CN218526299U - 一种带内性能优异的声表面滤波器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种带内性能优异的声表滤波器，其内波纹小，因而可以保证使用时性能优异。其包括晶圆，所述晶圆上设有串联连接的第一至第五谐振器，所述第一谐振器的输入端连接Pin1输入端，所述第五谐振器的输出端连接Pout1输出端，所述第一至第五谐振器中的叉指换能器包括两端的金属条，两个所述金属条上相向一侧分别布置有交错的电极，每个所述电极远离与所述金属条连接一端的自由端的端部分别设有电性连接的金属片。
Description
技术领域
本实用新型涉及滤波器技术领域，具体为一种带内性能优异的声表面滤波器。
背景技术
通信领域最先进的技术是5G移动通信技术，同时意味着具有带宽更大、速度更快的更高要求。滤波器作为通信领域中常用的通信元件之一，起着至关重要的作用，其中使用钽酸锂基材的温补滤波器，由于其具有温度漂移小，Q值高，***损耗小的优点，被广泛使用。然而该种滤波器使用过程中也存在频响通带的最大幅值和最小幅值的差值较大，即带内波纹大，因而导致使用时性能难以保证的问题。
实用新型内容
针对现有的滤波器在使用时，其内波纹较大，导致使用时性能难以保证的问题，本实用新型提供了一种带内性能优异的声表面滤波器，其内波纹小，因而可以保证使用时性能优异。
其技术方案是这样的：一种带内性能优异的声表面滤波器，其包括晶圆，所述晶圆上设有串联连接的第一至第五谐振器，所述第一谐振器的输入端连接Pin1输入端，所述第五谐振器的输出端连接Pout1输出端，其特征在于：所述第一至第五谐振器中的叉指换能器包括两端的金属条，两个所述金属条上相向一侧分别布置有交错的电极，每个所述电极远离与所述金属条连接一端的自由端的端部分别设有电性连接的金属片。
其进一步特征在于：所述金属片呈长方形薄片状，所述金属片置于所述电极的自由端的中部并有部分伸出所述电极，所述金属片的厚度为所述电极厚度的一半、且其宽度小于所述电极的宽度；
当声表滤波器的频段为B41时，所述金属片伸出所述电极的长度为0.2nm，所述金属片与所述电极贴合部分的长度为1nm，所述金属片边缘距离所述电极两侧的距离分别为0.1nm；
所述金属片采用铬铜铬材料制成；
其还包括分别与所述Pin1输入端、Pout1输出端的外接电路，所述外接电路包括一端与所述Pin1输入端连接的串联电感L1、并联电感L2，所述串联电感L1另一端连接PORT1输入端，所述并联电感L2另一端接地，所述外接电路还包括一端与所述Pout1输出端连接的串联电感L3，所述串联电感L3另一端连接PORT2输出端，所述串联电感L3的外部还设有与其两端并联连接的并联电容C1。
采用了上述结构后，通过在第一至第五谐振器的叉指换能器的电极上分别设有金属片，在声波传播过程中，主模声波沿垂直于电极方向传播，能量向两边消散，在谐振器内震荡产生谐振，通过金属片的设置，则破坏了边界条件，使其幅度降低，从而使得内波纹小，因而可以保证使用时性能优异。
附图说明
图1为本实用新型滤波器的结构示意图；
图2为本实用新型叉指换能器IDTA的结构示意图；
图3为本实用新型电极的结构示意图；
图4为本实用新型滤波器的波形图；
图5为本实用新型与外接电路的连接结构示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示，一种带内性能优异的声表面滤波器，包括晶圆，晶圆上设有串联连接的第一谐振器11、第二谐振器12、第三谐振器13、第四谐振器14和第五谐振器15，第一谐振器11的输入端连接Pin1输入端，第五谐振器15的输出端连接Pout1输出端，第一谐振器11、第二谐振器12、第三谐振器13和第五谐振器15包括其分别包括中部的叉指换能器IDTA及两侧的反射器，反射器悬浮、或与该叉指换能器IDTA的输入端或输出端连接，第四谐振器14则包括第一至第五叉指换能器IDT1至IDT5及两侧的反射器，第一、第三及第五叉指换能器的输入端连接后与第三谐振器13的输出端连接，第一、第三及第五叉指换能器的输出端分别接地，第二、第四叉指换能器的输入端分别接地，第二、第四叉指换能器的输出端相连后连接第五谐振器的输入端。第一至第五谐振器中的叉指换能器包括两端的金属条100，两个金属条100上相向一侧分别布置有交错的电极101，每个电极101远离与金属条100连接一端的自由端的端部分别设有电性连接的金属片102，该金属片102由铬铜铬材料制成，金属片102呈长方形薄片状，且金属片102置于电极101的自由端的中部并有部分伸出电极101，金属片102的厚度为电极101厚度的一半、且其宽度小于电极101的宽度。通过金属片102的设置，则在声波传播过程中，主模声波沿垂直于叉指换能器的电极101方向传播，能量向两边消散，在谐振器内震荡产生谐振，通过金属片102的设置，则破坏了边界条件，使其幅度降低，从而使得内波纹小，因而可以保证使用过程中性能优异。
如图4所示，可以看出该滤波器的带内性能，***损耗将近有0.9dB的优化，通过电极上金属片102的设置，相对***损耗指标而言是一个质的改变。
进一步的，如图3所示，若声表滤波器的频段为B41时，则金属片102伸出电极101的长度b为0.2nm，金属片102与电极101贴合部分的长度c为1nm，金属片102边缘距离电极101两侧的距离a分别为0.1nm，通过DOE试验设计法，工艺流程优化，对参数的量化分析，分别对带内性能进行评估，最终得到金属片102的最佳布置位置，从而可以保证滤波器在使用时内波纹最小，保证了使用性能。
进一步的，如图5所示，其还包括分别与Pin1输入端、Pout1输出端的外接电路，该外接电路包括一端与Pin1输入端连接的串联电感L1、并联电感L2，串联电感L1另一端连接PORT1输入端，并联电感L2另一端接地，外接电路还包括一端与Pout1输出端连接的串联电感L3，串联电感L3另一端连接PORT2输出端，串联电感L3的外部还设有与其两端并联连接的并联电容C1。通过在滤波器外部连接外接电路，则使得滤波器在使用时能够起到抗干扰作用，保证了输入及输出信号的稳定性。
以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本实用新型所揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种带内性能优异的声表面滤波器，其包括晶圆，所述晶圆上设有串联连接的第一至第五谐振器，所述第一谐振器的输入端连接Pin1输入端，所述第五谐振器的输出端连接Pout1输出端，其特征在于：所述第一至第五谐振器中的叉指换能器包括两端的金属条，两个所述金属条上相向一侧分别布置有交错的电极，每个所述电极远离与所述金属条连接一端的自由端的端部分别设有电性连接的金属片。
2.根据权利要求1所述的一种带内性能优异的声表面滤波器，其特征在于：所述金属片呈长方形薄片状，所述金属片置于所述电极的自由端的中部并有部分伸出所述电极，所述金属片的厚度为所述电极厚度的一半、且其宽度小于所述电极的宽度。
3.根据权利要求2所述的一种带内性能优异的声表面滤波器，其特征在于：当声表滤波器的频段为B41时，所述金属片伸出所述电极的长度为0.2nm，所述金属片与所述电极贴合部分的长度为1nm，所述金属片边缘距离所述电极两侧的距离分别为0.1nm。
4.根据权利要求3所述的一种带内性能优异的声表面滤波器，其特征在于：所述金属片采用铬铜铬材料制成。
5.根据权利要求4所述的一种带内性能优异的声表面滤波器，其特征在于：其还包括分别与所述Pin1输入端、Pout1输出端的外接电路，所述外接电路包括一端与所述Pin1输入端连接的串联电感L1、并联电感L2，所述串联电感L1另一端连接PORT1输入端，所述并联电感L2另一端接地，所述外接电路还包括一端与所述Pout1输出端连接的串联电感L3，所述串联电感L3另一端连接PORT2输出端，所述串联电感L3的外部还设有与其两端并联连接的并联电容C1。
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Publications (1)
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| CN218526299U true CN218526299U (zh) | 2023-02-24 |
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ID=85237376
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Country Status (1)
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2022
- 2022-03-31 CN CN202220730052.4U patent/CN218526299U/zh active Active
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