CN218213084U - 一种样品支撑柱 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种样品支撑柱，包括呈两端开口的管状柱体，在柱体的一端开口处设置有插接口，柱体的另一端开口处设置有封闭块，样品头通过插接口与柱体插接，便于根据测试需求进行样品头的替换，简化了使用过程，无需进行样品支撑柱整体的更换，提高了探针台的使用效率。

Description

一种样品支撑柱

技术领域

本实用新型属于探针台技术领域，涉及样品的支撑，具体涉及一种样品支撑柱。

背景技术

为了使探针台测试设备中的探针组件能够伸出至被测位置，通常需要使探针组件尽可能接近被测位置；同时，由于探针组件通常需要配合相应的固定结构和移动结构，其需要具有必要的形状和体积。因而，可供被测样品放置和支撑的位置将被极大地限制。为了使被测样品保持在预设位置，一般需要通过支撑结构，将样品支撑至预设位置。一般通过使用样品支撑柱进行被测样品的支撑。

针对不同的被测样品，需要采用不同的样品支撑柱，例如，能够与被测样品引脚电连接的样品支撑柱、能够吸附被测样品的样品支撑柱。为了进行不同样品的测试，需要根据需求进行样品支撑柱的拆装。但是，由于样品支撑柱所处空间一般较小，因此其拆装较为困难和繁琐，费时费力，大大降低了探针台测试设备的测试效率。因此，现有技术中的探针台设备，存在样品支撑柱的更换费时费力的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的样品支撑柱的更换费时费力的问题，本实用新型提供了一种样品支撑柱，包括柱体，所述柱体呈两端开口的管状，所述柱体的一端开口处设置有插接口，所述柱体的另一端开口处设置有封闭块；所述样品支撑柱还包括样品头，所述样品头与所述插接口插接。

可选地，为了同时实现样品的吸附和电连接，所述样品头包括样品吸附装置、样品引脚连接装置，所述样品引脚连接装置与所述样品吸附装置可拆卸连接。此外，在使用该技术方案时，也可以仅使用其中的样品吸附装置或样品引脚连接装置，以达到不更换样品支撑柱的目的。

进一步地，作为一种可选的方案，所述样品引脚连接装置为插接连接器，所述插接连接器插接于所述样品吸附装置，所述样品吸附装置与所述插接口插接。

作为另一种实施方式，所述样品引脚连接装置包括插接连接器、固定板，所述插接连接器固定于所述固定板，所述样品吸附装置设置有容纳所述插接连接器的槽，所述固定板与所述样品吸附装置可拆卸连接，可以按需将固定板拆下，从而在吸附功能和电连接功能之间切换。

再进一步地，在同时具有吸附功能和电连接功能时，为了提供吸附功能所需的吸力或气压、提供电连接所需的电信号，所述封闭块设置有气孔，所述气孔与所述样品吸附装置气路连接；所述样品支撑柱还包括连接插头，所述连接插头与所述封闭块可拆卸连接，所述连接插头与所述样品引脚连接装置电连接。

当仅需要进行样品的吸附时，作为一种可选的方案，所述样品头包括样品吸附装置。

优选地，当使用样品吸附装置时，所述样品支撑柱还包括气阀，所述气阀与所述样品吸附装置气路连接，所述气阀设置于所述柱体的内侧；所述封闭块设置有气孔，所述气阀与所述气孔气路连接。

优选地，当使用样品吸附装置时，所述样品吸附装置设置有吸附端、插接端，所述吸附端包括设置有至少一个吸附孔的平面，所述插接端与所述插接口插接。

优选地，当以柱体作为气路组件的一部分时，即使柱体内部的气压低于外部气压，以使样品吸附装置吸附被测样品时，所述封闭块与所述柱体气密封连接，所述封闭块设置有气孔；所述样品吸附装置与所述柱体气密封连接，所述样品吸附装置设置有至少一个吸附孔。

优选地，为了增强封闭块与柱体之间的密封效果，所述封闭块嵌入所述柱体。更进一步地，封闭块可以为圆柱状、阶梯台状。

优选地，所述封闭块与柱体之间设置有密封圈。

本实用新型至少具有以下有益效果：样品头通过插接口与柱体插接，便于根据测试需求进行样品头的替换，简化了使用过程；无需进行样品支撑柱整体的更换，解决了样品支撑柱的更换所引起的费时费力的问题，提高了探针台的使用效率。

附图说明

图1为样品支撑柱的一种实施方式的***图。

图2为样品引脚连接装置的一种实施方式的结构示意图。

图3为样品支撑柱的另一实施方式的整体结构示意图。

图4为样品引脚连接装置的另一种实施方式的结构示意图。

图5为样品支撑柱的又一整体结构示意图。

图6为图5所示样品支撑柱的***图。

图7为样品支撑柱的再一整体结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需要说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、清晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例一：

请参考图1、3、5、6，一种样品支撑柱，包括柱体1，柱体1呈两端开口的管状，柱体1的一端开口处设置有插接口2，柱体1的另一端开口处设置有封闭块7；样品支撑柱还包括样品头，样品头与插接口2插接。使用时，由于柱体1的两端分别被样品头、封闭块7大体封闭，柱体1呈一体式结构，便于整体更换。此外，样品头通过插接口2与柱体1插接，便于进行样品头的替换，便于在需要不同类型的样品头时，方便地拆装样品头，无需进行样品支撑柱整体的更换，简化了使用过程，解决了样品支撑柱的更换所引起的费时费力的问题，提高了探针台的使用效率。

实施例二：

图1示出了本实用新型的一种实施方式的***图，图2示出了本实用新型的样品引脚连接装置一种实施方式的示意图。其中，样品支撑柱包括柱体1，柱体1呈两端开口的管状，柱体1的一端开口处设置有插接口2，柱体1的另一端开口处设置有封闭块7；样品支撑柱还包括样品头，样品头与插接口2插接。

本实施例中，样品头包括样品吸附装置3、样品引脚连接装置4，样品引脚连接装置4可拆卸地连接于样品吸附装置3。具体地，如图1、图2所示，样品引脚连接装置4包括插接连接器11、固定板10，插接连接器11固定于固定板10，样品吸附装置3设置有容纳插接连接器11的槽，固定板与样品吸附装置可拆卸连接，例如，如图2所示，固定板10为板状，固定板10至少部分地覆盖样品吸附装置3的吸附口，从而使得样品吸附装置3吸附样品引脚连接装置4。此外，还可以通过使插接连接器11与样品吸附装置3卡接，实现样品吸附装置3、样品引脚连接装置4的可拆卸连接。

如图1、图6所示，封闭块7设置有气孔，气孔与样品吸附装置3气路连接。具体地，样品支撑柱设置有气阀5，气阀5与样品吸附装置3气路连接，气阀设置于柱体1的内侧。作为一种可选的方式，样品吸附装置3的吸附端设置有吸附孔，气阀5的一端通过导气管路与吸附孔连通，气阀5的另一端与封闭块7的气孔通过导气管路连通。可以理解的是，气阀5可以为电动阀，通过外部设备控制气阀5的通断，从而控制样品吸附装置3的吸附。

样品支撑柱还包括连接插头8，连接插头8与封闭块7可拆卸连接，连接插头8与样品引脚连接装置4电连接。具体地，请参考图1，封闭块7设置有容纳连接插头8的通孔，连接插头8设置于该通孔内；连接插头8设置有供螺钉穿过的螺钉孔，封闭块7设置有螺纹孔，通过使用螺钉，借助螺钉孔和螺纹孔，实现连接插头8和封闭块7的连接。更具体地，螺钉孔为沉孔。此外，连接插头8与封闭块7的连接还可以为卡接、粘接、插接等其他可拆卸连接。更进一步地，连接插头8与封闭块7之间气密封。

为了实现柱体1与外部设备的连接，例如，与位移台的连接，在柱体1上设置有连接底座6，通过连接底座6与外部设备连接。具体地，可以通过插接、卡接、粘接、螺钉连接等方式进行连接，图1中示出了采用螺钉连接的具体结构。

此外，封闭块7与柱体1可拆卸连接或固定连接，具体地，封闭块7通过螺钉固定于柱体1。

实施例三：

在实施例二的基础上，请参考图3、图4，样品引脚连接装置4中，固定板10为板状圆环，形成一通孔12，插接连接器11设置于固定板10上，与固定板10固定连接。样品吸附装置3的样品吸附端设置有气孔，固定板10在样品吸附装置3的气孔位置为通孔12，即气孔穿过通孔12进行被测样品的吸附，固定板10不遮挡气孔。在此情形下，样品支撑柱可以在通过气孔吸附待测样品的同时，使样品引脚连接装置4与被测样品的引脚电连接，同时实现电连接与吸附，或根据需要选择相应的功能。

实施例四：

请参考图5、图6，在实施例一的基础上，样品头为样品吸附装置3，样品吸附装置3设置有至少一个吸附孔，吸附孔设置于呈平面的吸附面上。

更进一步地，通过柱体1实现封闭块7上的气孔与样品吸附装置3的吸附端之间的气路连接。具体地，封闭块7上设置有气孔，封闭块7与柱体气密封连接；样品吸附装置3插接于插接口2并实现气密封。此时，柱体1内侧与外侧仅通过封闭块7上的气孔、样品吸附装置3的吸附孔连接，此时，通过在封闭块7的气孔处进行抽气，可以使柱体1内侧的气压降低，从而使吸附孔能够产生压力差，实现被测样品的吸附。

为了进一步提高封闭块7与柱体1的密封效果，封闭块7可以嵌入柱体1，封闭块7与柱体1之间设置有密封圈。

具体地，请参考图1、图6，封闭块7可以为柱状、阶梯台状。此外，封闭块7的形状可以根据需要进行调节，从而匹配不同的柱体1形状。

实施例五：

在实施例二的基础上，请参考图7，样品引脚连接装置4还可以为插接连接器11，不再使用固定板10，而是将插接连接器11直接固定于样品吸附装置3，从而同时实现样品的吸附与电连接。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点，因此以上仅为本实用新型的实施例。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还包括各种等效变化和改进，或对上述实施例中的技术方案进行组合变化，这些变化和改进都将落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (10)

1.一种样品支撑柱，其特征在于：包括柱体，所述柱体呈两端开口的管状，所述柱体的一端开口处设置有插接口，所述柱体的另一端开口处设置有封闭块；所述样品支撑柱还包括样品头，所述样品头与所述插接口插接。

2.如权利要求1所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述样品头包括样品吸附装置、样品引脚连接装置，所述样品引脚连接装置与所述样品吸附装置可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述样品引脚连接装置为插接连接器，所述插接连接器插接于所述样品吸附装置，所述样品吸附装置与所述插接口插接。

4.如权利要求2所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述样品引脚连接装置包括插接连接器、固定板，所述插接连接器固定于所述固定板，所述样品吸附装置设置有容纳所述插接连接器的槽，所述固定板与所述样品吸附装置可拆卸连接。

5.如权利要求2至4任一项所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述封闭块设置有气孔，所述气孔与所述样品吸附装置气路连接；所述样品支撑柱还包括连接插头，所述连接插头与所述封闭块可拆卸连接，所述连接插头与所述样品引脚连接装置电连接。

6.如权利要求1所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述样品头包括样品吸附装置。

7.如权利要求2或6任一项所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述样品支撑柱还包括气阀，所述气阀与所述样品吸附装置气路连接，所述气阀设置于所述柱体的内侧；所述封闭块设置有气孔，所述气阀与所述气孔气路连接。

8.如权利要求6所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述样品吸附装置设置有吸附端、插接端，所述吸附端包括设置有至少一个吸附孔的平面，所述插接端与所述插接口插接。

9.如权利要求6所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述封闭块与所述柱体气密封连接，所述封闭块设置有气孔；所述样品吸附装置与所述柱体气密封连接，所述样品吸附装置设置有至少一个吸附孔。

10.如权利要求1所述的一种样品支撑柱，其特征在于：所述封闭块嵌入所述柱体，所述封闭块与所述柱体之间设置有密封圈。

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