光路包括一第二振镜模块；一光学元件，其能够接受来自所述第一子光路和所述第二子光路的光并合成一束；一反射元件，其能够反射来自所述光学元件的光；一物镜，其能够透射来自所述反射元件的光。本实用新型光学设备的激发光路具有两个子光路，一路为偏振光，另一路为非偏振光；两个子光路都能实现激光扫描。

Description

一种光学设备及其激发光路

技术领域

本实用新型涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种光学设备及其激发光路。

背景技术

随着科学研究的发展和光子产业的升级，对于能够在介观尺度精细表征材料光学特性，并且能够实时快速获取样品信息的强烈需求将促进相关检测技术的进步。通常用于光学测量的光学设备使用激光作为激发光源经激发光路后进入显微模块，然后照射样品表面。其中一种应用场景是需要控制激光扫描样品表面特定区域。如何实现激光扫描是一个重要的研究方向。

发明内容

为了解决背景技术中提到的问题，本实用新型提供了一种光学设备及其激发光路。

第一方面，本实用新型一种光学设备的激发光路采用如下的技术方案：

一种光学设备的激发光路，包括：

一第一子光路，其能够接受来自第一光源的激光，所述第一子光路包括沿着光传播方向上依次设置的一偏振片，一二分之一波片和一第一振镜模块；

一第二子光路，其能够接受来自第二光源的激光，所述第一子光路包括一第二振镜模块；

一光学元件，其能够接受来自所述第一子光路和所述第二子光路的光并合成一束；

一反射元件，其能够反射来自所述光学元件的光；

一物镜，其能够透射来自所述反射元件的光。

可选的，所述第一子光路的光、所述第二子光路的光和所述光学元件输出的光位于同一平面，所述反射元件将来自所述光学元件输出的光反射后垂直于所述平面出射。

可选的，所述光学元件为分束器或二向色镜；所述反射元件为分束器或二向色镜或反射镜。

可选的，所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的分束器，或者所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的二向色镜。

可选的，所述第一子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第一激光器、一第一反射镜和一第二反射镜，所述第二反射镜位于所述第一反射镜和所述偏振片之间。

可选的，所述第二子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第二激光器、一第三反射镜、一第四反射镜和一第五反射镜，所述第五反射镜位于所述第四反射镜和所述第二振镜模块之间。

可选的，所述第一子光路还包括设置于所述二分之一波片和所述第一振镜模块之间的一四分之一波片。

可选的，所述第一子光路还包括一平移台，所述四分之一波片安装于所述平移台上，所述平移台能够将所述四分之一波片移入或移出所述第一子光路。

第二方面，本实用新型一种光学设备采用如下的技术方案：

本实用新型还提供了一种光学设备，包括上述任一项所述的光学设备的激发光路。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的光学设备及其激发光路，该激发光路具有两个子光路，一路为偏振光，另一路为非偏振光；两个子光路都能实现激光扫描。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种光学设备的激发光路结构示意图；

图2为本实用新型提供的另一种光学设备的激发光路结构示意图；

图3为本实用新型提供的再一种光学设备的激发光路结构示意图。

附图标记说明：

第一子光路10，偏振片101，二分之一波片102，第一振镜模块103，第二子光路20，第二振镜模块201，光学元件301，反射元件302，物镜303，四分之一波片104，平移台105，第一激光器108，第一反射镜106，第二反射镜107，第二激光器205，第三反射镜202，第四反射镜203，第五反射镜204。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例1：

图1为本实用新型提供的一种光学设备的激发光路结构示意图。从图1中可以看出，该光学设备激发光路包括一第一子光路10、一第二子光路20、一光学元件301、一反射元件302和一物镜303。

一第一子光路10，其能够接受来自第一光源（图1中未示出）的激光，所述第一子光路10包括沿着光传播方向上依次设置的一偏振片101，一二分之一波片102和一第一振镜模块103。

一第二子光路20，其能够接受来自第二光源（图1中未示出）的激光，所述第一子光路20包括一第二振镜模块201。

一光学元件301，其能够接受来自所述第一子光路10和所述第二子光路20的光并合成一束。

一反射元件302，其能够反射来自所述光学元件301的光。

一物镜303，其能够透射来自所述反射元件302的光。

第一光源的激光经过偏振片101后被调制成偏振光，二分之一波片102调整该偏振光的偏振方向。第一振镜模块103对偏振光的传输方向进行控制，实现激光扫描。第二振镜模块201对来自第二光源的激光的传输方向进行控制，实现激光扫描。这样两路光都能进行激光扫描。光学元件301接受来自所述第一子光路10和所述第二子光路20的光并合成一束后经过反射元件302反射、物镜303透射后照射到待测样品（图中未示出）表面。

可选地，所述第一子光路10的光、所述第二子光路20的光和所述光学元件301输出的光位于同一平面（图中未示出），所述反射元件302将来自所述光学元件301输出的光反射后垂直于所述平面出射。

可选地，所述光学元件301为分束器或二向色镜；所述反射元件302为分束器或二向色镜或反射镜。可选地，所述光学元件301和所述反射元件302为光学性能相同的分束器，或者所述光学元件301和所述反射元件302为光学性能相同的二向色镜。这样就实现激发光偏振状态的保偏。

实施例2：

图2为本实用新型提供的另一种光学设备的激发光路结构示意图。从图2中可以看出，本实施例与实施例1的区别之处在于，该光学设备的激发光路中所述第一子光路10还包括设置于所述二分之一波片102和所述第一振镜模块103之间的一四分之一波片104。四分之一波片104能够将线偏振光转换为圆偏振光。

实施例3：

图3为本实用新型提供的再一种光学设备的激发光路结构示意图。从图3中可以看出，本实施例与实施例2的区别之处在于，该光学设备的激发光路中所述第一子光路1还包括一平移台105，所述四分之一波片104安装于所述平移台105上，所述平移台105能够将所述四分之一波片104移入或移出所述第一子光路10。

可选地，所述第一子光路10还包括沿着光传播方向上依次设置的一第一激光器108、一第一反射镜106和一第二反射镜107，所述第二反射镜107位于所述第一反射镜106和所述偏振片101之间。

可选地，所述第二子光路20还包括沿着光传播方向上依次设置的一第二激光器205、一第三反射镜202、一第四反射镜203和一第五反射镜204，所述第五反射镜204位于所述第四反射镜203和所述第二振镜模块201之间。

本实用新型还提供了一种光学设备，包括上述光学设备的激发光路。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims

1.一种光学设备的激发光路，其特征在于，包括：

一反射元件，其能够反射来自所述光学元件的光；

一物镜，其能够透射来自所述反射元件的光。

2.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路的光、所述第二子光路的光和所述光学元件输出的光位于同一平面，所述反射元件将来自所述光学元件输出的光反射后垂直于所述平面出射。

3.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述光学元件为分束器或二向色镜；所述反射元件为分束器或二向色镜或反射镜。

4.根据权利要求3所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的分束器，或者所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的二向色镜。

5.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第一激光器、一第一反射镜和一第二反射镜，所述第二反射镜位于所述第一反射镜和所述偏振片之间。

6.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第二子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第二激光器、一第三反射镜、一第四反射镜和一第五反射镜，所述第五反射镜位于所述第四反射镜和所述第二振镜模块之间。

7.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路还包括设置于所述二分之一波片和所述第一振镜模块之间的一四分之一波片。

8.根据权利要求7所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路还包括一平移台，所述四分之一波片安装于所述平移台上，所述平移台能够将所述四分之一波片移入或移出所述第一子光路。

9.一种光学设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的光学设备的激发光路。