CN218932286U - 易装卸样品托及真空*** - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种易装卸样品托及真空***。样品托，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽中，基于弹性形变向位于托盘槽中的样品框施加弹力，实现样品框的固定。真空***，包括真空腔，以及本公开提供的易装卸样品托，设置在所述真空腔内。

Description

易装卸样品托及真空***

技术领域

本公开涉及真空设备技术领域，特别涉及一种易装卸样品托及真空***。

背景技术

真空镀膜设备是真空***的一种，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外等多种。在进行真空镀膜的过程中，通常会向真空腔中传送样品(例如晶圆、玻璃、巴条等)，镀膜形成于所述样品中。

实际工艺中，通常先将样品固定在样品托上传送到真空腔，之后密封真空腔并在达到真空条件时执行镀膜的工艺步骤。

现有公开的样品托，通常采用紧固件压紧的方式固定夹具(夹具中装配又多片堆叠的样品)，在镀膜过程中，因工作温度较高且无法使用润滑脂，紧固件受热后会变形导致捏合，从而无法将夹具无法取出，使夹具的拆卸不易操作。

此外，在镀膜过程中，紧固件的头部容易被镀层覆盖，导致扳手无法使用，也为夹具的拆卸造成了一定的难度。

实用新型内容

本公开提供了一种样品托，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽，所述样品框包括：与托盘槽的侧壁相接触的多个第一侧壁，以及用于承载所述弹力的第二侧壁；所述第一侧壁设置有卡槽；所述托盘槽的内壁上设置有与所述卡槽相匹配的凸边。

一些实施例中，所述弹性件包括：弹性曲片，沿着第二侧壁延伸方向延伸，弯曲的方向朝向所述第二侧壁；支撑平片，沿着第二侧壁延伸方向延伸，与所述弹性曲片对设置且端部相连。

一些实施例中，所述弹性曲片和所述支撑平片的端部焊接连接。

一些实施例中，所述弹性件还包括：用于设置在第一安装槽中的第一弹性夹以及用于设置在第二安装槽中的第二弹性夹；所述第一弹性夹或第二弹性夹，包括：夹持端，用于夹持相对的弹性曲片和支撑平片；形变端，用于在放置于第一安装槽或第二安装槽时产生形变，实现夹持端的紧固。

一些实施例中，所述第一弹性夹或第二弹性夹为弓形结构。

一些实施例中，所述托盘具有圆形结构，所述托盘槽的数量为多个，多个托盘槽沿圆周方向均匀排布。

一些实施例中，所述托盘的表面开设有旋转支架卡槽。

本公开还提供了一种真空***，包括：真空腔；以及本公开提供的易装卸样品托，设置在所述真空腔内。

一些实施例中，还包括：旋转支架，与所述托盘相连，用于带动所述托盘旋转。

根据本公开一些实施例的易装卸样品托及真空***能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的易装卸样品托中，托盘槽相对的侧壁上设置有第一安装槽和第二安装槽；通过放置在第一安装槽和第二安装槽中的弹性件向样品框提供弹力，实现样品框的固定；相应地，将弹性件从第一安装槽和第二安装槽中取出后，可以方便地从托盘槽中取出样品框，由于弹性件是基于形变提供的弹力，这种通过弹力卡紧样品框的固定方式可以实现对样品框灵活方便的安装和拆卸。

根据本公开一些实施例的易装卸样品托及真空***能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的易装卸样品托中，第一安装槽和第二安装槽中还设置有弓形弹性夹，通过弓形弹性夹可以固定弹性曲片和支撑平片端部，从而增加弹性件在提供弹力时的稳定性，增加了样品托的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出根据本公开一些实施例的易装卸样品托的结构示意图；

图2示出图1中样品框的结构示意图；

图3示出图1中托盘的结构示意图；

图4示出图1中弹性件的结构示意图；

图5示出图1中弹性夹的局部放大图。

具体实施方式

下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。

在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

请参考图1至图3，分别示出根据本公开一些实施例的易装卸样品托、样品框和托盘的结构示意图。需要说明的是，为了使附图清楚和简洁，本实施例的附图以具有2个样品框的样品托为例进行示意和说明，不应以此限制本公开实施例的保护范围。

本实施例公开了一种易装卸样品托10，包括：托盘101，包括至少一个托盘槽104，用于容纳样品框102；所述托盘槽104靠近所述托盘槽开口位置的侧壁上设置有相对的第一安装槽10421和第二安装槽10422；弹性件103，用于放置于所述第一安装槽10421和第二安装槽10422中，基于弹性形变向位于托盘槽104中的样品框102施加弹力，实现样品框102的固定。

本公开一些实施例的易装卸样品托10中，托盘槽104相对的侧壁上设置有第一安装槽10421和第二安装槽10422；通过放置在第一安装槽10421和第二安装槽10422中的弹性件103向样品框102提供弹力，实现样品框102的固定；相应地，将弹性件103从第一安装槽10421和第二安装槽

10422中取出后，可以方便地从托盘槽104中取出样品框102，由于弹性件103是基于形变提供的弹力，这种通过弹力卡紧样品框102的固定方式可以实现对样品框102灵活方便的安装和拆卸。

如图2所示，本公开实施例的样品框102为夹具，夹具中加持有几百片巴(bar)条。这些巴条为解离后的样品，几百片巴条竖直堆叠，其端面由夹具露出，作为工艺面被。具体地说，在镀膜真空设备中，几百片巴条构成的工艺面可以一次性执行镀膜工艺，提高工艺效率。

在其他实施例中，样品框还可以是样品架或样品盒等等。

结合参考图1和图2，样品框102包括与托盘槽104的侧壁相接触的多个第一侧壁，以及用于承载所述弹力的第二侧壁1022；所述第一侧壁设置有卡槽1021。

本公开实施例中，所述样品框102具有长方形结构，包括4个侧壁，其中3个第一侧壁AB、BD、AC，以及1个第二侧壁CD。在第一侧壁AB、BD、AC设置有卡槽1021。

如图3所示，开设在托盘101上的托盘槽104为贯穿托盘101的开口，用于围成托盘槽104的内壁上设置有与所述卡槽1021相匹配的凸边1041。此处的相匹配指的是，样品框102安装于托盘槽104中时，凸边1041可以在第一侧壁AC和BD卡槽中滑动，可以方便的实现样品框102的安装和拆卸；另外，在样品框102完全安装于托盘槽104中时，凸边1041和卡槽1021相配合还可以在垂向(垂直托盘101的方向)和水平向(与托盘101盘面相平行的方向)限制样品框102的位置，从而实现样品框102的固定。

如图3所示，托盘槽104的第一内壁A’C’和B’D’在靠近开口处分别设置有第一安装槽10421和第二安装槽10422，用于放置弹性件103，通过弹性件103进一步固定安装于托盘槽104中的样品框102，避免样品框102从托盘槽104中滑脱。

结合参考图4和图5分别示出了弹性件103的结构示意图和局部放大图。所述弹性件103包括：弹性曲片1033，沿着第二侧壁CD延伸方向延伸，弯曲的方向朝向所述第二侧壁CD。弹性件103在放置在第一安装槽10421和第二安装槽10422中时，因为所述弹性曲片1033呈弯曲状，有一部分更靠近第二侧壁CD因而与第二侧壁CD相接触，从而实现对样品框102的固定。

此外，弹性件103还包括：支撑平片1031，沿着第二侧壁CD延伸方向延伸，与所述弹性曲片1033相对设置且端部相连，从而为弹性曲片1033提供一定的支撑强度。在其他实施例中，还可以仅设置弹性曲片。

本公开实施例中，弹性曲片1033和支撑平片1031的材料为金属，弹性曲片1033和支撑平片1031的端部焊接连接，从而可以使弹性曲片1033和支撑平片1031固定在一起，并实现较为牢固的连接，提高了弹性件103的可靠性。在其他实施例中，弹性曲片1033和支撑平片103还可以采用其他方式连接，比如铆接。

本公开实施例中，所述弹性件103还包括：用于设置在第一安装槽10421中的第一弹性夹10321以及用于设置在第二安装槽10422中的第二弹性夹10322。通过第一弹性夹10321和第二弹性夹10322可以使弹性件103更牢固地固定在第一安装槽10421和第二安装槽10422，还可以使弹性件103更方便的放入安装槽中，或从安装槽中取出。

第一弹性夹10321或第二弹性夹10322，包括：夹持端O，用于自相对的弹性曲片1033和支撑平片1031；更具体地说，夹持端O用于加持弹性曲片1033和支撑平片1031相接触的连接部。

第一弹性夹10321或第二弹性夹10322还包括：形变端P，用于在放置于第一安装槽10421和第二安装槽10422时产生形变，增强实现夹持端O向内的夹持力，从而实现夹持端O的紧固。

如图5所示的，本公开实施例中，第一弹性夹10321或第二弹性夹10322夹呈弓形结构。在其他实施例中，还可以是其他形状比如呈M或W形卡子的形状等等。

实际应用中，在样品框102放置于托盘槽104中后，通过凸边1041和卡槽1021实现限位，之后在第一安装槽10421和第二安装槽10422分别放置弹性夹，按照弹性曲片1033朝向样品框102第二侧壁CD的方向，将弹性曲片1033和支撑平片1031加持于弹性夹上，弹性曲面1033收到第二侧壁CD的积压产生弹力，从而实现样品框102的固定。拆卸过程类似的，由于弹性件的设置，可以方便地实现样品框102的取放。

在一些实施例中，所述托盘101是可旋转托盘，可以通过使可旋转托盘进行旋转(例如自驱动旋转或它驱动旋转)，从而提高各工位104样品框102中样品的工艺均匀性。

在一些实施例中，易装卸样品托应用于真空***中，真空***内部设置有旋转支架(图中未示意)，与托盘101相连，能够带动托盘101旋转。具体地，托盘101表面可以开设有旋转支架卡槽，旋转支架通过旋转支架卡槽与托盘101固定在一起，带动托盘101旋转。在其他实施例中，托盘101也可以通过真空***内部的其他旋转装置实现它驱动旋转。

如图1所示的实施例中，托盘101具有圆形结构，此处的圆周结构可是正圆形或者可以大致为圆形的结构。托盘101开设有两个相对的托盘槽104，用于放置样品框102。在其他实施例中，还可以开设多个托盘槽104，多个托盘槽104沿托盘101的圆周方向均匀排布，一方面可以进一步提高工艺一致性，另一方面还可以提高托盘101上的空间利用率。对于这种情况，相应地在每一托盘槽104的内壁上配置安装槽以及弹性件，可以实现对每一个托盘槽104中样品框102的固定，且样品框102均易于拆卸。

本公开还提供一种真空***，包括真空腔，以及本公开提供的易装卸样品托，设置在所述真空腔内。本公开真空***中放置的样品托均易于拆卸，样品框可以在较短的时间内安装和取下，从而节约了工艺准备的时间，优化工艺效率，此外，样品托中包括多个样品框，可以对多个样品框同时中执行工艺，每一样品框中装配有多片样品，因而可以提高真空***的工艺效率，增大了产能。

真空***还包括:旋转支架，与易装卸样品托中的托盘相连，用于带动托盘旋转。

在一些实施例中，真空***为真空镀膜设备。在其他实施例中，还可以是其他在真空***，比如清洗腔、解离腔等。

需要指出的是，以上仅为本公开的示例性实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种样品托，其特征在于，包括：

托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；

弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽中，基于弹性形变向位于托盘槽中的样品框施加弹力，实现样品框的固定。

2.如权利要求1所述的样品托，其特征在于，所述样品框包括：

与托盘槽的侧壁相接触的多个第一侧壁，以及用于承载所述弹力的第二侧壁；

所述第一侧壁设置有卡槽；

所述托盘槽的内壁上设置有与所述卡槽相匹配的凸边。

3.如权利要求2所述的样品托，其特征在于，所述弹性件包括：

弹性曲片，沿着第二侧壁延伸方向延伸，弯曲的方向朝向所述第二侧壁；

支撑平片，沿着第二侧壁延伸方向延伸，与所述弹性曲片相对设置且端部相连。

4.如权利要求3所述的样品托，其特征在于，所述弹性曲片和所述支撑平片的端部焊接连接。

5.如权利要求3所述的样品托，其特征在于，所述弹性件还包括：用于设置在第一安装槽中的第一弹性夹以及用于设置在第二安装槽中的第二弹性夹；

所述第一弹性夹或第二弹性夹，包括：夹持端，用于夹持相对的弹性曲片和支撑平片；

形变端，用于在放置于第一安装槽或第二安装槽时产生形变，实现夹持端的紧固。

6.如权利要求5所述的样品托，其特征在于，所述第一弹性夹或第二弹性夹为弓形结构。

7.如权利要求1-6中任一项所述的样品托，其特征在于，所述托盘具有圆形结构，所述托盘槽的数量为多个，多个托盘槽沿圆周方向均匀排布。

8.如权利要求1-6中任一项所述的样品托，其特征在于，所述托盘的表面开设有旋转支架卡槽。

9.一种真空***，其特征在于，包括：

真空腔；以及

如权利要求1-8中任一项所述的样品托，设置在所述真空腔内。

10.如权利要求9所述的真空***，其特征在于，还包括:旋转支架，与所述托盘相连，用于带动所述托盘旋转。

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