CN218988022U - 一种片状物料分拣机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种片状物料分拣机,包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部,其中第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒,传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料。第一装载机构上装载第一片状物料盒,第一装载机构对其上的第一片状物料盒进行翻转,将第一片状物料盒和其内的片状物料从竖直状态翻转至水平状态以便于实现片状物料的搬运。第二装载机构上装载第二片状物料盒,第二装载机构用于打开其上的第二片状物料盒的侧盖以便于实现片状物料的搬运。本实用新型中的分拣机能实现Frame wafer这种片状物料的自动分拣和装载。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,尤其涉及一种片状物料分拣机。
背景技术
Sorter叫做晶圆分拣机或晶圆倒片机,其分拣的是晶圆。但晶圆在加工过程中,会将晶圆分割成一个个的芯片单体,为下一步芯片封装做准备。参见附图1所示,此时的晶圆背部会覆有一层薄膜,薄膜由一个我们称之为“Frame”的晶圆框架支撑,形成一个整体的片状物料(Frame wafer),多片片状物料通常装载在一个片状物料盒(Frame box)中,片状物料盒作为转运的载具,为了满足生产需要,片状物料盒通常也有多种,有的片状物料盒内水平放置片状物料,有的片状物料盒内竖直放置片状物料。但现有的分拣机大多针对晶圆,而片状物料往往通过人工分拣,缺乏自动化程度高的分拣机,大大影响了加工效率。
实用新型内容
为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种片状物料分拣机,能实现Framewafer这种片状物料的自动分拣和装载。
为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:一种片状物料分拣机,包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部,其中所述第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒,所述传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料。所述第一装载机构上装载第一片状物料盒,所述第一装载机构对其上的第一片状物料盒进行翻转,将所述第一片状物料盒和其内的片状物料从竖直状态翻转至水平状态以便于实现片状物料的搬运。所述第二装载机构上装载第二片状物料盒,所述第二装载机构用于打开其上的第二片状物料盒的侧盖以便于实现片状物料的搬运。
本实用新型的有益效果是,分拣机设置有功能不同的第一装载机构和第二装载机构,能对不同的片状物料盒进行装载,通过传输搬运部进行传输,满足片状物料的分拣需求,实现自动分拣。
进一步来说,所述第一装载机构包括第一立架、升降架、固定架和夹持装置,所述第一立架上开设有一个与装载端口对应的第一窗口,所述第一立架上设置有能沿其上下移动的升降架;所述固定架用于第一片状物料盒的放置,所述固定架能在翻转驱动件驱动下相对升降架上下翻转,以将固定架内的片状物料在竖直状态和水平状态之间切换;所述夹持装置设置在第一立架上,所述夹持装置用于夹持水平状态的片状物料,并带动片状物料朝向远离第一片状物料盒的底壁的一侧移动。
对于需要翻转的第一片状物料盒,将第一片状物料盒固定在固定架上后,由工作人员将第一片状物料盒的上盖取下。此时,第一片状物料盒内插接的片状物料为竖直状态。为方便传输搬运部取放片,需要将第一片状物料盒翻转90度,使片状物料处于水平状态,此时第一片状物料盒的开口朝向第一窗口。固定架在翻转过程中,能保证片状物料和第一片状物料盒不会产生相对移动,即片状物料不会滑出第一片状物料盒。当第一片状物料盒翻转90度后,片状物料处于水平状态,夹持装置夹取水平状态的片状物料,并带动片状物料朝向远离第一片状物料盒的底壁的一侧移动,以便于传输搬运部***第一片状物料盒内取出片状物料。
进一步来说,所述第二装载机构包括第二立架、开门驱动装置和门封,所述第二立架上开设有一个第二窗口,所述第二立架上设置有一个位于第二窗口一侧且供第二片状物料盒放置的放置平台,所述开门驱动装置固定在第二立架上且输出端与门封连接,所述开门驱动装置能驱动门封沿L形路线移动,所述门封能与侧盖卡接。
第二片状物料盒的侧盖位于其侧面,盖有侧盖的第二片状物料盒需要打开侧盖后,才能通过传输搬运部搬运其内的片状物料。因此将第二片状物料盒固定在放置平台上,门封在开门驱动装置驱动下到达侧盖位置,然后门封与侧盖卡接,接着开门驱动装置驱动门封在水平方向远离第二片状物料盒一段距离,接着向下移动彻底打开侧盖。
进一步来说,还包括对中机构,所述对中机构位于传输搬运部的一侧,所述传输搬运部能将片状物料在对中机构、第一装载机构和第二装载机构之间来回搬运,所述对中机构对片状物料进行对中。
进一步来说,所述传输搬运部和对中机构设置在一个机架内,所述第一装载机构和第二装载机构设置在机架的一侧且沿机架的长度方向设置,所述对中机构设置在机架长度方向的端部,所述机架上开设有与第一装载机构和第二装载机构对应的装载端口。传输搬运部从装载端口装载片状物料。
进一步来说,所述对中机构包括一个物料入口,所述对中机构的物料入口与机架的长度方向垂直布置或对中机构的物料入口相对机架的长度方向倾斜设置。机架的内部空间有限,考虑到传输搬运部的安装位置及传输搬运部的伸展路径,把对中机构倾斜放置,传输搬运部运动路径更能提高传输速度和效率。
进一步来说,所述对中机构包括控制盒和对中装置,所述片状物料逐片放置在控制盒上,所述对中装置位于控制盒内并对放置在控制盒上的片状物料进行对中。对中装置设置在控制盒内,节约空间,让结构更加紧凑。
进一步来说,所述对中机构还包括用于读取片状物料的编码的读码器,所述读码器设置有两个且上下间隔设置,控制盒的一端固定有一个框架,框架成门型架构,两个所述读码器分别固定在框架的横板上和横板正下方的控制盒上,所述片状物料从两个读码器之间放置到控制盒上。在片状物料的上下两侧分别安装一个读码器,不管片状物料是编码朝上放置还是朝下放置,都可以进行读取。
进一步来说,所述控制盒包括盒体,所述盒体内限定形成供对中装置放置的腔体,所述盒体上固定有突出盒体上表面的多个支撑柱,所述片状物料与支撑柱抵接。支撑柱至少设置有三个,减少与偏转物料的接触面积,在对中装置对中时,可以减少摩擦。
进一步来说,所述对中装置包括对中驱动件、连接爪和拨片杆,所述连接爪设置有两个且相对对中驱动件对称设置,两个所述连接爪在对中驱动件驱动下相对或相背移动,每个所述连接爪上均固定有两个与其同步移动的拨片杆,四个所述拨片杆在同一个圆的圆周上且分别与片状物料的四个弧形边的外缘抵接。四个拨片杆的连线形成一个矩形,四个拨片杆在同一圆周上,同时四个拨片杆同步相对运动,所以当片状物料与四个拨片杆都接触后,片状物料就处于正中心位置。当拨片杆与弧形边抵接时,推动片状物料对中。
进一步来说,所述对中机构还包括一对对射传感器二,所述对射传感器二包括发射端和接收端,所述发射端固定在框架的横板上,所述接收端固定在腔体内,所述对射传感器二的对射光线竖直设置,所述盒体上开设有一个与接收端对应的通孔。当对射光线被遮挡,说明控制盒上放置有片状物料,在驱动对中装置进行对中。
进一步来说,所述对中驱动件为双向气缸,所述双向气缸包括两个活塞杆,两个活塞杆分别与两个连接爪固定,所述双向气缸上还固定有至少一个缓冲器。当活塞杆带动连接爪往回缩时,连接爪抵接到缓冲器上,可以对连接爪起到降速缓冲的作用,防止拨片杆因太快的速度对片状物料造成变形。
附图说明
图1为本实用新型中片状物料的结构示意图;
图2为本实用新型实施例的立体图;
图3为本实用新型实施例的另一角度立体图;
图4为本实用新型实施例的俯视图;
图5为本实用新型实施例中第一装载机构翻转片状物料前的结构示意图;
图6为本实用新型实施例中第一装载机构翻转片状物料后的结构示意图;
图7为本实用新型实施例中第二装载机构打开侧盖前的结构示意图;
图8为本实用新型实施例中第二装载机构打开侧盖后的结构示意图;
图9为本实用新型实施例中对中机构的俯视图;
图10为本实用新型实施例中对中机构的立体图;
图11为本实用新型实施例中对中机构的另一角度立体图;
图12为本实用新型实施例中对中装置的立体图;
图13为本实用新型实施例中对中装置对中片状物料的示意图。
图中:
1、片状物料;2、第一装载机构;21、第一立架;211、第一窗口;22、升降架;23、固定架;24、夹持装置;241、夹持臂;242、移料驱动件;25、翻转驱动件;261、限位杆;262、限位驱动件;3、第二装载机构;31、第二立架;311、第二窗口;312、放置平台;32、开门驱动装置;33、门封;34、传感器固定架;341、对射传感器一;4、传输搬运部;5、机架;51、调压板;6、第一片状物料盒;7、对中机构;71、控制盒;711、导向槽;72、读码器;731、对中驱动件;732、连接爪;733、拨片杆;734、缓冲器;74、框架;741、物料入口;75、支撑柱;76、对射传感器二;8、第二片状物料盒。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图2和附图3所示,本实施例中的一种片状物料分拣机,包括至少一个第一装载机构2、至少一个第二装载机构3和一个传输搬运部4,其中第一装载机构2和第二装载机构3用于装载不同的片状物料盒,传输搬运部4用于在第一装载机构2和第二装载机构3内取放片状物料1并在第一装载机构2和第二装载机构3之间传输片状物料1。
不同的片状物料盒包括第一片状物料盒6和第二片状物料盒8,第一片状物料盒6的上方具有一个上盖,片状物料1竖直放置在第一片状物料盒6内。第二片状物料盒8的侧边具有一个侧盖,片状物料1水平放置在第二片状物料盒8内。第一片状物料盒6竖直放置在第一装载机构2上,第一装载机构2对其上的第一片状物料盒6进行翻转,将第一片状物料盒6和其内的片状物料1从竖直状态翻转至水平状态。第二片状物料盒8水平放置在第二装载机构3上,第二装载机构3用于打开其上的第二片状物料盒8的侧盖。
分拣机设置有功能不同的第一装载机构2和第二装载机构3,能对不同的片状物料盒进行装载,通过传输搬运部4进行片状物料1的搬运和传输,满足片状物料1的分拣需求,实现自动分拣。
参见附图3和附图4所示,传输搬运部4设置在一个机架5内,第一装载机构2和第二装载机构3设置在机架5的一侧,且沿机架5的长度方向设置。机架5上开设有与第一装载机构2和第二装载机构3对应的装载端口,传输搬运部4从装载端口处取放片状物料1。
在本实施例中,由于需要翻转的第一片状物料盒6较少,因此设置一个第一装载机构2,设置两个第二装载机构3,但第一装载机构2和第二装载机构3的数量可根据机架5的尺寸和实际生产需要灵活设置。
机架5的顶端设置有空气过滤机,保证机架5内的清洁度,以让片状物料1在清洁环境中传输。机架5内设置有至少一层调压板51。
传输搬运部4包括一个机械手,机械手为五轴机械手,能够满足机架5、第一装载机构2和第二装载机构3内的片状物料1的任意移动需求。在机械手的末端关节安装有可接触片状物料1的至少一个片叉,片叉用来取放片状物料1。
参见附图5和附图6所示,第一装载机构2包括第一立架21、升降架22、固定架23和夹持装置24,第一立架21上开设有一个与装载端口对应的第一窗口211,第一窗口211和一个装载端口可以对接。第一立架21上设置有能沿其上下移动的升降架22,固定架23用于第一片状物料盒6的放置,第一片状物料盒6固定在固定架23内,固定架23能在翻转驱动件25驱动下相对升降架22上下翻转,以将固定架23内的片状物料1在竖直状态和水平状态之间切换。夹持装置24设置在第一立架21上,且位于固定架23和第一窗口211之间,夹持装置24用于夹持水平状态的片状物料1,并带动片状物料1朝向远离第一片状物料盒6的底壁的一侧移动。
对于需要翻转的第一片状物料盒6,将第一片状物料盒6固定在固定架23上后,由工作人员将第一片状物料盒6的上盖取下。此时,第一片状物料盒6内插接的片状物料1为竖直状态,此时第一装载机构2的状态参见附图5所示。为方便传输搬运部4取放片,需要将第一片状物料盒6翻转90度,使片状物料1处于水平状态,此时第一片状物料盒6的开口朝向第一窗口211,此时第一装载机构2的状态参见附图6所示。固定架23在翻转过程中,能保证片状物料1和第一片状物料盒6不会产生相对移动,即片状物料1不会滑出第一片状物料盒6。当第一片状物料盒6翻转90度后,片状物料1处于水平状态,夹持装置24夹取水平状态的片状物料1,并带动片状物料1朝向远离第一片状物料盒6的底壁的一侧移动,以便于传输搬运部4***第一片状物料盒6内取出片状物料1。
在一个实施例中,翻转驱动件25为气缸,气缸的壳体与升降架22铰接,气缸的伸缩轴与固定架23铰接,当气缸伸缩时,能带动固定架23相对升降架22翻转,以实现固定架23上第一片状物料盒6的翻转。
升降架22在升降驱动件驱动下沿第一立架21上下移动,升降驱动件固定在第一立架21上,可为气缸或丝杆电机组件,组件升降架22上下移动即可。升降架22带动固定架23移动到夹持装置24的位置后,翻转驱动件25再驱动固定架23翻转。
由于第一装载机构2上的第一片状物料盒6没有上盖,为了防止第一片状物料盒6在翻转过程中其内的片状物料1滑出,固定架23上还设置有能与其同步翻转的防护装置,所述防护装置能将片状物料1限定在第一片状物料盒6内。
参见附图5所示,防护装置包括两个限位杆261和一个限位驱动件262,所述限位杆261能在限位驱动件262驱动下,沿直线移动或摆动到与固定架23的底板平行的位置且与片状物料1抵接,此时片状物料1被限定在第一片状物料盒6内。
夹持装置24包括两个能相对或相背移动的夹持臂241,片状物料1能夹持在两个夹持臂241之间。两个夹持臂241还能在一个移料驱动件242的驱动下同步朝向远离第一片状物料盒6的底壁的一侧移动。
固定架23翻转完成后,其上第一片状物料盒6内的片状物料1处于水平状态,此时夹持臂241夹持片状物料1,夹持完成后,移料驱动件242带动夹持了片状物料1的夹持臂241朝向远离固定架23的一侧移动,由于第一片状物料盒6被固定在固定架23上,因此片状物料1会相对第一片状物料盒6在水平面移动,让片状物料1脱离第一片状物料盒6底壁上的插槽。
对需要翻转的第一片状物料盒6,放置在第一装载机构2上进行装载,第一装载机构2对第一片状物料盒6进行翻转,让其内的片状物料1从竖直状态翻转至水平状态,便于传输搬运部4搬运和取放片状物料1。
参见附图7和附图8所示,第二装载机构3包括第二立架31、开门驱动装置32和门封33,第二立架31上开设有一个与装载端口对应的第二窗口311,第二窗口311和一个装载端口可以对接。第二立架31上设置有一个位于第二窗口311一侧且供第二片状物料盒8放置的放置平台312,第二片状物料盒8的侧边盖合有一个侧盖,盖有侧盖的第二片状物料盒8固定在放置平台312上。开门驱动装置32固定在第二立架31上且输出端与门封33连接,开门驱动装置32能驱动门封33沿L形路线移动,门封33能与侧盖卡接。
盖有侧盖的第二片状物料盒8需要打开侧盖后,才能通过传输搬运部4搬运其内的片状物料1。因此将第二片状物料盒8固定在放置平台312上,门封33在开门驱动装置32驱动下到达侧盖位置,然后门封33与侧盖卡接,接着开门驱动装置32驱动门封33在水平方向远离第二片状物料盒8一段距离,接着向下移动彻底打开侧盖,此时第二装载机构3状态参见附图8所示。
门封33和侧盖上设置有相互配合的卡槽和卡块,门封33上的驱动件驱动卡块卡入卡槽时,门封33和侧盖卡接,可由门封33带动侧盖移动。开门驱动装置32包括水平驱动件和竖直驱动件,水平驱动件固定在第二立架31上并能驱动竖直驱动件水平移动,竖直驱动件与水平驱动件的输出端连接并能驱动门封33竖直移动。水平驱动件和竖直驱动件为气缸或电缸,两者配合能实现门封33的水平和竖直的L形移动路线即可。
在一个实施例中,参见附图7所示,门封33上还固定有与其同步移动的传感器固定架34,传感器固定架34上固定有一对对射传感器一341,一对对射传感器一341始终位于门封33的上方,当门封33和传感器固定架34同步竖直向下移动时,对射传感器一341对第二片状物料盒8内的片状物料1进行扫描,检测平片状物料1的放置状态。
对无需翻转的第二片状物料盒8,直接放置在第二装载机构3上进行装载,第二装载机构3打开侧盖并进行片状物料1扫描,由传输搬运部4直接搬运和取放片状物料1。
在一个实施例中,参见附图3和附图4所示,分拣机还包括一个对中机构7,对中机构7位于传输搬运部4的一侧,传输搬运部4能将片状物料1在对中机构7、第一装载机构2和第二装载机构3之间来回搬运,对中机构7对片状物料1进行对中和读码处理。
参见附图4所示,对中机构7位于机架5长度方向的端部,减少传输搬运部4的移动距离。对中机构7位于机架5内,且固定在调压板51上。对中机构7具有一个物料入口741,片状物料1从物料入口741进入到对中机构7上,在一个实施例中,对中机构7机构的物料入口741可以与机架5的长度方向垂直布置。
在一个实施例中,参见附图9所示,对中机构7的物料入口741相对机架5的长度方向倾斜设置,机架5的内部空间有限,考虑到传输搬运部4的安装位置及传输搬运部4的伸展路径,传输搬运部4的伸展路径如附图9中的虚线所示,此时把对中机构7倾斜放置,传输搬运部4运动路径更能提高传输速度和效率。
参见附图10所示,对中机构7包括控制盒71、读码器72和对中装置,片状物料1逐片放置在控制盒71上,读码器72用于读取片状物料1的编码,对中装置对放置在控制盒71上的片状物料1进行对中,保证经过对中机构7对中的片状物料1均同心设置。
参见附图11所示,读码器72设置有两个,上下间隔设置,片状物料1从两个读码器72之间放置到控制盒71上。控制盒71的一端固定有一个框架74,框架74成门型结构,包括两个与控制盒71固定连接的立板和立板上方设置的横板。两个读码器72分别固定在框架74的横板上和横板正下方的控制盒71上。
框架74和控制盒71之间形成一个可以通过片状物料1的读码口,读码口就是物料入口741,当传输搬运部4把片状物料1通过读码口放置到控制盒71上时,读码器72可以对片状物料1上的编码进行读取,在片状物料1的上下两侧分别安装一个读码器72,不管片状物料1是编码朝上放置还是朝下放置,都可以进行读取。
参见附图10和附图12所示,控制盒71包括盒体,盒体内限定形成供对中装置放置的腔体,盒体上固定有突出盒体上表面的多个支撑柱75,片状物料1的下端面与支撑柱75抵接。在本实施例中,支撑柱75设置有三个,成三角分布,对片状物料1提供支撑。当然也可设置更多的支撑柱75,对片状物料1进行支撑,支撑柱75不少于三个。支撑柱75支撑片状物料1,减小与片状物料1的接触面积,当片状物料1在对中装置推动下移动对中时,减小了摩擦,对片状物料1进行有效保护。
参见附图12和附图13所示,对中装置包括对中驱动件731、连接爪732和拨片杆733,连接爪732设置有两个且相对对中驱动件731对称设置,两个连接爪732在对中驱动件731驱动下相对或相背移动,每个连接爪732上均固定有两个与其同步移动的拨片杆733,四个拨片杆733形成一个矩形结构,在同一个圆的圆周上且分别与片状物料1的四个弧形边的外缘抵接。
参见附图1所示,片状物料1成一个正八边形结构,其中间隔的四条边为弧形边,这四条弧形边的圆心重叠。参见附图13所示,四个拨片杆733的连线形成一个矩形,四个拨片杆733在同一圆周上,同时四个拨片杆733同步相对运动,所以当片状物料1与四个拨片杆733都接触后,片状物料1就处于正中心位置。当拨片杆733与弧形边抵接时,推动片状物料1对中,保证片状物料1的中心始终在四个拨片杆733形成的矩形的中心处。
对中驱动件731和连接爪732位于腔体内,拨片杆733向上穿过盒体,且拨片杆733的上端面的高度位置高于支撑柱75的上端面的高度位置。对中驱动件731和连接爪732的位置,节约了对中机构7的空间,拨片杆733的上端面的高度位置高于支撑柱75的上端面的高度位置,保证拨片杆733突出支撑柱75,能与片状物料1的边缘抵接。
盒体上开设有供拨片杆733穿过并滑动的导向槽711,导向槽711的宽度与拨片杆733的直径相同。
在一个实施例中,对中驱动件731为双向气缸,双向气缸包括两个活塞杆,两个活塞杆分别与两个连接爪732固定,驱动四个拨片杆733同步移动。双向气缸上还固定有至少一个缓冲器734,缓冲器734能与连接爪732抵接。当活塞杆带动连接爪732往回缩时,连接爪732抵接到缓冲器734上,可以对连接爪732起到降速缓冲的作用,防止拨片杆733因太快的速度对片状物料1造成变形。
缓冲器734为阻尼缓冲器734、弹簧缓冲器734中的一种,起到缓冲作用即可。
对中机构7还包括一对对射传感器二76,对射传感器二76的对射光线竖直设置,当对射光线被遮挡,说明控制盒71上放置有片状物料1。
对射传感器二76包括发射端和接收端,发射端固定在框架74的横板上,接收端固定在腔体内,盒体上开设有一个与接收端对应的通孔,发射端发射的对射光线可穿过通孔被接收端接收。当片状物料1放置到支撑柱75上时,对射传感器二76的对射光线被遮挡,控制双向气缸,使活塞杆带动拨片杆733朝中心运动,如果片状物料1偏离中心时,运动的拨片杆733带动片状物料1往中心位置靠拢。
本实施例中,根据片状物料盒的种类,选择第一装载机构2或第二装载机构3,第一装载机构2能对第一片状物料盒6进行翻转,让其内的片状物料1从竖直状态变为水平状态。而第二装载机构3对直接水平放置的第二片状物料盒8,可以打开侧盖。搬运输送部可直接取放第一装载机构2和第二装载机构3装载的片状物料1,并将片状物料1搬运到对中机构7进行对中。对中后的片状物料1再由搬运输送部输送回第一装载机构2和第二装载机构3,实现了片状物料1的自动化分拣,快速高效。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (11)
1.一种片状物料分拣机,其特征在于:包括至少一个第一装载机构、至少一个第二装载机构和一个传输搬运部,其中所述第一装载机构和第二装载机构用于装载不同的片状物料盒,所述传输搬运部用于在第一装载机构和第二装载机构内取放和传输片状物料;
所述第一装载机构上装载第一片状物料盒,所述第一装载机构对其上的第一片状物料盒进行翻转,将所述第一片状物料盒和其内的片状物料从竖直状态翻转至水平状态以便于实现片状物料的搬运;
所述第二装载机构上装载第二片状物料盒,所述第二装载机构用于打开其上的第二片状物料盒的侧盖以便于实现片状物料的搬运。
2.根据权利要求1所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述第一装载机构包括第一立架、升降架、固定架和夹持装置,
所述第一立架上开设有第一窗口,所述第一立架上设置有能沿其上下移动的升降架;
所述固定架用于第一片状物料盒的放置,所述固定架能在翻转驱动件驱动下相对升降架上下翻转,以将固定架内的片状物料在竖直状态和水平状态之间切换;
所述夹持装置设置在第一立架上,所述夹持装置用于夹持水平状态的片状物料,并带动所述片状物料朝向远离第一片状物料盒的底壁的一侧移动。
3.根据权利要求1所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述第二装载机构包括第二立架、开门驱动装置和门封,
所述第二立架上开设有一个第二窗口,所述第二立架上设置有一个位于第二窗口一侧且供第二片状物料盒放置的放置平台,
所述开门驱动装置固定在第二立架上且输出端与门封连接,所述开门驱动装置能驱动门封沿L形路线移动,所述门封能与侧盖卡接。
4.根据权利要求1-3任一所述的片状物料分拣机,其特征在于:还包括对中机构,所述对中机构位于传输搬运部的一侧,所述传输搬运部能将片状物料在对中机构、第一装载机构和第二装载机构之间来回搬运,所述对中机构对片状物料进行对中。
5.根据权利要求4所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述传输搬运部和对中机构设置在一个机架内,所述第一装载机构和第二装载机构设置在机架的一侧且沿机架的长度方向设置,所述对中机构设置在机架长度方向的端部,所述机架上开设有与第一装载机构和第二装载机构对应的装载端口。
6.根据权利要求5所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述对中机构包括一个物料入口,所述对中机构机构的物料入口与机架的长度方向垂直布置或对中机构的物料入口相对机架的长度方向倾斜设置。
7.根据权利要求5所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述对中机构包括控制盒和对中装置,所述片状物料逐片放置在控制盒上,所述对中装置位于控制盒内并对放置在控制盒上的片状物料进行对中;
所述对中装置包括对中驱动件、连接爪和拨片杆,所述连接爪设置有两个且相对对中驱动件对称设置,两个所述连接爪在对中驱动件驱动下相对或相背移动,每个所述连接爪上均固定有两个与其同步移动的拨片杆,四个所述拨片杆在同一个圆的圆周上且分别与片状物料的四个弧形边的外缘抵接。
8.根据权利要求7所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述对中机构还包括用于读取片状物料的编码的读码器,所述读码器设置有两个且上下间隔设置,控制盒的一端固定有一个框架,框架成门型架构,两个所述读码器分别固定在框架的横板上和横板正下方的控制盒上,所述片状物料从两个读码器之间放置到控制盒上。
9.根据权利要求7所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述控制盒包括盒体,所述盒体内限定形成供对中装置放置的腔体,所述盒体上固定有突出盒体上表面的多个支撑柱,所述片状物料与支撑柱抵接。
10.根据权利要求8所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述对中机构还包括一对对射传感器二,所述对射传感器二包括发射端和接收端,所述发射端固定在框架的横板上,所述接收端固定在盒体内,所述对射传感器二的对射光线竖直设置,所述盒体上开设有一个与接收端对应的通孔。
11.根据权利要求7所述的片状物料分拣机,其特征在于:所述对中驱动件为双向气缸,所述双向气缸包括两个活塞杆,两个活塞杆分别与两个连接爪固定,所述双向气缸上还固定有至少一个缓冲器。
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CN117316846A (zh) * | 2023-11-30 | 2023-12-29 | 浙江果纳半导体技术有限公司 | 晶圆传输设备 |
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