CN218687908U - 尾气排放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种尾气排放装置，包括：水洗塔，连接至所述装置的反应腔；吸附桶，连接至所述反应腔以及所述水洗塔，用于吸附反应腔内的有害气体；以及阀门，连接至所述反应腔；在反应腔内存在有害气体的状态下，阀门切换使所述反应腔与所述吸附桶导通。上述技术方案，增加吸附桶对有害气体进行吸附回收，并通过切换阀门控制尾气流向，在反应腔内存在有害气体的状态下，先进入吸附桶再进入水洗塔，实现对尾气排放的精准控制。

Description

尾气排放装置

技术领域

本实用新型涉及半导体外延工艺领域，尤其涉及一种尾气排放装置。

背景技术

半导体在生产时需要用到外延炉，外延炉尾气排放装置是用于净化外延炉排出的空气的设备。常规的外延工艺，一个腔体一个外延尾气出口。目前外延生长中排出的尾气主要有两种处理方式：第一种是湿式处理法，即用自来水与尾气反应，把可处理的尾气溶于水中或反应后沉积在水中，对于无法溶于水的气体如氢气、氮气等经过尾气处理装置排放口排放；第二种是燃烧式处理法，即将尾气中的氢气经过燃烧变成水，剩下的氮气通过排放口排放于大气中。

然而，在需要特殊工艺如砷外延或者锗硅外延等工艺的时候，会产生诸如砷烷、锗烷、硅烷等有害气体，而目前的设备无法实现对气体的安全回收与处理。

因此，如何改善尾气排放装置，安全回收与处理有害气体，是目前需要解决的问题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是如何改善尾气排放装置，安全回收与处理有害气体。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种尾气排放装置，包括：水洗塔，连接至所述装置的反应腔；吸附桶，连接至所述反应腔以及所述水洗塔，用于吸附反应腔内的有害气体；以及阀门，连接至所述反应腔；在反应腔内存在有害气体的状态下，阀门切换使所述反应腔与所述吸附桶导通。

上述技术方案，增加吸附桶对有害气体进行吸附回收，并通过切换阀门控制尾气流向，在反应腔内存在有害气体的状态下，先进入吸附桶再进入水洗塔，实现对尾气排放的精准控制。

附图说明

图1所示为本实用新型所述尾气排放装置的具体实施方式的结构示意图。

图2所示为本实用新型所述吸附桶的具体实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的尾气排放装置的具体实施方式详细说明。

图1所示为本实用新型所述尾气排放装置的具体实施方式的结构示意图。所述尾气排放装置，包括：水洗塔11，连接至反应腔10；吸附桶12，连接至所述反应腔10以及所述水洗塔11，用于吸附特殊工艺产生的有害气体；以及阀门13，连接至所述反应腔10；在所述反应腔10内存在有害气体的状态下，所述阀门13切换至所述吸附桶12，使所述反应腔10与所述水洗塔11通过所述吸附桶12导通。当所述反应腔10进行特殊工艺时，会产生有害气体，所述阀门13切换至所述吸附桶12，尾气先进入所述吸附桶12再进入所述水洗塔11；普通工艺时所述阀门13切换至所述水洗塔11，所述反应腔10与所述水洗塔11直接导通，尾气直接流向所述水洗塔11。所述阀门13为三相阀门，分别与所述反应腔10、所述水洗塔11以及所述吸附桶12相连。

上述技术方案，增加吸附桶12对有害气体进行吸附回收，在进行特殊工艺时尾气先进入吸附桶12再进入水洗塔11，普通工艺时尾气直接连接至水洗塔11，实现对尾气排放的精准控制。

图2所示为本实用新型所述吸附桶的具体实施方式的结构示意图。所述吸附桶12包括：药剂桶21，位于所述吸附桶12内；气体浓度检测器，位于所述吸附桶12出口，用于检测有害气体以及氢气的浓度；气压监控装置23，位于所述吸附桶12入口，用于检测进气气压；位置检测感应器(未图示)，位于所述吸附桶12内，用于检测药剂桶21的位置。

作为一种具体实施方式，所述药剂桶21容量为200L，气体输入端口总气流量大于200SLM。

气体浓度检测器进一步包括位于药剂桶21出口的有害气体浓度检测器221以及氢气浓度探头222。所述有害气体浓度检测器221用于检测有害气体的浓度，作为一种具体实施方式，所述有害气体包括：砷烷、锗烷、以及硅烷。所述氢气浓度探头222用于检测氢气泄露。当有害气体浓度或氢气浓度过高时，装置发出警报，反应腔10关闭并进入氮气扫吹模式。

此外，所述尾气排放装置还包括吹扫装置(未图示)，连接至所述吸附桶12，用于对所述吸附桶12进行吹扫。所述尾气排放装置的操作模式带有普通模式以及维护模式，可执行自动吹扫、保压。

所述尾气排放装置还包括断电保护装置(未图示)，连接至所述反应腔10，断电状态下，尾气排放切换至厂务端废气处理装置。

所述尾气排放装置还包括报警装置(未图示)，连接至所述吸附桶12，当接收到异常信号时，切断反应腔10工作并进行吹扫。所述异常信号由吸附桶12监测并传输给控制台，包括但不限于以下情况：氢气浓度探头222监测到氢气浓度大于200ppm；药剂桶21内药剂量不足；气压监控装置23监测到进气气压大于0.3bar；有害气体浓度检测器221检测到有害气体大于TLV标准；位置检测感应器监测到药剂桶21位置偏移、以及无药剂桶21。

通过吸附桶12中的气体浓度、气压、药剂容量、以及药剂桶21位置等参数的监控，并通过报警装置及时反馈给控制台，能够实时检测吸附桶12的工作状态是否正常，当出现可能使有害气体泄漏的异常情况时，及时关闭反应腔10并对吸附桶12进行吹扫，降低有害气体泄漏的可能性，提高废气处理的安全性。

作为一种具体实施方式，所述反应腔10工作时，控制台接收工艺信号，并根据反应腔10进行的工艺类型，通过切换阀门13控制气流的流向。当反应腔10执行特殊工艺时，产生砷烷、锗烷、以及硅烷等有害气体，阀门13切换至吸附桶12，使尾气流向吸附桶12；经过吸附桶12处理回收有害气体，并将剩余的氢气等气体排入水洗塔11。当反应腔10执行普通工艺时，无有害气体产生，阀门13切换至水洗塔11，使尾气直接流向水洗塔11。

上述技术方案，增加吸附桶12对有害气体进行吸附回收，在进行特殊工艺时尾气先进入吸附桶12再进入水洗塔11，普通工艺时尾气直接连接至水洗塔11，实现对尾气排放的精准控制。此外，通过吸附桶12中的气体浓度、气压、药剂容量、以及药剂桶21位置等参数的监控，并通过报警装置及时反馈给控制台，能够实时检测吸附桶12的工作状态是否正常，当出现可能使有害气体泄漏的异常情况时，及时关闭反应腔10并对吸附桶12进行氮气吹扫，降低有害气体泄漏的可能性，提高废气处理的安全性。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种尾气排放装置，其特征在于，包括：

水洗塔，连接至所述装置的反应腔；

吸附桶，连接至所述反应腔以及所述水洗塔，用于吸附反应腔内的有害气体；以及

阀门，连接至所述反应腔；

在所述反应腔内存在有害气体的状态下，所述阀门切换至所述吸附桶，使所述反应腔与所述水洗塔通过所述吸附桶导通。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吸附桶包括：

药剂桶，位于所述吸附桶内；

气压监控装置，位于所述吸附桶入口，用于检测进气气压；

气体浓度检测器，位于所述吸附桶出口，用于检测有害气体以及氢气的浓度；以及

位置检测感应器，位于所述吸附桶内，用于检测药剂桶的位置。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述有害气体包括：砷烷、锗烷、以及硅烷。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述药剂桶容量为200L，气体输入总气流量大于200SLM。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括吹扫装置，连接至所述吸附桶，用于对所述吸附桶进行吹扫。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括断电保护装置，连接至所述反应腔，断电状态下，尾气排放切换至厂务端废气处理装置。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括报警装置，连接至所述吸附桶，接收到异常信号时，切断反应腔工作并进行吹扫。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述异常信号包括：氢气浓度大于200ppm、药剂量不足、进气气压大于0.3bar、有害气体大于TLV标准、药剂桶位置偏移、以及无药剂桶。

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